CN116826496A - 一种红外种子光源及激光*** - Google Patents
一种红外种子光源及激光*** Download PDFInfo
- Publication number
- CN116826496A CN116826496A CN202311111045.1A CN202311111045A CN116826496A CN 116826496 A CN116826496 A CN 116826496A CN 202311111045 A CN202311111045 A CN 202311111045A CN 116826496 A CN116826496 A CN 116826496A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- laser
- infrared
- output
- light source
- seed light
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000000835 fiber Substances 0.000 claims abstract description 91
- 238000005086 pumping Methods 0.000 claims abstract description 58
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 claims abstract description 18
- 230000005284 excitation Effects 0.000 claims abstract description 4
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims description 82
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 32
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 17
- 229910052691 Erbium Inorganic materials 0.000 claims description 3
- UYAHIZSMUZPPFV-UHFFFAOYSA-N erbium Chemical compound [Er] UYAHIZSMUZPPFV-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 238000001259 photo etching Methods 0.000 abstract description 11
- 230000003321 amplification Effects 0.000 abstract description 10
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 abstract description 10
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 abstract description 9
- 230000002457 bidirectional effect Effects 0.000 abstract description 5
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 8
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 7
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 7
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 230000017525 heat dissipation Effects 0.000 description 5
- 230000003667 anti-reflective effect Effects 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 238000000025 interference lithography Methods 0.000 description 4
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 238000001069 Raman spectroscopy Methods 0.000 description 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000001276 controlling effect Effects 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 238000011161 development Methods 0.000 description 2
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 2
- 238000001459 lithography Methods 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 238000002310 reflectometry Methods 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 2
- JNDMLEXHDPKVFC-UHFFFAOYSA-N aluminum;oxygen(2-);yttrium(3+) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Y+3] JNDMLEXHDPKVFC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- BJQHLKABXJIVAM-UHFFFAOYSA-N bis(2-ethylhexyl) phthalate Chemical compound CCCCC(CC)COC(=O)C1=CC=CC=C1C(=O)OCC(CC)CCCC BJQHLKABXJIVAM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005253 cladding Methods 0.000 description 1
- 230000001427 coherent effect Effects 0.000 description 1
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 238000012681 fiber drawing Methods 0.000 description 1
