CN117355735A - 泄漏检测器 - Google Patents
泄漏检测器 Download PDFInfo
- Publication number
- CN117355735A CN117355735A CN202280037452.XA CN202280037452A CN117355735A CN 117355735 A CN117355735 A CN 117355735A CN 202280037452 A CN202280037452 A CN 202280037452A CN 117355735 A CN117355735 A CN 117355735A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- port
- pressure
- valve
- leak detection
- isolation valve
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 35
- 238000002955 isolation Methods 0.000 claims abstract description 34
- 238000012360 testing method Methods 0.000 claims abstract description 26
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 15
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 claims description 5
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 5
- 238000009530 blood pressure measurement Methods 0.000 claims description 4
- 238000009795 derivation Methods 0.000 claims description 2
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims description 2
- 239000011148 porous material Substances 0.000 claims description 2
- 238000013022 venting Methods 0.000 description 13
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01M3/00—Investigating fluid-tightness of structures
- G01M3/02—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum
- G01M3/04—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point
- G01M3/20—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material
- G01M3/202—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material using mass spectrometer detection systems
- G01M3/205—Accessories or associated equipment; Pump constructions
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01M3/00—Investigating fluid-tightness of structures
- G01M3/02—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum
- G01M3/26—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by measuring rate of loss or gain of fluid, e.g. by pressure-responsive devices, by flow detectors
- G01M3/28—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by measuring rate of loss or gain of fluid, e.g. by pressure-responsive devices, by flow detectors for pipes, cables or tubes; for pipe joints or seals; for valves ; for welds
