JP5493841B2 - 電解加工装置 - Google Patents

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Description

本発明は、電解加工装置及び方法に関する。
電解加工は、周知のように、電解液中に被加工金属と工具電極とを対峙させて浸漬させ、工具電極を移動させつつ電解液を介して両者間に通電することにより被加工金属の表面に所定の機械加工を施すものである。このような電解加工は、加工速度が速いことと共に加工精度が高いことから、タービン翼や自動車部品等の大量かつ高精度を要する金属部品の加工に利用されている。また、このような電解加工における加工精度は、周知の平衡加工隙間理論に従うものであり、一般には電解液のpH値、比重、温度、圧力等を一定値に管理することにより維持されている。
下記特許文献1には、このような電解加工の関連技術として、電解加工に使用された電解液(硝酸塩を主成分とするもの)を再生する技術が開示されている。すなわち、電解液における性状は加工精度に大きな影響を与えるので、特許文献1の技術は、電解加工に使用されたことによって不純物の混入状態が変化した電解液について、アルカリ沈殿法によってイオン化した不純物を除去することによって使用前の状態に再生するものである。
特開2008−063599号公報
ところで、上記特許文献1の技術は、アルカリ沈殿法によってイオン化した不純物を除去するものなので、再生方法として不十分なものである。すなわち、特許文献1の技術によって再生された電解液を使用して電解加工を行った場合、新品の電解液を使用した場合との間に加工精度の差異が発生するので、所望の加工精度を得ることができないという問題点がある。
本発明は、上述した事情に鑑みてなされたものであり、従来よりも高精度な電解加工を実現することを目的とするものである。
上記目的を達成するために、本発明では、電解加工装置に係る第1の解決手段として、電解液供給手段から供給された電解液を用いて加工機本体で加工対象物に所望の機械加工を施す電解加工装置であって、電解液供給手段は、電解液の導電率を一定に管理して加工機本体に供給する、という手段を採用する。
電解加工装置に係る第2の解決手段として、上記第1の解決手段において、電解液供給手段は、加工機本体で使用された電解液(使用済電解液)を回収し、当該使用済電解液の導電率を一定に調整して加工機本体に循環的に供給する、という手段を採用する。
電解加工装置に係る第3の解決手段として、上記第2の解決手段において、電解液供給手段は、循環量を一定に管理する循環量管理手段を備える、という手段を採用する。
電解加工装置に係る第4の解決手段として、上記第3の解決手段において、循環量管理手段は、循環している電解液と電解液の溶媒とを混合させる混合器と、前記混合器における液面高さを計測するレベル計と、該レベル計の計測値に応じた量の溶媒を混合器に供給する溶媒供給手段とを具備する、という手段を採用する。
電解加工装置に係る第5の解決手段として、上記第1〜第4のいずれかの解決手段において、電解液供給手段は、電解液の温度を一定に管理する温度調節器を備える、という手段を採用する。
電解加工装置に係る第6の解決手段として、上記第2〜第5のいずれかの解決手段において、電解液供給手段は、加工機本体への供給直前における電解液の導電率を計測する導電率計と、導電率の管理目標値よりも高い導電率の電解液(高導電率電解液)を循環している電解液に供給する高導電率電解液供給手段と、加工機本体から回収した電解液の一部を外部に排出する電解液排出手段と、導電率計の計測結果に基づいて電解液の導電率が管理目標値となるように高導電率電解液供給手段及び電解液排出手段を制御する制御装置とを備える、という手段を採用する。
電解加工装置に係る第7の解決手段として、上記第2〜第6のいずれかの解決手段において、電解液供給手段は、加工機本体から回収した使用済電解液からスラッジを除去するスラッジ除去機を備える、という手段を採用する。
電解加工装置に係る第8の解決手段として、上記第7の解決手段において、スラッジ除去機は、液体サイクロンあるいは遠心沈降機である、という手段を採用する。
電解加工装置に係る第9の解決手段として、上記第1〜第8のいずれかの解決手段において、電解液供給手段は、加工機本体から回収した使用済電解液から金属イオンを除去するイオン除去機を備える、という手段を採用する。
また、本発明では、電解加工方法に係る第1の解決手段として、電解液を用いて加工対象物に所望の機械加工を施す電解加工装置であって、電解液の導電率を一定に維持して加工対象物を電解加工する、という手段を採用する。
電解加工方法に係る第2の解決手段として、上記第1の解決手段において、電解加工に使用された電解液(使用済電解液)を回収し、当該使用済電解液の導電率を一定に調整して電解加工に循環供給する、という手段を採用する。
電解加工方法に係る第3の解決手段として、上記第1または第2の解決手段において、加工機本体への供給直前における電解液の導電率を計測し、導電率計の計測結果に基づいて電解液の導電率が管理目標値となるように、導電率の管理目標値よりも高い導電率の電解液(高導電率電解液)を循環している電解液に供給あるいは加工機本体から回収した電解液の一部を外部に排出することにより電解液の導電率を一定に維持する、という手段を採用する。
本発明によれば、電解液の導電率を一定に維持して加工対象物を電解加工するので、従来よりも高精度な電解加工を実現することが可能である。
本発明の第1実施形態に係る電解加工装置Aの機能構成を示すブロック図である。 本発明の第2実施形態に係る電解加工装置Bの機能構成を示すブロック図である。
以下、図面を参照して、本発明の実施形態について説明する。
〔第1実施形態〕
最初に、第1実施形態に係る電解加工装置A及び当該電解加工装置Aを用いた電解加工方法について説明する。本電解加工装置Aは、図1に示されているように、加工機本体1、スラッジ除去機2、混合器3、脱塩素水貯留槽4、制御弁5、レベル計6、循環ポンプ7、温度調節器8、導電率計9、供給ポンプ10、排出ポンプ11、高導電率電解液貯留槽12、制御装置13を備えている。
加工機本体1は、温度調節器8から供給された電解液Xを用いて被加工金属に所望の機械加工を施すものである。この加工機本体1は、一般的な電解加工機と同等な構成を有するものであり詳細構成の説明は省略するが、被加工金属と共に電解液X中に浸漬させた工具電極を被加工金属に対して相対的に順次移動させつつ電解液を介して両者間に加工電流を流し、当該加工電流によって被加工金属の表面から当該被加工金属を構成する成分金属を電解液X中に溶出させることにより、被加工金属の表面に所定の機械加工を施すものである。上記電解液Xは、例えば塩素成分が除去された水(脱塩素水)を溶媒とし、また硝酸ナトリウム(NaNO)を溶質とする導電性水溶液である。
スラッジ除去機2は、このような加工機本体1から排出された電解液X、つまり被加工金属の加工に使用された使用済電解液から固体成分であるスラッジを除去するものである。上記スラッジは、電解液X中に溶出した上記成分金属の水酸化物を主成分とする粒状物である。スラッジ除去機2は、比重分離を行う沈殿槽、遠心沈降機(遠心分離機)あるいは液体サイクロンであり、上記粒状物であるスラッジを効果的に捕集して電解液Xから分離・除去し、除去済みの電解液Xを混合器3に排出する。
ここで、沈殿槽は、比重を利用して使用済電解液からスラッジを分離するので、スラッジ除去機2として採用した場合はスラッジ除去機2が大型化すると共に電解液の総量が大容量化する。しかしながら、遠心沈降機(遠心分離機)及び液体サイクロンは、このような沈殿槽に比べると、スラッジ除去機2を大幅に小型化することが可能であると共に電解液の少量化を実現することができる。詳細については後述するが、電解液Xの導電率を高精度に管理する等の目的上、本電解加工装置Aのスラッジ除去機2としては、遠心沈降機あるいは液体サイクロンが好ましい。
混合器3は、スラッジ除去機2から供給された電解液Xに制御弁5を介して脱塩素水貯留槽4から供給された脱塩素水(電解液Xの溶媒)を攪拌・混合する容器である。脱塩素水貯留槽4は、電解液Xの溶媒である脱塩素水を貯留する容器である。制御弁5は、上記混合器3と脱塩素水貯留槽4との間に設けられ、後述するレベル計6の計測値に基づいて脱塩素水貯留槽4から混合器3に供給する脱塩素水の量を調節するものである。また、上記混合器3には、図示するようにレベル計6が付設されている。このレベル計6は、混合器3における電解液Xの液面高さを計測する計測器であり、計測結果を液面計測値として制御弁5に出力する。
循環ポンプ7は、上記混合器3から電解液Xを払い出して加工機本体1に供給するポンプである。温度調節器8は、図示するように循環ポンプ7と加工機本体1との間に設けられ、電解液Xの温度計測値に基づいて電解液Xを加熱/冷却することによって電解液Xの温度を所定の温度管理目標値に(一定に)管理(維持)する装置である。
ここで、電解液Xに着目すると、当該電解液Xは、上述した加工機本体1、スラッジ除去機2、混合器3、循環ポンプ7及び温度調節器8から形成される電解液循環ループ内を循環する。すなわち、加工機本体1において被加工金属の加工に供された電解液X(使用済電解液)は、廃棄されるのではなく回収され、スラッジ除去機2、混合器3、循環ポンプ7及び温度調節器8を経由して加工機本体1に循環的に再供給される。
導電率計9は、図示するように温度調節器8から加工機本体1への供給される電解液X、つまり加工機本体1への供給直前における電解液Xの導電率を計測する計測器である。この導電率計9は、電解液Xの導電率計測値を制御量として制御装置13に出力する。
供給ポンプ10は、スラッジ除去機2から混合器3に供給される電解液Xに、高導電率電解液貯留槽12から払い出した高導電率電解液を付加するためのポンプである。排出ポンプ11は、加工機本体1から回収した電解液X(使用済電解液)の一部を外部に排出する電解液排出手段である。高導電率電解液貯留槽12は、導電率管理目標値よりも高い導電率の電解液、つまり高導電率電解液を貯留する容器である。上記供給ポンプ10及び高導電率電解液貯留槽12は、上記電解液循環ループを循環している電解液Xに高導電率電解液を供給する高導電率電解液供給手段を構成している。
制御装置13は、上述した各ポンプ、つまり循環ポンプ7、供給ポンプ10及び排出ポンプ11の作動を制御するものである。この制御装置13は、電解液Xが電解液循環ループを予め決められた一定流量で循環するように循環ポンプ7を作動させる一方、導電率計9から入力される導電率計測値(加工機本体1への供給直前における電解液Xの導電率)が導電率管理目標値と一致するように、つまり一定値となるように供給ポンプ10及び排出ポンプ11を制御する。すなわち、この制御装置13は、導電率計測値が導電率管理目標値よりの低い場合は供給ポンプ10を作動させる一方、導電率計測値が導電率管理目標値よりの高い場合は排出ポンプ11を作動させる。なお、制御装置13による電解液Xの導電率制御は、本電解加工装置Aの最も特徴とする点であり、以下に詳説する。
上述した本電解加工装置Aの各構成要素のうち、加工機本体1を除く構成要件は、電解液Xの溶質である硝酸ナトリウム(NaNO)の濃度を調整することによって電解液Xの導電率を一定に管理して加工機本体1に供給する電解液供給手段を構成するものである。また、混合器3、脱塩素水貯留槽4、制御弁5及びレベル計6は、電解液循環ループを循環する電解液Xの量(循環量)を一定に管理する循環量管理手段を構成している。また、このような循環量管理手段の構成要素のうち、制御弁5及びレベル計6は、溶媒供給手段を構成している。
次に、このような本電解加工装置Aを用いた電解加工方法について説明する。
本電解加工装置Aでは、加工機本体1で被加工金属の加工に供された電解液X(使用済電解液)をスラッジ除去機2に回収し、該スラッジ除去機2においてスラッジを除去することにより使用済電解液を電解加工に供することができる性状に再生(回復)させて加工機本体1に供給する。すなわち、制御装置13が循環ポンプ7を制御することによって、電解液Xは電解液循環ループを予め決められた一定流量で循環し、この循環において使用と再生とが繰り返される。
ここで、特にスラッジ除去機2におけるスラッジの除去の際に電解液Xの一部がスラッジに付着する等に起因して、加工機本体1の運転を継続した場合に電解液Xの循環量及び導電率が変動する。電解液Xの循環量及び導電率のうち、循環量は加工機本体1の運転の継続に従って徐々に減少する傾向にあるが、導電率は、必ずしも低下するだけではなく、被加工金属から溶出した成分金属が電解液X中に溶け込む等の要因から上昇することもある。
また、電解加工の加工精度は、周知のように平衡加工隙間理論に従うものであり、電解液Xの性状や工具電極の被加工金属に対する距離精度等に依存するものであるが、最も直接的な精度因子は、加工電流の設定精度である。そして、電解液Xの導電率は、加工電流の設定精度に最も直接的に影響を与えるパラメータである。
本電解加工装置Aでは、このような知見に基づいて加工電流の設定精度に影響が強い電解液Xの導電率を一定に管理して加工機本体1に供給する電解液供給手段を備えている。すなわち、電解液供給手段における制御装置13は、導電率計測値が導電率管理目標値よりの低い場合は供給ポンプ10を作動させて高導電率電解液を付加させる一方、導電率計測値が導電率管理目標値よりの高い場合は排出ポンプ11を作動させて電解液Xを電解液循環ループ外に排出させることによって、導電率計9から入力される導電率計測値、つまり加工機本体1への供給直前における電解液Xの導電率が導電率管理目標値と一致するように制御する。
ここで、本電解加工装置Aでは、スラッジ除去機2として、電解液Xに対する容積が極力小さい遠心沈降機あるいは液体サイクロンを採用するので、比較的大きな容積を必要とする沈殿槽を採用した場合に比較して、電解液循環ループにおける電解液Xの循環量を少なくすることができる。このような電解液Xの循環量の少量化は、上述した電解液供給手段における電解液Xの導電率の一定制御に寄与する。
すなわち、電解液Xの循環量が少ない場合、電解液Xの導電率を導電率管理目標値に維持するために必要となる高導電率電解液の付加量及び電解液Xの排出量を少なくすることができるので、電解液Xの導電率制御における制御応答性を良くすることが可能であり、よって電解液Xの導電率を導電率管理目標値に対して高精度に維持することが可能となる。また、電解液Xの循環量が少ないことにより、温度調節器8の消費エネルギを低減することができる。
また、スラッジ除去機2として遠心沈降機あるいは液体サイクロンを採用した場合には、沈殿槽を採用した場合よりも電解液循環ループにおける電解液Xの循環量を少なくすることができるので、沈殿槽を採用した場合よりも排出ポンプ11から外部に排出される使用済電解液の量を低減できる。したがって、遠心沈降機あるいは液体サイクロンを採用した場合には、外部に排出された使用済電解液の処理に要するコストを沈殿槽を採用した場合よりも低減することができる。
また、本電解加工装置Aでは、排出ポンプ11を作動させることによって電解液Xの一部が電解液循環ループの外部に排出されるので、電解液Xの循環量は減少するが、当該循環量は循環量管理手段によって循環量管理目標値に自動復帰する。すなわち、レベル計6が計測する混合器3における電解液Xの液面レベル(液面計測値)は電解液Xの循環量に依存する。制御弁5は、このような液面計測値が管理目標値を下回ると開口して脱塩素水貯留槽4から混合器3に脱塩素水を供給することにより、電解液Xの循環量を循環量管理目標値に維持させる。
このような本実施形態によれば、電解液Xの導電率を一定に管理して加工機本体1に供給するので、加工機本体1において被加工金属を従来よりも高精度に加工することができる。平衡加工隙間理論に基づいて電解液Xの導電率と加工精度の関係を見ると、例えば、5重量%の硝酸ナトリウム水溶液を電解液Xとして用い、ステンレス材(SUS304)からなる被加工金属を加工電極の送り速度:0.2mm/min、印加電圧:15Vとして電解加工する場合、被加工金属の加工精度として0.2mmを実現するためには、電解液Xの導電率を2S/m以内に維持する必要がある。なお、この2S/m以内という導電率は、硝酸ナトリウム(媒質)の濃度に換算すると、3〜6重量%に相当する値である。
本実施形態における導電率計9は、計測範囲及び計測分解能の点で上記2S/m程度の導電率を十分に計測することが可能であり、また制御装置13は導電率計9から入力される導電率計測値に基づいて供給ポンプ10あるいは排出ポンプ11を制御することにより電解液Xの導電率を上記2S/m以内に十分に維持することが可能である。したがって、本実施形態によれば、上記0.2mmという加工精度を十分に実現することが可能である。
また、本実施形態によれば、スラッジ除去機2として容積が極力小さいサイクロンあるいは遠心沈降機を採用するので、比較的大きな容積を必要とする沈殿槽を採用した場合よりも電解液Xの循環量を少なくすることが可能であり、これによって応答性良く電解液Xの導電率を管理・制御することができるので、加工精度の変動幅を小さくすることが可能である。
また、本電解加工装置Aでは、温度調節器8によって電解液Xの性状の1つである温度が温度管理目標値に維持されるので、これによっても被加工金属の加工精度を高精度化することが可能である。
さらには、電解液Xの循環量が一定に維持されるので、加工機本体1において電解液Xが不足するような事態を回避することが可能である。
〔第2実施形態〕
次に、第2実施形態に係る電解加工装置B及び当該電解加工装置Bを用いた電解加工方法について説明する。
本電解加工装置Bは、図2に示すように、第1実施形態に係る電解加工装置Aにイオン除去機14を付加した構成を有する。すなわち、本電解加工装置Bは、スラッジ除去機2における電解液Xの排出側にイオン除去機14を設けたものである。このイオン除去機14は、加工機本体1から排出された電解液X(使用済電解液)に含まれる金属イオンを除去するためのイオン交換樹脂である。この金属イオンは、電解液Xが本来含んでいる成分とは異なるものであり、加工機本体1における電解加工に悪影響を与える場合があるので、本電解加工装置Bでは、イオン除去機14を備えた構成を採用する。
このような本実施形態では、イオン除去機14を備えるので、第1実施形態に係る電解加工装置Aよりも精度良く被加工金属を電解加工することができると共に、加工精度の変動幅を第1実施形態に係る電解加工装置Aよりも小さくすることが可能である。
なお、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、例えば以下のような変形例が考えられる。
(1)上記電解加工装置A,Bは電解液Xを循環させる電解液循環ループを備えるが、本発明はこれに限定されない。使用済電解液を再生して加工機本体1で再使用するのではなく、新規の電解液Xを加工機本体1に順次供給して被加工金属を電解加工するように構成し、上記新規の電解液Xの導電率が導電率管理目標値と一致するように管理して加工機本体1に供給するようにしても良い。
(2)上記電解加工装置A,Bでは、電解液Xの導電率、温度、循環量を管理するが、これら管理パラメータのうち、電解液Xの温度及び循環量の管理については、必要に応じて省略しても良い。また、電解液Xの温度及び循環量に代えて、あるいは電解液Xの温度及び循環量に加えて、電解液Xに関する他の性状(pH値、比重、温度、圧力等)を管理するようにしても良い。
(3)さらに、上記電解加工装置A,Bでは、導電率計測値が導電率管理目標値よりの低い場合は電解液循環ループを循環している電解液Xに高導電率電解液を付加させる一方、導電率計測値が導電率管理目標値よりの高い場合は電解液循環ループを循環している電解液Xを電解液循環ループ外に排出させることによって、電解液Xの導電率が導電率管理目標値と一致するように制御するが、電解液Xの導電率に関する管理・制御手法は、これに限定されない。
A、B…電解加工装置、X…電解液、1…加工機本体、2…スラッジ除去機、3…混合器、4…脱塩素水貯留槽、5…制御弁、6…レベル計、7…循環ポンプ、8…温度調節器、9…導電率計、10…供給ポンプ、11…排出ポンプ、12…高導電率電解液貯留槽、13…制御装置、14…イオン除去機

Claims (6)

  1. 電解液供給手段から供給された電解液を用いて加工機本体で加工対象物に所望の機械加工を施す電解加工装置であって、
    電解液供給手段は、加工機本体で使用された電解液(使用済電解液)を回収し、当該使用済電解液の導電率を一定に調整して加工機本体に循環的に供給し、また循環量を一定に管理する循環量管理手段を備え、
    循環量管理手段は、
    循環している電解液と電解液の溶媒とを混合させる混合器と、
    前記混合器における液面高さを計測するレベル計と、
    該レベル計の計測値に応じた量の溶媒を混合器に供給する溶媒供給手段と
    を具備することを特徴とする電解加工装置。
  2. 電解液供給手段は、電解液の温度を一定に管理する温度調節器を備えることを特徴とする請求項1記載の電解加工装置。
  3. 電解液供給手段は、
    加工機本体への供給直前における電解液の導電率を計測する導電率計と、
    導電率の管理目標値よりも高い導電率の電解液(高導電率電解液)を循環している電解液に供給する高導電率電解液供給手段と、
    加工機本体から回収した電解液の一部を外部に排出する電解液排出手段と、
    導電率計の計測結果に基づいて電解液の導電率が管理目標値となるように高導電率電解液供給手段及び電解液排出手段を制御する制御装置と
    を備えることを特徴とする請求項1または2記載の電解加工装置。
  4. 電解液供給手段は、加工機本体から回収した使用済電解液からスラッジを除去するスラッジ除去機を備えることを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載の電解加工装置。
  5. スラッジ除去機は、液体サイクロンあるいは遠心沈降機であることを特徴とする請求項4記載の電解加工装置。
  6. 電解液供給手段は、加工機本体から回収した使用済電解液から金属イオンを除去するイオン除去機を備えることを特徴とする請求項1〜5のいずれか一項に記載の電解加工装置。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6413161B2 (ja) * 2014-03-19 2018-10-31 三菱重工業株式会社 電解加工システム及び電解加工方法、タービン翼の製造方法
WO2019207635A1 (ja) * 2018-04-24 2019-10-31 三菱電機株式会社 電気分解装置及び放電加工装置

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5226357B2 (ja) * 1972-04-25 1977-07-13
JPS63134126A (ja) * 1986-11-21 1988-06-06 Mitsubishi Electric Corp 放電加工装置の加工槽液面調整装置
JPH0475820A (ja) * 1990-07-13 1992-03-10 Fanuc Ltd ワイヤカット放電加工機の水質制御装置
JPH04141320A (ja) * 1990-10-02 1992-05-14 Mitsubishi Electric Corp 放電加工機用加工液供給装置
US20070034502A1 (en) * 2005-08-12 2007-02-15 Masayuki Kumekawa Electrolytic processing apparatus

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