- 230000004927 fusion Effects 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 1
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 1
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 1
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 1
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- 229910019655 synthetic inorganic crystalline material Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000009466 transformation Effects 0.000 description 1
- 229910019901 yttrium aluminum garnet Inorganic materials 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/09—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping
- H01S3/091—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping using optical pumping
- H01S3/094—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping using optical pumping by coherent light
- H01S3/094003—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping using optical pumping by coherent light the pumped medium being a fibre
- H01S3/094011—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping using optical pumping by coherent light the pumped medium being a fibre with bidirectional pumping, i.e. with injection of the pump light from both two ends of the fibre
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/05—Construction or shape of optical resonators; Accommodation of active medium therein; Shape of active medium
- H01S3/06—Construction or shape of active medium
- H01S3/063—Waveguide lasers, i.e. whereby the dimensions of the waveguide are of the order of the light wavelength
- H01S3/067—Fibre lasers
- H01S3/06791—Fibre ring lasers
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/10—Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Optical Modulation, Optical Deflection, Nonlinear Optics, Optical Demodulation, Optical Logic Elements (AREA)
Abstract
本发明涉及光刻激光技术领域，公开了一种红外种子光源及激光***，该红外种子光源包括：第一泵浦源、第二泵浦源、第一波分复用器、增益光纤、第二波分复用器和光纤耦合器；第一泵浦源输出的激光从增益光纤的一端进入增益光纤为增益光纤提供泵浦能量；第二泵浦源输出的激光从增益光纤的另一端进入增益光纤为增益光纤提供泵浦能量；增益光纤在泵浦能量激励下产生第一红外激光，第一红外激光在环形谐振腔中振荡放大并通过光纤耦合器输出。本发明采用双向泵浦的方式，通过调节第一泵浦源和第二泵浦源的功率，可以使超过最佳长度的增益光纤也能够吸收泵浦光参与环形谐振腔内的激光振荡放大，实现高功率的激光输出。
Description
技术领域
本发明涉及光刻激光技术领域，具体涉及一种红外种子光源及激光***。
背景技术
随着集成电路制造技术的不断发展，光刻技术作为其中最重要的核心技术之一，也被提出更高的性能要求。其中IC芯片的特征尺寸作为一项重要参数，与光刻机所使用的光源波长紧密相关。根据瑞利判据可知，光源波长越短则芯片加工的特征尺寸越小。光刻机光源经历了g-line(438nm)、i-line(365nm)、KrF(248nm)、ArF(193nm)以及EUV(13.5nm)五代发展，其中ArF准分子激光器因其高功率、窄线宽、短波长以及高效率等优势，成为光刻机中应用最为广泛的光源。同采用照明***并结合复杂的投影物镜成像的传统投影式光刻技术相比，利用相干光的衍射与干涉原理实现光刻的全息光刻技术，照明***相对简单且不需要复杂的投影物镜。全息光刻对激光的相干性要求更高，即要求激光具有窄线宽和高光束质量M2的优异性能，窄线宽对应激光时间相干性，高光束质量M2对应激光的空间相干性；此外，激光光源的功率影响光刻机的产率，因此全息光刻技术对激光光源提出了高功率、窄线宽以及高光束质量M2的参数要求。
相比于ArF准分子激光器，固体193nm波段激光光源也能提供小于1pm的窄线宽的深紫外激光，且激光光束质量更好，更加适用于全息光刻技术。但固体193nm激光光源输出功率较低，这主要是因为193nm固体光源的产生过程依赖于晶体的非线性光学频率变换，因此可以先以固体激光器输出的高光束质量的193nm激光作为种子光然后在ArF准分子激光器中进行功率放大，得到高功率、高光束质量、窄线宽的激光。在获得193nm固体激光器的技术路线中，主要是利用各类非线性晶体对基频光源的输出激光进行倍频或和频得到的，但非线性光学频率变换的转换效率较低，且为了获取193nm波段激光需要经过多次倍频与和频，因此有必要提高基频光源的输出功率，尽可能的提高最终输出的固体193nm激光。
目前，1550nm波段的掺铒光纤激光器是常用于和频输出193nm激光的红外种子光源。在掺铒光纤作为增益介质吸收泵浦光能量实现光放大的过程中，掺铒光纤存在一个最佳长度，超过最佳长度的剩余增益光纤不吸收泵浦能量造成泵浦能量吸收不充分，残余泵浦光在激光器内部转换成热量增加激光器的散热难度，导致激光能量转换效率较低。
