CN117711968A - 重复定位精度检测设备、方法及存储介质 - Google Patents
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Abstract
本申请涉及半导体器件技术领域，尤其涉及一种重复定位精度检测设备、方法及存储介质，重复定位精度检测设备包括：运动平台、光学检测***、运动控制***和计算分析***；所述光学检测***设置在所述运动平台上，并且能够在所述运动平台上沿第一方向进行往复运动，所述光学检测***用于对被测物体离焦点之间的目标距离进行检测和收集，并将所述目标距离输出至所述计算分析***；所述运动控制***用于控制光学检测***的检测位置；所述计算分析***用于根据所述目标距离确定所述被测物体的重复定位精度。采用本申请可以计算得到被测物体的重复定位精度。
Description
技术领域
本申请涉及半导体器件技术领域，尤其涉及一种重复定位精度检测设备、方法及存储介质。
背景技术
在半导体和LED的测试中，经常需要使用探针来对芯粒的焊点（PAD）施加电压，来检测芯粒性能；在探针台上装夹探针并能控制其针尖运动的机构被称之为针座。现行的一种通过电机驱动同步带传递丝杆把旋转运动转换为直线运动的扎针机构被应用于晶圆厂中进行高频微动扎针动作。现有的扎针机构的重复定位精度主要依赖于丝杆精度及装配精度，在使用前无法对该项精度进行有效直观的检测。
发明内容
本申请的主要目的在于提供一种重复定位精度检测设备、方法及存储介质，旨在解决无法对扎针机构的重复定位精度进行检测的技术问题。
为实现上述目的，本申请提供一种重复定位精度检测设备，所述重复定位精度检测设备包括：运动平台、光学检测***、运动控制***和计算分析***；
所述光学检测***设置在所述运动平台上，并且能够在所述运动平台上沿第一方向进行往复运动，所述光学检测***用于对被测物体离焦点之间的目标距离进行检测和收集，并将所述目标距离输出至所述计算分析***；
所述运动控制***用于控制光学检测***的检测位置；
所述计算分析***用于根据所述目标距离确定所述被测物体的重复定位精度。
可选的，在一种可行的实施例中，所述光学检测***包括：微调螺杆；
所述微调螺杆用于调节所述光学检测***的焦点的位置。
可选的，在一种可行的实施例中，所述光学检测***包括：光谱共焦探头；
所述光谱共焦探头用于检测所述被测物体与焦点之间的目标距离，并采集所述目标距离，并将所述目标距离输出至所述计算分析***。
可选的，在一种可行的实施例中，所述被测物体为扎针机构，所述扎针机构包括：反光板和针尖；
所述反光板与所述针尖的相对位置固定，所述反光板用于辅助所述光学检测***进行所述针尖离焦点的所述目标距离的检测和收集。
可选的，在一种可行的实施例中，所述扎针机构还包括：驱动器；
所述驱动器用于驱动所述扎针机构进行高频微距往复运动，以模拟实际连续测试的过程。
此外，为实现上述目的，本申请还提供一种重复定位精度检测方法，所述重复定位精度检测方法应用于重复定位精度检测设备，所述重复定位精度检测设备包括：运动平台、光学检测***、运动控制***和计算分析***；
所述重复定位精度检测方法包括：
通过所述运动平台将所述光学检测***移动至预设的目标高度；
通过所述运动控制***将所述光学检测***移动至预设的目标检测位置；
通过所述光学检测***持续检测被测物体与所述光学检测***的焦点之间的目标距离，并通过所述光学检测***将各所述目标距离输出至所述计算分析***；
通过所述计算分析***根据各所述目标距离确定所述被测物体的重复定位精度。
可选的，在一种可行的实施例中，所述被测物体为扎针机构，所述扎针机构包括：反光板；所述光学检测***包括：微调螺杆和光谱共焦探头；
在所述通过所述光学检测***多次检测被测物体与所述光学检测***的焦点之间的目标距离的步骤之前，所述方法还包括：
通过所述微调螺杆调节所述光谱共焦探头的焦点的位置，以使所述焦点位于所述反光板上。
可选的，在一种可行的实施例中，所述扎针机构还包括：驱动器和针尖，所述反光板与所述针尖的相对位置固定；
在所述通过所述微调螺杆调节所述光谱共焦探头的焦点的位置，以使所述焦点位于所述反光板上的步骤之后，所述方法还包括：
通过所述驱动器驱动所述扎针机构进行高频微距往复运动，以模拟实际连续测试的过程；
所述通过所述光学检测***多次检测被测物体与所述光学检测***的焦点之间的目标距离的步骤，包括：
在所述扎针机构进行高频微距往复运动的过程中，通过所述光谱共焦探头检测所述针尖与所述焦点之间的目标距离。
可选的，在一种可行的实施例中，所述通过所述计算分析***根据各所述目标距离确定所述被测物体的重复定位精度的步骤，包括：
通过所述计算分析***根据各所述目标距离按照预设模板生成目标距离图表；
获取所述目标距离图表中各波谷距离，其中，各所述波谷距离的波动范围即为所述扎针机构的重复定位精度。
本申请还提供一种存储介质，所述存储介质为计算机可读存储介质，所述存储介质上存储有计算机程序，所述计算机程序被处理器执行时实现如上述的重复定位精度检测方法的步骤。
本申请提供一种重复定位精度检测设备、方法及存储介质，重复定位精度检测设备包括：运动平台、光学检测***、运动控制***和计算分析***；所述光学检测***设置在所述运动平台上，并且能够在所述运动平台上沿第一方向进行往复运动，所述光学检测***用于对被测物体离焦点之间的目标距离进行检测和收集，并将所述目标距离输出至所述计算分析***；所述运动控制***用于控制光学检测***的检测位置；所述计算分析***用于根据所述目标距离确定所述被测物体的重复定位精度。
相比于现技术只能依赖丝杆精度及装配精度来控制重复精度的技术手段，本申请重复定位精度检测装置设置有运动平台、光学检测***、运动控制***和计算分析***，该测试设备可以通过运动平台来控制光学检测***的检测高度，然后能够通过光学检测***检测被测物体与焦点之间的目标距离来检测被测物体的在重复测试中的目标距离，再通过计算分析***分析各目标距离，即可计算得到被测物体的重复定位精度。
附图说明
此处的附图被并入说明书中并构成本说明书的一部分,示出了符合本申请的实施例,并与说明书一起用于解释本申请的原理。
为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,对于本领域默认技术人员而言，在不付出创造性劳动性的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为一种扎针机构的结构示意图；
图2为本申请重复定位精度检测设备一实施例涉及的结构示意图；
图3为本申请实施例方案涉及的设备硬件运行环境的重复定位精度检测设备结构示意图；
图4为本申请重复定位精度检测方法第一实施例的流程示意图。
附图标号说明：
本申请目的的实现、功能特点及优点将结合实施例，参照附图做进一步说明。
具体实施方式
应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本申请，并不用于限定本申请。
需要说明的是，在半导体和LED的测试中，经常需要使用探针来对芯粒的焊点（PAD）施加电压，来检测芯粒性能；在探针台上装夹探针并能控制其针尖运动的机构被称之为针座。现行的一种通过电机驱动同步带传递丝杆把旋转运动转换为直线运动的扎针机构被应用于晶圆厂中进行高频微动扎针动作。现有的扎针机构的重复定位精度主要依赖于丝杆精度及装配精度，在使用前无法对该项精度进行有效直观的检测。并且，由于使用工况是在固定高度区间内进行高频往返动作（通常行程在几百微米内），对于丝杆内部滚珠的磨损会更加大，会急剧减少丝杆使用寿命，同时也使得丝杆寿命无法准确预测。请参照图1，图1为一种扎针机构的结构示意图，如图1所示，扎针机构包括针尖、丝杆、电机、同步带轮和同步带，电机驱动同步带轮通过同步带传递的旋转运动使得丝杆进行直线运动，使被测单元焊点（PAD）和探针接触并通电测试。连续测试过程中，针尖会进行行程很小（几百微米）、频率很高的往复运动。
针对上述问题，本申请提供一种重复定位精度检测设备、方法及存储介质，重复定位精度检测设备包括：运动平台、光学检测***、运动控制***和计算分析***；所述光学检测***设置在所述运动平台上，并且能够在所述运动平台上沿第一方向进行往复运动，所述光学检测***用于对被测物体离焦点之间的目标距离进行检测和收集，并将所述目标距离输出至所述计算分析***；所述运动控制***用于控制光学检测***的检测位置；所述计算分析***用于根据所述目标距离确定所述被测物体的重复定位精度。
相比于现技术只能依赖丝杆精度及装配精度来控制重复精度的技术手段，本申请重复定位精度检测装置设置有运动平台、光学检测***、运动控制***和计算分析***，该测试设备可以通过运动平台来控制光学检测***的检测高度，然后能够通过光学检测***检测被测物体与焦点之间的目标距离来检测被测物体的在重复测试中的目标距离，再通过计算分析***分析各目标距离，即可计算得到被测物体的重复定位精度。
下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本申请的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。
在本申请重复定位精度检测设备的第一实施例中，重复定位精度检测设备包括：运动平台、光学检测***、运动控制***和计算分析***；
所述光学检测***设置在所述运动平台上，并且能够在所述运动平台上沿第一方向进行往复运动，所述光学检测***用于对被测物体离焦点之间的目标距离进行检测和收集，并将所述目标距离输出至所述计算分析***；
所述运动控制***用于控制光学检测***的检测位置；
所述计算分析***用于根据所述目标距离确定所述被测物体的重复定位精度。
在本实施例中，重复定位精度检测设备包括有运动平台、光学检测***、运动控制***和计算分析***，光学检测***设置在运动平台上，可以通过运动平台控制光学检测***在Z轴方向即第一方向上移动，从而控制光学检测***的检测高度，运动控制***可以控制光学检测***的检测位置，已检测被测物体上不同位置的精度，光学检测***可以检测物体与光学检测***的焦点之间的距离，并将检测到的目标距离传输至计算分析***，通过计算分析***分析得到重复定位精度。
进一步的，在一种可行的实施例中，光学检测***包括：微调螺杆；
所述微调螺杆用于调节所述光学检测***的焦点的位置。
在本实施例中，运动平台只能粗略控制光学检测***的高度，微调螺杆则可以更加精确地控制光学检测***的焦点位置，使焦点处于技术人员希望检测的位置。
进一步的，在一种可行的实施例中，光学检测***包括：光谱共焦探头；
所述光谱共焦探头用于检测所述被测物体与焦点之间的目标距离，并采集所述目标距离，并将所述目标距离输出至所述计算分析***。
需要说明的是，光谱共焦探头是一种通过光学色散原理来测量距离的装置。它利用白光LED光源发出光，通过光纤耦合器后形成点光源。准直和色散物镜聚焦后发生光谱色散，在光轴上形成连续的单色光交点。每一个单色光交点到被测物的距离都不相同。当被测物处于测量范围某一位置时，只有某一波长的光聚焦在被侧面上，满足共焦条件，可以从被测物表面反射回光纤耦合器并进入光谱仪。其他波长的光在被测物表面处于离焦状态，反射回的光在光源处的分布远大于光纤纤芯直径，所以大部分光线无法进入光谱仪。通过光谱仪解码得到光强最大处的波长值，从而测得目标对应的距离值。
在本实施例中，光学检测***中使用到的检测设备为光谱共焦探头，通过光谱共焦探头可以检测被测物体与焦点之间的目标距离，并将目标距离输出至计算分析***。
进一步的，在一种可行的实施例中，被测物体为扎针机构，所述扎针机构包括：反光板、针尖和驱动器；
所述反光板与所述针尖的相对位置固定，所述反光板用于辅助所述光学检测***进行所述针尖离焦点的所述目标距离的检测和收集；
所述驱动器用于驱动所述扎针机构进行高频微距往复运动，以模拟实际连续测试的过程。
在本实施例中，被测物为扎针机构，扎针机构包括反光板、针尖和驱动器。驱动器可以驱动扎针机构进行高频微距往复运动，以模拟扎针机构在实际使用的过程中，针对被测焊点进行测试时进行的往复运动。反光板的主要用途是反射光线，以帮助测量目标物体的距离。通过将反光板放置在目标物体的特定位置，反光板能够将光线反射回光谱共焦探头，进而测量出目标物体的距离信息。反光板和针尖的相对位置是固定的，因此，可以通过测量反光板与焦点之间的目标距离来反应针尖与焦点之间的目标距离。
作为一种示例，请参照图2，图2为本申请重复定位精度检测设备一实施例涉及的结构示意图，如图2所示，重复定位精度检测设备中还可以包括底板9和垫块14，支架8固定在底板上，光学检测***包括微调螺杆10、电机1、光纤2、交叉滚子滑台3、同步带4、丝杆5、探头夹具6和光谱共焦探头7，垫块是用于调整扎针机构11高度的，被测的扎针机构包括反光板12和针尖13，计算分析***可以为计算机，计算机与光谱共焦探头通信连接，在对扎针机构进行检测时，技术人员需要将扎针机构人工锁紧在垫块上，然后对扎针机构、电机、光谱共焦探头和计算机进行通电，再通过支架和微调螺杆调节光谱共焦探头的焦点位置，使焦点处于反光板上，即可在计算机中对应的软件内观察到光谱共焦探头的实时读数，然后再通过驱动器驱动扎针机构进行Z轴方向上的高频微距往复运动，模拟实际连续测试过程，通过光谱共焦探头检测到每次扎针机构的反光板在运动过程中离探头焦点的距离，重复进行往复运动并收集数据，在收集到一定数量的数据后，计算机可以根据收集到的数据自动绘制目标距离的折线图，折线图中可以观察到每次距离最小值（即数据的波谷）的波动范围，根据波动范围即可反映出扎针机构的重复定位精度。
在另一种示例中，可以通过驱动器驱动扎针机构进行大行程的往复运动，并对运动过程进行监测，持续监测目标距离，直至检测到目标距离发生较大变化，即重复定位精度发生较大变化时，即代表扎针机构的丝杆存在磨损，通过检测扎针机构在丝杆存在磨损前的运动次数，即可得到扎针机构的最大运动次数，从而可以设置一个安全运动次数，安全运动次数可以根据最大运动次数与安全系数的乘积来设置，在设置安全运动次数后，技术人员可以在达到安全运动次数后进行更换丝杆运动区间，从而避免丝杆某一段被这种高频微距往复运动损坏，间接增加了该扎针机构的使用寿命。
请参照图3，图3为本申请实施例方案涉及的设备硬件运行环境的重复定位精度检测设备结构示意图。
需要说明的是，本发明实施例涉及的终端设备可以是执行本申请重复定位精度检测设备。
如图3所示，该重复定位精度检测设备还可以包括：处理器1001，例如CPU，存储器1005，通信总线1002。其中，通信总线1002用于实现处理器1001和存储器1005之间的连接通信。存储器1005可以是高速RAM存储器，也可以是稳定的存储器(non-volatile memory)，例如磁盘存储器。存储器1005可选的还可以是独立于前述处理器1001的存储设备。
可选地，该重复定位精度检测设备还可以包括用户接口1003、网络接口1004、等等。用户接口可以包括显示屏(Display)、输入子模块比如键盘(Keyboard)，可选的，用户接口还可以包括标准的有线接口、无线接口。网络接口可选的可包括标准的有线接口、无线接口(如WIFI接口)。
本领域技术人员可以理解，图3中示出的重复定位精度检测设备结构并不构成对重复定位精度检测设备的限定，可以包括比图示更多或更少的部件，或者组合某些部件，或者不同的部件布置。
如图3所示，作为一种计算机可读存储介质的存储器1005中可以包括操作***、网络通信模块、用户接口模块以及计算机程序。操作***是管理和控制重复定位精度检测设备硬件和软件资源的程序，支持计算机程序以及其它软件和/或程序的运行。网络通信模块用于实现存储器1005内部各组件之间的通信，以及与重复定位精度检测装置中其它硬件和软件之间通信。
在图1所示的重复定位精度检测设备中，处理器1001用于执行存储器1005中存储的计算机程序，并执行以下操作：
通过所述运动平台将所述光学检测***移动至预设的目标高度；
通过所述运动控制***将所述光学检测***移动至预设的目标检测位置；
通过所述光学检测***持续检测被测物体与所述光学检测***的焦点之间的目标距离，并通过所述光学检测***将各所述目标距离输出至所述计算分析***；
通过所述计算分析***根据各所述目标距离确定所述被测物体的重复定位精度。
进一步地，处理器1001可以调用存储器1005中存储的计算机程序，还执行以下操作：
通过所述微调螺杆调节所述光谱共焦探头的焦点的位置，以使所述焦点位于所述反光板上。
进一步地，处理器1001可以调用存储器1005中存储的计算机程序，还执行以下操作：
通过所述驱动器驱动所述扎针机构进行高频微距往复运动，以模拟实际连续测试的过程；
进一步地，处理器1001可以调用存储器1005中存储的计算机程序，还执行以下操作：
在所述扎针机构进行高频微距往复运动的过程中，通过所述光谱共焦探头检测所述针尖与所述焦点之间的目标距离。
进一步地，处理器1001可以调用存储器1005中存储的计算机程序，还执行以下操作：
通过所述计算分析***根据各所述目标距离按照预设模板生成目标距离图表；
获取所述目标距离图表中各波谷距离，其中，各所述波谷距离的波动范围即为所述扎针机构的重复定位精度。
基于上述的结构，提出重复定位精度检测方法的各个实施例。
在本申请重复定位精度检测方法的第一实施例中，请参照图4，图4为本申请重复定位精度检测方法第一实施例的流程示意图。
本发明实施例提供了重复定位精度检测方法的实施例，需要说明的是，虽然在流程图中示出了逻辑顺序，但是在某些情况下，可以以不同于此处的顺序执行所示出或描述的步骤。在本实施例中，重复定位精度检测方法的执行主体为重复定位精度检测设备，以下为便于描述，省略执行主体进行各实施例的阐述。在本实施例中，重复定位精度检测方法应用于重复定位精度检测设备，所述重复定位精度检测设备包括：运动平台、光学检测***、运动控制***和计算分析***；所述重复定位精度检测方法包括：
步骤S10，通过所述运动平台将所述光学检测***移动至预设的目标高度；
在本实施例中，运动平台可以控制光学检测***的检测高度，以适配被测物体的高度。
步骤S20，通过所述运动控制***将所述光学检测***移动至预设的目标检测位置；
在本实施例中，运动控制***可以控制光学检测***的检测位置，以使光学检测***检测到被测物体的指定位置。
步骤S30，通过所述光学检测***持续检测被测物体与所述光学检测***的焦点之间的目标距离，并通过所述光学检测***将各所述目标距离输出至所述计算分析***；
在本实施例中，光学检测***能够持续检测被测物体与光学检测***的焦点之间的目标距离，并通过光学检测***将目标距离输出至计算分析***中，以供计算分析***分析被测物体的重复检测精度。
步骤S40，通过所述计算分析***根据各所述目标距离确定所述被测物体的重复定位精度。
在本实施例中，通过计算分析***可以统计各目标距离，分析得出被测物体的重复定位精度。
进一步的，在一种可行的实施例中，所述待测物体为扎针机构，所述扎针机构包括：反光板；所述光学检测***包括：微调螺杆和光谱共焦探头；
在上述的步骤S30中，通过所述光学检测***多次检测待测物体与所述光学检测***的焦点之间的目标距离的步骤之前，所述方法还包括：
步骤a，通过所述微调螺杆调节所述光谱共焦探头的焦点的位置，以使所述焦点位于所述反光板上。
在本实施例中，光学检测***中使用到的检测设备为光谱共焦探头，通过光谱共焦探头可以检测被测物体与焦点之间的目标距离，并将目标距离输出至计算分析***。运动平台只能粗略控制光学检测***的高度，微调螺杆则可以更加精确地控制光学检测***的焦点位置，使焦点处于技术人员希望检测的位置。
进一步的，在一种可行的实施例中，扎针机构还包括：驱动器和针尖，所述反光板与所述针尖的相对位置固定；
在上述的步骤a，通过所述微调螺杆调节所述光谱共焦探头的焦点的位置，以使所述焦点位于所述反光板上的步骤之后，所述方法还包括：
步骤b，通过所述驱动器驱动所述扎针机构进行高频微距往复运动，以模拟实际连续测试的过程；
上述的步骤S30中，通过所述光学检测***多次检测待测物体与所述光学检测***的焦点之间的目标距离的步骤，包括：
步骤S301，在所述扎针机构进行高频微距往复运动的过程中，通过所述光谱共焦探头检测所述针尖与所述焦点之间的目标距离。
在本实施例中，驱动器可以驱动扎针机构进行高频微距往复运动，以模拟扎针机构在实际使用的过程中，针对被测焊点进行测试时进行的往复运动。反光板的主要用途是反射光线，以帮助测量目标物体的距离。通过将反光板放置在目标物体的特定位置，反光板能够将光线反射回光谱共焦探头，进而测量出目标物体的距离信息。反光板和针尖的相对位置是固定的，因此，可以通过测量反光板与焦点之间的目标距离来反应针尖与焦点之间的目标距离。
进一步的，在一种可行的实施例中，上述的步骤S40，通过所述计算分析***根据各所述目标距离确定所述被测物体的重复定位精度的步骤，包括：
步骤S401，通过所述计算分析***根据各所述目标距离按照预设模板生成目标距离图表；
步骤S402，获取所述目标距离图表中各波谷距离，其中，各所述波谷距离的波动范围即为所述扎针机构的重复定位精度。
在本实施例中，计算机可以根据收集到的目标距离按照预设的模板生成目标距离图表，图表中可以反映出针尖在运动过程中距离焦点的距离变化，各个波谷的范围波动即可反应扎针机构的重复定位精度。
具体的，作为一种示例，在对扎针机构进行检测时，技术人员需要将扎针机构人工锁紧在垫块上，然后对扎针机构、电机、光谱共焦探头和计算机进行通电，再通过支架和微调螺杆调节光谱共焦探头的焦点位置，使焦点处于反光板上，即可在计算机中对应的软件内观察到光谱共焦探头的实时读数，然后再通过驱动器驱动扎针机构进行Z轴方向上的高频微距往复运动，模拟实际连续测试过程，通过光谱共焦探头检测到每次扎针机构的反光板在运动过程中离探头焦点的距离，重复进行往复运动并收集数据，在收集到一定数量的数据后，计算机可以根据收集到的数据自动绘制目标距离的折线图，折线图中可以观察到每次距离最小值（即数据的波谷）的波动范围，根据波动范围即可反映出扎针机构的重复定位精度。
在另一种示例中，可以通过驱动器驱动扎针机构进行大行程的往复运动，并对带运动过程进行监测，持续监测目标距离，直至检测到目标距离发生较大变化，即重复定位精度发生较大变化时，即代表扎针机构的丝杆存在磨损，通过检测扎针机构在丝杆存在磨损前的运动次数，即可得到扎针机构的最大运动次数，从而可以设置一个安全运动次数，安全运动次数可以根据最大运动次数与安全系数的乘积来设置，在设置安全运动次数后，技术人员可以在达到安全运动次数后进行更换丝杆运动区间，从而避免丝杆某一段被这种高频微距往复运动损坏，间接增加了该扎针机构的使用寿命。
本申请重复定位精度检测装置的具体实施方式与上述重复定位精度检测方法各实施例基本相同，在此不再赘述。
此外，本申请还提出一种存储介质，所述存储介质为计算机可读存储介质，该存储介质上存储有计算机程序，该计算机程序被处理器执行时实现如上所述本申请重复定位精度检测方法的步骤。
本申请存储介质的具体实施例与上述重复定位精度检测方法各实施例基本相同，在此不作赘述。
需要说明的是，在本文中，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者装置不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者装置所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括该要素的过程、方法、物品或者装置中还存在另外的相同要素。
上述本申请实施例序号仅仅为了描述，不代表实施例的优劣。
通过以上的实施方式的描述，本领域的技术人员可以清楚地了解到上述实施例方法可借助软件加必需的通用硬件平台的方式来实现，当然也可以通过硬件，但很多情况下前者是更佳的实施方式。基于这样的理解，本申请的技术方案本质上或者说对现有技术做出贡献的部分可以以软件产品的形式体现出来，该计算机软件产品存储在一个存储介质（如ROM/RAM、磁碟、光盘）中，包括若干指令用以使得一台终端设备（可以是手机，计算机，服务器，空调器，或者网络设备等）执行本申请各个实施例所述的方法。
以上仅为本申请的优选实施例，并非因此限制本申请的专利范围，凡是利用本申请说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其他相关的技术领域，均同理包括在本申请的专利保护范围内。
Claims (10)
1.一种重复定位精度检测设备，其特征在于，所述重复定位精度检测设备包括：运动平台、光学检测***、运动控制***和计算分析***；
所述光学检测***设置在所述运动平台上，并且能够在所述运动平台上沿第一方向进行往复运动，所述光学检测***用于对被测物体离焦点之间的目标距离进行检测和收集，并将所述目标距离输出至所述计算分析***；
所述运动控制***用于控制光学检测***的检测位置；
所述计算分析***用于根据所述目标距离确定所述被测物体的重复定位精度。
2.根据权利要求1所述的重复定位精度检测设备，其特征在于，所述光学检测***包括：微调螺杆；
所述微调螺杆用于调节所述光学检测***的焦点的位置。
3.根据权利要求2所述的重复定位精度检测设备，其特征在于，所述光学检测***包括：光谱共焦探头；
所述光谱共焦探头用于检测所述被测物体与焦点之间的目标距离，并采集所述目标距离，并将所述目标距离输出至所述计算分析***。
4.根据权利要求3所述的重复定位精度检测设备，其特征在于，所述被测物体为扎针机构，所述扎针机构包括：反光板和针尖；
所述反光板与所述针尖的相对位置固定，所述反光板用于辅助所述光学检测***进行所述针尖离焦点的所述目标距离的检测和收集。
5.根据权利要求4所述的重复定位精度检测设备，其特征在于，所述扎针机构还包括：驱动器；
所述驱动器用于驱动所述扎针机构进行高频微距往复运动，以模拟实际连续测试的过程。
6.一种重复定位精度检测方法，其特征在于，所述重复定位精度检测方法应用于重复定位精度检测设备，所述重复定位精度检测设备包括：运动平台、光学检测***、运动控制***和计算分析***；
所述重复定位精度检测方法包括：
通过所述运动平台将所述光学检测***移动至预设的目标高度；
通过所述运动控制***将所述光学检测***移动至预设的目标检测位置；
通过所述光学检测***持续检测被测物体与所述光学检测***的焦点之间的目标距离，并通过所述光学检测***将各所述目标距离输出至所述计算分析***；
通过所述计算分析***根据各所述目标距离确定所述被测物体的重复定位精度。
7.根据权利要求6所述的重复定位精度检测方法，其特征在于，所述被测物体为扎针机构，所述扎针机构包括：反光板；所述光学检测***包括：微调螺杆和光谱共焦探头；
在所述通过所述光学检测***多次检测被测物体与所述光学检测***的焦点之间的目标距离的步骤之前，所述方法还包括：
通过所述微调螺杆调节所述光谱共焦探头的焦点的位置，以使所述焦点位于所述反光板上。
8.根据权利要求7所述的重复定位精度检测方法，其特征在于，所述扎针机构还包括：驱动器和针尖，所述反光板与所述针尖的相对位置固定；
在所述通过所述微调螺杆调节所述光谱共焦探头的焦点的位置，以使所述焦点位于所述反光板上的步骤之后，所述方法还包括：
通过所述驱动器驱动所述扎针机构进行高频微距往复运动，以模拟实际连续测试的过程；
所述通过所述光学检测***多次检测被测物体与所述光学检测***的焦点之间的目标距离的步骤，包括：
在所述扎针机构进行高频微距往复运动的过程中，通过所述光谱共焦探头检测所述针尖与所述焦点之间的目标距离。
9.根据权利要求8所述的重复定位精度检测方法，其特征在于，所述通过所述计算分析***根据各所述目标距离确定所述被测物体的重复定位精度的步骤，包括：
通过所述计算分析***根据各所述目标距离按照预设模板生成目标距离图表；
获取所述目标距离图表中各波谷距离，其中，各所述波谷距离的波动范围即为所述扎针机构的重复定位精度。
10.一种存储介质，其特征在于，所述存储介质为计算机可读存储介质，所述存储介质上存储有计算机程序，所述计算机程序被处理器执行时实现如权利要求6至9中任一项所述的重复定位精度检测方法的步骤。
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