- G01M3/2876—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by measuring rate of loss or gain of fluid, e.g. by pressure-responsive devices, by flow detectors for pipes, cables or tubes; for pipe joints or seals; for valves ; for welds for valves
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Examining Or Testing Airtightness (AREA)
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Abstract
一种泄漏检测装置(10)，包括气体检测器(12)，真空泵(14)，用于测试对象(22)的端口和将所述端口连接到所述气体检测器(12)和真空泵(14)的气体引导路径；其特征在于：所述端口(16)包括用于选择开启或关闭所述端口(16)的可控隔离阀(20)，以及设置了压力测量装置(24)，其用于测量端口(16)处的压力，以及包括可控排气阀(V3、V3a)的连接线(18)，所述可控排气阀(V3、V3a)用于选择性地使周围大气中的气体以脉冲方式流入所述端口(16)，其中，所述泄漏检测装置(10)被配置为在所述排气阀开启前在第一时间t1处测量所述端口(16)处的压力p(t1)；然后以脉冲式方式开启和关闭所述排气阀，并在所述排气阀关闭后至少在时间t2处测量所述端口(16)处的压力p(t2)，t2>t1，并根据测量的压力p(t1)，p(t2)确定所述隔离阀(20)是否打开或关闭。
Description
本发明涉及一种泄露检测装置和一种泄漏检测装置的排气方法。
用于测试测试对象气密性的泄漏检测装置通常包括气体检测器，该气体检测器可以是质谱仪和真空泵，在质谱仪的情况下，真空泵是两级涡轮分子泵，其高真空泵级将质谱仪排出，其预真空泵级将用于测试对象的端口排出。该端口通过连接线与气体检测仪和真空泵相连。
将测试对象连接到端口上，并使用真空泵进行抽真空。在有泄漏的测试对象的情况下，气体从测试对象外部流过泄漏处进入测试对象，并从那里供应给气体探测器，由气体探测器检测。为使该泄露检测装置排气，在真空泵、气体检测器和被测对象端口之间的连接线上设有排气阀。例如，在测试对象从端口分离之前，应该执行排气。但是，同时对测试对象进行排气可能是不利的，因为这会改变测试对象中的压力，并且可能污染测试对象的内部。因此，如果测试对象仍以导气方式连接到端口，则应尽可能避免对泄露检测装置进行排气。
本发明的目的是提供一种允许安全且改进的排气的泄漏检测装置。此外，还应提供泄漏检测装置的相应排气方法。
本发明的泄漏检测装置由权利要求1的特征定义。本发明的方法由权利要求5的特征定义。
在所述端口与气体探测器和真空泵连接的端口或连接线上设有压力测量装置，该压力测量装置配置用于测量端口处的压力。连接线上还设置有选择性可控的排气阀。压力测量装置在端口处测量压力p(t1)，然后以脉冲方式暂时打开排气阀，然后再次关闭，使气体在短脉冲期间从周围大气流入连接线并进入端口。在这里，连接线和端口可称为泄露检测装置的入口区域。空气或气体通过排气阀流入入口区域，持续时间短，约为100毫秒，最好小于1秒或小于500毫秒。气体进入后，在端口处测量压力p(t2)。测量压力p(t2)最好在排气后几百毫秒后进行，最好在50毫秒至1秒之间的时间段内进行，最好在排气后约200毫秒后进行。根据测得的压力p(t1)、p(t2)，自动确定连接端口的隔离阀的关闭状态。隔离阀设置在端口和测试对象之间的气体引导连接件中。
如果隔离阀处于关闭状态，则端口处的其他压力p(t1)、p(t2)大于隔离阀处于打开状态时的压力，因为连接到端口的体积大于隔离阀处于关闭状态时的压力。这可以根据压力p(t1)，p(t2)自动确定。
优选地，仅在确定隔离阀关闭时才通过排气阀对泄露检测装置进行自动排气。相应地，如果确定隔离阀关闭，则可以阻止泄露检测装置的自动排气。
对于关闭状态的检测，可以计算两个压力p(t1)，p(t2)的实测值的差值，这是有利的。如果差值大于或等于预定的或可调的阈值，则认为隔离阀关闭，并且可以执行泄漏检测装置的排气。如果差值小于阈值，则认为排气阀打开，并优选自动阻止或抑制泄露检测装置的排气。
作为一种替代或补充，可以根据压力传感器在一段时间内的测量信号的路径，例如通过获得信号路径的梯度和/或曲率，对隔离阀的关闭状态进行评估。作为一种替代或补充，隔离阀关闭状态的评估可以基于压力传感器在一段时间内测量信号路径的数学推导来执行，例如通过获得信号路径的第一个和/或进一步的导数。在这里，导数可以与阈值进行比较。
本发明的方法在泄露检测装置的使用者启动泄露检测装置的排气后有利地执行，例如通过操作相应的键或操作元件，以便仅在隔离阀关闭时才允许排气。
下面将参照图详细说明本发明的实施例。该图显示了实施例的示意图。
具体实施方式
该泄漏检测装置10包括质谱仪形式的气体检测器12和连接在该气体检测器12上的二级真空泵14，以抽空该气体检测器12。端口16通过连接线18以气体引导方式连接到真空泵14和气体探测器12，第一泵级形成预真空级，并通过连接线18将端口16和连接到端口16的测试对象22抽空。而第二泵级的高真空泵形式的中间气体入口也通过连接线18连接到端口16，从而使来自测试对象22的气体逆流进入质谱仪。