发明内容
有鉴于此，本发明提供了一种红外种子光源及激光***，可以克服现有技术中超过最佳长度的剩余增益光纤不吸收泵浦能量造成泵浦能量吸收不充分，残余泵浦光在激光器内部转换成热量增加激光器的散热难度，导致激光能量转换效率较低的技术问题。
本发明第一方面提供一种红外种子光源，包括：第一泵浦源、第二泵浦源和环形谐振腔，所述环形谐振腔包括依次连接并形成环形回路的第一波分复用器、增益光纤、第二波分复用器和光纤耦合器；所述第一泵浦源输出的激光经过所述第一波分复用器从所述增益光纤的一端进入所述增益光纤为所述增益光纤提供泵浦能量；所述第二泵浦源输出的激光经过所述第二波分复用器从所述增益光纤的另一端进入所述增益光纤为所述增益光纤提供泵浦能量；所述增益光纤在所述第一泵浦源提供的泵浦能量以及所述第二泵浦源提供的泵浦能量的激励下产生第一红外激光，所述第一红外激光在所述环形谐振腔中振荡放大并通过所述光纤耦合器输出。
可选地，所述环形谐振腔还包括滤波器，所述滤波器设置在所述第二波分复用器和所述光纤耦合器之间。
可选地，红外种子光源还包括：第一分光镜、第一激光功率探测器、第一准直***、第二分光镜、第二激光功率探测器和第二准直***；所述第一分光镜设置在所述第一泵浦源的输出端口，用于将所述第一泵浦源输出的激光分为两部分，一部分经过所述第一准直***进入所述第一波分复用器，另一部分进入所述第一激光功率探测器，所述第一激光功率探测器用于测量所述第一泵浦源输出的激光的功率；所述第二分光镜设置在所述第二泵浦源的输出端口，用于将所述第二泵浦源输出的激光分为两部分，一部分经过所述第二准直***进入所述第二波分复用器，另一部分进入所述第二激光功率探测器，所述第二激光功率探测器用于测量所述第二泵浦源输出的激光的功率。
可选地，所述第一准直***包括第一透镜和第二透镜，所述第一透镜和所述第二透镜依次设置在所述第一泵浦源输出的激光经过所述第一分光镜之后的光路上；所述第二准直***包括第三透镜和第四透镜，所述第三透镜和所述第四透镜依次设置在所述第二泵浦源输出的激光经过所述第二分光镜之后的光路上。
可选地，所述增益光纤包括一段、两段或多段掺铒光纤。
本发明第二方面提供一种激光***，包括第一红外种子光源、第二红外种子光源、非线性转换模块、第三分光镜、第三激光功率探测器和激光控制部，所述第一红外种子光源采用本发明第一方面所述的红外种子光源；所述非线性转换模块用于将所述第一红外种子光源输出的第一红外激光和所述第二红外种子光源输出的第二红外激光转换成深紫外激光；所述第三分光镜用于将所述深紫外激光分成两部分，一部分作为输出激光，一部分发射至所述第三激光功率探测器；所述第三激光功率探测器用于测量深紫外激光的实时功率并将测量的实时功率发送至所述激光控制部；所述激光控制部用于根据深紫外激光的实时功率和设定的目标输出功率调节所述第一红外种子光源输出的第一红外激光的功率。
可选地，所述非线性转换模块包括第一倍频晶体、第二倍频晶体、第一和频晶体和第二和频晶体；所述第二红外种子光源输出的第二红外激光依次经过所述第一倍频晶体和所述第二倍频晶体进行倍频后进入所述第一和频晶体，所述第一红外种子光源输出的所述第一红外激光进入所述第一和频晶体与经过倍频后的所述第二红外激光进行和频生成和频激光，所述和频激光和剩余的所述第一红外激光共同进入所述第二和频晶体进行和频后输出深紫外激光；激光***还包括激光脉冲时序控制部，所述激光脉冲时序控制部用于控制所述第一红外种子光源输出的激光和所述第二红外种子光源输出的经过两次倍频后的激光同时到达所述第一和频晶体。
可选地，激光***还包括第一反射镜和第二反射镜，所述第一反射镜设置于所述第二和频晶体的输出端，用于将所述深紫外激光传输至所述第二反射镜，所述第二反射镜用于将所述深紫外激光传输至所述第三分光镜。
可选地，激光***还包括第四分光镜、第四激光功率探测器、第五分光镜和第五激光功率探测器；所述第四分光镜设置在所述第一红外种子光源的输出端，用于将所述第一红外激光分成两部分，一部分进入所述第四激光功率探测器，另一部分进入所述第一和频晶体；所述第五分光镜设置在所述第二红外种子光源的输出端，用于将所述第二红外激光分成两部分，一部分进入所述第五激光功率探测器，另一部分进入所述第一倍频晶体；所述第四激光功率探测器用于测量所述第一红外激光的功率并将测量值发送至所述激光控制部；所述第五激光功率探测器用于测量所述第二红外激光的功率并将测量值发送至所述激光控制部。
可选地，所述非线性转换模块还包括第一旋转台、第二旋转台、第三旋转台和第四旋转台，所述第一旋转台、所述第二旋转台、所述第三旋转台和所述第四旋转台分别用于调整激光进入所述第一倍频晶体、所述第二倍频晶体、所述第一和频晶体和所述第二和频晶体的角度。
本发明的一种红外种子光源及激光***，至少具有如下有益效果：
本发明的红外种子光源，采用双向泵浦的方式，第一泵浦源和第二泵浦源输出的泵浦能量分别从增益光纤的两端进入增益光纤并对增益光纤进行泵浦，即使增益光纤在一个方向上超过最佳长度后不能吸收泵浦能量，但是还能够吸收另一个方向提供的泵浦能量，使超过最佳长度的增益光纤也能够吸收泵浦光参与环形谐振腔内的激光振荡放大。通过调节第一泵浦源和第二泵浦源的功率，可以使超过最佳长度的增益光纤也能够吸收泵浦光参与环形谐振腔内的激光振荡放大，实现高功率的激光输出，同时，避免残余泵浦光在激光器内部转换成热量增加激光器的散热难度。
本发明的一种激光***，通过第三激光功率探测器测量深紫外激光的实时功率并将测量的实时功率发送至激光控制部，激光控制部根据深紫外激光的实时功率和设定的目标输出功率调节第一红外种子光源输出的第一红外激光的功率，从而使输出的深紫外激光的功率达到设定的目标输出功率，实现对深紫外激光的功率的实时调节。
附图说明
为了更清楚地说明本发明具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本发明的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本发明实施例的红外种子光源的结构示意图；
图2为本发明实施例的另一红外种子光源的结构示意图；
图3为本发明实施例的又一红外种子光源的结构示意图；
图4为本发明实施例的激光***的结构示意图；
图5为本发明实施例的另一激光***的结构示意图；
图6为本发明实施例的激光功率控制部的控制流程图；
附图标记说明：
1-第一泵浦源；2-第二泵浦源；3-第一波分复用器；4-第二波分复用器；5-第一掺铒光纤；6-第二掺铒光纤；7-光纤耦合器；8-第一红外种子光源；9-第二红外种子光源；10-第五分光镜；11-第四分光镜；12-第一倍频晶体；13-第二倍频晶体；14-第一和频晶体；15-第二和频晶体；16-第一反射镜；17-非线性转换模块；18-第二反射镜；19-第三分光镜；20-激光控制部；21-第四激光功率探测器；22-第五激光功率探测器；23-第三激光功率探测器；24-激光脉冲时序控制部；25-第一激光功率探测器；26第二激光功率探测器；27-第一分光镜；28-第二分光镜；29-第一透镜；30-第二透镜；31-第三透镜；32-第四透镜；33-滤波器；34-第一旋转台；35-第二旋转台；36-第三旋转台；37-第四旋转台。
具体实施方式
下面将结合附图对本发明的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
在本发明的描述中，需要说明的是，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
此外，下面所描述的本发明不同实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互结合。
目前，193nm深紫外激光是光刻机中应用最为广泛的光源，193nm深紫外激光可以由1550nm波段的红外激光和1030nm波段的红外激光进行非线性变换获得，目前已有成熟的技术可以产生高功率的1030nm波段的红外激光，但是对于1550nm波段的红外激光，其输出功率依然较低。
基于此，本发明实施例提出一种红外种子光源，用于产生高功率的1550nm波段的红外激光。
如图1所示，本发明实施例提供的一种红外种子光源，包括：第一泵浦源1、第二泵浦源2和环形谐振腔，环形谐振腔包括依次连接并形成环形回路的第一波分复用器3、增益光纤、第二波分复用器4和光纤耦合器7；第一泵浦源1输出的激光经过第一波分复用器3从增益光纤的一端进入增益光纤为增益光纤提供泵浦能量；第二泵浦源2输出的激光经过第二波分复用器4从增益光纤的另一端进入增益光纤为增益光纤提供泵浦能量；增益光纤在第一泵浦源提供的泵浦能量以及第二泵浦源2提供的泵浦能量的激励下产生第一红外激光，第一红外激光在环形谐振腔中振荡放大并通过光纤耦合器7输出。
具体地，第一泵浦源1和第二泵浦源2输出激光的波长均为980nm或均为1480nm，可以采用电泵浦、化学泵浦、光泵浦、气动泵浦、半导体泵浦等泵浦方式，示例性地，第一泵浦源1和第二泵浦源2采用激光波长为980nm的激光二极管。第一泵浦源1和第二泵浦源2输出的泵浦能量分别从增益光纤的两端进入增益光纤并对增益光纤进行泵浦，即使增益光纤在一个方向上超过最佳长度后不能吸收泵浦能量，但是还能够吸收另一个方向提供的泵浦能量，使超过最佳长度的增益光纤也能够吸收泵浦光参与环形谐振腔内的激光振荡放大。
第一波分复用器3和第二波分复用器4的工作窗口为1550/980nm，通过第一波分复用器3和第二波分复用器4向增益光纤提供泵浦能量，再由第一波分复用器3、增益光纤、第二波分复用器4和光纤耦合器7形成的环形谐振腔中形成激光振荡放大并通过光纤耦合器7输出，输出的激光中心波长为1550nm，记为第一红外激光λ1。
其中，光纤耦合器7的分光比为80:20，即20%的光输出，剩余的光继续在环形谐振腔中振荡放大。当然，光纤耦合器7的分光比也可以根据实际情况调整，例如可以为70:30、90:10等。
应当理解地，在本发明实施例的红外种子光源中，第一波分复用器3、增益光纤、第二波分复用器4和光纤耦合器7等光学元件之间由普通的商用单模光纤并采用常规的光纤激光器的连接方式连接，包括但不限于熔接、一体制造等，各光学元件的纤芯尺寸相同，且各光学元件的损伤阈值大于第一泵浦源1和第二泵浦源2输入到环形谐振腔中的总功率。
本发明实施例提供的红外种子光源，采用双向泵浦的方式，通过调节第一泵浦源1和第二泵浦源2的功率，可以使超过最佳长度的增益光纤也能够吸收泵浦光参与环形谐振腔内的激光振荡放大，实现高功率的激光输出，同时，避免残余泵浦光在激光器内部转换成热量增加激光器的散热难度。
在一些实施例中，增益光纤包括一段、两段或多段掺铒光纤。
具体地，第一泵浦源1和第二泵浦源2均为尾纤输出的半导体激光器，增益光纤的总长度由泵浦源总功率和输出光谱中非线性光谱的强度以及所用光纤的吸收系数共同决定。
增益光纤长度应满足如下方程：
其中，为第n段增益光纤的长度，/>为第n段增益光纤的吸收系数，Q由泵浦源总功率和输出光谱中非线性光谱的强度共同决定。
因此，增益光纤可以根据吸收系数选用一段、两段或多段，并且，为了实现输出1550nm红外激光，增益光纤选用掺铒光纤，具体为高掺杂浓度的掺铒光纤、采用光纤拉制技术拉制的高增益掺铒光纤、双包层掺铒光纤、保偏型掺铒光纤等。当n为偶数时，增益介质的吸收系数从第一段到第n/2段逐渐增加，从第n/2+1段到第n段逐渐降低，当n为奇数时，增益介质的吸收系数从第一段到第(n+1)/2段逐渐增加，从第(n+1)/2+1段到第n段逐渐降低。
在一实施例中，增益光纤采用两段掺铒光纤，包括相互连接的第一掺铒光纤5和第二掺铒光纤6，采用两段掺铒光纤作为增益介质，相比采用一段掺铒光纤，可以避免激光***中光纤受热不均匀导致的非线性拉曼效应和横模不稳定效应，实现稳定的高功率激光输出。
在一些实施例中，如图2所示，红外种子光源还包括：第一分光镜27、第一激光功率探测器25、第一准直***、第二分光镜28、第二激光功率探测器26和第二准直***；第一分光镜27设置在第一泵浦源1的输出端口，用于将第一泵浦源1输出的激光分为两部分，一部分经过第一准直***进入第一波分复用器3，另一部分进入第一激光功率探测器25，第一激光功率探测器25用于测量第一泵浦源1输出的激光的功率；第二分光镜28设置在第二泵浦源2的输出端口，用于将第二泵浦源2输出的激光分为两部分，一部分经过第二准直***进入第二波分复用器4，另一部分进入第二激光功率探测器26，第二激光功率探测器26用于测量第二泵浦源2输出的激光的功率。
具体地，第一分光镜27和第二分光镜28为棱镜式分光镜或光栅式分光镜，在本实施例中第一分光镜27和第二分光镜28均采用分光棱镜。第一分光镜27入射角度为45°，配置于第一泵浦源1的输出端口，使得一部分泵浦激光入射到第一激光功率探测器25；第二分光镜28入射角度为45°，配置于第二泵浦源2的输出端口，使得一部分泵浦激光入射到第二激光功率探测器26。
第一准直***和第二准直***的作用均是使激光准直，形成平行光。
具体地，第一准直***包括第一透镜29和第二透镜30，第一透镜29和第二透镜30依次设置在第一泵浦源1输出的激光经过第一分光镜27之后的光路上；第二准直***包括第三透镜31和第四透镜32，第三透镜31和第四透镜32依次设置在第二泵浦源2输出的激光经过第二分光镜28之后的光路上。
第一泵浦源1输出的激光经过第一分光镜27后，一部分用于第一激光功率探测器25测量第一泵浦源1输出激光的功率P3，剩余部分经过由第一透镜29和第二透镜30组成的第一准直***准直耦合进入第一波分复用器3，第二泵浦源2输出的激光经过第二分光镜28后，一部分用于第二激光功率探测器26测量第二泵浦源2的输出激光功率P4，剩余部分经过由第三透镜31和第四透镜32组成的第二准直***准直耦合进入第二波分复用器4，第一波分复用器3和第二波分复用器4将第一泵浦源1和第二泵浦源2的输出激光耦合进环形谐振腔中形成激光振荡放大并通过光纤耦合器7输出，输出的激光中心波长为。
将第一激光功率探测器25和第二激光功率探测器26测量得到的激光的功率发送至对应的控制单元，从而对第一泵浦源1和第二泵浦源2的输出激光进行实时监控，当监控值和设定目标值不同时，调整第一泵浦源1和第二泵浦源2的输出功率，从而使监控值和设定目标值相同。
具体地，第一透镜29和第二透镜30的透镜两侧均镀有对第一泵浦源1输出激光透过率在99%以上的增透介质膜；第三透镜31和第四透镜32的透镜两侧均镀有对第二泵浦源2输出激光透过率在99%以上的增透介质膜。通过设置对应的增透介质膜，以增大激光透过率，降低激光传播损耗。
在一些实施例中，如图3所示，环形谐振腔还包括滤波器33，滤波器33设置在第二波分复用器4和光纤耦合器7之间。
具体地，滤波器33可以是光纤法布里珀罗滤波器33、萨格纳克滤波器33、光纤马赫曾德尔干涉仪或其他商用光学可调谐滤波器33。通过在环形谐振腔中加入滤波器33使得输出波长具有一定的调谐范围。
为了得到满足全息光刻要求的高功率、高光束质量M2的激光输出，本发明实施例还提供一种激光***，该激光***用于硅片的曝光工艺。
如图4所示，该激光***包括第一红外种子光源8、第二红外种子光源9、非线性转换模块17、第三分光镜19、第三激光功率探测器23和激光控制部20，第一红外种子光源8采用本发明上述实施例中的红外种子光源；非线性转换模块17用于将第一红外种子光源8输出的第一红外激光和所述第二红外种子光源9输出的第二红外激光转换成深紫外激光；第三分光镜19用于将深紫外激光分成两部分，一部分作为输出激光，一部分发射至第三激光功率探测器23；第三激光功率探测器23用于测量深紫外激光的实时功率并将测量的实时功率发送至激光控制部20；激光控制部20用于根据深紫外激光的实时功率和设定的目标输出功率调节第一红外种子光源8输出的第一红外激光的功率。
具体地，第一红外种子光源8输出的第一红外激光的波长为1550nm的高功率红外激光。
第三分光镜19为棱镜式分光镜或光栅式分光镜，具体地，在本实施例中第三分光镜19采用分光棱镜，该分光棱镜入射角度为45°，配置于非线性转换模块17的输出光路上，使一部分激光输出至第三激光功率探测器23。
激光控制部20采用单片机、电脑或手机等控制终端，用于执行各种设定控制逻辑。
第一红外种子光源8输出的第一红外激光以及第二红外种子光源9输出的第二红外激光经过的高功率红外激光经过非线性转换模块17进行波长转换后输出193nm深紫外激光，激光经过第三分光镜19分光后，一部分作为激光输出，另一部分由第三激光功率探测器23探测功率PA并反馈至激光控制部20，激光控制部20对比激光***的实时输出功率PA和设定的目标输出功率PT，若PA=PT，则激光***输出符合功率要求的193nm激光，若PA≠PT，则调节第一红外种子光源8的输出激光功率P1，使实时输出功率PA等于目标输出功率PT，从而输出符合功率要求的193nm激光。
本发明实施例的激光***，其中的第一红外种子光源8采用双向泵浦的方式，通过调节第一泵浦源1和第二泵浦源2的功率，可以使超过最佳长度的增益光纤也能够吸收泵浦光参与环形谐振腔内的激光振荡放大，实现高功率的激光输出，同时，避免残余泵浦光在激光器内部转换成热量增加激光器的散热难度。并且，通过第三激光功率探测器23测量深紫外激光的实时功率并将测量的实时功率发送至激光控制部20，激光控制部20根据深紫外激光的实时功率和设定的目标输出功率调节第一红外种子光源8输出的第一红外激光的功率，从而使输出的深紫外激光的功率达到设定的目标输出功率，实现对深紫外激光的功率的实时调节。
在一些实施例中，非线性转换模块17包括第一倍频晶体12、第二倍频晶体13、第一和频晶体14和第二和频晶体15；第二红外种子光源9输出的第二红外激光依次经过第一倍频晶体12和第二倍频晶体13进行倍频后进入第一和频晶体14，第一红外种子光源8输出的第一红外激光进入第一和频晶体14与经过倍频后的第二红外激光进行和频生成和频激光，和频激光和剩余的第一红外激光共同进入第二和频晶体15进行和频后输出深紫外激光；激光***还包括激光脉冲时序控制部24，激光脉冲时序控制部24用于控制第一红外种子光源8输出的激光和第二红外种子光源9输出的经过两次倍频后的激光同时到达第一和频晶体14。
具体地，第一红外种子光源8和第二红外种子光源9输出的激光从产生到抵达第一和频晶体14时间存在时间差，激光脉冲时序控制部24根据该时间差控制第一红外种子光源8和第二红外种子光源9输出激光的时间从而使激光同时到达第一和频晶体14。
进一步，激光***还包括第四分光镜11、第四激光功率探测器21、第五分光镜和第五激光功率探测器；第四分光镜11设置在第一红外种子光源8的输出端，用于将第一红外激光分成两部分，一部分进入第四激光功率探测器21，另一部分进入第一和频晶体14；第五分光镜10设置在第二红外种子光源9的输出端，用于将第二红外激光分成两部分，一部分进入第五激光功率探测器22，另一部分进入第一倍频晶体12；第四激光功率探测器21用于测量第一红外激光的功率并将测量值发送至激光控制部20；第五激光功率探测器22用于测量第二红外激光的功率并将测量值发送至激光控制部20。
具体地，第四分光镜11采用分光棱镜，其入射角度为45°，配置于第一红外种子光源8的输出端，使得第一红外种子光源8输出的一部分激光入射到第四激光功率探测器21。
第五分光镜10采用分光棱镜，其入射角度为45°，配置于第二红外种子光源9的输出端，使得第二红外种子光源9输出的一部分激光入射到第四激光功率探测器21。
具体地，第二红外种子光源9为输出中心波长为1030nm的高功率掺镱钇铝石榴石(Yb:YAG)激光器，激光器谐振腔内部放置的标准具能够保证激光以某一特定频率的纵模起振输出准单频的1030nm激光。
第一倍频晶体12采用LBO非线性光学晶体，倍频方式为温度相位匹配或角度相位匹配，且晶体两端面均镀有对λ2和λ2/2波长激光的透过率在99%以上的增透介质膜。
第二倍频晶体13采用CLBO非线性光学晶体，倍频方式为温度相位匹配或角度相位匹配，且晶体两端面均镀有对λ2/2和λ2/4波长激光的透过率在99%以上的增透介质膜。
第一和频晶体14采用CLBO非线性光学晶体，和频方式为温度相位匹配或角度相位匹配，且晶体两端面均镀有对λ2/4、λ1和λ3波长激光的透过率在99%以上的增透介质膜。
第二和频晶体15采用CLBO非线性光学晶体，和频方式为温度相位匹配或角度相位匹配，且晶体两端面均镀有对λ3、λ1和193nm波长激光的透过率在99%以上的增透介质膜。
非线性转换模块17的工作原理为：第二红外种子光源9输出的第二红外激光的中心波长为1030nm，记为λ2，第二红外种子光源9输出的第二红外激光进入第一倍频晶体12进行二倍频输出波长变为λ2/2的激光，进入第二倍频晶体13进行四倍频后输出波长变为λ2/4的激光，激光脉冲时序控制部24用于控制第一红外种子光源8输出的第一红外激光λ1同第二红外种子光源9输出的经过四倍频后的激光λ2/4同时到达第一和频晶体14进行非线性转换后输出激光λ3，激光λ3和剩余的第一红外激光λ1继续进入第二和频晶体15进行非线性转换输出193nm的深紫外激光。
如图6所示，激光控制部20的控制原理为：激光控制部20接收第三激光功率探测器23测量的激光***的实时输出功率PA，将实时输出功率PA和设定的目标输出功率PT进行对比，若PA=PT，则激光***输出符合功率要求的193nm激光，若PA≠PT，则调节第一红外种子光源8的输出激光功率P1和第二红外种子光源9的输出激光功率P2，使实时输出功率PA等于目标输出功率PT，从而输出符合功率要求的193nm激光。具体地，将第一红外种子光源8输出的第一红外激光的功率P1固定为一个较大的值，例如，调节第一泵浦源1的输出功率以及第二泵浦源2的输出功率，并实时监测第一红外种子光源8输出的实时功率P1，直到第四激光功率探测器21监测到第一红外种子光源8输出最大的激光功率P1。当实时输出功率PA小于设定的目标输出功率PT时，逐步增大第二红外种子光源9输出的第二红外激光的功率P2，使得PA=PT。同时，通过第四激光功率探测器21测量第一红外激光的功率，第五激光功率探测器22测量第二红外激光的功率，实现监控第一红外种子光源8和第二红外种子光源9输出的激光的功率。
在一些实施例中，激光***还包括第一反射镜16和第二反射镜18，第一反射镜16设置于第二和频晶体15的输出端，用于将深紫外激光传输至第二反射镜18，第二反射镜18用于将深紫外激光传输至第三分光镜19。
第一反射镜16和第二反射镜18均采用高反射镜，第一反射镜16反射193nm激光进入第二反射镜18，第一反射镜16靠近第二和频晶体15的一面镀有对193nm激光反射率在99%以上的高反介质膜。第二反射镜18配置于第一反射镜16的反射光路上使从非线性转换模块17输出的193nm激光能够入射进第三分光镜19，第二反射镜18朝向第一反射镜16的一面镀有对193nm激光反射率在99%以上的高反介质膜。
在一些实施例中，如图5所示，非线性转换模块17还包括第一旋转台34、第二旋转台35、第三旋转台36和第四旋转台37，第一旋转台34、第二旋转台35、第三旋转台36和第四旋转台37分别用于调整激光进入第一倍频晶体12、第二倍频晶体13、第一和频晶体14和第二和频晶体15的角度。
具体地，第一旋转台34、第二旋转台35、第三旋转台36和第四旋转台37内设有和激光控制部20连接的旋转电机，激光控制部20根据目标输出功率对第一旋转台34、第二旋转台35、第三旋转台36以及第四旋转台37内的旋转电机进行控制，调节各波长激光入射进各个倍频晶体及和频晶体的角度，使得射入倍频晶体及和频晶体的激光能够以更加匹配相位的角度入射，使得非线性转换模块17具有最大的转换效率，同时也能够防止第一红外种子光源8和/或第二红外种子光源9的输出波长发生漂移时，各倍频晶体及和频晶体的相位匹配偏移，导致非线性转换模块17的波长转换效率较低，进而导致激光***的实时输出功率降低。
本发明实施例的激光***，其中的第一红外种子光源8采用双向泵浦并结合增益光纤的方式，双向泵浦可以保证对增益光纤的充分泵浦，使用增益光纤既可以充分吸收泵浦光和利用残余的泵浦光，也可以避免因光纤吸收不均匀导致的非线性拉曼效应和横模不稳定效应，使得激光器可以充分利用泵浦光和较长长度的增益光纤，提高激光器***的能量转换效率，实现激光器稳定的高功率激光输出。
并且，实时监控第一红外种子光源8的激光输出功率P1、第二红外种子光源9的激光输出功率P2和激光***的激光输出功率PA，并通过调节第一红外种子光源8的激光输出功率P1和第二红外种子光源9的激光输出功率P2，使激光***最终输出与目标输出功率一致的高功率193nm激光，满足全息光刻要求的短波长、高功率、高光束质量M2、高效率激光输出。
其中，本发明实施例的激光***可以作为曝光设备的组成部分，应用于芯片制备工艺中，以实现对硅衬底上光刻胶层的曝光操作，确保光刻质量，提高光刻良率和效率。
虽然结合附图描述了本发明的实施例，但是本领域技术人员可以在不脱离本发明的精神和范围的情况下做出各种修改和变型，这样的修改和变型均落入由所附权利要求所限定的范围之内。
Claims (10)
1.一种红外种子光源，其特征在于，包括：
第一泵浦源（1）、第二泵浦源（2）和环形谐振腔，所述环形谐振腔包括依次连接并形成环形回路的第一波分复用器（3）、增益光纤、第二波分复用器（4）和光纤耦合器（7）；
所述第一泵浦源（1）输出的激光经过所述第一波分复用器（3）从所述增益光纤的一端进入所述增益光纤为所述增益光纤提供泵浦能量；
所述第二泵浦源（2）输出的激光经过所述第二波分复用器（4）从所述增益光纤的另一端进入所述增益光纤为所述增益光纤提供泵浦能量；
所述增益光纤在所述第一泵浦源（1）提供的泵浦能量以及所述第二泵浦源（2）提供的泵浦能量的激励下产生第一红外激光，所述第一红外激光在所述环形谐振腔中振荡放大并通过所述光纤耦合器（7）输出。
2.根据权利要求1所述的红外种子光源，其特征在于，所述环形谐振腔还包括滤波器（33），所述滤波器（33）设置在所述第二波分复用器（4）和所述光纤耦合器（7）之间。
3.根据权利要求1所述的红外种子光源，其特征在于，红外种子光源还包括：第一分光镜（27）、第一激光功率探测器（25）、第一准直***、第二分光镜（28）、第二激光功率探测器（26）和第二准直***；
所述第一分光镜（27）设置在所述第一泵浦源（1）的输出端口，用于将所述第一泵浦源（1）输出的激光分为两部分，一部分经过所述第一准直***进入所述第一波分复用器（3），另一部分进入所述第一激光功率探测器（25），所述第一激光功率探测器（25）用于测量所述第一泵浦源（1）输出的激光的功率；
所述第二分光镜（28）设置在所述第二泵浦源（2）的输出端口，用于将所述第二泵浦源（2）输出的激光分为两部分，一部分经过所述第二准直***进入所述第二波分复用器（4），另一部分进入所述第二激光功率探测器（26），所述第二激光功率探测器（26）用于测量所述第二泵浦源（2）输出的激光的功率。
4.根据权利要求3所述的红外种子光源，其特征在于，所述第一准直***包括第一透镜（29）和第二透镜（30），所述第一透镜（29）和所述第二透镜（30）依次设置在所述第一泵浦源（1）输出的激光经过所述第一分光镜（27）之后的光路上；
所述第二准直***包括第三透镜（31）和第四透镜（32），所述第三透镜（31）和所述第四透镜（32）依次设置在所述第二泵浦源（2）输出的激光经过所述第二分光镜（28）之后的光路上。
5.根据权利要求1所述的红外种子光源，其特征在于，所述增益光纤包括一段、两段或多段掺铒光纤。
6.一种激光***，其特征在于，包括第一红外种子光源（8）、第二红外种子光源（9）、非线性转换模块（17）、第三分光镜（19）、第三激光功率探测器（23）和激光控制部（20），所述第一红外种子光源（8）采用如权利要求1至5任一项所述的红外种子光源；
所述非线性转换模块（17）用于将所述第一红外种子光源（8）输出的第一红外激光和所述第二红外种子光源（9）输出的第二红外激光转换成深紫外激光；
所述第三分光镜（19）用于将所述深紫外激光分成两部分，一部分作为输出激光，一部分发射至所述第三激光功率探测器（23）；
所述第三激光功率探测器（23）用于测量深紫外激光的实时功率并将测量的实时功率发送至所述激光控制部（20）；
所述激光控制部（20）用于根据深紫外激光的实时功率和设定的目标输出功率调节所述第一红外种子光源（8）输出的第一红外激光的功率。
7.根据权利要求6所述的激光***，其特征在于，所述非线性转换模块（17）包括第一倍频晶体（12）、第二倍频晶体（13）、第一和频晶体（14）和第二和频晶体（15）；
所述第二红外种子光源（9）输出的第二红外激光依次经过所述第一倍频晶体（12）和所述第二倍频晶体（13）进行倍频后进入所述第一和频晶体（14），所述第一红外种子光源（8）输出的所述第一红外激光进入所述第一和频晶体（14）与经过倍频后的所述第二红外激光进行和频生成和频激光，所述和频激光和剩余的所述第一红外激光共同进入所述第二和频晶体（15）进行和频后输出深紫外激光；
激光***还包括激光脉冲时序控制部（24），所述激光脉冲时序控制部（24）用于控制所述第一红外种子光源（8）输出的激光和所述第二红外种子光源（9）输出的经过两次倍频后的激光同时到达所述第一和频晶体（14）。
8.根据权利要求7所述的激光***，其特征在于，激光***还包括第一反射镜（16）和第二反射镜（18），所述第一反射镜（16）设置于所述第二和频晶体（15）的输出端，用于将所述深紫外激光传输至所述第二反射镜（18），所述第二反射镜（18）用于将所述深紫外激光传输至所述第三分光镜（19）。
9.根据权利要求8所述的激光***，其特征在于，激光***还包括第四分光镜（11）、第四激光功率探测器（21）、第五分光镜（10）和第五激光功率探测器（22）；
所述第四分光镜（11）设置在所述第一红外种子光源（8）的输出端，用于将所述第一红外激光分成两部分，一部分进入所述第四激光功率探测器（21），另一部分进入所述第一和频晶体（14）；
所述第五分光镜（10）设置在所述第二红外种子光源（9）的输出端，用于将所述第二红外激光分成两部分，一部分进入所述第五激光功率探测器（22），另一部分进入所述第一倍频晶体（12）；
所述第四激光功率探测器（21）用于测量所述第一红外激光的功率并将测量值发送至所述激光控制部（20）；
所述第五激光功率探测器（22）用于测量所述第二红外激光的功率并将测量值发送至所述激光控制部（20）。
10.根据权利要求7所述的激光***，其特征在于，所述非线性转换模块（17）还包括第一旋转台（34）、第二旋转台（35）、第三旋转台（36）和第四旋转台（37），所述第一旋转台（34）、所述第二旋转台（35）、所述第三旋转台（36）和所述第四旋转台（37）分别用于调整激光进入所述第一倍频晶体（12）、所述第二倍频晶体（13）、所述第一和频晶体（14）和所述第二和频晶体（15）的角度。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202311111045.1A CN116826496B (zh) | 2023-08-31 | 2023-08-31 | 一种红外种子光源及激光*** |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202311111045.1A CN116826496B (zh) | 2023-08-31 | 2023-08-31 | 一种红外种子光源及激光*** |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN116826496A true CN116826496A (zh) | 2023-09-29 |
| CN116826496B CN116826496B (zh) | 2024-01-26 |
Family
ID=88127873
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202311111045.1A Active CN116826496B (zh) | 2023-08-31 | 2023-08-31 | 一种红外种子光源及激光*** |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN116826496B (zh) |
Citations (16)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN1123481A (zh) * | 1995-07-27 | 1996-05-29 | 清华大学 | 实现光纤环形腔双向单模激射的方法及其光纤陀螺激光器 |
| CN1976141A (zh) * | 2006-12-13 | 2007-06-06 | 北京航空航天大学 | 单频可调谐掺铒光纤激光器*** |
| CN103227405A (zh) * | 2013-03-30 | 2013-07-31 | 广东汉唐量子光电科技有限公司 | 一种光纤激光产生紫外超短脉冲的装置 |
| CN103618203A (zh) * | 2013-12-16 | 2014-03-05 | 北京工业大学 | 980nm耗散孤子锁模激光器 |
| US20160301184A1 (en) * | 2015-04-06 | 2016-10-13 | Voxtel, Inc. | Solid-state laser system |
| CN106911060A (zh) * | 2017-03-30 | 2017-06-30 | 电子科技大学 | 波长可调的高效高功率中红外激光器 |
| CN109904715A (zh) * | 2019-04-24 | 2019-06-18 | 华南师范大学 | 一种低重频的1064nm自锁模保偏掺镱光纤激光器 |
| CN110829164A (zh) * | 2019-11-19 | 2020-02-21 | 长春理工大学 | 可同时产生孤子和类噪声脉冲的全光纤超短脉冲光源 |
| CN111129937A (zh) * | 2019-12-25 | 2020-05-08 | 山东省科学院激光研究所 | 一种窄带皮秒锁模光纤激光器 |
| CN112134134A (zh) * | 2020-11-04 | 2020-12-25 | 英诺激光科技股份有限公司 | 带自动功率优化功能的激光器 |
| CN112803226A (zh) * | 2019-11-14 | 2021-05-14 | 苏州曼德特光电技术有限公司 | 激光器 |
| CN113708204A (zh) * | 2021-09-26 | 2021-11-26 | 中国科学院半导体研究所 | 多腔复合脉冲激光器及多腔复合脉冲激光放大器 |
| CN114498276A (zh) * | 2022-02-15 | 2022-05-13 | 重庆邮电大学 | 一种222nm深紫外脉冲激光源的产生装置 |
| CN114825005A (zh) * | 2022-04-15 | 2022-07-29 | 清华大学 | 光纤激光器***及激光产生方法 |
| CN116191179A (zh) * | 2023-02-08 | 2023-05-30 | 天津大学 | 基于动态折射率光栅调控的瓦级线型腔单频光纤振荡器 |
| CN116565681A (zh) * | 2023-04-10 | 2023-08-08 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 一种193nm波长真空紫外全固态脉冲激光器 |
-
2023
- 2023-08-31 CN CN202311111045.1A patent/CN116826496B/zh active Active
Patent Citations (16)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN1123481A (zh) * | 1995-07-27 | 1996-05-29 | 清华大学 | 实现光纤环形腔双向单模激射的方法及其光纤陀螺激光器 |
| CN1976141A (zh) * | 2006-12-13 | 2007-06-06 | 北京航空航天大学 | 单频可调谐掺铒光纤激光器*** |
| CN103227405A (zh) * | 2013-03-30 | 2013-07-31 | 广东汉唐量子光电科技有限公司 | 一种光纤激光产生紫外超短脉冲的装置 |
| CN103618203A (zh) * | 2013-12-16 | 2014-03-05 | 北京工业大学 | 980nm耗散孤子锁模激光器 |
| US20160301184A1 (en) * | 2015-04-06 | 2016-10-13 | Voxtel, Inc. | Solid-state laser system |
| CN106911060A (zh) * | 2017-03-30 | 2017-06-30 | 电子科技大学 | 波长可调的高效高功率中红外激光器 |
| CN109904715A (zh) * | 2019-04-24 | 2019-06-18 | 华南师范大学 | 一种低重频的1064nm自锁模保偏掺镱光纤激光器 |
| CN112803226A (zh) * | 2019-11-14 | 2021-05-14 | 苏州曼德特光电技术有限公司 | 激光器 |
| CN110829164A (zh) * | 2019-11-19 | 2020-02-21 | 长春理工大学 | 可同时产生孤子和类噪声脉冲的全光纤超短脉冲光源 |
| CN111129937A (zh) * | 2019-12-25 | 2020-05-08 | 山东省科学院激光研究所 | 一种窄带皮秒锁模光纤激光器 |
| CN112134134A (zh) * | 2020-11-04 | 2020-12-25 | 英诺激光科技股份有限公司 | 带自动功率优化功能的激光器 |
| CN113708204A (zh) * | 2021-09-26 | 2021-11-26 | 中国科学院半导体研究所 | 多腔复合脉冲激光器及多腔复合脉冲激光放大器 |
| CN114498276A (zh) * | 2022-02-15 | 2022-05-13 | 重庆邮电大学 | 一种222nm深紫外脉冲激光源的产生装置 |
| CN114825005A (zh) * | 2022-04-15 | 2022-07-29 | 清华大学 | 光纤激光器***及激光产生方法 |
| CN116191179A (zh) * | 2023-02-08 | 2023-05-30 | 天津大学 | 基于动态折射率光栅调控的瓦级线型腔单频光纤振荡器 |
| CN116565681A (zh) * | 2023-04-10 | 2023-08-08 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 一种193nm波长真空紫外全固态脉冲激光器 |
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| 陈卫标 等: "空间应用激光器", vol. 1, 国防工业出版社, pages: 41 * |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN116826496B (zh) | 2024-01-26 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US8165178B2 (en) | Method and apparatus for pumping and operating optical parametric oscillators using DFB fiber lasers | |
| US8625645B2 (en) | Solid-state laser apparatus and laser system | |
| US7760788B2 (en) | Bandwidth-limited and long pulse master oscillator power oscillator laser systems | |
| US7006550B2 (en) | Traveling-wave lasers with a linear cavity | |
| US20170104308A1 (en) | Solid-state laser device based on a twisted-mode cavity and a volume grating | |
| WO1998025327A9 (en) | Frequency conversion laser | |
| JP6592784B2 (ja) | 固体レーザシステムおよびエキシマレーザシステム | |
| CN203193117U (zh) | 激光相干长度连续调节装置 | |
| JP2011054737A (ja) | パルス幅変換装置および光増幅システム | |
| CN216850735U (zh) | 一种窄线宽双波长固体激光器 | |
| CN115275751B (zh) | 一种窄线宽固体拉曼激光器中抑制受激布里渊散射的装置 | |
| WO2022083116A1 (zh) | 一种基于体布拉格光栅的双波长谐振腔 | |
| US7394837B2 (en) | Traveling-wave linear cavity laser | |
| CN103036143B (zh) | 一种连续调节激光相干长度的方法和装置 | |
| Paramonov et al. | Bismuth-doped fibre laser continuously tunable within the range from 1.36 to | |
| CN116826496B (zh) | 一种红外种子光源及激光*** | |
| US20030007730A1 (en) | Method and apparatus for fiber Bragg grating production | |
| JP2019532333A (ja) | カスケードしたロングパルス連続波ラマンレーザ | |
| Schubert et al. | Diffraction limited CW optically pumped lasers | |
| JP2553127B2 (ja) | 波長可変光ファイバラマンレーザ | |
| CN112366507B (zh) | 基于全固态连续波金绿宝石激光器的原子冷却光学装置 | |
| KR950002068B1 (ko) | 제2고조파 발생방법 및 그 장치 | |
| JP2006073549A (ja) | 外部共振器型波長可変光源 | |
| CN217984056U (zh) | 一种高稳定性双波长输出单频拉曼激光器 | |
| JPH09236837A (ja) | レーザー光源 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant |