CN117655434A - 放电加工机及放电加工方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种放电加工机及其放电加工方法，能够抑制对放电加工产生不良影响，并且减少消耗能量。本发明的放电加工机包括：循环泵，将污液槽内的加工液压送至过滤器；喷流泵，将清液槽内的所述加工液向喷流喷嘴压送；送液泵，将所述清液槽内的所述加工液向所述加工槽压送；及泵控制装置，对所述循环泵、所述喷流泵及所述送液泵进行变频器控制。所述泵控制装置包括：喷流泵控制部，构成为设定所述喷流泵的变频器频率；及送液泵控制部，构成为获得经变频器控制的所述喷流泵的所述流量，并基于经变频器控制的所述喷流泵的流量设定所述送液泵的变频器频率。

Description

放电加工机及放电加工方法

技术领域

本发明涉及一种放电加工机及放电加工方法。

背景技术

在放电加工机中，将被加工物收容于加工槽内。被加工物与加工电极(以下简称为电极)相向配置。在被加工物与电极之间形成微小的加工间隙。放电加工机使电极与被加工物相对移动，并且对加工间隙施加加工电压，使加工间隙产生放电，利用放电能量将被加工物加工成所需的形状。放电加工机包括供给箱，所述供给箱包括贮存洁净的加工液的清液槽、及贮存经污染的加工液的污液槽。

放电加工机构成为在加工中能够从喷流喷嘴向加工间隙喷出加工液。作为放电加工机的一种的线放电加工机构成为：在加工中能够从隔着被加工物而上下设置的一对喷流喷嘴与作为电极的线电极同轴地向加工间隙喷出加工液。由喷流喷嘴向加工间隙供给的加工液高效且有效地使加工间隙的绝缘度恢复，将加工间隙冷却，并将加工屑从加工间隙中排除。在将被加工物浸渍于加工液中进行加工时，从清液槽向加工槽供给洁净的加工液，在加工中加工槽充满加工液。由此，在加工中，经由喷流喷嘴或直接向加工槽供给洁净的加工液，并且将经污染的加工液从加工槽排出至污液槽。

送液泵将洁净的加工液从清液槽向加工槽供给。送液泵可向冷却装置或纯水器等装置供给加工液，在将加工液调整为所需的状态后使其返回至清液槽。喷流泵将洁净的加工液从清液槽向喷流喷嘴供给。循环泵将贮存于污液槽中的经污染的加工液向过滤器供给。过滤器在从加工液去除加工屑或污泥后将其排出至清液槽。

日本专利申请案公开平04-176517号公报公开了一种加工液过滤装置，所述加工液过滤装置对向过滤器供给加工液的泵进行变频器控制。

发明内容

[发明所要解决的问题]

近年来，作为可持续的开发目标(SDGs)的一环，业界正积极地致力于节能。在谋求放电加工机的节能化方面，考虑对泵进行变频器控制。

如上文所述，放电加工机包括送液泵、喷流泵、循环泵这三种泵。喷流泵向喷流喷嘴供给加工液，因此会直接影响到加工性能。通过在喷流泵中进行变频器控制，能够设定为适合于加工的喷流压及流量。另一方面，若分开对各泵进行变频器控制，则有对放电加工产生不良影响之虞。例如，在喷流泵的流量降低时，若减少送液泵的流量，则存在加工槽内的液面低于下限的可能性。若加工槽内的加工液不足，则存在对加工的品质造成不良影响的可能性。而且，若循环泵的流量小于送液泵的流量及喷流泵的流量的和，则存在清液槽内的液面低于下限的可能性。若清液槽内的加工液不足，则有错误导致发生停止、或泵发生故障之虞。因此，以往通常对喷流泵进行变频器控制，另一方面，将送液泵及循环泵固定为商用频率。此时，送液泵及循环泵以必要以上的能量运行。而且，在送液泵及循环泵以必要以上的程度运行时，加工液的温度容易上升，因此需要更多能量来冷却加工液。

本公开是鉴于这种情况而完成，其目的在于提供一种不会对放电加工产生不良影响、并且减少了消耗能量的放电加工机及放电加工方法。

[解决问题的技术手段]

根据本公开，提供一种放电加工机，所述放电加工机包括：加工槽，收容被加工物；喷流喷嘴，向由所述被加工物与工具电极所形成的加工间隙喷出加工液；污液槽，贮存从所述加工槽排出的所述加工液；过滤器，对所述加工液进行过滤；循环泵，将所述污液槽内的所述加工液以与变频器频率相对应的流量压送至所述过滤器；清液槽，贮存经所述过滤器过滤的所述加工液；喷流泵，将所述清液槽内的所述加工液以与变频器频率相对应的流量向所述喷流喷嘴压送；送液泵，将所述清液槽内的所述加工液以与变频器频率相对应的流量向所述加工槽压送；及泵控制装置，对所述喷流泵、所述送液泵及所述循环泵进行变频器控制，所述泵控制装置包括：喷流泵控制部，构成为设定所述喷流泵的所述变频器频率；及送液泵控制部，构成为获得经变频器控制的所述喷流泵的所述流量，并基于经变频器控制的所述喷流泵的所述流量设定所述送液泵的所述变频器频率。

而且，根据本公开，提供一种放电加工机的放电加工方法，所述放电加工机包括：加工槽，收容被加工物；喷流喷嘴，向由所述被加工物与工具电极所形成的加工间隙喷出加工液；污液槽，贮存从所述加工槽排出的所述加工液；过滤器，对所述加工液进行过滤；循环泵，将所述污液槽内的所述加工液以与变频器频率相对应的流量压送至所述过滤器；清液槽，贮存经所述过滤器过滤的所述加工液；喷流泵，将所述清液槽内的所述加工液以与变频器频率相对应的流量向所述喷流喷嘴压送；及送液泵，将所述清液槽内的所述加工液以与变频器频率相对应的流量向所述加工槽压送，所述放电加工方法中，设定所述喷流泵的所述变频器频率，获得经变频器控制的所述喷流泵的所述流量，基于经变频器控制的所述喷流泵的所述流量，设定所述送液泵的所述变频器频率。

[发明的效果]

在本公开的放电加工机或放电加工方法中，首先对喷流泵进行变频器控制。其次根据喷流泵的流量，对送液泵进行变频器控制。由此，能够在不会对放电加工造成不良影响的范围内，将送液泵的流量适配化。这样，考虑其他泵的流量而进行综合性的变频器控制，因此能够抑制对放电加工产生不良影响，并且减少消耗能量。

附图说明

图1是本实施方式的线放电加工机的概略图。

图2是表示本实施方式的泵控制装置的框图。

图3是本实施方式的放电加工方法的流程图。

图4是表示本实施方式的喷流泵的流量与送液泵及循环泵的变频器频率的关系的曲线图。

具体实施方式

以下，使用附图对本发明的实施方式进行说明。以下所说明的各种变形例可分别任意组合而实施。

本实施方式的放电加工机为使用作为线状电极的线电极E的线放电加工机1。但本公开可应用于使用作为具有与所需的形状互补的形状的电极的成形电极的雕模放电加工机，也可以应用于使用作为管状电极的管电极的细孔放电加工机。

作为放电加工机所使用的加工液F，大致分为以纯水作为主成分的水系加工液、及以油作为主成分的油系加工液。在本公开中，加工液F可为水系加工液，也可为油系加工液。在本实施方式中，加工液F为水系加工液。

如图1所示，本实施方式的线放电加工机1包括加工槽2、污液槽3、清液槽4、喷流泵5、喷流喷嘴51、送液泵6、冷却装置61、纯水器62、循环泵7、过滤器71、及压力传感器72。包括污液槽3及清液槽4的供给箱邻接于包括加工槽2的线放电加工机1的主体而设置。在本实施方式中，污液槽3及清液槽4分别包括一个槽，但也可以包括多个槽。

线放电加工机1包括泵控制装置8、及数值控制装置9作为控制装置。泵控制装置8及数值控制装置9可一体构成，也可以独立地构成。控制装置可将硬件与软件任意组合而构成，例如包括中央处理器(central processing unit，CPU)、随机存取存储器(randomaccess memory，RAM)、只读存储器(read only memory，ROM)、辅助储存装置、输出输入接口。

加工槽2收容成为放电加工的对象的被加工物W。在加工槽2中，隔着被加工物W设置上侧导引组件及下侧导引组件。上侧导引组件及下侧导引组件分别收容线导件及喷流喷嘴51。一对线导件隔着被加工物W上下设置，将线电极E定位并进行引导。一对喷流喷嘴51向在被加工物W与线电极E之间形成的加工间隙喷出加工液F。线电极E及被加工物W构成为能够相对移动，在放电加工中，被加工物W在形成加工间隙的状态下与线电极E相向配置。电源装置(未图示)经由线电极E及被加工物W向加工间隙供给规定的加工电压，使加工间隙产生放电。通过放电所伴随的放电能量将被加工物W的一部分去除，来进行加工。

污液槽3贮存从加工槽2排出的经污染的加工液F。经污染的加工液F包含放电加工产生的加工屑或污泥。在本实施方式中，污液槽3配置于加工槽2的下方，在加工槽2与污液槽3之间设置包括排水阀的排水管路。在将加工液F贮存于加工槽2时，关闭排水阀迅速进行贮存。在放电加工时打开排水阀，由此使加工槽2内的经污染的加工液F自由掉落，而排出至污液槽3。由此，与利用泵将加工槽2内的加工液F汲起排出相比，能够减少能量，并且能够缩短将加工液F从加工槽2全部排出所需的时间。但也可以视需要设置包括将加工槽2内的加工液F汲起的泵的排出管路来代替排水管路。而且，也可以构成为设置排水管路与排出管路两者，适当切换管路将加工液F回收至污液槽3。

循环泵7压送污液槽3内的经污染的加工液F并供给至过滤器71。过滤器71对经污染的加工液F进行过滤，将加工液F中的加工屑或污泥之类的杂质去除，而将其净化成洁净的加工液F。由此进行加工液F的再利用。经过滤器71过滤的洁净的加工液F被送至清液槽4。即，循环泵7经由过滤器71将加工液F从污液槽3供给至清液槽4。在本实施方式中，设置压力传感器72来测定加工液F对过滤器71施加的压力。压力传感器72设置于能够测定过滤器71的加工液F的压力的位置即可，例如可安装于循环泵7与过滤器71之间的管路。在图1中，图示出两个过滤器71，但设置一个以上过滤器71即可。

清液槽4贮存洁净的加工液F。将清液槽4内的洁净的加工液F送至加工槽2，在洁净的加工液F中进行放电加工。

喷流泵5从清液槽4压送洁净的加工液F，将其供给至喷流喷嘴51。如下文所述，喷流喷嘴51的流量可通过变更喷流泵5的变频器频率而变化。

送液泵6从清液槽4压送洁净的加工液F，将其供给至加工槽2。并且，送液泵6也向冷却装置61及纯水器62供给洁净的加工液F。冷却装置61将在内部流通的加工液F冷却。纯水器62包含离子交换树脂，对在内部流通的加工液F的比电阻值进行调整。纯水器62在使用水系加工液作为加工液F的情况下设置。通过送液泵6送至冷却装置61的加工液F在因放电加工或各泵的运行而上升的温度降低后返回清液槽4。通过送液泵6送至纯水器62的加工液F在因放电加工而降低的电阻值被调整后返回清液槽4。这样，送液泵6向加工槽2供给洁净的加工液F，并且使用冷却装置61及纯水器62将加工液F的温度及比电阻值调整为适合于放电加工的状态。此外，可在送液泵6与加工槽2之间的配管、送液泵6与冷却装置61之间的配管、送液泵6与纯水器62之间的配管分别设置阀，而构成为能够选择性地切换流路。

泵控制装置8进行与各泵相关的控制。如图2所示，泵控制装置8包括喷流泵控制部85、送液泵控制部86及循环泵控制部87。喷流泵控制部85、送液泵控制部86及循环泵控制部87分别对喷流泵5、送液泵6及循环泵7进行变频器控制。在本实施方式中，喷流泵控制部85、送液泵控制部86、循环泵控制部87分别包括可变电压可变频率(Variable VoltageVariable Frequency，VVVF)变频器电路等变频器电路，对应于所设定的频率来适当调整输出电压值。

本实施方式的喷流泵控制部85从数值控制装置9获得加工条件，基于加工条件设定喷流泵5的变频器频率对喷流泵5进行变频器控制，并且算出喷流泵5的流量。本实施方式的送液泵控制部86从喷流泵控制部85获得喷流泵5的流量，基于喷流泵5的流量设定送液泵6的变频器频率对送液泵6进行变频器控制，并且算出送液泵6的流量。本实施方式的循环泵控制部87从喷流泵控制部85获得喷流泵5的流量，从送液泵控制部86获得送液泵6的流量，基于喷流泵5的流量及送液泵6的流量设定循环泵7的变频器频率对循环泵7进行变频器控制，并且算出循环泵7的流量。

此处，参照图3对各泵的变频器控制进行详细说明。首先，喷流泵控制部85从数值控制装置9获得加工条件(S1)，基于加工条件设定喷流泵5的变频器频率(S2)。由此，喷流喷嘴51的流量变化为与加工的状态相应的合适的值。从数值控制装置9获得的加工条件可直接指定变频器频率，也可以为算出变频器频率所需的其他加工条件的参数。算出变频器频率所需的加工条件可包括接通时间(即脉冲宽度)、断开时间、伺服基准电压、输送速度、电压值、喷流喷嘴51与被加工物W的密接情况。加工条件因各加工工序而异，因此根据各加工工序变更喷流泵5的流量。加工条件可通过适应控制在加工中变更。例如，于在加工中被加工物W的板厚改变时，可根据板厚的变化变更加工条件。于在加工中变更加工条件时，喷流泵控制部85以根据加工条件的变更改变喷流泵5的流量的方式进行控制。

在如以上那样进行喷流泵5的变频器控制后，本实施方式的喷流泵控制部85获得喷流泵5的变频器电流值。由此，喷流泵控制部85能够掌握喷流泵5的变频器频率及变频器电流值。可根据变频器频率及变频器电流值推定泵的功率。这样，喷流泵控制部85算出喷流泵5的功率、甚至喷流泵5的流量(S3)。

在进行喷流泵5的变频器控制后，送液泵控制部86从喷流泵控制部85获得喷流泵5的流量(S4)，基于喷流泵5的流量设定送液泵6的变频器频率(S5)。本申请人发现，可通过喷流泵5的流量推定送液泵6的恰当的流量。送液泵控制部86基于喷流泵5的流量算出送液泵6的恰当的流量，并变更送液泵6的变频器频率。这样，送液泵控制部86在不对放电加工造成不良影响的范围内进行控制，使得送液泵6的流量变少。具体而言，送液泵控制部86在喷流泵5的流量相对较多时，减少送液泵6的变频器频率，在喷流泵5的流量相对较少时，增加送液泵6的变频器频率。

如图4所示，本实施方式的送液泵控制部86以与喷流泵5的流量成比例的方式变更送液泵6的变频器频率。但在送液泵6的可设定的频率存在上限值及下限值的情况下，在上限值及下限值的范围内设定变频器频率。

在如以上那样进行送液泵6的变频器控制后，本实施方式的送液泵控制部86获得送液泵6的变频器电流值。由此，送液泵控制部86能够掌握送液泵6的变频器频率及变频器电流值。这样，送液泵控制部86算出送液泵6的功率、甚至送液泵6的流量(S6)。

在送液泵6的控制中，在特定条件下，可优先进行其他控制方法代替上述变频器控制。

例如，在打开线放电加工机1的电源后规定期间(例如30分钟)内，可优先进行用来将加工液F的温度保持为恰当温度的控制。在室温高而需要降低加工液F的温度的情况下，在规定期间内，送液泵控制部86进行控制使送液泵6以最大流量运行，将大量加工液F供给至冷却装置61，由此降低加工液F的温度。在室温低而需要提高加工液F的温度的情况下，在规定期间内，送液泵控制部86关闭通向冷却装置61的管路后，进行控制使送液泵6以最大流量运行，从而提高加工液F的温度。在经过规定期间经过后或加工液F达到所需的温度的时点转变为上述变频器控制。

例如，在待机运转中、即未实施放电加工期间，送液泵控制部86可以如下方式进行控制：降低送液泵6的变频器频率，抑制消耗电力，并且将加工液F的比电阻及温度保持为一定。

在进行喷流泵5及送液泵6的变频器控制后，循环泵控制部87从喷流泵控制部85获得喷流泵5的流量，并且从送液泵控制部86获得送液泵6的流量(S7)，求出喷流泵5的流量及送液泵6的流量的合计值，并基于所述合计值设定循环泵7的变频器频率(S8)。在将清液槽4内的加工液F的量保持为一定以上时，循环泵7的流量为所消耗的加工液F的量、即喷流泵5的流量及送液泵6的流量的合计值以上即可。本实施方式的循环泵控制部87以成为比喷流泵5的流量及送液泵6的流量的合计值略多的流量的方式变更循环泵7的变频器频率。这样，循环泵控制部87在不会对放电加工造成不良影响的范围内，进行控制以使循环泵7的流量变少。

例如，循环泵控制部87可以循环泵7的流量比喷流泵5的流量及送液泵6的流量的合计值多约10％的方式设定循环泵7的变频器频率。但在循环泵7的可设定的频率存在上限值及下限值的情况下，在上限值及下限值的范围内设定变频器频率。

在上述循环泵7的变频器控制后，可对循环泵7的变频器频率进行修正。循环泵7的流量不仅受到循环泵7的变频器频率的影响，而且也受到过滤器71的状态的影响。在过滤器71相对较新时，与过滤器71相对较旧时相比，即使循环泵7的变频器频率相同，也存在流量变得过量的情况。因此，可通过事先制作过滤器71的压力与流量的关系式，而由循环泵控制部87基于压力传感器72的计测值算出实际的循环泵7的流量(S9)。然后，循环泵控制部87在循环泵7的实际流量大于恰当的流量时，在不小于喷流泵5的流量及送液泵6的流量的合计值的范围内进行降低循环泵7的变频器频率的修正(S10)。

可基于循环泵7的流量掌握过滤器71的更换时期。过滤器71随着使用会积聚杂质，导致过滤效率变差。通过事先对循环泵控制部87的变频器频率设定循环泵7的流量的阈值，在循环泵7的流量小于阈值时，可判定为需要更换过滤器71。循环泵控制部87可直接或经由数值控制装置9发出要求更换过滤器71的警告。由此，能够防止在过滤器71的过滤效率变差的状态下继续运转。

根据本公开，可考虑其他泵的流量进行综合性的变频器控制，因此与对各泵独立地进行变频器控制相比，不易对放电加工造成不良影响。由于根据喷流泵5的流量进行送液泵6的变频器控制，故而可防止加工槽2内的加工液F的量不足的情况。由于根据喷流泵5及送液泵6的流量进行循环泵7的变频器控制，故而可防止清液槽4内的加工液F的量不足的情况。这样，能够同时实现消耗能量的减少与稳定的加工。优选基于循环泵7的流量修正循环泵7的变频器频率，因此能够更有效地减少消耗能量。

本公开并不限定与实施方式的结构，可在不脱离本发明的技术思想的范围内进行各种变形或应用。以下，例示本公开的变形例。

在本实施方式中，喷流泵控制部85根据喷流泵5的变频器频率及变频器电流值算出喷流泵5的流量。送液泵控制部86根据送液泵6的变频器频率及变频器电流值算出送液泵6的流量。循环泵控制部87根据压力传感器72所检测到的过滤器71内的压力、即由循环泵7输送的加工液F的压力算出循环泵7的流量。在想要获得更准确的流量的情况下，也可以取而代之，设置测定各泵的流量的流量计，直接测定泵的流量。而且，作为更简单的方法，循环泵控制部87可根据循环泵7的变频器频率及变频器电流值算出循环泵7的流量。

测定或算出流量的方法可考虑所要求的准确性或成本等而任意组合。即，泵控制装置8在获得喷流泵5的流量时，可根据喷流泵5的变频器频率及喷流泵5的变频器电流值算出喷流泵5的流量而获得，也可以根据由压力传感器所测定的由喷流泵5输送的加工液的压力算出喷流泵5的流量而获得，也可以获得由流量计所测定的由喷流泵5输送的加工液的流量。泵控制装置8在获得送液泵6的流量时，可根据送液泵6的变频器频率及送液泵6的变频器电流值算出送液泵6的流量而获得，也可以根据由压力传感器所测定的由送液泵6输送的加工液的压力算出送液泵6的流量而获得，也可以获得由流量计所测定的由送液泵6输送的加工液的流量。泵控制装置8在获得循环泵7的流量时，可根据循环泵7的变频器频率及循环泵7的变频器电流值算出循环泵7的流量而获得，也可以根据由压力传感器72所测定的由循环泵7输送的加工液的压力算出循环泵7的流量而获得，也可以获得由流量计所测定的由循环泵7输送的加工液的流量。

在本实施方式中，循环泵控制部87基于喷流泵5的流量及送液泵6的流量的合计值设定循环泵7的变频器频率。也可以取而代之，在进行喷流泵5的变频器控制后，由循环泵控制部87仅基于喷流泵5的流量设定循环泵7的变频器频率。即，循环泵控制部87可在喷流泵5的流量相对较多时，增加循环泵7的变频器频率，在喷流泵5的流量相对较少时，减少循环泵7的变频器频率。根据本变形例，虽然准确性较差，但能够更简便地进行循环泵7的变频器控制。

Claims (18)

1.一种放电加工机，包括：

加工槽，收容被加工物；

喷流喷嘴，向由所述被加工物与工具电极所形成的加工间隙喷出加工液；

污液槽，贮存从所述加工槽排出的所述加工液；

过滤器，对所述加工液进行过滤；

循环泵，将所述污液槽内的所述加工液以与变频器频率相对应的流量压送至所述过滤器；

清液槽，贮存经所述过滤器过滤的所述加工液；

喷流泵，将所述清液槽内的所述加工液以与变频器频率相对应的流量向所述喷流喷嘴压送；

送液泵，将所述清液槽内的所述加工液以与变频器频率相对应的流量向所述加工槽压送；及

泵控制装置，对所述喷流泵、所述送液泵及所述循环泵进行变频器控制，

所述泵控制装置包括：

喷流泵控制部，构成为设定所述喷流泵的所述变频器频率；及

送液泵控制部，构成为获得经变频器控制的所述喷流泵的所述流量，并基于经变频器控制的所述喷流泵的所述流量设定所述送液泵的所述变频器频率。

2.根据权利要求1所述的放电加工机，其中

所述送液泵控制部构成为：在所述喷流泵的所述流量相对较多时，以所述送液泵的流量相对减少的方式设定所述送液泵的所述变频器频率，在所述喷流泵的所述流量相对较少时，以所述送液泵的流量相对增加的方式设定所述送液泵的所述变频器频率。

3.根据权利要求1所述的放电加工机，其中

所述泵控制装置还包括循环泵控制部，所述循环泵控制部构成为：获得经变频器控制的所述喷流泵的所述流量及经变频器控制的所述送液泵的所述流量，并基于经变频器控制的所述喷流泵的所述流量及经变频器控制的所述送液泵的所述流量的合计值设定所述循环泵的所述变频器频率。

4.根据权利要求3所述的放电加工机，其中

所述循环泵控制部构成为：以所述循环泵的所述流量成为所述合计值以上的方式，设定所述循环泵的所述变频器频率。

5.根据权利要求4所述的放电加工机，其中

所述循环泵控制部构成为：获得经变频器控制的所述循环泵的所述流量，在所述循环泵的所述流量大于恰当的流量时，在所述循环泵的流量成为所述合计值以上的范围内，降低所述循环泵的所述变频器频率。

6.根据权利要求3所述的放电加工机，其中

所述循环泵控制部构成为：获得经变频器控制的所述循环泵的所述流量，在所述循环泵的所述流量小于阈值时，判定为需要更换所述过滤器。

7.根据权利要求1所述的放电加工机，其中

所述泵控制装置

根据所述喷流泵的所述变频器频率及所述喷流泵的变频器电流值算出所述喷流泵的所述流量而获得，

根据由压力传感器所测定的由所述喷流泵输送的所述加工液的压力算出所述喷流泵的所述流量而获得、或

获得由流量计所测定的由所述喷流泵输送的所述加工液的流量。

8.根据权利要求1所述的放电加工机，其中

所述泵控制装置

根据所述送液泵的所述变频器频率及所述送液泵的变频器电流值算出所述送液泵的所述流量而获得，

根据由压力传感器所测定的由所述送液泵输送的所述加工液的压力算出所述送液泵的所述流量而获得、或

获得由流量计所测定的由所述送液泵输送的所述加工液的流量。

9.根据权利要求1所述的放电加工机，其中

所述泵控制装置

根据所述循环泵的所述变频器频率及所述循环泵的变频器电流值算出所述循环泵的所述流量而获得，

根据由压力传感器所测定的由所述循环泵输送的所述加工液的压力算出所述循环泵的所述流量而获得、或

获得由流量计所测定的由所述循环泵输送的所述加工液的流量。

10.根据权利要求1所述的放电加工机，其还包括：

冷却装置，将所述加工液冷却并向所述清液槽排出，

所述送液泵将所述清液槽内的所述加工液向所述冷却装置压送。

11.根据权利要求1所述的放电加工机，其还包括：

纯水器，调整所述加工液的比电阻并向所述清液槽排出，

所述送液泵将所述清液槽内的所述加工液向所述纯水器压送。

12.根据权利要求1所述的放电加工机，其中

所述工具电极为线电极。

13.一种放电加工方法，为放电加工机的放电加工方法，所述放电加工机包括：

加工槽，收容被加工物；喷流喷嘴，向由所述被加工物与工具电极所形成的加工间隙喷出加工液；污液槽，贮存从所述加工槽排出的所述加工液；过滤器，对所述加工液进行过滤；循环泵，将所述污液槽内的所述加工液以与变频器频率相对应的流量压送至所述过滤器；清液槽，贮存经所述过滤器过滤的所述加工液；喷流泵，将所述清液槽内的所述加工液以与变频器频率相对应的流量向所述喷流喷嘴压送；及送液泵，将所述清液槽内的所述加工液以与变频器频率相对应的流量向所述加工槽压送，

所述放电加工方法中，

设定所述喷流泵的所述变频器频率，

获得经变频器控制的所述喷流泵的所述流量，

基于经变频器控制的所述喷流泵的所述流量，设定所述送液泵的所述变频器频率。

14.根据权利要求13所述的放电加工方法，其中

在所述喷流泵的所述流量相对较多时，以所述送液泵的流量相对减少的方式设定所述送液泵的所述变频器频率，在所述喷流泵的所述流量相对较少时，以所述送液泵的流量相对增加的方式设定所述送液泵的所述变频器频率。

15.根据权利要求13所述的放电加工方法，其中

获得经变频器控制的所述喷流泵的所述流量及经变频器控制的所述送液泵的所述流量，

并基于经变频器控制的所述喷流泵的所述流量及经变频器控制的所述送液泵的所述流量的合计值设定所述循环泵的所述变频器频率。

16.根据权利要求15所述的放电加工方法，其中

以所述循环泵的所述流量成为所述合计值以上的方式，设定所述循环泵的所述变频器频率。

17.根据权利要求16所述的放电加工方法，其中

获得经变频器控制的所述循环泵的所述流量，

在所述循环泵的所述流量大于恰当的流量时，在所述循环泵的流量成为所述合计值以上的范围内，降低所述循环泵的所述变频器频率。

18.根据权利要求15所述的放电加工方法，其中

获得经变频器控制的所述循环泵的所述流量，

在所述循环泵的所述流量小于阈值时，判定为需要更换所述过滤器。