CN117233579A - 一种芯片老化测试机及测试线 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种芯片老化测试机及测试线，涉及芯片老化测试的技术领域，包括上料机、下料机、流水线；流水线上设置有取料机械手，取料机械手由上料机朝向下料机滑动，取料机械手顶部设置有拍摄单元；流水线侧边沿长度方向间隔设置有多台芯片老化测试机，多台芯片老化测试机均匀排布在流水线两侧；芯片老化测试机包括机架，机架内设置有测试单元，测试单元在机架内设置有多组，多组测试单元在竖直方向上间隔排布；测试单元包括基板、放置台、测试座，基板上设置有用于带动放置台朝向测试座移动的升降气缸；放置台至少包括内台和外台，基板上滑动设置有用于将内台上的料盘推动至外台上的推动组件。本发明具有提高测试效率的优点。

Description

一种芯片老化测试机及测试线

技术领域

本发明涉及芯片老化测试的技术领域，尤其是涉及一种芯片老化测试机及测试线。

背景技术

IC芯片(Integrated Circuit Chip)是将大量的微电子元器件(晶体管、电阻、电容等)形成的集成电路放在一块塑基上，做成一块芯片。因为对于IC芯片的使用要求较高，所以在芯片出厂前需要对芯片进行老化测试，确保芯片不仅可以在正常条件下使用，也可以在环境恶劣的时候使用(如高温情况)，在芯片使用一段时间后，需要进行相应的老化测试，以确保芯片的正常使用。

IC测试中的核心测试单元往往尺寸较小，这就导致测试单元的设备空间整体较小，因此目前的老化测试用设备在进行测试时一般只能测试一盘芯片，单次能够测试的芯片数量较少，测试效率较为一般。

发明内容

针对现有技术存在的不足，本发明的目的是提供一种芯片老化测试机及测试线，其具有提高测试效率的优点。

本发明的上述目的是通过以下技术方案得以实现的：

一方面，本申请公开了一种芯片老化测试机，

包括机架，所述机架内设置有测试单元，所述测试单元在机架内设置有多组，多组所述测试单元在竖直方向上间隔排布；

所述测试单元包括基板、设置在基板上的用于放置料盘的放置台、用于测试芯片的测试座，所述基板上设置有用于带动放置台朝向测试座移动的升降气缸；

所述放置台至少包括内台和外台，所述基板上滑动设置有用于将内台上的料盘推动至外台上的推动组件。

本发明进一步设置为：所述推动组件包括设置在内台背离外台一侧的推动杆、用于带动推动杆朝向内台移动的推动气缸，所述推动杆在竖直方向上与内台等高，所述基板邻近内台的一端设置有导向柱，所述导向柱顶端开设有供推动杆穿过的开孔。

本发明进一步设置为：所述推动杆沿内台长度方向间隔设置有多根，多根所述推动杆远离内台的一端共同连接有连接板，所述连接板上连接有多块底板，底板与推动杆一一对应，所述推动气缸与其中一块底板相连。

本发明进一步设置为：所述底板在竖直方向上低于基板，每一所述底板朝向基板的一侧面上均设置有推动轨，所述基板上设置有多个推动块，每一所述推动块均滑动设置在一道推动轨上。

本发明进一步设置为：所述内台与外台间隔设置，所述升降气缸设置有多个，多个所述升降气缸与内台、外台一一对应。

本发明进一步设置为：所述升降气缸设置在基板背离放置台的一侧面上，所述升降气缸的伸缩杆沿竖直方向设置，每一所述升降气缸的伸缩杆上均连接有升降板，所述升降板平行于放置台，所述升降板与放置台之间连接有多根连接杆，所述基板上设置有多个导向套，每一所述连接杆均贯穿一个导向套设置。

本发明进一步设置为：每一所述升降气缸均连接有单向诱导阀。

本发明进一步设置为：所述机架的底部设置有多个独立调压阀，多个所述独立调压阀共同连接进气源，每一所述独立调压阀与一个升降气缸连接。

另一方面，本申请公开了一种芯片老化测试线，

包括上述的芯片老化测试机，还包括上料机、下料机、设置在上料机与下料机之间的流水线；

所述流水线上设置有取料机械手，所述取料机械手由上料机朝向下料机滑动，所述取料机械手顶部设置有拍摄单元；

所述芯片老化测试机沿流水线间隔设置有多台，多台所述芯片老化测试机均匀排布在流水线两侧。

综上所述，本发明的有益技术效果为：

1.一台老化测试机单次可以测试多盘芯片，且多个测试台互相独立互不影响，大大提高了加工效率；

2.在升降气缸上连接单向诱导阀，在顶升动作完成后，单向诱导阀锁死，保证测试单元不会出现微量下移，提高测试时的稳定性。

附图说明

图1是本申请实施例中一种芯片老化测试线的整体结构示意图；

图2是本申请实施例中芯片老化测试机的整体结构示意图；

图3是本申请实施例中测试单元的整体结构图；

图4是本申请实施例中测试单元另一视角的整体结构图；

图5是图4中A部分的放大图；

图6是放置台的结构示意图。

图中，1、机架；11、独立调压阀；2、测试单元；21、基板；211、导向柱；212、开孔；213、推动块；214、导向套；22、放置台；221、内台；2211、插口；222、外台；23、测试座；24、升降气缸；241、单向诱导阀；3、推动组件；31、推动杆；32、推动气缸；33、连接板；34、底板；341、推动轨；35、升降板；351、连接杆；4、上料机；5、下料机；6、流水线；7、芯片老化测试机；8、取料机械手；9、拍摄单元。

具体实施方式

以下结合附图1-6对本发明作进一步详细说明。

本发明公开了一种芯片老化测试线，包括上料机4和下料机5，上料机4与下料机5之间设置有流水线6，流水线6运输方向由上料机4流向下料机5。流水线6两侧均放置有芯片老化测试机7，每一侧的芯片老化测试机7沿流水线6长度方向间隔均匀排布有多台，两侧的芯片老化测试机7关于流水线6成一一对称设置。流水线6上滑动设置有取料机械手8，取料机械手8的顶部放置有拍摄单元9，取料机械手8在流水线6的带动下移动。在进行测试作业时，取料机械手8将上料机4上装有待测试件的料盘取走，并在流水线6的带动下移动至芯片老化测试机7处，将料盘放入芯片老化测试机7内，在测试完成后，取料机械手8再将芯片老化测试机7内的料盘取出并运送到下料机5处。本实施例中的上料机4、下料机5、取料机械手8均为常规设置，在此不再详细说明。

芯片老化测试机7包括内部中空的机架1，机架1包括底座、设置在底座四角的四根立柱、设置在立柱上的支撑板、设置在立柱顶端的顶盖，支撑板包括位于立柱中部的中位支撑板、位于立柱底部的底支撑板。中位支撑板将机架1分为上下两层，机架1的每一层内均设置有一组测试单元2，两组测试单元2分别位于底支撑板和中位支撑板上。

测试单元2包括基板21，基板21水平放置，基板21的下端面上固定连接有两个升降气缸24，两个升降气缸24分别位于基板21的两端，升降气缸24的伸缩杆沿竖直方向向下设置。每一升降气缸24的伸缩杆的下端固定连接有一块矩形的升降板35，升降板35平行于基板21设置。升降板35的上端面的四角固定连接有四根连接杆351，连接杆351沿竖直方向向上贯穿基板21。基板21朝向升降板35的一侧面上共设置有八个导向套214，八个导向套214对应两块升降板35上的共计八根连接杆351，每一导向套214均与一根连接杆351同轴，每一连接杆351均贯穿一个导向套214设置。

邻近流水线6一侧的升降板35的四根连接杆351的顶端共同连接有外台222，远离流水线6一侧的升降板35的四根连接杆351的顶端共同连接有内台221，内台221与外台222互相独立且间隔设置，外台222朝向流水线6的一侧形成有缓冲台，缓冲台朝向流水线6延伸。两个升降气缸24分别带动内台221、外台222上的待测试件升降，防止同一层内的顶升力互相传导而引起受力不均。外台222朝向内台221的一侧边上设置有两个限位气缸，两个限位气缸分别位于外台222的两侧，限位气缸的伸缩杆朝向外台222设置。限位气缸的伸缩杆上固定连接有限位卡块，限位卡块上开设有突出部，从而起到了稳定料盘位置的作用。

内台221与外台222共同构成了芯片老化测试机7的放置台22，放置台22的正上方设置有测试座23，测试座23上设置有测试组件用于测试待测试件，在进行测试作业时，待测试件被放置在放置台22上，升降气缸24带动放置台22抬升，使得放置台22内的待测试件与测试座23内的测试组件接触，从而完成老化测试。

每一升降气缸24上均连接有一个单向诱导阀241，在顶升动作完成后，单向诱导阀241锁死，保证测试单元2不会出现微量下移，提高测试时的稳定性。

基板21的下方设置有推动气缸32，推动气缸32朝向流水线6设置，推动气缸32的伸缩杆上固定连接传动板，传动板上连接有底板34，底板34在竖直方向上低于基板21，底板34沿远离流水线6方向延伸，底板34远离传动板的一端连接有连接板33，连接板33沿竖直方向设置。连接板33的顶端固定连接有两根推动杆31，推动杆31沿水平方向朝向内台221设置，推动杆31在竖直方向上与内台221等高，内台221朝向连接板33的一侧开设有插口2211。基板21邻近内台221的一端设置有导向柱211，导向柱211顶端开设有供推动杆31穿过的开孔212。推动杆31和推动气缸32构成了用于将内台221上的料盘推动至外台222上的推动组件3，推动杆31在推动气缸32的带动下，穿过开孔212***插口2211，并推动内台221上的料盘。

底板34朝向基板21的一侧面上均设置有推动轨341，基板21的下端面上设置有推动块213，每一推动块213均滑动设置在一道推动轨341上。

基板21的两侧边上均连接有滑动板，滑动板的长度方向与基板21的长度方向一致，滑动板的下端面上设置有滑动轨，滑动轨沿滑动板长度方向设置，滑动轨的一端固定连接有动滑块。支撑板的上端面上设置有导向轨，导向轨与滑动轨互相平行且一一对应，动滑块滑动设置在导向轨上，导向轨远离动滑块的一端固定连接有定滑块，滑动轨与定滑块滑动连接。在本实施例中，滑动板设置有上、下两层，两层滑动板互相平行，位于中部的滑动板的两侧面上均设置有滑动轨和定滑块，使得位于中部的滑动板与支撑板、位于顶部的滑动板均为滑动连接，从而延长了测试单元2可向外延伸的距离，进一步增加了检修空间，提高了检修的便捷性。滑动轨两端均设置有限位挡板，限位挡板沿竖直方向设置，其中一端的限位挡板可拆设置。

机架1上设置有多个限位立柱，限位立柱分布在滑动轨两侧且邻靠定滑块设置。在动滑块沿导向轨滑动时，限位立柱起到了对动滑块的限位作用，避免出现动滑块与定滑块碰撞的情况。

基板21一端连接有拉把，拉把整体成矩形且一端设置握持用的开口，拉板沿滑动轨长度方向向外延伸。基板21在拉把所在的一端设置有矩形的约束架，约束架上设置有开口，拉板从开口处伸出。

基板21背离拉把的一端开设有定位孔，定位孔位于基板21的下端面上，每一基板21上的定位孔的数量至少为二。机架1上设置有定位气缸，定位气缸的伸缩杆沿竖直方向向上设置，定位气缸的伸缩杆的顶端固定连接有定位导套，定位导套与定位孔一一对应。定位导套整体成圆台状，即定位导套朝向测试单元2的一端成锥状，且朝向测试单元2一端的径长小于远离测试单元2一端的径长。定位导套在定位气缸的的带动下***定位孔内，在限位测试单元2的同时精确定位，提高重复定位精度。

机架1的底座的中部设置有多个独立调压阀11，每一独立调压阀11与一个升降气缸24连接，使得测试作业时，可以根据实际验证情况调整不同产品所需的顶升压力，防止产品过压影响测试结果。

本实施例的实施原理为：在进行老化测试作业时，取料机械手8将上料机4上装有待测试件的料盘取走，并在流水线6的带动下移动至芯片老化测试机7处，将料盘放入芯片老化测试机7内，在测试完成后，取料机械手8再将芯片老化测试机7内的料盘取出并运送到下料机5处。本申请中一台老化测试机单次可以测试多盘芯片，且多个测试台互相独立互不影响，大大提高了加工效率。

本具体实施方式的实施例均为本发明的较佳实施例，并非依此限制本发明的保护范围，故：凡依本发明的结构、形状、原理所做的等效变化，均应涵盖于本发明的保护范围之内。

Claims (9)

1.一种芯片老化测试机，包括机架(1)，其特征在于：所述机架(1)内设置有测试单元(2)，所述测试单元(2)在机架(1)内设置有多组，多组所述测试单元(2)在竖直方向上间隔排布；

所述测试单元(2)包括基板(21)、设置在基板(21)上的用于放置料盘的放置台(22)、用于测试芯片的测试座(23)，所述基板(21)上设置有用于带动放置台(22)朝向测试座(23)移动的升降气缸(24)；

所述放置台(22)至少包括内台(221)和外台(222)，所述基板(21)上滑动设置有用于将内台(221)上的料盘推动至外台(222)上的推动组件(3)。

2.根据权利要求1所述的一种芯片老化测试机，其特征在于：所述推动组件(3)包括设置在内台(221)背离外台(222)一侧的推动杆(31)、用于带动推动杆(31)朝向内台(221)移动的推动气缸(32)，所述推动杆(31)在竖直方向上与内台(221)等高，所述内台(221)上开设有供推动杆(31)***的插口(2211)，所述基板(21)邻近内台(221)的一端设置有导向柱(211)，所述导向柱(211)顶端开设有供推动杆(31)穿过的开孔(212)。

3.根据权利要求2所述的一种芯片老化测试机，其特征在于：所述推动杆(31)沿内台(221)长度方向间隔设置有多根，多根所述推动杆(31)远离内台(221)的一端共同连接有连接板(33)，所述连接板(33)上连接有多块底板(34)，底板(34)与推动杆(31)一一对应，所述推动气缸(32)与其中一块底板(34)相连。

4.根据权利要求3所述的一种芯片老化测试机，其特征在于：所述底板(34)在竖直方向上低于基板(21)，每一所述底板(34)朝向基板(21)的一侧面上均设置有推动轨(341)，所述基板(21)上设置有多个推动块(213)，每一所述推动块(213)均滑动设置在一道推动轨(341)上。

5.根据权利要求1所述的一种芯片老化测试机，其特征在于：所述内台(221)与外台(222)间隔设置，所述升降气缸(24)设置有多个，多个所述升降气缸(24)与内台(221)、外台(222)一一对应。

6.根据权利要求5所述的一种芯片老化测试机，其特征在于：所述升降气缸(24)设置在基板(21)背离放置台(22)的一侧面上，所述升降气缸(24)的伸缩杆沿竖直方向设置，每一所述升降气缸(24)的伸缩杆上均连接有升降板(35)，所述升降板(35)平行于放置台(22)，所述升降板(35)与放置台(22)之间连接有多根连接杆(351)，所述基板(21)上设置有多个导向套(214)，每一所述连接杆(351)均贯穿一个导向套(214)设置。

7.根据权利要求6所述的一种芯片老化测试机，其特征在于：每一所述升降气缸(24)均连接有单向诱导阀(241)。

8.根据权利要求7所述的一种芯片老化测试机，其特征在于：所述机架(1)的底部设置有多个独立调压阀(11)，多个所述独立调压阀(11)共同连接进气源，每一所述独立调压阀(11)与一个升降气缸(24)连接。

9.根据权利要求1所述的一种芯片老化测试线，其特征在于：包括如权利要求1-8中任一项所述的一种芯片老化测试机(7)，还包括上料机(4)、下料机(5)、设置在上料机(4)与下料机(5)之间的流水线(6)；

所述流水线(6)上设置有取料机械手(8)，所述取料机械手(8)由上料机(4)朝向下料机(5)滑动，所述取料机械手(8)顶部设置有拍摄单元(9)；

所述芯片老化测试机(7)沿流水线(6)间隔设置有多台，多台所述芯片老化测试机(7)均匀排布在流水线(6)两侧。