连接线18连接泄漏检测装置10的排气阀V3。排气阀V3对大气开启。本发明规定，只有在检测到连接端口16与测试对象22的气体引导连接件中设置的连接端口16的隔离阀20关闭以防止测试对象22的排气时，才可以打开阀门V3以使泄漏检测装置完全排气。有利的是，在第一排气阀V3和/或第二排气阀V3a面向大气的端部设有细孔过滤器(如图所示)，以减少从大气中引入颗粒进入泄露检测装置10和进入测试对象22。
为此，提供图中未示出的控制和评估装置，该装置与连接到气体引导连接件和端口16的压力测量装置24电子连接，第一排气阀V3和第二排气阀V3a也通过节流阀26连接到连接线18和端口16。在泄露检测装置10的用户产生打开第一排气阀V3的电子指令后，例如通过操作相应的钥匙或操作泄露检测装置10的控制面板，首先用压力测量装置24测量端口16处的压力p(t1)。此时，所有通往泵口的阀门都处于关闭状态或事先关闭。此后，第二排气阀V3a被自动暂时打开几百毫秒，然后再次关闭，而第一排气阀V3仍然保持关闭状态，从而向端口16提供短气体脉冲。在第二排气阀V3a关闭后约200毫秒后，通过压力测量装置24测量端口16处的压力p(t2)。
利用评估装置，计算两种压力测量值p(t1)、p(t2)的差值，并将计算出的差值p(t2)-p(t1)与预定阈值进行比较。该阈值可由操作者预先确定和/或预先选择。阈值是根据预期的压力增加来计算的。预期的压力增加来源于通过节流阀26的电导或气体流量Q、关闭阀20和V1之间段的连接线18的体积V以及阀门V3a的开启持续时间t。预期压力增量计算如下:
阈值最好是预期压力增量的一半，即当气体流量Q＝1mbar·l/s，容积为1ltr，阀门开启持续时间t＝100ms时，约为0.05mbar。
如果差值超过阈值或等于阈值，则自动认为隔离阀20已关闭。大于该阈值的差值较大，说明端口16以外的体积较小。另一方面，如果差值低于阈值，则表明在端口16之外有很大的体积，然后评估装置自动认为隔离阀20是打开的。在这种情况下，虽然隔离阀20是打开的，但防止打开第一个排气阀V3或询问用户是否需要打开第一个排气阀V3。在检测到隔离阀20关闭的情况下，第一个排气阀V3自动打开。
在图中未示出的另一个实施例中，在测量两个压力p(t1)，p(t2)之间使用与泄漏检测装置10的排气相同的第一排气阀V3对端口16进行排气。在这种情况下，不需要单独的第二排气阀V3a。
因此，本发明防止了在隔离阀20打开且连接测试对象22时泄漏检测装置10的意外排气，从而防止了测试对象22的排气。为此，在测量端口16处的压力p(t1)后，在端口16处测量第二次压力p(t2)之前，对端口16进行一次测试排气。根据测试排气和端口16处的相关压力增加，确定隔离阀20的关闭状态，以便仅在隔离阀20关闭时才允许泄露检测装置10排气。
Claims (14)
1.一种泄漏检测装置(10)，包括气体检测器(12)，真空泵(14)，用于测试对象(22)的端口和将所述端口连接到所述气体检测器(12)和真空泵(14)的气体引导路径；
其特征在于：
所述端口(16)包括用于选择开启或关闭所述端口(16)的可控隔离阀(20)，以及
设置了压力测量装置(24)，其用于测量端口(16)处的压力，以及包括可控排气阀(V3、V3a)的连接线(18)，所述可控排气阀(V3、V3a)用于选择性地使周围大气中的气体以脉冲方式流入所述端口(16)，其中，所述泄漏检测装置(10)被配置为在所述排气阀开启前在第一时间t1处测量所述端口(16)处的压力p(t1)；然后以脉冲式方式开启和关闭所述排气阀，并在所述排气阀关闭后至少在时间t2处测量所述端口(16)处的压力p(t2)，且t2>t1，并根据测量的压力p(t1)，p(t2)确定所述隔离阀(20)是否打开或关闭。
2.根据权利要求1所述的泄漏检测装置(10)，其特征在于，所述泄漏检测装置(10)包括评估单元，所述评估单元检测所述压力p(t1)、p(t2)的测量值，控制所述排气阀(V3、V3a)，并自动对所述隔离阀的关闭状态进行评估。
3.根据权利要求1或2所述的泄漏检测装置(10)，其特征在于，所述排气阀(V3、V3a)通过节流阀(26)连接到所述连接线(18)上。
4.根据前述权利要求中的一项所述的泄漏检测装置(10)，其特征在于，所述气体检测器(12)为质谱仪，所述真空泵(14)为具有至少两个泵级的高真空泵。
5.根据前述权利要求中的一项所述的泄漏检测装置(10)，其特征在于，所述第一排气阀(V3)和/或所述第二排气阀(V3a)包括朝向大气的开口，所述开口通过细孔过滤器关闭，所述细孔过滤器减少从所述大气中引入的颗粒进入所述泄漏检测装置(10)。
6.一种泄漏检测装置(10)的排气方法，包括：气体探测器(12)、真空泵(14)、用于测试对象(22)的端口(16)和将所述端口(16)连接到所述气体探测器(12)和所述真空泵(14)的连接线(18)，其特征在于具有以下步骤:
在第一时间t1测量所述端口(16)处的压力p(t1)；
将气体以脉冲方式从周围大气或从气体供应装置供应到所述端口(16)；
在向所述端口(16)供气后，在至少第二时间t2测量压力p(t2)，其中，t2>t1；
根据在所述端口(16)处测量的压力的测量值p(t1)，p(t2)，确定连接到所述端口(16)的隔离阀(20)的关闭状态，所述隔离阀(20)被设置成连接到所述端口(16)和测试对象(22)之间。
7.根据前述权利要求所述的方法，其特征在于，为了确定所述隔离阀(20)的所述关闭状态，计算所述压力p(t1)的测量值与所述压力p(t2)的测量值之间的差值，如果所述差值高于阈值，则认为所述隔离阀(20)被关闭，其中，如果所述差值低于所述阈值，则认为所述隔离阀(20)被打开。
8.根据前述权利要求中的一项所述方法，其特征在于，为了确定所述隔离阀(20)的所述关闭状态，获得并评估包括在一段时间内的压力测量值p的测量信号路径，例如通过获得所述信号路径的梯度和/或曲率。
9.根据前述权利要求中的一项所述方法，其特征在于，为了确定所述隔离阀(20)的所述关闭状态，获得并评估包括在一段时间内的压力测量值p的测量信号路径的数学推导，例如通过获得所述信号路径的第一个和/或进一步的导数。
10.根据权利要求7-9中的一项所述方法，其特征在于，如果所述差值高于所述阈值和/或所述隔离阀(20)被认为是关闭的，则所述端口(16)自动排气。
11.根据权利要求7-10中的一项所述方法，其特征在于，如果所述差值低于所述阈值和/或隔离阀(20)被认为是打开的，则所述端口(16)不排气。
12.根据前述权利要求中的一项所述方法，其特征在于，在测量所述压力p(t2)之前和测量所述压力p(t1)之后向所述端口(16)供气，所述供气进行短时间的几秒，优选小于一秒。
13.根据权利要求12的方法，其特征在于，在气体排出所述端口(16)后对所述压力p(t2)进行至少50毫秒至不到一秒的时间的测量。
14.根据前述权利要求中的一项所述装置或方法，其特征在于如果检测到所述隔离阀(20)是打开的，则在所述端口(16)的两个压力p(t1)，p(t2)的测量之间使用不同于用于向所述端口(16)供气的阀门的另一个阀门来对所述泄漏检测装置(10)进行排气。
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE102021115664.5A DE102021115664A1 (de) | 2021-06-17 | 2021-06-17 | Leckdetektoren |
| DE102021115664.5 | 2021-06-17 | ||
| PCT/EP2022/064685 WO2022263163A1 (de) | 2021-06-17 | 2022-05-31 | Leckdetektoren |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN117355735A true CN117355735A (zh) | 2024-01-05 |
Family
ID=82100632
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202280037452.XA Pending CN117355735A (zh) | 2021-06-17 | 2022-05-31 | 泄漏检测器 |
Country Status (7)
| Country | Link |
|---|---|
| EP (1) | EP4356093A1 (zh) |
| JP (1) | JP2024524848A (zh) |
| KR (1) | KR20240019104A (zh) |
| CN (1) | CN117355735A (zh) |
| DE (1) | DE102021115664A1 (zh) |
| TW (1) | TW202300879A (zh) |
| WO (1) | WO2022263163A1 (zh) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN117906864B (zh) * | 2024-03-19 | 2024-05-28 | 盐城市计量测试所 | 一种独立通风笼具的泄漏检测***及检测方法 |
Family Cites Families (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4499752A (en) * | 1983-06-22 | 1985-02-19 | Varian Associates, Inc. | Counterflow leak detector with cold trap |
| JP2655315B2 (ja) | 1994-06-29 | 1997-09-17 | 日本真空技術株式会社 | 複合分子ポンプを使用した漏洩探知装置 |
| DE4442174A1 (de) * | 1994-11-26 | 1996-05-30 | Leybold Ag | Lecksuchgerät mit Vakuumpumpen und Betriebsverfahren dazu |
| US6286362B1 (en) | 1999-03-31 | 2001-09-11 | Applied Materials, Inc. | Dual mode leak detector |
| DE10247167A1 (de) | 2002-10-10 | 2004-04-22 | Karl Dungs Gmbh & Co. Kg | Dichtprüfeinrichtung und Verfahren zur Dichtheitsprüfung |
| DE102014219481A1 (de) * | 2014-09-25 | 2016-03-31 | Inficon Gmbh | Vorrichtung und Verfahren zum Kalibrieren einer Folienkammer zur Leckdetektion |
| CN112378595B (zh) | 2020-10-29 | 2023-07-28 | 深圳市美的连医疗电子股份有限公司 | 气体采样管连接状态侦测方法及气体检测装置 |
-
2021
- 2021-06-17 DE DE102021115664.5A patent/DE102021115664A1/de active Pending
-
2022
- 2022-05-31 KR KR1020237041268A patent/KR20240019104A/ko unknown
- 2022-05-31 EP EP22731186.7A patent/EP4356093A1/de active Pending
- 2022-05-31 JP JP2023573641A patent/JP2024524848A/ja active Pending
- 2022-05-31 WO PCT/EP2022/064685 patent/WO2022263163A1/de active Application Filing
- 2022-05-31 CN CN202280037452.XA patent/CN117355735A/zh active Pending
- 2022-06-10 TW TW111121707A patent/TW202300879A/zh unknown
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| WO2022263163A1 (de) | 2022-12-22 |
| TW202300879A (zh) | 2023-01-01 |
| DE102021115664A1 (de) | 2022-12-22 |
| JP2024524848A (ja) | 2024-07-09 |
| KR20240019104A (ko) | 2024-02-14 |
| EP4356093A1 (de) | 2024-04-24 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2541615B2 (ja) | 漏洩検査器及びこれの運転法 | |
| US5625141A (en) | Sealed parts leak testing method and apparatus for helium spectrometer leak detection | |
| EP0668492B1 (en) | Method for leak testing | |
| KR102684152B1 (ko) | 시험 가스 입구에서의 압력 측정 | |
| US5375456A (en) | Leak testing apparatus and method | |
| JP3367811B2 (ja) | ガス配管系の検定システム | |
| US3416359A (en) | Method and apparatus for testing hermetically sealed transistor devices | |
| JPH0478936B2 (zh) | ||
| CN110610881A (zh) | 腔室压力平衡方法、装置、***及半导体加工设备 | |
| JP2635587B2 (ja) | リーク検査装置のディテクタを較正する装置 | |
| CN117355735A (zh) | 泄漏检测器 | |
| JPH10318877A (ja) | トレーサガス式漏れ検出器 | |
| KR20020081581A (ko) | 압력 스위치 및 시간 계수기를 사용한 폐쇄된 증기 조정시스템에서의 누출 탐지 | |
| US20240019336A1 (en) | Gas leak detection device and gas leak detection method for identifying a gas leak in a test object | |
| JP4277351B2 (ja) | 漏れ検査装置及び漏れ検査装置の校正方法 | |
| JP3875885B2 (ja) | 気密試験方法 | |
| JPH11241971A (ja) | リークテスト装置 | |
| JP4605927B2 (ja) | 漏洩試験装置 | |
| JP2021196228A (ja) | ガスリークテスト用基準漏れ器およびヘリウムリークテスタにおける基準漏れ検出方法。 | |
| US4399690A (en) | Vacuum leak detector having single valve assembly | |
| JP3246390U (ja) | 質量分析装置及び漏洩検出装置 | |
| CN111656152B (zh) | 使用具有通风测量体积的薄膜腔进行泄漏测试的方法 | |
| TW202305338A (zh) | 洩漏檢測裝置及洩漏檢測方法 | |
| JPH0453558Y2 (zh) | ||
| CN117990301A (zh) | 气密检测*** |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination |