CN117941177A - 可调谐天线、可调谐天线的制备方法及电子设备 - Google Patents

Abstract

本公开提供了一种可调谐天线、可调谐天线的制备方法及电子设备，其中，可调谐天线，包括：基板，以及间隔设置在所述基板的一侧的微带馈线、多根天线；其中，所述微带馈线用于提供耦合信号；在所述微带馈线与多根所述天线之间、和/或在相邻布设的至少两根天线之间布设有控制开关；所述控制开关，用于控制所述微带天线与所述多根天线中的至少一根天线导通，以将所述微带馈线提供的耦合信号输出为不同频段的电磁波。

Description

可调谐天线、可调谐天线的制备方法及电子设备 技术领域

本公开涉及天线技术领域，特别是涉及一种可调谐天线、可调谐天线的制备方法及电子设备。

背景技术

随着信息时代迅速发展，具备高集成、小型化、多功能以及低成本的无线终端逐渐成为通信技术的发展趋势。而天线作为无线通信中重要部分，其性能直接影响了信息通讯的质量，为满足科技及工业发展需求，天线正朝着超宽带、功能多样化、小型化和智能化进行发展。

其中，频率可重构天线便应运而生，频率可重构是指多天线阵列中各阵元之间的关系是可以根据实际情况灵活可变的，而非固定的。它主要是通过调整状态可变器件，实现天线输出频率的可变。相关技术中，频率可重构天线一般采用液晶来实现频率可重构，但是液晶实现频率可重构依赖液晶分子在适宜的电场作用下发生偏转，存在响应时间较长的问题。

概述

本公开提供了一种可调谐天线，包括：

基板，以及间隔设置在所述基板的一侧的微带馈线、多根天线；其中，所述微带馈线用于提供耦合信号；

在所述微带馈线与多根所述天线之间、和/或在相邻布设的至少两根天线之间布设有控制开关；

所述控制开关，用于控制所述微带天线与所述多根天线中的至少一根天线导通，以将所述微带馈线提供的耦合信号输出为不同频段的电磁波。

在一种可选的示例中，所述控制开关包括微电子机械***MEMS开关，所述MEMS开关包括至少一个悬臂梁以及与所述悬臂梁对应设置的驱动电极；其中，所述驱动电极用于施加驱动电压；

所述悬臂梁包括固定端和活动端，所述活动端用于在所述驱动电压作用 下，与所述天线接触或分离。

在一种可选的示例中，所述控制开关包括至少一个第一MEMS开关和至少一个第二MEMS开关，其中，所述第一MEMS开关包括两个所述悬臂梁，第二MEMS开关包括一个所述悬臂梁。

在一种可选的示例中，在所述微带馈线与多根所述天线中的一根天线之间设置所述第二MEMS开关，在相邻布设的三根天线之间设置所述第一MEMS开关；其中：

所述第一MEMS开关的两个所述悬臂梁的固定端均连接同一根所述天线的输出端，两个所述悬臂梁的活动端分别悬置在不同的所述天线上；

所述第二MEMS开关的悬臂梁的固定端连接所述微带馈线，活动端悬置在所述多根天线中的一根天线上。

在一种可选的示例中，所述微带馈线与多根所述天线中的两根天线之间设置所述第一MEMS开关，在相邻布设的两根天线之间设置所述第二MEMS开关；其中：

所述第一MEMS开关的两个悬臂梁的固定端均连接所述微带馈线的输出端，两个所述悬臂梁的活动端悬置在不同的所述天线上；

所述第二MEMS开关的悬臂梁的固定端连接相邻布设的两根天线中的一根天线，活动端悬置在相邻的另一根所述天线上。

在一种可选的示例中，所述多根天线包括第一天线、第二天线和第三天线；所述第一MEMS开关的两个所述悬臂梁的活动端分别悬置在所述第一天线的一端上和所述第二天线的一端上；所述第二MEMS开关的悬臂梁的固定端与所述第二天线的另一端连接、活动端悬置在所述第三天线的一端上；其中：

在所述第一MEMS开关导通所述微带馈线和所述第一天线时，所述微带馈线向所述第一天线提供耦合信号，输出第一频段的电磁波；

在所述第一MEMS开关导通所述微带馈线和所述第二天线时，所述微带馈线向所述第二天线提供耦合信号，输出第二频段的电磁波；

在所述第一MEMS开关导通所述微带馈线和所述第二天线、且所述第二MEMS开关导通所述第二天线和所述第三天线时，所述微带馈线向所述第二天线和所述第三天线提供耦合信号，输出第三频段或第四频段的电磁波。

在一种可选的示例中，所述第一频段为2.496GHz-2.690GHz，所述第二频段为4.4GHz-5GHz，所述第三频段为3.3GHz-3.8GHz，所述第四频段为3.3GHz-4.2GHz。

在一种可选的示例中，所述MEMS开关的悬臂梁的活动端在预定方向上的尺寸大于第一目标尺寸且小于第二目标尺寸，所述预定方向为与所述天线的长度方向相垂直的方向，所述第一目标尺寸大于或等于50微米，所述第二目标尺寸小于或等于所述天线的宽度。

在一种可选的示例中，所述MEMS开关的悬臂梁的活动端在预定方向上的尺寸为50微米至150微米。

在一种可选的示例中，在所述天线背离所述基板的一侧设置凸起的触点，所述触点在所述基板上的正投影与所述活动端在所述基板上的正投影有交叠。

在一种可选的示例中，在所述基板的一侧上设置有绝缘凸台，所述天线覆盖所述绝缘凸台，且所述绝缘凸台在所述基板上的正投影为：所述悬臂梁的活动端在所述基板上的正投影与所述天线在所述基板上的正投影的交叠区域。

在一种可选的示例中，所述悬臂梁的活动端在所述基板上的正投影，覆盖所述驱动电极在所述基板上的正投影，且所述驱动电极在所述基板上的正投影与所述天线在所述基板上的正投影无交叠。

本公开还提供了一种可调谐天线的制备方法，用于制备所述的可调谐天线，所述方法包括：

提供基板；

在所述基板的一侧形成相互间隔的微带馈线、多根天线和至少一个控制开关，得到所述天线；其中，所述微带馈线，用于向提供耦合信号；

所述至少一个控制开关形成在所述微带馈线与多根所述天线之间、和/或相邻布设的两根天线之间；

所述控制开关，用于控制所述微带天线与所述多根天线中的一个或多个天线导通，以将所述微带馈线提供的耦合信号输出为不同频段的电磁波。

在一种可选的示例中，所述多根天线包括第一天线和第二天线；所述控制开关包括悬臂梁以及与所述悬臂梁对应设置的驱动电极，所述在所述基板的一侧形成相互间隔的微带馈线、多根天线和至少一个控制开关的步骤，包 括：

采用构图工艺，在所述基板的一侧形成微带馈线、多根天线和驱动电极；

在所述驱动电极背离衬底基板的一侧形成绝缘层，所述绝缘层在基板上的正投影覆盖所述驱动电极在基板上的正投影，所述绝缘层在基板上的正投影与所述天线在基板上的正投影无交叠；

在所述绝缘层背离衬底基板的一侧图案化形成牺牲层，所述牺牲层在基板上的正投影至少覆盖第一天线在基板上的正投影，所述牺牲层在基板上的正投影与第二天线在基板上的正投影无交叠；

在所述牺牲层背离衬底基板的一侧形成所述悬臂梁，所述悬臂梁的一端与第二天线接触、另一端在所述基板上的正投影分别与第一天线和所述驱动电极在所述基板上的正投影有交叠；

释放所述牺牲层，以使所述悬臂梁的另一端悬置在所述第一天线上，以作为所述悬臂梁的活动端。

在一种可选的示例中，在所述采用构图工艺，在所述基板的一侧形成微带馈线、多根天线和驱动电极的步骤之前，所述方法还包括：

在所述基板的一侧上形成绝缘凸台；

所述采用构图工艺，在所述基板的一侧形成微带馈线、多根天线和驱动电极，包括：

采用所述构图工艺，在形成有所述绝缘凸台的基板的一侧形成微带馈线、多根天线和驱动电极；

其中，所述天线覆盖所述绝缘凸台，且所述绝缘凸台在所述基板上的正投影为：所述悬臂梁的活动端在所述基板上的正投影与所述天线在所述基板上的正投影的交叠区域。

本公开还提供了一种电子设备，所述电子设备配置有所述的可调谐天线。

上述说明仅是本公开技术方案的概述，为了能够更清楚了解本公开的技术手段，而可依照说明书的内容予以实施，并且为了让本公开的上述和其它目的、特征和优点能够更明显易懂，以下特举本公开的具体实施方式。

附图简述

为了更清楚地说明本公开实施例或相关技术中的技术方案，下面将对实 施例或相关技术描述中所需要使用的附图作一简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本公开的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。需要说明的是，附图中的比例仅作为示意并不代表实际比例。

图1示意性地示出了本公开提供的可调谐天线的正面的俯视结构示意图；

图2示意性地示出了本公开提供的控制开关的一种结构示意图；

图3示意性地示出了本公开提供的一种可调谐天线的布局示意图；

图4示意性地示出了本公开提供的又一种可调谐天线的布局示意图；

图5示意性地示出了本公开提供的再一种可调谐天线的布局示意图；

图6示意性地示出了本公开中MEMS开关的悬臂梁的活动端与天线之间的连接关系放大示意图；

图7示意性地示出了本公开提供的MEMS开关的悬臂梁的活动端的宽度分别为50微米、100微米和150微米的情况下，可调谐天线的频率仿真结果示意图；

图8示意性地示出了本公开提供的频段最低的天线在基板上的布置形态的示意图；

图9示意性地示出了本公开提供的一种可调谐天线的横截面示意图；

图10示意性地示出了本公开提供的又一种可调谐天线的横截面示意图意图；

图11示意性地示出了本公开提供的一种制备可调谐天线的制备方法的步骤流程图；

图12示意性地示出了本公开提供的一种制备可调谐天线的工艺流程图；

图13示意性地示出了本公开提供的又一种制备可调谐天线的工艺流程图。

详细描述

为使本公开实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本公开实施例中的附图，对本公开实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本公开一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本公开中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获 得的所有其他实施例，都属于本公开保护的范围。

相关技术中，天线已经朝着超宽带、功能多样化、小型化和智能化进行发展，特别是在5G通信领域中，5G通信领域的频段宽，使得通信信道大幅增加，此种情况下，随着通信信道的不断扩展，便需要设计频率可重构天线，以实现同一电子设备可以接收多通信信道的信号。

一般而言，频率可重构天线需要在一定的空间内，实现多天线布局以支持频率重构。通常可采取增加天线数量来满足可在多频段实现频率重构，但天线数量太多会导致单元之间存在电磁干扰，同时也会使天线尺寸偏大，不利于实现小型化。于是液晶天线应运而生，但是，液晶可重构天线的响应时间较长。

有鉴于此，本申请提出了一种可调谐天线，采用响应时间短的控制开关作为频率可重构的控制器件，具体而言，在基板的一侧间隔设置微带馈线、多根天线，在微带馈线与多根天线之间、和/或在相邻布设的至少两根天线之间布设该响应时间短的控制开关，从而通过控制开关，控制微带天线与多根天线中的至少一根天线导通，以在较短的时间内实现频率重构，降低频率重构的响应时长。

参照图1所示，示出了一种可调谐天线的示意图，如图1所示，为对可调谐天线的正面的俯视示意图，图1仅示例性示出了5根天线的布局示意图，本申请的可调谐天线具体包括：

基板100，以及间隔设置在所述基板的一侧的微带馈线110、多根天线120；其中，所述微带馈线110用于提供耦合信号；

在所述微带馈线110与多根所述天线120之间、和/或在相邻布设的至少两根天线120之间布设有控制开关130；

所述控制开关130，用于控制所述微带天线110与所述多根天线120中的至少一根天线120导通，以将所述微带馈线110提供的耦合信号输出为不同频段的电磁波。

本实施例中，多根天线的长度不一，由于单根天线的信号发射频率与天线的长度有关，由此不同天线对应不同的频段。其中，在基板100的一侧，微带馈线110位于基板一侧的边缘，以为多根天线120和控制开关130腾出更多的布设空间。

在一种可选的示例中，可调谐天线可以在多个频段中重构，具体而言，可以通过在微带馈线110与多根天线120之间、和/或在相邻布设的至少两根天线120之间布设控制开关130，实现微带馈线提供的耦合信号在不同天线组成的传输路径中传输，不同传输路径下输出不同频段的电磁波，也就是说，经控制开关，可以构成用于传输微带馈线的耦合信号的多条传输路径。不同传输路径由不同天线组合而成，如图1所示，微带馈线的耦合信号具有5条传输路径，分别是：微带馈线-天线1，微带馈线-天线2，微带馈线-天线2-天线3，微带馈线-天线1-天线4和微带馈线-天线1-天线5。

具体而言，可以根据实际需求和基板一侧的面积，确定天线数量，可以包括至少三根天线，则控制开关依据天线数量可以至少是两个，一般而言，控制开关的数量可以为天线的数量减1，从而实现至少三种频段的电磁波的重构。其中，图1为了方便说明本申请的可调谐天线的多种情况而进行的示例性说明，不代表对本申请的可调谐天线的具体限制。在另外一些实施例中，天线也可以是两根，此种情况下，控制开关可以是一个，用于导通或关断两根天线之间的连接，从而实现两种频段的电磁波的重构。当然，在布设有多根天线时，需要避免天线之间的电磁干扰，即天线之间的间距以不存在电磁干扰为标准。

其中，在微带馈线110与多根所述天线120之间可以连接控制开关130，或者，可以在相邻布设的至少两根天线120之间连接控制开关130。在微带馈线110与多根所述天线120之间连接控制开关130的情况下，该控制开关可以与多根所述天线120中的一根天线连接，也可以分别与多根天线120中的两根天线连接，如图1所示，便是控制开关设置在微带馈线110与两根天线120之间的情况；甚至，在一种示例中，控制开关可以分别与多根天线120中的三根及以上天线连接，当然，这取决于实际天线的布设以及控制开关的触点数量。

在相邻布设的至少两根天线120之间连接控制开关130的情况下，该控制开关可以分别与多根天线120中相邻布设的两根或三根天线连接，在连接两根天线的情况下，可以关断或导通该两根天线，若是导通，则两根天线串接，从而延长了微带馈线在天线中的传输路径，降低了频率，如图1所示，示出了控制开关连接在两根天线(天线2和天线3)之间的情况。

其中，在连接相邻布设的三根天线的情况下，控制开关可以使三根天线中的其中一根天线与另外的两根天线中的任一根天线导通，如图1所示，示出了控制开关连接在三根天线(天线1、天线4和天线5)之间的情况，控制开关可以导通天线4和天线1，也可以导通天线1和天线5。

其中，每个控制开关都可以有独立的控制电路，以单独控制各个控制开关的状态，或者，在一些示例中，多个控制开关也可以通过同一控制电路控制，此种情况下，控制电路可以是微型集成电路，不同控制开关通过各自的传输线连接微型集成电路的不同输出端口，从而达到对多个控制开关的集中控制。

在一些实施例中，控制开关由于是开关器件，其是基于电压的变化进行响应，如在给定电平下导通所连接的器件，因此响应速度快于液晶的响应速度，从而可以提高本申请的可调谐天线在频率重构时的响应速度。其中，对于控制开关而言，控制开关可以选择MEMS(Micro Electro Mechanical Systems，微电子机械***)开关。

采用本申请实施例的技术方案，由于可以通过控制开关，控制微带天线与多根天线中的至少一根天线导通，从而在较短的时间内实现频率重构，降低频率重构的响应时长。

下面，对本申请的可调谐天线的几种可选结构进行说明：

如上述实施例所述，控制开关包括微电子机械***MEMS开关，其中，MEMS开关在插损、功耗、体积与成本等方面均具有明显优势，且是微型器件，可以应用于小型化的可调谐天线中，例如手机的天线中。

其中，参照图2所述，示出了控制开关的一种结构示意图，如图2所示，包括MEMS开关，MEMS开关可以包括至少一个悬臂梁以及与悬臂梁对应设置的驱动电极133，驱动电极133用于施加驱动电压；悬臂梁包括固定端132和活动端131，活动端131用于在驱动电压作用下，与天线120接触或分离。

其中，如图2上侧图像所示，为活动端与天线关断情况的示意图，下侧图像为活动端与天线接触情况的示意图，如上侧图像所示，活动端131在未受到驱动电压作用下，是悬置在天线120上。其中，为了使得活动端的端部与天线充分接触，如图2下侧图像所示，其活动端在与天线接触时，靠近天 线的一端的端部可以向下弯曲一定形状，以使靠近天线的一端的端部的底面与天线充分接触，从而保证耦合信号的传输质量。

其中，每个悬臂梁对应的驱动电极均通过传输线与控制模块连接，控制模块用于通过对应的传输线给驱动电极提供偏置电压，从而控制悬臂梁的活动端与天线导通或关断。在一种实施例中，驱动电极背离基板的一侧可以沉积绝缘层。

其中，在控制开关连接在相邻的两根天线之间的情况下，悬臂梁的固定端可以与天线连接，活动端可以悬置在另一天线上，在控制开关连接在微带馈线与天线之间的情况下，悬臂梁的固定端可以与微带馈线连接，活动端可以悬置在天线上。

在采用MEMS开关时，由于MEMS开关是用微机械加工技术集成在硅片上的开关，在射频到毫米波(0.1到1000GHz)的通讯上性能优良。与传统半导体器件比如双极型晶体管和金属氧化物场效应晶体管相比，MEMS开关具有信号失真小、信号跟驱动隔开、功耗低、线性好、尺寸小和寿命长等优点，这样，本申请的可调谐天线的尺寸较小，可以为多根天线争取更大的布局空间。

在一种可选的示例中，依据实际情况，可调谐天线中的控制开关可以仅包括双悬臂梁的MEMS开关，也可以仅包括单悬臂梁的MEMS开关。如图1所示，在仅包括双悬臂梁的MEMS开关的情况下，可调谐天线可以为去掉天线3，使得微带馈线的耦合信号具有4条传输路径。在仅包括单悬臂梁的MEMS开关的情况下，可调谐天线可以为去掉天线1、天线4和天线5的天线，使得微带馈线的耦合信号具有2条传输路径，分别为微带馈线-天线2，微带馈线-天线2-天线3。当然，此种情况下，微带馈线与天线2之间可以不设控制开关。

在一种可选的示例中，可调谐天线中的控制开关可以包括双悬臂梁的MEMS开关和单悬臂梁的MEMS开关。其中，双悬臂梁的MEMS开关可以至少是一个，单悬臂梁的MEMS开关也可以至少是一个。如图1所示，便是既包括双悬臂梁的MEMS开关和单悬臂梁的MEMS开关的情况，且双悬臂梁的MEMS开关可以是两个。

其中，双悬臂梁的MEMS开关为第一MEMS开关，单悬臂梁的开关为 第二MEMS开关，也就是说，第一MEMS开关包括两个悬臂梁，第二MEMS开关包括一个悬臂梁。

在又一种可选的示例中，参照图3所示，示出了一种可调谐天线的布局示意图，如图3所示，在包括第一MEMS开关1301和第二MEMS开关1302的情况下，第一MEMS开关1301可以设置在相邻布设的三根天线之间，第二MEMS开关1302可以设置在微带馈线与多根天线中的一根天线之间，当然，第二MMES开关1302还可以设置在相邻布设的两根天线之间，其中：

所述第一MEMS开关的两个所述悬臂梁的固定端均连接同一根所述天线的输出端，两个所述悬臂梁的活动端悬置在不同的所述天线上；

所述第二MEMS开关的悬臂梁的固定端连接所述微带馈线，活动端悬置在多根所述天线中的一根天线上。

其中，活动端悬置在天线上，可以理解为是活动端与天线具有一定距离，在活动端受到驱动电极的电压驱使时，与天线接触。

在微带馈线与多根天线中的一根天线之间设置单悬臂梁的MEMS开关，可以控制天线是否收发电磁波，在需要接收电磁波的情况下，导通该天线和微带馈线，如图3所示，在需要收发电磁波时，导通微带馈线和天线1，不需要收发电磁波时，关断微带馈线和天线1，可以应用于有信号屏蔽需求的场景中。

在多根天线中相邻三根天线之间设置双悬臂梁的MEMS开关，可以控电磁波的传输路径的长度，从而实现频率重构，如图3所示，第一MEMS开关设置在天线1、天线2和天线5之间，其中，第一MEMS开关的两个悬臂梁的固定端都与天线1连接，两个悬臂梁中一个悬臂梁的活动端悬置在天线2上，另一个悬臂梁的活动端悬置在天线5上。在第二MEMS开关导通微带馈线和对应的天线1的情况下，若第一MEMS开关不导通，则电磁波的频段为天线1的工作频段，若第一MEMS开关导通天线1和天线4，则电磁波的频段为天线1和天线2构成的天线的工作频段，若第一MEMS开关导通天线1和天线5，则电磁波的频段为天线1和天线5构成的天线的工作频段。当然，若第二MEMS开关导通微带馈线和对应的天线1，且天线2和天线3之间的第二MEMS开关导通的情况下，则电磁波的频段为天线1、天线2和天线3构成的天线的工作频段。

在又一种可选的示例中，在所述微带馈线与多根所述天线中的两根天线之间设置所述第一MEMS开关，在相邻布设的两根天线之间设置所述第二MEMS开关；其中：

所述第一MEMS开关的两个悬臂梁的固定端均连接所述微带馈线的输出端，两个所述悬臂梁的活动端悬置在不同的所述天线上；

所述第二MEMS开关的悬臂梁的固定端连接相邻布设的两根天线中的一根天线，活动端连接悬置在另一根所述天线上。

本实施例中，第一MEMS开关也可以连接在相邻布设的三根天线之间，具体连接方式如图3所示。其中，第一MEMS开关是上悬臂梁开关，两个悬臂梁的固定点均连接至微带馈线，一个悬臂梁的活动端分别悬置在相邻两根天线中的一根天线上，另一个悬臂梁的活动端分别悬置在相邻两根天线中的另一根天线上。而第二MEMS开关是单悬臂梁的，该第二MEMS开关是单悬臂梁的固定端连接相邻两根天线中的一根天线、活动端连接相邻两根天线中的另一根天线。其中，第二MEMS开关根据天线数量，也可以设置多个。

参照图4所示，示出了该实施例中可调谐天线的布局示意图，如图4所示，第一MEMS开关1301连接在微带馈线、天线1和天线2之间，天线2和天线3之间连接第二MEMS开关1302，天线1和天线4之间连接第二MEMS开关1302，这样，形成的传输路径包括：微带馈线-天线1、微带馈线-天线2，微带馈线-天线2-天线3、微带馈线-天线1-天线4，不同传输路径用于输出不同频段的电磁波。

接着，在一种可选的实施例中，提供了一种可调谐天线的具体结构，该可调谐天线可以包括三根天线和两个控制开关，具有三条传输路径，可以输出频带较宽的高频信号。

具体地，该实施例中的可调谐天线包括三根天线，分别为第一天线、第二天线和第三天线。参照图5所示，示出了一种可调谐天线的实际构造示意图，如图5所示，第一天线对应图5中的天线1，第二天线对应图5中的天线2，第三天线对应图5中的天线3。所述第一MEMS开关1301的两个所述悬臂梁的活动端分别悬置在所述第一天线的一端上和所述第二天线的一端上；所述第二MEMS开关1302的悬臂梁的固定端与所述第二天线的另一端连接、活动端悬置在所述第三天线的一端上。

其中，在所述第一MEMS开关导通所述微带馈线和所述第一天线时，所述微带馈线向所述第一天线提供耦合信号，输出第一频段的电磁波；

其中，在所述第一MEMS开关导通所述微带馈线和所述第二天线时，所述微带馈线向所述第二天线提供耦合信号，输出第二频段的电磁波；

其中，在所述第一MEMS开关导通所述微带馈线和所述第二天线、且所述第二MEMS开关导通所述第二天线和所述第三天线时，所述微带馈线向所述第二天线和所述第三天线提供耦合信号，输出第三频段或第四频段的电磁波。

本实施例中，第一频段、第二频段、第三频段和第四频段可以是属于5G的频段，其可以互不相同、带宽也可以互不相同。其中，由于在导通第二天线和第三天线时，可以输出第三频段或第四频段的电磁波，其中，可以通过增大第二MEMS开关的悬臂梁的宽度，实现从第三频段到第四频段的重构，具体实施细节在后续阐述。

实际应用时，可以根据对第一频段、第二频段、第三频段和第四频段的需求，设计三根天线的长度。具体而言，可以根据第一频段设计第一天线的长度，根据第二频段设计第二天线的长度，根据第三频段，得到第三频段的天线的长度，之后，根据第三频段的天线的长度和第二天线的长度得到第三天线的长度。

其中，天线的长度可以根据公式：L＝C/(2f)得到；其中，L为天线的长度，f为工作频率，C为光速，当然，根据公式计算出的天线的长度可以进行略微调整，以适用于实际应用。

在具体应用中，如图5所示，该天线可以工作在5G频段，并可以在不同的5G频段内不同的频率范围内实现可重构，在一种可选的实施例中，第一频段为2.496GHz-2.690GHz，第二频段为4.4GHz-5GHz，第三频段为3.3GHz-3.8GHz，第四频段为3.3GHz-4.2GHz。

其中，如上述实施例所示，在微带馈线向第二天线和第三天线提供耦合信号，输出第三频段或第四频段的电磁波，其中，第三频段的电磁波可以是在悬臂梁的活动端未拓宽的基础上，第二天线和第三天线所工作的频段，而第四频段是在悬臂梁的活动端拓宽的基础上，第二天线和第三天线所工作的频段。

其中，第四频段的频宽大于第三频段，其可以通过增大第二MEMS开关的活动端的宽度实现，具体地，拓宽悬臂梁的活动端的宽度，可以增大活动端与天线之间的接触面积，从而使得天线接收到更多的耦合信号，从而拓宽频段。

有鉴于此，参照图6所示，示出了MEMS开关的悬臂梁的活动端与天线之间的连接关系放大示意图，如图6所示，MEMS开关的悬臂梁的活动端在预定方向上的尺寸大于第一目标尺寸且小于第二目标尺寸，预定方向为与天线的长度方向相垂直的方向(即上述所述的活动端的宽度)。

其中，第一目标尺寸大于或等于50微米，第二目标尺寸小于等于天线的宽度上的尺寸，如图6所示，天线的宽度为s1，预定方向即为图6中标注出的MEMS悬臂梁宽度方向，从图6可看出，悬臂梁宽度方向越宽，则控制开关与天线的接触面积越多，从而可以导入更多的耦合信号，以增加频段的宽度。

本实施例中，对可调谐天线中相邻天线之间的控制开关，可以使其悬臂梁的活动端的宽度在第一目标尺寸和第二目标尺寸之间，也就是说，对于两根甚至更多根天线串接构成传输路径的情况下，可以通过适当增大活动端的宽度，在该传输路径中传输更多的耦合信号，从而拓宽原有多根天线串接所输出的电磁波的频段。

其中，第一目标尺寸可以大于50微米，以保持天线之间的良好接触，第二目标尺寸可以小于或等于天线的宽度，具体而言，天线的两端的宽度一般小于天线中段的宽度，因此，第二目标尺寸可以为天线的两端的宽度。需要说明的是，由于天线的长度确定的情况下，为了保证天线工作频段的可靠性，天线的宽度也是可以确定的，因此，第二目标尺寸实际中也是确定的。

具体而言，MEMS开关的悬臂梁的活动端在预定方向上的尺寸为50微米至150微米。

参照图7所示，示出了MEMS开关的悬臂梁的活动端在预定方向上的尺寸为50微米、100微米和150微米情况下，第二天线和第三天线导通时，可调谐天线的频率仿真结果示意图。

如图7所示，701对应宽度为50微米时的仿真结果，702对应宽度为100微米时的仿真结果，703对应宽度为150微米时的仿真结果，可看出，随 着活动端的宽度越宽，其频段可以得到更进一步的拓宽。

接下来，对本申请的可调谐天线所包括的各个器件进行补充说明：

在一种可选的实施例中，天线可以是单极子天线。其中，单极子天线是竖直的具有四分之一波长的天线，其能够在很宽的阻抗带宽上提供令人满意的辐射性能，并且制作简单，成本低廉。该类天线能覆盖1.9-10.6GHz的UWB频段。

在一种可选的实施例中，由于天线的工作频段与天线的长度有关，且天线的长度越短，频率越高，而在本申请的可调谐天线中，可以具有长度不一的天线，即具有频率不同的天线，其中，对于工作频段最低的天线，为了节省天线布局空间，可以将工作频段最低的天线在基板上呈弯折形态布置，或呈回旋形态布置。

参照图8所示，示出了频段最低的天线在基板上的布置形态的示意图，如图8中左侧图像所示，为上呈弯折形态布置，右侧图像所示为回旋形态布置。其中，在进行弯折形态布置或进行回旋形态布置时，需要给予一定的间隔空间，以避免电磁干扰。

如图9所示，示出了可调谐天线的截面示意图，其中图9以MEMS开关为双悬臂梁开关为例，结合图9所示，对本申请的可调谐天线进行详细说明。

在一种实施例中，如图9所示，悬臂梁的活动端131在基板100上的正投影，覆盖驱动电极133在基板100上的正投影，且驱动电极133在基板100上的正投影与天线120在基板100上的正投影无交叠。一种示例中，在驱动电极133背离基板的一侧设置绝缘层134。

一般而言，控制开关的悬臂梁的活动端需要与天线相接触，在一种可选的示例中，如图9所示，可以在天线与活动端对应的一端上设置凸起的触点140，以使活动端131可以与触点140相接触，从而导通天线。该凸起的触点140可以减小活动端接触天线时的移动距离，从而使得活动端与天线快速和良好接触，以缩短响应时间并保证接触性能。

如图9所示，便示出了其中一种实现方式，在天线背离所述基板的一侧设置凸起的触点140，触点140在基板上的正投影与活动端在基板上的正投影有交叠。

在另一种实现方式中，如图10所示，图10示出了一种天线结构，除触 点构造与图9所示的天线不同外，其余部分与图9所示的相同。在所述基板的一侧上设置有绝缘凸台150，所述天线覆盖所述绝缘凸台150，且所述绝缘凸台150在基板100上的正投影为：所述悬臂梁的活动端130在所述基板100上的正投影与所述天线120在所述基板100上的正投影的交叠区域。

本实施例中，如图10所示，悬臂梁的活动端在基板上的正投影、绝缘凸台在基板上的正投影以及端部部分在基板上的正投影之间具有交叠，从而使得悬臂梁的活动端在所述基板上的正投影。

采用上述实现方式时，活动端用于在驱动电压作用下，与触点接触或分离，以与天线导通或关断。

以图5所示的可调谐天线为例，对本申请的可调谐天线进行示例性说明：

该图5所示的可调谐天线可以覆盖5G sub6频段，包括微带馈线和3根单极子天线，分别为天线1(对应第一天线)、天线2(对应第二天线)以及天线3(对应第三天线)；还包括两个MEMS开关，分别为开关1(对应第一MEMS开关)和开关2(对应第二MEMS开关)，其中，微带馈线设置在基板的一侧，且位于基板一侧的一边缘，用于提供耦合信号。

其中，开关1为双悬臂梁结构，悬臂梁中心锚点(固定端)直接连接在微带馈线上，两端(活动端)设置浮空在天线1和天线2上方，在天线1和天线2背离基板的一侧，且与悬臂梁在天线上的正投影的交叠区域设置凸起的触点，悬臂梁下方设计驱动电极，驱动电极背离基板的一侧上设置有绝缘层；

开关2为单悬臂梁结构，悬臂梁的固定端直接连接在天线3上，活动端浮空在天线2上方，同样地，在天线3背离基板的一侧，且与悬臂梁在天线3上的正投影的交叠区域设置凸起的触点，悬臂梁下方设计驱动电极，驱动电极背离基板的一侧上设置有绝缘层。

如图5所示，天线1在基板的一侧弯折布局，以节省空间。其中，可以通过控制加载在悬臂梁和驱动电极之间的偏置电压即可控制MEMS开关的状态，通过MEMS开关状态变化，实现天线频率可重构。具体地，开关1导通微带馈线与天线1，天线1处于辐射状态，可覆盖2.496GHz-2.690GHz的频段；当开关1导通微带馈线与天线2，天线2处于辐射状态，可覆盖4.4GHz-5GHz的频段；当开关1导通微带馈线与天线2，开关2导通天线2和天线3， 天线2和天线3串接，微带馈线提供的耦合信号在天线2和天线3串中传输，可覆盖3.3GHz-3.8GHz的频段。

其中，增加开关的悬臂梁的活动端的宽度为150um，微带馈线提供的耦合信号在天线2和天线3中传输，可覆盖3.3GHz-4.2GHz的频段。

采用本申请实施例的可调谐天线，可以通过控制电路向对应的传输线170传输电信号，且不同的悬臂梁对应设置不同的传输线，三个悬臂梁的驱动电极所连接的传输线可以在基板的长度方向上走线，之后在基板的边缘汇聚后与控制电路连接，以向对应的驱动电极输入偏置电压，在偏置电压的作用下，MEMS开关与对应的天线接触导通，从而改变天线输出的频率。

由于MEMS开关具有响应速度快、尺寸小、功耗低的优点，由此可以使得本申请的可调谐天线布局在更小的基板上，实现天线的微型化，同时由于其响应速度快、功耗低，可以提高频率重构的响应速度。

基于相同的发明构思，提供了一种制备可调谐天线的制备方法，参照图11所示，示出了可调谐天线的制备方法的步骤流程图，如图11所示，具体可以包括以下步骤：

步骤S101：提供基板；

步骤S102：在所述基板的一侧形成相互间隔的微带馈线、多根天线和至少一个控制开关，得到所述天线；其中，所述微带馈线，用于向提供耦合信号。

其中，所述至少一个控制开关形成在所述微带馈线与多根所述天线之间、和/或相邻布设的两根天线之间；所述控制开关，用于控制所述微带天线与所述多根天线中的一个或多个天线导通，以将所述微带馈线提供的耦合信号输出为不同频段的电磁波。

本实施例中，控制开关可以是MEMS开关。参照图12所示，示出了可调谐天线的制备方法的工艺流程图，如图12所示，多根天线中包括第一天线和第二天线为例，所述控制开关包括悬臂梁以及与所述悬臂梁对应设置的驱动电极，具体地，包括以下工艺流程：

流程11：采用构图工艺，在所述基板的一侧形成微带馈线、多根天线和驱动电极；

流程12：在所述驱动电极背离衬底基板的一侧形成绝缘层，所述绝缘层 在基板上的正投影覆盖所述驱动电极在基板上的正投影，所述绝缘层在基板上的正投影与所述天线在基板上的正投影无交叠；

流程13：在所述绝缘层背离衬底基板的一侧图案化形成牺牲层，所述牺牲层在基板上的正投影至少覆盖第一天线在基板上的正投影，所述牺牲层在基板上的正投影与第二天线在基板上的正投影无交叠；

流程14：在所述牺牲层背离衬底基板的一侧形成所述悬臂梁，所述悬臂梁的一端与第二天线接触、另一端在所述基板上的正投影分别与第一天线和所述驱动电极在所述基板上的正投影有交叠；

流程15：释放所述牺牲层，以使所述悬臂梁的另一端悬置在所述第一天线上，以作为所述悬臂梁的活动端。

其中，如图12所示，是双悬臂梁MEMS开关的制造工艺示意，第一天线可以是最左侧的天线120，第二天线可以是中间的天线120，最右侧的天线120是示例性地说明双悬臂梁MEMS开关连接在三根相邻天线中的制造工艺。

其中，在一种可选的示例中，由于天线需要设置凸起的触点，以在悬臂梁的活动端受到驱动电极产生的偏置电压时，与触点接触，从而导通天线与微带馈线，或者导通两根天线。由此，一种制备方式是，在基板的一侧形成微带馈线、多根天线和驱动电极之后，在驱动电极背离衬底基板的一侧形成绝缘层的同时，可以在天线的端部沉积金属层，以形成触点。具体地，在流程12中，还可以在天线背离衬底基板的一侧形成金属凸点，接着，在流程14中，可以在牺牲层背离衬底基板的一侧形悬臂梁时，使得金属凸台在基板上的正投影，为悬臂梁在基板上的正投影和天线在基板上的正投影的交叠。

在又一种触点的制备方式中，可以在基板的一侧形成微带馈线、多根天线和驱动电极之前，在基板的一侧预构图出微带馈线、多根天线和驱动电极的图形；然后在基板的一侧上与每根天线的端部对应的区域形成绝缘凸台，相应地，在形成微带馈线、多根天线和驱动电极时，可以采用所述构图工艺，在形成有所述绝缘凸台的基板的一侧形成微带馈线、多根天线和驱动电极，其中，所述天线覆盖所述绝缘凸台，且所述绝缘凸台在所述基板上的正投影为：所述悬臂梁的活动端在所述基板上的正投影与所述天线在所述基板上的正投影的交叠区域。

在采用绝缘凸台的工艺时，可调谐天线的整个制备流程可以如图13所示，具体如下：

流程21：在所述基板的一侧预构图出微带馈线、多根天线和驱动电极的图形；在所述基板的一侧上每根天线图形所在的部分区域上形成绝缘凸台；

流程22：采用构图工艺，在所述基板的一侧形成微带馈线、多根天线和驱动电极；

流程23：在所述驱动电极背离衬底基板的一侧形成绝缘层，所述绝缘层在基板上的正投影覆盖所述驱动电极在基板上的正投影，所述绝缘层在基板上的正投影与所述天线在基板上的正投影无交叠；

流程24：在所述绝缘层背离衬底基板的一侧图案化形成牺牲层，所述牺牲层在基板上的正投影至少覆盖第一天线在基板上的正投影，所述牺牲层在基板上的正投影与第二天线在基板上的正投影无交叠；

流程25：在所述牺牲层背离衬底基板的一侧形成所述悬臂梁，所述悬臂梁的一端与第二天线接触、另一端在所述基板上的正投影分别与第一天线和所述驱动电极在所述基板上的正投影有交叠；

流程26：释放所述牺牲层，以使所述悬臂梁的另一端悬置在所述第一天线上，以作为所述悬臂梁的活动端。

采用本实施方式的制备方法，可以首先在基板上设置绝缘凸台，优化了MEMS开关触点制备工艺，从而无需在形成天线、驱动电极之后，再在天线上沉积金属触点，由于再沉积金属触点的工艺较之制备绝缘凸台复杂，且触点面积需求小，金属沉积工艺要求高，因此，本申请的绝缘凸台的工艺可以提升MEMS开关的成品率和稳定性。

基于相同的发明构思，本申请实施例还提供一种显示模组，包括显示面板，以及上述实施例中的可调谐天线。采用该显示面板时，可以通过可调谐天线接收不同频段的信号，以将不同频段的信号对应的信息进行显示。

基于相同的发明构思，本申请实施例还提供一种电子设备，所电子设备配置有上述实施例中的的可调谐天线。

其中，该电子设备一方面可以通过可调谐天线接收并发送不同频段的信号，以实现不同频段的通信。示例地，在电子设备为移动终端，例如手机的情况下，可以让手机工作在不同频段，从而在不同运营商提供的通信服务下 进行通信，例如，可调谐天线可以在上述实施例的第一频段至第四频段中重构时，可以让手机在不同运营商提供的通信服务之间切换。

最后，还需要说明的是，除非另外定义，在本文中使用的“第一”、“第二”以及类似的词语并不表示任何顺序、数量或者重要性，而只是用来区分不同的组成部分。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、商品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、商品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、商品或者设备中还存在另外的相同要素。“连接”或者“相连”等类似的词语并非限定于物理的或者机械的连接，而是可以包括电性的连接，不管是直接的还是间接的。

以上对本公开所提供的一种天线的可调谐天线、可调谐天线的制备方法及电子设备进行了详细介绍，本文中应用了具体个例对本公开的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本公开的方法及其核心思想；同时，对于本领域的一般技术人员，依据本公开的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，综上所述，本说明书内容不应理解为对本公开的限制。

本领域技术人员在考虑说明书及实践这里公开的发明后，将容易想到本公开的其它实施方案。本公开旨在涵盖本公开的任何变型、用途或者适应性变化，这些变型、用途或者适应性变化遵循本公开的一般性原理并包括本公开未公开的本技术领域中的公知常识或惯用技术手段。说明书和实施例仅被视为示例性的，本公开的真正范围和精神由下面的权利要求指出。

应当理解的是，本公开并不局限于上面已经描述并在附图中示出的精确结构，并且可以在不脱离其范围进行各种修改和改变。本公开的范围仅由所附的权利要求来限制。

本文中所称的“一个实施例”、“实施例”或者“一个或者多个实施例”意味着，结合实施例描述的特定特征、结构或者特性包括在本公开的至少一个实施例中。此外，请注意，这里“在一个实施例中”的词语例子不一定全指同一个实施例。

在此处所提供的说明书中，说明了大量具体细节。然而，能够理解，本公开的实施例可以在没有这些具体细节的情况下被实践。在一些实例中，并未详细示出公知的方法、结构和技术，以便不模糊对本说明书的理解。

在权利要求中，不应将位于括号之间的任何参考符号构造成对权利要求的限制。单词“包含”不排除存在未列在权利要求中的元件或步骤。位于元件之前的单词“一”或“一个”不排除存在多个这样的元件。本公开可以借助于包括有若干不同元件的硬件以及借助于适当编程的计算机来实现。在列举了若干装置的单元权利要求中，这些装置中的若干个可以是通过同一个硬件项来具体体现。单词第一、第二、以及第三等的使用不表示任何顺序。可将这些单词解释为名称。

最后应说明的是：以上实施例仅用以说明本公开的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本公开进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本公开各实施例技术方案的精神和范围。

Claims (16)

1. 一种可调谐天线，其特征在于，包括：

   基板，以及间隔设置在所述基板的一侧的微带馈线、多根天线；其中，所述微带馈线用于提供耦合信号；

   在所述微带馈线与多根所述天线之间、和/或在相邻布设的至少两根天线之间布设有控制开关；

   所述控制开关，用于控制所述微带天线与所述多根天线中的至少一根天线导通，以将所述微带馈线提供的耦合信号输出为不同频段的电磁波。
2. 根据权利要求1所述的天线，其特征在于，所述控制开关包括微电子机械***MEMS开关，所述MEMS开关包括至少一个悬臂梁以及与所述悬臂梁对应设置的驱动电极；其中，所述驱动电极用于施加驱动电压；

   所述悬臂梁包括固定端和活动端，所述活动端用于在所述驱动电压作用下，与所述天线接触或分离。
3. 根据权利要求2所述的天线，其特征在于，所述控制开关包括至少一个第一MEMS开关和至少一个第二MEMS开关，其中，所述第一MEMS开关包括两个所述悬臂梁，第二MEMS开关包括一个所述悬臂梁。
4. 根据权利要求3所述的天线，其特征在于，在所述微带馈线与多根所述天线中的一根天线之间设置所述第二MEMS开关，在相邻布设的三根天线之间设置所述第一MEMS开关；其中：

   所述第一MEMS开关的两个所述悬臂梁的固定端均连接同一根所述天线的输出端，两个所述悬臂梁的活动端分别悬置在不同的所述天线上；

   所述第二MEMS开关的悬臂梁的固定端连接所述微带馈线，活动端悬置在所述多根天线中的一根天线上。
5. 根据权利要求3所述的天线，其特征在于，在所述微带馈线与多根所述天线中的两根天线之间设置所述第一MEMS开关，在相邻布设的两根天线之间设置所述第二MEMS开关；其中：

   所述第一MEMS开关的两个悬臂梁的固定端均连接所述微带馈线的输出端，两个所述悬臂梁的活动端悬置在不同的所述天线上；

   所述第二MEMS开关的悬臂梁的固定端连接相邻布设的两根天线中的一 根天线，活动端悬置在相邻的另一根所述天线上。
6. 根据权利要求5所述的天线，其特征在于，所述多根天线包括第一天线、第二天线和第三天线；所述第一MEMS开关的两个所述悬臂梁的活动端分别悬置在所述第一天线的一端上和所述第二天线的一端上；所述第二MEMS开关的悬臂梁的固定端与所述第二天线的另一端连接、活动端悬置在所述第三天线的一端上；其中：

   在所述第一MEMS开关导通所述微带馈线和所述第一天线时，所述微带馈线向所述第一天线提供耦合信号，输出第一频段的电磁波；

   在所述第一MEMS开关导通所述微带馈线和所述第二天线时，所述微带馈线向所述第二天线提供耦合信号，输出第二频段的电磁波；

   在所述第一MEMS开关导通所述微带馈线和所述第二天线、且所述第二MEMS开关导通所述第二天线和所述第三天线时，所述微带馈线向所述第二天线和所述第三天线提供耦合信号，输出第三频段或第四频段的电磁波。
7. 根据权利要求6所述的天线，其特征在于，所述第一频段为2.496GHz-2.690GHz，所述第二频段为4.4GHz-5GHz，所述第三频段为3.3GHz-3.8GHz，所述第四频段为3.3GHz-4.2GHz。
8. 根据权利要求2-7任一所述的天线，其特征在于，所述MEMS开关的悬臂梁的活动端在预定方向上的尺寸大于第一目标尺寸且小于第二目标尺寸，所述预定方向为与所述天线的长度方向相垂直的方向，所述第一目标尺寸大于或等于50微米，所述第二目标尺寸小于或等于所述天线的宽度。
9. 根据权利要求8所述的天线，其特征在于，所述MEMS开关的悬臂梁的活动端在预定方向上的尺寸为50微米至150微米。
10. 根据权利要求2所述的天线，其特征在于，在所述天线背离所述基板的一侧设置凸起的触点，所述触点在所述基板上的正投影与所述活动端在所述基板上的正投影有交叠。
11. 根据权利要求2所述的天线，其特征在于，在所述基板的一侧上设置有绝缘凸台，所述天线覆盖所述绝缘凸台，且所述绝缘凸台在所述基板上的正投影为：所述悬臂梁的活动端在所述基板上的正投影与所述天线在所述基板上的正投影的交叠区域。
12. 根据权利要求2所述的天线，其特征在于，所述悬臂梁的活动端在 所述基板上的正投影，覆盖所述驱动电极在所述基板上的正投影，且所述驱动电极在所述基板上的正投影与所述天线在所述基板上的正投影无交叠。
13. 一种可调谐天线的制备方法，其特征在于，用于制备权利要求1-14任一项所述的可调谐天线，所述方法包括：

    提供基板；

    在所述基板的一侧形成相互间隔的微带馈线、多根天线和至少一个控制开关，得到所述天线；其中，所述微带馈线，用于向提供耦合信号；

    所述至少一个控制开关形成在所述微带馈线与多根所述天线之间、和/或相邻布设的两根天线之间；

    所述控制开关，用于控制所述微带天线与所述多根天线中的一个或多个天线导通，以将所述微带馈线提供的耦合信号输出为不同频段的电磁波。
14. 根据权利要求13所述的方法，其特征在于，所述多根天线包括第一天线和第二天线；所述控制开关包括悬臂梁以及与所述悬臂梁对应设置的驱动电极，所述在所述基板的一侧形成相互间隔的微带馈线、多根天线和至少一个控制开关的步骤，包括：

    采用构图工艺，在所述基板的一侧形成微带馈线、多根天线和驱动电极；

    在所述驱动电极背离所述基板的一侧形成绝缘层，所述绝缘层在基板上的正投影覆盖所述驱动电极在所述基板上的正投影，所述绝缘层在所述基板上的正投影与所述天线在所述基板上的正投影无交叠；

    在所述绝缘层背离所述基板的一侧图案化形成牺牲层，所述牺牲层在所述基板上的正投影至少覆盖第一天线在所述基板上的正投影，所述牺牲层在所述基板上的正投影与第二天线在所述基板上的正投影无交叠；

    在所述牺牲层背离所述基板的一侧形成所述悬臂梁，所述悬臂梁的一端与第二天线接触、另一端在所述基板上的正投影分别与第一天线和所述驱动电极在所述基板上的正投影有交叠；

    释放所述牺牲层，以使所述悬臂梁的另一端悬置在所述第一天线上，以作为所述悬臂梁的活动端。
15. 根据权利要求14所述的方法，其特征在于，在所述采用构图工艺，在所述基板的一侧形成微带馈线、多根天线和驱动电极的步骤之前，所述方法还包括：

    在所述基板的一侧上形成绝缘凸台；

    所述采用构图工艺，在所述基板的一侧形成微带馈线、多根天线和驱动电极，包括：

    采用所述构图工艺，在形成有所述绝缘凸台的基板的一侧形成微带馈线、多根天线和驱动电极；

    其中，所述天线覆盖所述绝缘凸台，且所述绝缘凸台在所述基板上的正投影为：所述悬臂梁的活动端在所述基板上的正投影与所述天线在所述基板上的正投影的交叠区域。
16. 一种电子设备，其特征在于，所述电子设备配置有权利要求1-12任一所述的可调谐天线。