CN116619152A - 一种半导体炉主炉室加工装置及加工方法 - Google Patents

一种半导体炉主炉室加工装置及加工方法 Download PDF

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Abstract

本发明公开了锅炉炉室加工技术领域的一种半导体炉主炉室加工装置，包括底座，底座侧壁安装有夹持组件，底座顶部固定连接有高度调节伸缩杆，高度调节伸缩杆活动端固定连接有顶板，顶板端部固定连接有旋转电机，旋转电机输出轴固定连接有固定连接有旋转支架，旋转支架端部均安装有滑座，旋转支架安装有用于驱动滑座相向移动的调节组件，滑座固定连接有打磨电机，打磨电机输出轴固定连接有不完全齿圈和不完全齿轮，不完全齿轮和不完全齿圈交替啮合有驱动齿轮，驱动齿轮固定连接有驱动轴，驱动轴固定连接有下打磨轮；通过往复正反转的驱动轴使下打磨轮不断的正反转，能够避免出现过度打磨与打磨不充分的情况。

Description

一种半导体炉主炉室加工装置及加工方法
技术领域
本发明涉及锅炉炉室加工技术领域，具体为一种半导体炉主炉室加工装置及加工方法。
背景技术
随着全球信息科技产业的迅速发展，有一个难以忽视的行业愈加突出－那就是半导体产业。
半导体锅炉主炉室作为锅炉的主要结构之一，锅炉的加工过程中，需要对主炉室内壁进行打磨，但现有的主炉室加工装置打磨部分转向单一，在使用过程中容易出现打磨死角和打磨不充分的情况出现，从而导致主炉室的质量受到影响，降低主炉室的合格率。
发明内容
本发明的技术问题在于提供一种半导体炉主炉室加工装置及加工方法。
为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：包括底座，所述底座侧壁安装有夹持组件，所述底座顶部固定连接有高度调节伸缩杆，所述高度调节伸缩杆活动端固定连接有顶板，所述顶板端部固定连接有旋转电机，所述旋转电机输出轴固定连接有固定连接有旋转支架，所述旋转支架端部均安装有滑座，所述旋转支架安装有用于驱动滑座相向移动的调节组件，所述滑座固定连接有打磨电机，所述打磨电机输出轴固定连接有不完全齿圈和不完全齿轮，所述不完全齿轮和不完全齿圈交替啮合有驱动齿轮，所述驱动齿轮固定连接有驱动轴，所述驱动轴固定连接有下打磨轮。
作为本发明的进一步方案，所述驱动轴固定连接有上齿圈，所述驱动轴套设有滑套，所述滑套底部固定连接有上打磨轮，所述滑套顶部固定连接有下齿圈，所述滑座底部固定连接有定位板，所述定位板转动连接有与上齿圈啮合的上齿轮、与下齿圈啮合的下齿轮，所述上齿轮和下齿轮相互啮合。
作为本发明的进一步方案，所述夹持组件包括底板，所述底板固定连接有夹持伸缩杆，所述夹持伸缩杆活动端转动连接有夹持齿轮，所述夹持伸缩杆固定端固定连接有U型结构的驱动架，所述驱动架两端内侧均滑动连接有滑板，所述滑板内侧均固定连接有与夹持齿轮啮合的夹持齿条。
作为本发明的进一步方案，所述滑板端部均固定连接有橡胶垫。
作为本发明的进一步方案，所述底板有若干个且呈圆周阵列排布，所述底板端部两侧均固定连接有连接耳，所述连接耳螺纹连接有定位螺栓，所述底板端部固定连接有与底座滑动连接的滑块。
作为本发明的进一步方案，所述调节组件包括与滑座固定连接的固定轴，所述固定轴固定连接有调节齿条，所述调节齿条共同啮合有调节齿轮。
一种锅炉炉室加工方法，适用于以上一种半导体炉主炉室加工装置，该锅炉炉室加工方法的具体步骤如下：
步骤一：夹持伸缩杆通过夹持齿轮、夹持齿条推动滑板移动，两个滑板先后抵触主炉室，不仅能够对不同尺寸的主炉室进行夹持，还能避免主炉室凸起与凹陷影响主炉室夹持稳定性；
步骤二：高度调节伸缩杆将旋转支架下降至主炉室内，通过转动调节齿轮，使调节齿条向四周移动，滑座将底部的下打磨轮抵触主炉室内壁；
步骤三：打磨电机通过不完全齿圈和不完全齿轮交替啮合驱动齿轮，使驱动轴往复正反转，下打磨轮对主炉室内壁进行打磨；
步骤四：高度调节伸缩杆降低下打磨轮对主炉室内壁进行逐一打磨；
步骤五：下打磨轮打磨至主炉室底部时，反向转动调节齿轮，反向调节齿轮通过固定轴将滑座向中心移动，使下打磨轮脱离主炉室，高度调节伸缩杆将下打磨轮顶出主炉室。
与现有技术相比，本发明的有益效果是：
本发明中，旋转电机通过输出轴带动旋转支架转动，旋转支架通过滑座带动下打磨轮围绕锅炉主炉室内壁转动，使下打磨轮能够对锅炉内壁同一高度进行逐一打磨加工，高度调节伸缩杆能够降低下打磨轮的高度，从而实现对主炉室内壁不同高度的区域进行打磨加工，另外，不完全齿轮与不完全齿圈交替啮合驱动齿轮，驱动齿轮在不完全齿圈和不完全齿轮的作用下能够不断地正反转，驱动齿轮通过驱动轴带动下打磨轮往复正反转，往复正反转的下打磨轮对接触位置的锅炉主炉室位置进行打磨，对主炉室内壁打磨的下打磨轮转向能够正反转，避免了下打磨轮转向单一，导致主炉室内壁出现打磨死角或打磨不充分的情况，降低主炉室的质量影响主炉室的合格率；下打磨轮围绕主炉室内壁转动相比锅炉主炉室转动实现主炉室内壁打磨，整体动静与震动相对更小，需要的动力源也相对偏小，能够降低锅炉主炉室内壁打磨的消耗。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例的技术方案，下面将对实施例描述所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本发明总体结构示意图；
图2为本发明旋转支架及其连接关系结构示意图；
图3为本发明滑座及其连接关系结构示意图；
图4为本发明不完全齿圈及其连接关系***结构示意图；
图5为本发明下齿圈及其连接关系结构示意图；
图6为本发明夹持组件结构示意图；
附图中，各标号所代表的部件列表如下：
1、底座；2、高度调节伸缩杆；3、顶板；4、旋转电机；5、旋转支架；6、滑座；7、打磨电机；8、不完全齿圈；9、不完全齿轮；10、驱动齿轮；11、驱动轴；12、下打磨轮；13、上齿圈；14、滑套；15、上打磨轮；16、下齿圈；17、定位板；18、上齿轮；19、下齿轮；20、固定轴；21、调节齿条；22、调节齿轮；23、底板；24、夹持伸缩杆；25、夹持齿轮；26、驱动架；27、滑板；28、夹持齿条；29、橡胶垫；30、连接耳；31、定位螺栓；32、滑块。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本发明保护的范围。
请参阅图1-6，本发明提供一种技术方案：包括底座1，底座1侧壁安装有夹持组件，底座1顶部固定连接有高度调节伸缩杆2，高度调节伸缩杆2活动端固定连接有顶板3，顶板3端部固定连接有旋转电机4，旋转电机4输出轴固定连接有固定连接有旋转支架5，旋转支架5端部均安装有滑座6，旋转支架5安装有用于驱动滑座6相向移动的调节组件，滑座6固定连接有打磨电机7，打磨电机7输出轴固定连接有不完全齿圈8和不完全齿轮9，不完全齿轮9和不完全齿圈8交替啮合有驱动齿轮10，驱动齿轮10固定连接有驱动轴11，驱动轴11固定连接有下打磨轮12；
工作时，将待加工的锅炉主炉室移动至底座1上，夹持组件对待加工的锅炉主炉室进行固定，锅炉主炉室固定后，高度调节伸缩杆2活动端收缩，使顶板3下降，顶板3带动旋转电机4和旋转支架5下降，旋转支架5带动下打磨轮12下降，当下打磨轮12顶部移动至与锅炉主炉室顶部齐平后高度调节伸缩杆2活动端暂时停止移动；调节组件调节旋转支架5底部滑座6的位置，滑座6通过驱动轴11带动下打磨轮12向四周移动，直到下打磨轮12接触锅炉主炉室内壁，停止调节滑座6位置；启动打磨电机7和旋转电机4，打磨电机7通过输出轴带动不完全齿圈8和不完全齿轮9转动，不完全齿轮9与不完全齿圈8交替啮合驱动齿轮10，驱动齿轮10在不完全齿圈8和不完全齿轮9的作用下能够不断地正反转，驱动齿轮10通过驱动轴11带动下打磨轮12往复正反转，往复正反转的下打磨轮12对接触位置的锅炉主炉室位置进行打磨；同时，旋转电机4通过输出轴带动旋转支架5转动，旋转支架5通过滑座6带动下打磨轮12围绕锅炉主炉室内壁转动，高度调节伸缩杆2活动端继续下降，使下打磨轮12逐渐向锅炉底部移动，实现对锅炉内壁逐一进行打磨加工，
综上所述，旋转电机4通过输出轴带动旋转支架5转动，旋转支架5通过滑座6带动下打磨轮12围绕锅炉主炉室内壁转动，使下打磨轮12能够对锅炉内壁同一高度进行逐一打磨加工，高度调节伸缩杆2能够降低下打磨轮12的高度，从而实现对主炉室内壁不同高度的区域进行打磨加工，另外，不完全齿轮9与不完全齿圈8交替啮合驱动齿轮10，驱动齿轮10在不完全齿圈8和不完全齿轮9的作用下能够不断地正反转，驱动齿轮10通过驱动轴11带动下打磨轮12往复正反转，往复正反转的下打磨轮12对接触位置的锅炉主炉室位置进行打磨，对主炉室内壁打磨的下打磨轮12转向能够正反转，避免了下打磨轮12转向单一，导致主炉室内壁出现打磨死角或打磨不充分的情况，降低主炉室的质量影响主炉室的合格率；下打磨轮12围绕主炉室内壁转动相比锅炉主炉室转动实现主炉室内壁打磨，整体动静与震动相对更小，需要的动力源也相对偏小，能够降低锅炉主炉室内壁打磨的消耗。
作为本发明的进一步方案，驱动轴11固定连接有上齿圈13，驱动轴11套设有滑套14，滑套14底部固定连接有上打磨轮15，滑套14顶部固定连接有下齿圈16，滑座6底部固定连接有定位板17，定位板17转动连接有与上齿圈13啮合的上齿轮18、与下齿圈16啮合的下齿轮19，上齿轮18和下齿轮19相互啮合；
工作时，驱动轴11转动过程中带动上齿圈13转动，上齿圈13带动上齿轮18转动，上齿轮18通过下齿轮19带动下齿圈16转动，下齿圈16带动滑套14转动，滑套14带动上打磨轮15转动，上打磨轮15对主炉室接触位置进行打磨，通过上齿圈13、上齿轮18、下齿轮19和下齿圈16使上打磨轮15转动并且与下打磨轮12转向相反，进一步避免主炉室内壁出现打磨死角或打磨不充分的情况，降低主炉室的质量影响主炉室的合格率。
作为本发明的进一步方案，夹持组件包括底板23，底板23固定连接有夹持伸缩杆24，夹持伸缩杆24活动端转动连接有夹持齿轮25，夹持伸缩杆24固定端固定连接有U型结构的驱动架26，驱动架26两端内侧均滑动连接有滑板27，滑板27内侧均固定连接有与夹持齿轮25啮合的夹持齿条28；
工作时，夹持伸缩杆24活动端带动夹持齿轮25向锅炉主炉室移动，夹持齿轮25带动两侧的夹持齿条28移动，夹持齿条28带动滑板27移动，当其中一个滑板27接触锅炉主炉室外壁时，接触主炉室外壁的滑板27停止移动，而夹持齿轮25继续移动，夹持齿轮25在停止移动的夹持齿条28作用下转动，夹持齿轮25带动活动的夹持齿条28、滑板27加速向主炉室移动，直到两个滑板27均接触主炉室外壁，此装置能够避免主炉室突起或凹陷位置影响夹持组件对主炉室的夹持，导致主炉室加工时晃动，降低主炉室内壁打磨加工的精细程度；
当主炉室加工完成后，夹持伸缩杆24活动端收缩夹持齿轮25带动两侧的夹持齿条28移动，首先接触主炉室的夹持齿条28抵触驱动架26，接触驱动架26的夹持齿条28再次停止移动并且通过夹持齿轮25带动另一侧的夹持齿条28移动，直到两个夹持齿条28均接触驱动架26，此时两个滑板27自动复位，为下次夹持做准备，架次组件不仅能够适用于不同尺寸的主炉室夹持，还能够避免主炉室突起或凹陷位置对夹持稳定性的干扰。
作为本发明的进一步方案，滑板27端部均固定连接有橡胶垫29；
工作时，橡胶垫29能够降低滑板27对主炉室外壁造成的损伤，避免主炉室外壁被刮花，导致主炉室外观受损，影响美观。
作为本发明的进一步方案，底板23有若干个且呈圆周阵列排布，底板23端部两侧均固定连接有连接耳30，连接耳30螺纹连接有定位螺栓31，底板23端部固定连接有与底座1滑动连接的滑块32；
工作时，底板23通过滑块32与底座1滑动设置，使底板23的位置发生改变，增加夹持位置和方便主炉室的放置与取出，定位螺栓31与连接耳30配合能够对底板23进行固定，避免主炉室加工过程中出现脱离的情况出现，导致主炉室晃动，影响主炉室的打磨加工。
作为本发明的进一步方案，调节组件包括与滑座6固定连接的固定轴20，固定轴20固定连接有调节齿条21，调节齿条21共同啮合有调节齿轮22；
工作时，转动调节齿轮22，调节齿轮22通过调节齿条21带动固定轴20移动，固定轴20带动与其固定连接的滑座6移动，从而改变滑座6和上打磨轮15和下打磨轮12的位置，使装置能够对不同尺寸的主炉室内壁进行打磨加工，另外，能够调整上打磨轮15和下打磨轮12与主炉室内壁的贴合程度，避免出现过度打磨与打磨不充分的情况。
一种锅炉炉室加工方法，具体步骤如下：
步骤一：夹持伸缩杆24通过夹持齿轮25、夹持齿条28推动滑板27移动，两个滑板27先后抵触主炉室，不仅能够对不同尺寸的主炉室进行夹持，还能避免主炉室凸起与凹陷影响主炉室夹持稳定性；
步骤二：高度调节伸缩杆2将旋转支架5下降至主炉室内，通过转动调节齿轮22，使调节齿条21向四周移动，滑座6将底部的下打磨轮12抵触主炉室内壁；
步骤三：打磨电机7通过不完全齿圈8和不完全齿轮9交替啮合驱动齿轮10，使驱动轴11往复正反转，下打磨轮12对主炉室内壁进行打磨；
步骤四：高度调节伸缩杆2降低下打磨轮12对主炉室内壁进行逐一打磨；
步骤五：下打磨轮12打磨至主炉室底部时，反向转动调节齿轮22，反向调节齿轮22通过固定轴20将滑座6向中心移动，使下打磨轮12脱离主炉室，高度调节伸缩杆2将下打磨轮12顶出主炉室。

Claims (7)

1.一种半导体炉主炉室加工装置，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)侧壁安装有夹持组件，所述底座(1)顶部固定连接有高度调节伸缩杆(2)，所述高度调节伸缩杆(2)活动端固定连接有顶板(3)，所述顶板(3)端部固定连接有旋转电机(4)，所述旋转电机(4)输出轴固定连接有固定连接有旋转支架(5)，所述旋转支架(5)端部均安装有滑座(6)，所述旋转支架(5)安装有用于驱动滑座(6)相向移动的调节组件，所述滑座(6)固定连接有打磨电机(7)，所述打磨电机(7)输出轴固定连接有不完全齿圈(8)和不完全齿轮(9)，所述不完全齿轮(9)和不完全齿圈(8)交替啮合有驱动齿轮(10)，所述驱动齿轮(10)固定连接有驱动轴(11)，所述驱动轴(11)固定连接有下打磨轮(12)。
2.根据权利要求1所述的一种半导体炉主炉室加工装置，其特征在于：所述驱动轴(11)固定连接有上齿圈(13)，所述驱动轴(11)套设有滑套(14)，所述滑套(14)底部固定连接有上打磨轮(15)，所述滑套(14)顶部固定连接有下齿圈(16)，所述滑座(6)底部固定连接有定位板(17)，所述定位板(17)转动连接有与上齿圈(13)啮合的上齿轮(18)、与下齿圈(16)啮合的下齿轮(19)，所述上齿轮(18)和下齿轮(19)相互啮合。
3.根据权利要求1或2所述的一种半导体炉主炉室加工装置，其特征在于：所述夹持组件包括底板(23)，所述底板(23)固定连接有夹持伸缩杆(24)，所述夹持伸缩杆(24)活动端转动连接有夹持齿轮(25)，所述夹持伸缩杆(24)固定端固定连接有U型结构的驱动架(26)，所述驱动架(26)两端内侧均滑动连接有滑板(27)，所述滑板(27)内侧均固定连接有与夹持齿轮(25)啮合的夹持齿条(28)。
4.根据权利要求3所述的一种半导体炉主炉室加工装置，其特征在于：所述滑板(27)端部均固定连接有橡胶垫(29)。
5.根据权利要求4所述的一种半导体炉主炉室加工装置，其特征在于：所述底板(23)有若干个且呈圆周阵列排布，所述底板(23)端部两侧均固定连接有连接耳(30)，所述连接耳(30)螺纹连接有定位螺栓(31)，所述底板(23)端部固定连接有与底座(1)滑动连接的滑块(32)。
6.根据权利要求5所述的一种半导体炉主炉室加工装置，其特征在于：所述调节组件包括与滑座(6)固定连接的固定轴(20)，所述固定轴(20)固定连接有调节齿条(21)，所述调节齿条(21)共同啮合有调节齿轮(22)。
7.一种锅炉炉室加工方法，适用于权利要求1-6任意一项所述的一种半导体炉主炉室加工装置，其特征在于：该锅炉炉室加工方法的具体步骤如下：
步骤一：夹持伸缩杆通过夹持齿轮(25)、夹持齿条(28)推动滑板(27)移动，两个滑板(27)先后抵触主炉室，不仅能够对不同尺寸的主炉室进行夹持，还能避免主炉室凸起与凹陷影响主炉室夹持稳定性；
步骤二：高度调节伸缩杆(2)将旋转支架(5)下降至主炉室内，通过转动调节齿轮(22)，使调节齿条(21)向四周移动，滑座(6)将底部的下打磨轮(12)抵触主炉室内壁；
步骤三：打磨电机(7)通过不完全齿圈(8)和不完全齿轮(9)交替啮合驱动齿轮(10)，使驱动轴(11)往复正反转，下打磨轮(12)对主炉室内壁进行打磨；
步骤四：高度调节伸缩杆(2)降低下打磨轮(12)对主炉室内壁进行逐一打磨；
步骤五：下打磨轮(12)打磨至主炉室底部时，反向转动调节齿轮(22)，反向调节齿轮(22)通过固定轴(20)将滑座(6)向中心移动，使下打磨轮(12)脱离主炉室，高度调节伸缩杆(2)将下打磨轮(12)顶出主炉室。
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