CN117177166B - 一种数字扬声器及其制造方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开一种数字扬声器及其制造方法，涉及微电子制造技术领域，以解决MEMS扬声器加工时，需要在逐个加工形成驱动板或振膜，较为耗时，加工制造效率低的问题。所述数字扬声器的制造方法包括在基底具有空气后腔的一侧固定设置第一电极板；在第一电极板上形成一个或多个驱动板；在第一电极板上沉积第一介质层；在第一介质层远离第一电极板的一侧固定设置第二电极板；在第二电极板上形成多个振膜；在第二电极板的相邻振膜内填充第二介质层；在第一介质层上形成多个振动间隙。所述数字扬声器通过上述技术方案所提的数字扬声器的制造方法成形。本发明提供的数字扬声器及其制造方法用于提高数字扬声器的加工制造效率。

Description

一种数字扬声器及其制造方法

技术领域

本发明涉及微电子制造技术领域，尤其涉及一种数字扬声器及其制造方法。

背景技术

扬声器是一种能够把电信号转换为声信号的换能器件。扬声器是制作音响、声学有源降噪设备等的基础，因此，扬声器的性能对声学设备的制作具有关键性的影响。MEMS扬声器(Micro Electro Mechanical System)，即微电机***扬声器，其相对传统的音圈式扬声器具有一致性好、功耗低、尺寸小、价格低等优势。

目前，现有的MEMS扬声器包括多个像素发声单元，像素发声单元通过其振膜相对电极板的运动推动空气实现模拟发声的，但是，为了提高MEMS扬声器驱动像素的精度，MEMS扬声器所需的像素发声单元的数目较多，加工时，需要在逐个加工形成驱动板或振膜，较为耗时，加工制造效率低。

发明内容

本发明的目的在于提供一种数字扬声器及其制造方法，用于提高数字扬声器的加工制造效率。

为了实现上述目的，本发明提供了一种数字扬声器的制造方法，包括步骤：

在基底上形成多个空气后腔；

在基底具有空气后腔的一侧固定设置第一电极板；

在第一电极板上形成一个或多个驱动板；

在每个驱动板上开设至少一个穿孔，且每个空气后腔至少与一个穿孔连通；

在第一电极板上沉积第一介质层；

在第一介质层远离第一电极板的一侧固定设置第二电极板；

在第二电极板上形成多个振膜；

在第二电极板的相邻振膜内填充第二介质层；

在第一介质层上形成多个振动间隙，每个振动间隙位于对应的振膜和驱动板之间。

通过上述的数字扬声器的制造方法，能够将在第一电极板上形成一个或多个驱动板，在第二电极板上形成多个振膜，多个驱动板和多个振膜分别与至少一个空气后腔对应，一方面，第一介质层设置在驱动板和振膜之间，并在第一介质层上形成多个振动间隙，相邻的振动间隙互不连通，振动间隙与空气后腔一一对应，与振动间隙对应的驱动板、振膜、振动间隙、空气后腔共同形成一个像素发声单元，驱动板、振膜分别通电后，在电场作用下，处于振动间隙一侧的振膜振动，压缩空气进行发声；另一方面，第一介质层设置在相邻的驱动板之间，使得相邻的驱动板绝缘，第二介质层设置在相邻的振膜之间，使得相邻的振膜绝缘，给不同的振膜和不同的驱动板分别通入不同电流使，能够调节扬声器不同位置的振膜的振动频率和振幅，进而灵活调控扬声器不同位置的像素发声单元发声，进而提高扬声器的发声精度；另外，在制造过程中，在对应的第一电极板上形成多个驱动板，在第二电极板上形成多个振膜，可一次性成形多个像素发声单元，提高扬声器的制造效率。

可选地，上述的数字扬声器的制造方法中，在第一电极板上形成一个或多个驱动板包括：

在第一电极板上刻蚀形成多个沿第一方向延伸的第一短路槽，多个第一短路槽沿第二方向排布，相邻第一短路槽之间形成一个对应多个空气后腔的驱动板；

或者，在第一电极板上形成一个或多个驱动板包括：

在第一电极板上刻蚀形成多个沿第一方向延伸的第一短路槽，多个第一短路槽沿第二方向排布；

在第一电极板上刻蚀形成一个沿第二方向延伸的第二短路槽；其中，第一方向和第二方向不同，第一短路槽和第二短路槽将第一电极板分割为多个驱动板，每个驱动板分别对应一个或多个空气后腔。

可选地，上述的数字扬声器的制造方法中，在第二电极板上形成多个振膜包括：

在第二电极板上刻蚀形成多个沿第二方向延伸的第三短路槽，多个第三短路槽沿第一方向排布，相邻第三短路槽之间形成一个对应多个空气后腔的振膜；

或者，在第二电极板上形成多个振膜包括：

在第二电极板上刻蚀形成多个沿第二方向延伸的第三短路槽，多个第三短路槽沿第一方向排布；

在第二电极板上刻蚀形成一个沿第一方向延伸的第四短路槽；其中，所述第一方向和所述第二方向不同，第三短路槽和第四短路槽将第二电极板分割为多个振膜，每个振膜分别对应一个或多个空气后腔。

可选地，上述的数字扬声器的制造方法中，在第一电极板上沉积第一介质层之后，且在第一介质层远离第一电极板的一侧固定设置第二电极板之前，数字扬声器的制造方法还包括：

在第二电极板靠近第一介质层的一侧形成有多个环形凸起，每个环形凸起对应一个空气后腔；

在第一介质层远离第一电极板的一侧固定设置第二电极板包括：

将环形凸起嵌入第一介质层的远离第一电极板的一侧内，多个环形凸起将第一介质层分隔为网状支撑介质结构和多个待刻蚀介质结构。

可选地，上述的数字扬声器的制造方法中，在第一电极板上沉积第一介质层包括：

在第一电极板上沉积网状支撑介质结构，网状支撑介质结构在第一电极板的投影覆盖每个驱动板的边缘区域；

在网状支撑介质结构的每个中空位置均沉积待刻蚀介质结构，网状支撑介质结构和待刻蚀介质结构组成第一介质层，其中，网状支撑介质结构和待刻蚀介质结构的材料不同。

可选地，上述的数字扬声器的制造方法中，在第二电极板上沉积第二介质层之后，在第一介质层上形成多个振动间隙之前，数字扬声器的制造方法还包括：

在每个振膜上形成悬臂花纹，悬臂花纹贯穿振膜；

在第一介质层上形成多个振动间隙，每个振动间隙位于对应的振膜和驱动板之间包括：

将刻蚀介质通过悬臂花纹与待刻蚀介质结构接触，并刻蚀待刻蚀介质结构，形成振动间隙。

可选地，上述的数字扬声器的制造方法中，在基底上形成多个空气后腔之后，且在基底具有空气后腔的一侧固定设置第一电极板之前，数字扬声器的制造方法还包括：

在基底上开设多个通孔，每个空气后腔与至少一个通孔连通；

在第一介质层上形成多个振动间隙，每个振动间隙位于对应的振膜和驱动板之间包括：

将刻蚀介质依次通过通孔、空气后腔和穿孔与待刻蚀介质结构接触，并刻蚀待刻蚀介质结构，形成振动间隙。

可选地，上述的数字扬声器的制造方法中，在第一介质层上形成多个振动间隙之后，数字扬声器的制造方法还包括：

在第一电极板和第二电极板周侧形成多个管脚PAD，并使每个驱动板均与对应的管脚PAD连接，每个振膜均与对应的管脚PAD连接。

本发明还提供一种数字扬声器，通过上述的数字扬声器的制造方法制成，数字扬声器包括：

基底，基底的一侧设置有多个空气后腔，每个空气后腔均与外界大气连通；

多个驱动板，每个驱动板均固定设置于基底具有空气后腔的一侧，且每个驱动板上均设置有至少一个穿孔，每个穿孔均与对应的空气后腔连通；

网状支撑介质结构，网状支撑介质结构固定设置于驱动板远离基底的一侧，网状支撑介质结构的中间形成有多个振动间隙，每个振动间隙通过穿孔与对应的空气后腔连通；

通过设置在驱动板和振膜之间的网状支撑介质结构，将驱动板和振膜绝缘，并使驱动板和振膜分别与至少一个空气后腔对应，且网状支撑介质结构的中间形成有多个振动间隙，与振动间隙对应的驱动板、振膜、振动间隙、空气后腔共同形成一个像素发声单元，驱动板、振膜分别通电后，在电场作用下，处于振动间隙一侧的振膜振动，压缩空气进行发声；另一方面，第一介质层设置在相邻的驱动板之间，使得相邻的驱动板绝缘，第二介质层设置在相邻的振膜之间，使得相邻的振膜绝缘，给不同的振膜和不同的驱动板分别通入不同电流使，能够调节扬声器不同位置的振膜的振动频率和振幅，进而灵活调控扬声器不同位置的像素发声单元发声，进而提高扬声器的发声精度。

多个振膜，每个振膜均设置于网状支撑介质结构远离驱动板的一侧。

可选地，上述的数字扬声器还包括多个管脚PAD，每个振膜均与对应的管脚PAD连接，每个驱动板均与对应的管脚PAD连接。

附图说明

此处所说明的附图用来提供对本发明的进一步理解，构成本发明的一部分，本发明的示意性实施例及其说明用于解释本发明，并不构成对本发明的不当限定。在附图中：

图1为本发明实施例提供的一种数字扬声器的制造方法的流程图；

图2为本发明实施例提供的一种第一电极板的结构示意图；

图3为本发明实施例提供的一种在第一电极板上形成多个驱动板后的结构示意图；

图4为本发明实施例提供的另一种在第一电极板上形成多个驱动板后的结构示意图；

图5为本发明实施例提供的一种第二电极板的结构示意图；

图6为本发明实施例提供的一种在第二电极板上形成多个振膜后的结构示意图；

图7为本发明实施例提供的另一种在第二电极板上形成多个振膜后的结构示意图；

图8为本发明实施例提供的一种第一电极板和第二电极板的第一配合示意图；

图9为本发明实施例提供的一种第一电极板和第二电极板的第二配合示意图；

图10为本发明实施例提供的一种通过数字扬声器的制造方法成形的数字扬声器的结构示意图；

图11为本发明实施例提供的一种通过数字扬声器的制造方法成形的数字扬声器的局部结构示意图。

附图标记：

1-第一电极板；11-驱动板；111-穿孔；12-第一短路槽；13-第二短路槽；2-第一介质层；21-网状支撑介质结构；22-待刻蚀介质结构；3-第二电极板；31-振膜；311-悬臂花纹；32-第三短路槽；33-第四短路槽；34-环形凸起；4-基底；41-空气后腔；5-振动间隙；6-管脚PAD。

具体实施方式

为了使本发明所要解决的技术问题、技术方案及有益效果更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本发明进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。

需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者间接在该另一个元件上。当一个元件被称为是“连接于”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或间接连接至该另一个元件上。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本发明的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。“若干”的含义是一个或一个以上，除非另有明确具体的限定。

在本发明的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

扬声器是一种能够把电信号转换为声信号的换能器件。扬声器是制作音响、声学有源降噪设备等的基础，因此，扬声器的性能对声学设备的制作具有关键性的影响。MEMS扬声器(Micro Electro Mechanical System)，即微电机***扬声器，其相对传统的音圈式扬声器具有一致性好、功耗低、尺寸小、价格低等优势。目前，现有的MEMS扬声器包括多个像素发声单元，像素发声单元通过其振膜相对电极板的运动推动空气实现模拟发声的，但是，为了提高MEMS扬声器驱动像素的精度，MEMS扬声器所需的像素发声单元的数目较多，加工时，需要逐个加工形成驱动板或振膜，较为耗时，加工制造效率低。

为了解决上述问题，如图1所示，本发明实施例提供了一种数字扬声器的制造方法，包括：

步骤100：在基底上形成多个空气后腔；

具体地，根据数字扬声器的需求，多个空气后腔呈矩阵分布在基底的同一侧；

步骤200：在基底具有空气后腔的一侧固定设置第一电极板；

步骤300：在第一电极板上形成一个或多个驱动板；

具体地，每个驱动板至少对应设置于一个空气后腔的一侧，保证每个驱动板均对应至少对应一个空气后腔；

步骤400：在每个驱动板上开设至少一个穿孔，且每个空气后腔至少与一个穿孔连通；

如此设置，能够保证空气后腔均能通过穿孔与成形后的振动间隙连通；

步骤500：在第一电极板上沉积第一介质层；

一方面，第一介质层能够隔离驱动板和振膜，防止驱动板和振膜导通；另一方面，第一介质层还能够绝缘相邻的驱动板，在成形后，能够通过控制不同驱动板的通电量，调节不同驱动板产生的电场强度，进而调节不同的振膜的振幅和振动频率；

步骤600：在第一介质层远离第一电极板的一侧固定设置第二电极板；

步骤700：在第二电极板上形成多个振膜；

具体地，每个振膜至少对应一个空气后腔；

步骤800：在第二电极板的相邻振膜内填充第二介质层；

具体地，在第二电极板上沉积介质，然后除去振膜表面的介质，保留相邻振膜内的介质，形成第二介质层，第二介质层能够绝缘相邻的振膜，在成形后，能够通过控制不同振膜的通电量，调节产生的电场强度，进而调节不同的振膜的振幅和振动频率；

步骤900：在第一介质层上形成多个振动间隙，每个振动间隙位于对应的振膜和驱动板之间。

通过上述的数字扬声器的制造方法，能够将在第一电极板上形成一个或多个驱动板，在第二电极板上形成多个振膜，驱动板和多个振膜分别与至少一个空气后腔对应，一方面，第一介质层设置在驱动板和振膜之间，并在第一介质层上形成多个振动间隙，相邻的振动间隙互不连通，振动间隙与空气后腔一一对应，与振动间隙对应的驱动板、振膜、振动间隙、空气后腔共同形成一个像素发声单元，驱动板、振膜分别通电后，在电场作用下，处于振动间隙一侧的振膜振动，压缩空气进行发声；另一方面，第一介质层设置在相邻的驱动板之间，使得相邻的驱动板绝缘，第二介质层设置在相邻的振膜之间，使得相邻的振膜绝缘，给不同的振膜和不同的驱动板分别通入不同电流使，能够调节扬声器不同位置的振膜的振动频率和振幅，进而灵活调控扬声器不同位置的像素发声单元发声，进而提高扬声器的发声精度；另外，在制造过程中，在对应的第一电极板上形成一个或多个驱动板，在第二电极板上形成多个振膜，可一次性成形多个像素发声单元，提高扬声器的制造效率。

作为一种可能实现的方式，如图2和图3所示，步骤300：在第一电极板上形成一个或多个驱动板包括：

步骤310：在第一电极板1上刻蚀形成多个沿第一方向延伸的第一短路槽12，多个第一短路槽12沿第二方向排布，相邻第一短路槽12之间形成一个对应多个空气后腔的驱动板11。

在第一介质层上形成多个振动间隙后，第一介质层支撑设置在驱动板11的一侧，形成多个振动间隙后的第一介质层在驱动板11上的正投影将驱动板11分隔为多个部分，每个部分对应一个空气后腔和一个振动间隙，最终与振膜形成一个像素发声单元。如此设置，加工步骤较为简单，制造速度快。

作为另一种可能实现的方式，如图2和图4所示，步骤300：在第一电极板上形成一个或多个驱动板包括：

步骤321：在第一电极板1上刻蚀形成多个沿第一方向延伸的第一短路槽12，多个第一短路槽12沿第二方向排布；

步骤322：在第一电极板1上刻蚀形成一个沿第二方向延伸的第二短路槽13；其中，第一方向和第二方向不同，优选地，第一方向和第二方向垂直，第一短路槽12和第二短路槽13将第一电极板分割为多个驱动板11，每个驱动板11分别对应一个或多个空气后腔。示例性地，如图4所示，第二短路槽13与第一短路槽12将第一电极板1分割为两列多排的多个驱动板11，其中一列的每个驱动板11均对应一个空气后腔，另外一列的每个驱动板11均对应多个空气后腔；或者，第二短路槽13与第一短路槽12将第一电极板1分割为两列多排的多个驱动板11，两列的每个驱动板11均对应多个空气后腔，根据实际发声需求设置第二短路槽13的位置，改变两列的驱动板11对应的空气后腔的数目。

第一短路槽12和第二短路槽13将第一电极板1分割为两列多排的多个驱动板11，使得每个驱动板11对应一个或多个空气后腔和振动间隙，最终与振膜形成一个或多个像素发声单元，第一介质层设置在驱动板11之间，使相邻驱动板11相互绝缘，进而使得每个驱动板11所通入的电流均能够单独控制，进而能够精确调节不同驱动板11对应的像素发声单元的驱动精度，实现高精度的数字发声。

作为再一种可能实现的方式，步骤300：在第一电极板上形成一个或多个驱动板包括：

将整个第一电极板作为一个驱动板。

在第一介质层上形成多个振动间隙后，第一介质层支撑设置在驱动板11的一侧，形成多个振动间隙后的第一介质层在驱动板11上的正投影将驱动板11分隔为多个部分，每个部分对应一个空气后腔和一个振动间隙，最终与不同的振膜形成多个像素发声单元，通过控制不同的振膜的通电量，调节对应的像素发声单元的驱动精度，如此设置，第一电极板无需进行加工，进一步加快数字扬声器的制造速度。

作为一种可能实现的方式，如图5和图6所示，步骤700：在第二电极板上形成多个振膜包括：

步骤710：在第二电极板3上刻蚀形成多个沿第二方向延伸的第三短路槽32，多个第三短路槽32沿第一方向排布，相邻第三短路槽32之间形成一个对应多个空气后腔的振膜31。

在第一介质层上形成多个振动间隙后，第一介质层支撑设置在振膜31和驱动板之间，形成多个振动间隙后的第一介质层在振膜上的正投影将振膜31分隔为多个部分，每个部分对应一个空气后腔和一个振动间隙，最终与驱动板形成一个像素发声单元，如图8所示，第一短路槽12和第三短路槽32的延伸方向不同，即振膜31和驱动板的延伸方向不同，形成多个像素发声单元后，相邻的像素发声单元至少振膜不同或者驱动板不同，通过调节每个振膜31和驱动板的通电量，能够调节每个像素发声单元的驱动精度，实现高精度的数字发声。

作为另一种可能实现的方式，如图5和图7所示，步骤700：在第二电极板上形成多个振膜包括：

步骤721：在第二电极板3上刻蚀形成多个沿第二方向延伸的第三短路槽32，多个第三短路槽32沿第一方向排布；

步骤722：在第二电极板3上刻蚀形成一个沿第一方向延伸的第四短路槽33；第三短路槽32和第四短路槽33将第二电极板3分割为多个振膜31，每个振膜31对应一个或多个空气后腔。示例性地，如图7所示，第三短路槽32和第四短路槽33将第二电极板3分割为两排多列的多个振膜31，其中一排的每个振膜31均对应一个空气后腔，另外一排的每个振膜31均对应多个空气后腔；或者，第三短路槽32和第四短路槽33将第二电极板3分割为两排多列的多个振膜31，且两排的每个振膜31均对应多个空气后腔，根据实际发声需求设置第四短路槽33的位置，改变两排的振膜31对应的空气后腔的数目。

第三短路槽32和第四短路槽33将第二电极板3分割为两排多列的多个振膜31，使得每个振膜31对应一个或多个空气后腔和振动间隙，最终与驱动板形成一个或多个像素发声单元，第二介质层设置在振膜31之间，使相邻振膜31相互绝缘，进而使得每个振膜31所通入的电流均能够单独控制，进而能够精确调节不同振膜31对应的像素发声单元的驱动精度，实现高精度的数字发声。

作为一种可选的方式，上述的数字扬声器的制造方法中，在步骤500：在第一电极板上沉积第一介质层之后，且在步骤600：在第一介质层远离第一电极板的一侧固定设置第二电极板之前，数字扬声器的制造方法还包括：

在第二电极板靠近第一介质层的一侧形成有多个如图9所示的环形凸起34，每个环形凸起34对应一个空气后腔；

步骤600：在第一介质层远离第一电极板的一侧固定设置第二电极板包括：

如图7所示，将环形凸起34嵌入第一介质层的远离第一电极板的一侧内，多个环形凸起34将第一介质层分隔为网状支撑介质结构21和多个待刻蚀介质结构22。

通过设置环形凸起34将第一介质层分隔为网状支撑介质结构21和多个待刻蚀介质结构22后，在刻蚀待刻蚀介质结构22时，环形凸起34能够阻止刻蚀介质将网状支撑介质结构21侵蚀。

作为另一种可选的方式，上述的数字扬声器的制造方法中，步骤500：在第一电极板上沉积第一介质层包括：

在第一电极板上沉积网状支撑介质结构，网状支撑介质结构在第一电极板的投影覆盖每个驱动板的边缘区域；

在网状支撑介质结构的每个中空位置均沉积待刻蚀介质结构，网状支撑介质结构和待刻蚀介质结构组成第一介质层，其中，网状支撑介质结构和待刻蚀介质结构的材料不同。

先在第一电极板上沉积网状支撑介质结构，再在网状支撑介质结构的每个中空位置均沉积待刻蚀介质结构，网状支撑介质结构和待刻蚀介质结构的材料不同，采用对待刻蚀介质结构侵蚀效果较好、对网状支撑介质结构侵蚀效果较差的刻蚀介质，保证不会破坏网状支撑介质结构。

在一些实施例中，上述的数字扬声器的制造方法中，在第二电极板上沉积第二介质层之后，在第一介质层上形成多个振动间隙之前，数字扬声器的制造方法还包括：

在每个振膜上形成悬臂花纹，悬臂花纹贯穿振膜；

在第一介质层上形成多个振动间隙，每个振动间隙位于对应的振膜和驱动板之间包括：

将刻蚀介质通过悬臂花纹与待刻蚀介质结构接触，并刻蚀待刻蚀介质结构，形成振动间隙。

在振膜上形成悬臂花纹，悬臂花纹贯穿振膜，刻蚀介质能够通过悬臂花纹与第一介质层接触，并在第一介质层上刻蚀形成振动间隙；另外，振膜上形成悬臂花纹后，振膜能够产生的形变更大，进而提高振膜的振幅，提高扬声器的发声效果；另外，在第一介质层上形成多个振动间隙时，刻蚀介质通过悬臂花纹与待刻蚀介质结构接触，并刻蚀待刻蚀介质结构，完成振动间隙的形成。

在另一些实施例中，上述的数字扬声器的制造方法中，在基底上形成多个空气后腔之后，且在基底具有空气后腔的一侧固定设置第一电极板之前，数字扬声器的制造方法还包括：

在基底上开设多个通孔，每个空气后腔与至少一个通孔连通；

在第一介质层上形成多个振动间隙，每个振动间隙位于对应的振膜和驱动板之间包括：

将刻蚀介质依次通过通孔、空气后腔和穿孔与待刻蚀介质结构接触，并刻蚀待刻蚀介质结构，形成振动间隙。

一方面，空气后腔通过通孔与外界大气连通，使振动间隙、穿孔、空气后腔、通孔和外界大气依次连通；另一方面，在第一介质层上形成多个振动间隙时，刻蚀介质依次通过通孔、空气后腔和穿孔与待刻蚀介质结构接触，并刻蚀待刻蚀介质结构，完成振动间隙的形成。

具体地，上述的数字扬声器的制造方法中，如图10所示，步骤900：在第一介质层上形成多个振动间隙之后，数字扬声器的制造方法还包括：

在第一电极板和第二电极板周侧形成多个管脚PAD6，并使每个驱动板均与对应的管脚PAD6连接，每个振膜均与对应的管脚PAD6连接。

驱动板和振膜均通过对应的管脚PAD6与外部电流连通，进而产生电场，促使振膜振动发声。

如图10和图11所示，本发明还提供一种数字扬声器，通过上述的数字扬声器的制造方法制成，数字扬声器包括基底4、多个驱动板11、网状支撑介质结构21和多个振膜31，基底4的一侧设置有多个空气后腔41，每个空气后腔41均与外界大气连通；每个驱动板11均固定设置于基底4具有空气后腔41的一侧，且每个驱动板11上均设置有至少一个穿孔111，每个穿孔111均与对应的空气后腔41连通；网状支撑介质结构21固定设置于驱动板11远离基底4的一侧，网状支撑介质结构21的中间形成有多个振动间隙5，每个振动间隙5通过穿孔111与对应的空气后腔41连通；每个振膜31均设置于网状支撑介质结构21远离驱动板11的一侧。

通过设置在驱动板11和振膜31之间的网状支撑介质结构21，将驱动板11和振膜31绝缘，并使驱动板11和振膜31分别与至少一个空气后腔41对应，且网状支撑介质结构21的中间形成有多个振动间隙5，与振动间隙5对应的驱动板11、振膜31、振动间隙5、空气后腔41共同形成一个像素发声单元，驱动板11、振膜31分别通电后，在电场作用下，处于振动间隙5一侧的振膜31振动，压缩空气进行发声；另一方面，第一介质层设置在相邻的驱动板11之间，使得相邻的驱动板11绝缘，第二介质层设置在相邻的振膜31之间，使得相邻的振膜31绝缘，给不同的振膜31和不同的驱动板11分别通入不同电流使，能够调节扬声器不同位置的振膜31的振动频率和振幅，进而灵活调控扬声器不同位置的像素发声单元发声，进而提高扬声器的发声精度。

在一些实施例中，上述的数字扬声器还包括多个管脚PAD6，每个振膜31均与对应的管脚PAD6连接，每个驱动板11均与对应的管脚PAD6连接。如此设置，驱动板和振膜31均通过对应的管脚PAD6与外部电流连通，进而产生电场，促使振膜31振动发声。

在一些实施例中，上述的数字扬声器的振膜31上设置有悬臂花纹311。如此设置，能够增大振膜31的振动幅度，提高发声效果。

在上述实施方式的描述中，具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

以上所述，仅为本发明的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本发明的保护范围之内。因此，本发明的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。

Claims (10)

1.一种数字扬声器的制造方法，其特征在于，包括步骤：

在基底上形成多个空气后腔；

在所述基底具有所述空气后腔的一侧固定设置第一电极板；

在所述第一电极板上形成一个或多个驱动板；

在每个所述驱动板上开设至少一个穿孔，且每个空气后腔至少与一个所述穿孔连通；

在所述第一电极板上沉积第一介质层；

在所述第一介质层远离所述第一电极板的一侧固定设置第二电极板；

在所述第二电极板上形成多个振膜；

在所述第二电极板的相邻所述振膜内填充第二介质层；

在所述第一介质层上形成多个振动间隙，每个所述振动间隙位于对应的所述振膜和所述驱动板之间，与所述振动间隙对应的所述驱动板、所述振膜、所述振动间隙、所述空气后腔共同形成一个像素发声单元。

2.根据权利要求1所述的数字扬声器的制造方法，其特征在于，所述在所述第一电极板上形成多个驱动板包括：

在所述第一电极板上刻蚀形成多个沿第一方向延伸的第一短路槽，多个所述第一短路槽沿第二方向排布，相邻所述第一短路槽之间形成一个对应多个空气后腔的驱动板；

或者，所述在所述第一电极板上形成多个驱动板包括：

在所述第一电极板上刻蚀形成多个沿第一方向延伸的第一短路槽，多个所述第一短路槽沿第二方向排布；

在所述第一电极板上刻蚀形成一个沿所述第二方向延伸的第二短路槽；其中，所述第一方向和所述第二方向不同，所述第一短路槽和所述第二短路槽将所述第一电极板分割为多个驱动板，每个所述驱动板分别对应一个或多个所述空气后腔。

3.根据权利要求1所述的数字扬声器的制造方法，其特征在于，所述在所述第二电极板上形成多个振膜包括：

在所述第二电极板上刻蚀形成多个沿第二方向延伸的第三短路槽，多个所述第三短路槽沿第一方向排布，相邻所述第三短路槽之间形成一个对应多个空气后腔的振膜；

或者，所述在所述第二电极板上形成多个振膜包括：

在所述第二电极板上刻蚀形成多个沿第二方向延伸的第三短路槽，多个所述第三短路槽沿第一方向排布；

在所述第二电极板上刻蚀形成一个沿所述第一方向延伸的第四短路槽；其中，所述第一方向和所述第二方向不同，所述第三短路槽和所述第四短路槽将所述第二电极板分割为多个振膜，每个所述振膜分别对应一个或多个所述空气后腔。

4.根据权利要求1所述的数字扬声器的制造方法，其特征在于，在所述第一电极板上沉积第一介质层之后，且在所述第一介质层远离所述第一电极板的一侧固定设置第二电极板之前，所述数字扬声器的制造方法还包括：

在所述第二电极板靠近所述第一介质层的一侧形成有多个环形凸起，每个所述环形凸起对应一个所述空气后腔；

在所述第一介质层远离所述第一电极板的一侧固定设置第二电极板包括：

将所述环形凸起嵌入所述第一介质层的远离所述第一电极板的一侧内，多个所述环形凸起将所述第一介质层分隔为网状支撑介质结构和多个待刻蚀介质结构。

5.根据权利要求1所述的数字扬声器的制造方法，其特征在于，所述在所述第一电极板上沉积第一介质层包括：

在所述第一电极板上沉积网状支撑介质结构，所述网状支撑介质结构在所述第一电极板的投影覆盖每个所述驱动板的边缘区域；

在所述网状支撑介质结构的每个中空位置均沉积待刻蚀介质结构，所述网状支撑介质结构和所述待刻蚀介质结构组成第一介质层，其中，所述网状支撑介质结构和所述待刻蚀介质结构的材料不同。

6.根据权利要求4-5任一项所述的数字扬声器的制造方法，其特征在于，在所述第二电极板上沉积第二介质层之后，在所述第一介质层上形成多个振动间隙之前，所述数字扬声器的制造方法还包括：

在每个所述振膜上形成悬臂花纹，所述悬臂花纹贯穿所述振膜；

所述在所述第一介质层上形成多个振动间隙，每个所述振动间隙位于对应的所述振膜和所述驱动板之间包括：

将刻蚀介质通过所述悬臂花纹与所述待刻蚀介质结构接触，并刻蚀所述待刻蚀介质结构，形成所述振动间隙。

7.根据权利要求4-5任一项所述的数字扬声器的制造方法，其特征在于，在基底上形成多个空气后腔之后，且在所述基底具有所述空气后腔的一侧固定设置第一电极板之前，所述数字扬声器的制造方法还包括：

在所述基底上开设多个通孔，每个所述空气后腔与至少一个所述通孔连通；

所述在所述第一介质层上形成多个振动间隙，每个所述振动间隙位于对应的所述振膜和所述驱动板之间包括：

将刻蚀介质依次通过所述通孔、所述空气后腔和所述穿孔与所述待刻蚀介质结构接触，并刻蚀所述待刻蚀介质结构，形成振动间隙。

8.根据权利要求1所述的数字扬声器的制造方法，其特征在于，所述在所述第一介质层上形成多个振动间隙之后，所述数字扬声器的制造方法还包括：

在所述第一电极板和所述第二电极板周侧形成多个管脚PAD，并使每个驱动板均与对应的管脚PAD连接，每个振膜均与对应的管脚PAD连接。

9.一种数字扬声器，其特征在于，通过权利要求1至8任一项所述的数字扬声器的制造方法制成，所述数字扬声器包括：

基底，所述基底的一侧设置有多个空气后腔，每个所述空气后腔均与外界大气连通；

多个驱动板，每个所述驱动板均固定设置于所述基底具有所述空气后腔的一侧，且每个驱动板上均设置有至少一个穿孔，每个穿孔均与对应的所述空气后腔连通；

网状支撑介质结构，所述网状支撑介质结构固定设置于所述驱动板远离所述基底的一侧，所述网状支撑介质结构的中间形成有多个振动间隙，每个振动间隙通过所述穿孔与对应的空气后腔连通；

多个振膜，每个所述振膜均设置于所述网状支撑介质结构远离所述驱动板的一侧。

10.根据权利要求9所述的数字扬声器，其特征在于，所述数字扬声器还包括多个管脚PAD，每个所述振膜均与对应的管脚PAD连接，每个驱动板均与对应的管脚PAD连接。