CN116520126A - 电气检查装置及电气检查方法 - Google Patents

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竹山裕隆
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Abstract

本发明的目的在于提供一种能够使电气检查头相对于印刷基板快速且容易地对位的电气检查装置。本发明一方式的电气检查装置(1)具有：电气检查头(10)，其能够从法线方向侧与印刷基板(W)接触；旋转机构(11)，其使电气检查头(10)以与印刷基板(W)的法线方向平行的旋转轴(R)为中心旋转；摄像部(12)，其具有从法线方向与印刷基板(W)正对的光学元件(22a)，能够对印刷基板(W)进行拍摄；移动机构(13)，其使摄像部(12)在接近位置(P1)与避让位置(P2)之间移动，接近位置(P1)是在电气检查头(10)旋转时摄像部(12)能够与电气检查头(10)接触的位置，避让位置(P2)是在电气检查头(10)旋转时摄像部(12)不与电气检查头(10)接触的位置。

Description

电气检查装置及电气检查方法
技术领域
本发明涉及一种电气检查装置及电气检查方法。
背景技术
为了检查印刷基板的电气特性，使用有电气检查装置。该电气检查装置具有配置有多个探针(电气接触件)的电气检查头和能够从法线方向拍摄印刷基板的摄像部。该电气检查装置通过摄像部对印刷基板进行拍摄，使电气检查头相对于印刷基板的被检查区域对位之后，通过使电气检查头从法线方向与印刷基板接触，来检查印刷基板的电气特性(参照专利文献1)。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开2015-52511号公报
发明内容
发明要解决的课题
在专利文献1中，在第四实施方式中记载有如下的构成，即，具有与电气检查把持件50a的基底板51连结的定位机构57，在该定位机构57上配置有图像识别用照相机56。
专利文献1记载的电气检查装置能够通过定位机构57调节图像识别用照相机56的位置，所以不需要预先将图像识别用照相机56固定在正确的位置。
另一方面，在这样的电气检查装置中，在使电气检查头与印刷基板的被检查区域对位时，有时使电气检查头绕与印刷基板的法线方向平行的轴旋转。但是，根据专利文献1记载的结构，在使电气检查头旋转的情况下，图像识别用照相机与电气检查头一起旋转。因此，专利文献1记载的电气检查装置在连续快速地进行图像识别用照相机的拍摄和电气检查头相对于被检查区域的对位这一点上，有进一步改良的余地。
本发明是基于这样的情况而设立的，本发明的目的在于提供一种能够使电气检查头相对于印刷基板快速且容易地对位的电气检查装置。
用于解决课题的技术方案
本发明一方面的电气检查装置具有：电气检查头，其能够从法线方向侧与印刷基板接触；旋转机构，其使所述电气检查头以与所述法线方向平行的旋转轴为中心旋转；摄像部，其具有从法线方向与所述印刷基板正对的光学元件，能够对所述印刷基板进行拍摄；移动机构，其使所述摄像部在接近位置与避让位置之间移动，所述接近位置是在所述电气检查头旋转时所述摄像部能够与所述电气检查头接触的位置，所述避让位置是在所述电气检查头旋转时所述摄像部不与所述电气检查头接触的位置。
所述移动机构也可以使所述摄像部独立于所述电气检查头而移动。
所述避让位置是从所述接近位置在所述印刷基板的法线方向上远离的位置。
在所述印刷基板的法线方向观察下，所述接近位置的所述摄像部与所述旋转轴的间隔可以与所述避让位置的所述摄像部与所述旋转轴的间隔相同。
可以还具有定位机构，该定位机构能够将所述电气检查头在所述印刷基板的平面方向上定位。
所述定位机构可以将所述电气检查头和所述摄像部同时在所述平面方向上定位。
本发明另一方面的电气检查方法，使用电气检查装置，该电气检查装置具有：电气检查头，其能够从法线方向侧与印刷基板接触；旋转机构，其使所述电气检查头以与所述法线方向平行的旋转轴为中心旋转；摄像部，其具有从法线方向与所述印刷基板正对的光学元件，能够对所述印刷基板进行拍摄；移动机构，其使所述摄像部在接近位置与避让位置之间移动，所述接近位置是在使所述电气检查头旋转时所述摄像部能够与所述电气检查头接触的位置，所述避让位置是在使所述电气检查头旋转时所述摄像部不与所述电气检查头接触的位置。
发明效果
本发明一方面的电气检查装置，在将所述摄像部配置在接近位置的状态下，通过该摄像部从法线方向拍摄所述印刷基板后，能够将所述摄像部移动到所述电气检查头旋转时不与所述电气检查头接触的避让位置。因此，该电气检查装置能够在由所述摄像部从所述电气检查头的附近对所述印刷基板进行了拍摄之后，使所述电气检查头独立于所述摄像部而旋转。其结果，该电气检查装置能够使所述电气检查头相对于所述印刷基板快速且容易地对位。
附图说明
图1是从垂直于印刷基板的法线方向的方向观察本发明一实施方式的电气检查装置的示意侧视图。
图2是图1的电气检查装置的示意俯视图。
图3是表示将图1的电气检查装置中的摄像部移动到避让位置的状态的示意侧视图。
图4是表示使用了图1的电气检查装置的电气检查方法的流程图。
图5是表示图4的电气检查方法中的电气检查头的旋转途中的状态的示意俯视图。
图6是表示在图4的电气检查方法中的电气检查头的旋转后使摄像部移动到接近位置的状态的示意侧视图。
图7是表示使图4的电气检查方法中的电气检查头与印刷基板接触的状态的示意侧视图。
附图标记说明
1：电气检查装置
10：电气检查头
11：旋转机构
12：摄像部
13：移动机构
14：定位机构
14a：固定导轨
14b：可动导轨
14c：移动体
15：升降机构
16：框体
17：控制部
18：固定部件
21a：探针
21b：底板
21c：顶板
21d：基台
22：摄像终端
22a：光学元件
31：把持件
R：旋转轴
W：印刷基板
P1：接近位置
P2：避让位置
T1：基台的厚度
T2：电气检查头的厚度
具体实施方式
以下，适当参照附图详细说明本发明的实施方式。另外，对于本说明书中记载的数值，可仅采用记载的上限值和下限值中的一方，或者可任意组合上限值和下限值。
[电气检查装置]
图1及图2的电气检查装置1具有：电气检查头10，其可从法线方向(图1的Z方向)侧与印刷基板W接触；旋转机构11，其使电气检查头10以与所述法线方向平行的旋转轴R为中心旋转；摄像部12，其具有从法线方向与印刷基板W正对的光学元件22a，可对印刷基板W进行拍摄；移动机构13，其使摄像部12在接近位置与避让位置之间移动。另外，该电气检查装置1具有：定位机构14，其能够将电气检查头10在印刷基板W的平面方向(图1的XY平面方向)上定位；升降机构15，其使电气检查头10在印刷基板W的法线方向上升降；框体16，其与定位机构14连接；控制部17，其控制旋转机构11、移动机构13、定位机构14以及升降机构15的动作。另外，在图1中，在印刷基板W的两面侧分别配置有电气检查头10及摄像部12。但是，在该电气检查装置1中，电气检查头10及摄像部12的一方或双方可以仅配置在印刷基板W的单面侧。另外，在图1中，图示了电气检查头10和控制部17以一一对应的方式设置的结构。但是，该电气检查装置1也可以在一对电气检查头10上具有共同的控制部17。
[印刷基板]
印刷基板W为板状或片状。作为印刷基板W，可使用在薄膜状的基材上配置有电路图案的印刷基板。在印刷基板W存在多个被检查区域。该电气检查装置1构成为通过使电气检查头10相对于各被检查区域接触，对每个被检查区域进行电气检查。该电气检查装置1构成为相对于配置在印刷基板W上的多个被检查区域连续地进行电气检查。另外，在本发明中，“板状”和“片状”之间没有明确的区别，但实质上不产生自重引起的挠曲的可称为“板状”，具有挠性且由自重产生挠曲的可称为“片状”。另外，“片状”包含“薄膜状”的概念。
印刷基板W例如为俯视矩形。印刷基板W在通过把持件31把持四个角部的状态下被水平地保持。印刷基板W通过由把持件31部分地把持其周缘部而被保持在空中。
在印刷基板W上设有成为摄像部12的拍摄对象的基准位置标记(未图示)。该基准位置标记用于求出印刷基板W的被检查区域与电气检查头10的相对位置关系。所述基准位置标记既可以例如是电路图案本身，也可以是与电路图案分开设置的定位用标记。
(电气检查头)
电气检查头10具有：多个探针21a；一对支承板(能够从法线方向与印刷基板W接触的底板21b、及在从法线方向离开印刷基板W的方向上与底板21b相对配置的顶板21c)，其具有多个探针21a可通过的贯通孔；基台21d，其固定在顶板21c上。多个探针21a设置成可与印刷基板W的电路图案接触。
在印刷基板W的法线方向观察下(以下也称为“俯视”)，电气检查头10具有角部。更详细地说，电气检查头10是具有四个角部的俯视矩形。另外，基台21d在俯视下具有角部。基台21d的平面形状与电气检查头10的平面形状相等。作为基台21d的具体形状，列举将印刷基板W的法线方向设为厚度方向的长方体。另外，所谓“长方体”不限于完全的长方体，包括部分具有凹凸的形状、角部被倒角的形状等。
基台21d的厚度T1可设定在能够维持必要的强度且适当地保持多个探针21a的范围。从这样的观点出发，作为基台21d的厚度T1的下限，优选为30mm，更优选为40mm。另一方面，作为基台21d的厚度T1的上限，优选为100mm，更优选为80mm，进一步优选为60mm。如果所述厚度T1超过所述上限，则有可能难以充分减小基于移动机构13的摄像部12的移动距离。
电气检查头10的厚度T2(由底板21b的底面和基台21d的顶面划定的厚度)能够在维持必要的强度且通过多个探针21a适当地进行印刷基板W的电气检查的范围内设定。作为电气检查头10的厚度T2的下限，例如优选为50mm，更优选为60mm。另一方面，作为电气检查头10的厚度T2的上限，例如优选为150mm，更优选为120mm，进一步优选为90mm。
(旋转机构)
旋转机构11构成为能够与摄像部12(更详细地说，后述的摄像终端22)独立地使电气检查头10旋转。旋转机构11以与电气检查头10正交的旋转轴R为旋转中心使电气检查头10旋转。旋转轴R配置在俯视中的电气检查头10的中心部分。作为旋转机构11的具体结构，没有特别限定，可列举通过配置在框体16上的轴承(未图示)直接或间接可旋转地保持电气检查头10的结构。
(摄像部)
摄像部12具有从法线方向正对印刷基板W的包括上述光学元件22a的摄像终端22和图像处理部。摄像终端22设置成可拍摄数字图像。摄像终端22从上述法线方向对设置在印刷基板W上的上述基准位置标记进行拍摄。作为光学元件22a，例如列举透镜。所述图像处理部对摄像终端22拍摄到的数字图像进行处理。
摄像终端22设置成能够从电气检查头10的侧方拍摄所述基准位置标记。通过这样地构成，能够减小拍摄时的摄像终端22与印刷基板W之间的间隔。其结果，能够增大取入摄像终端22的光量，提高由摄像终端22拍摄的图像的识别精度。
摄像终端22从接近电气检查头10的位置(接近位置P1)拍摄所述基准位置标记。更详细地说，摄像终端22从使电气检查头10旋转时可与电气检查头10的角部接触的位置拍摄所述基准位置标记。这样，通过将摄像终端22与电气检查头10接近配置，能够减小在拍摄所述基准位置标记后，使电气检查头10与印刷基板W的被检查区域对位时的电气检查头10的移动距离。其结果，能够在实现电气检查处理的效率化的同时，抑制由电气检查头10的移动引起的误差。
所述图像处理部既可以包含在控制部17中，也可以与控制部17分开设置。当所述图像处理部包含在控制部17中的情况下，所述图像处理部控制部可以是由控制部17处理的程序的一部分。
(移动机构)
移动机构13保持摄像终端22。如图1及图3所示，移动机构13使摄像终端22在接近位置P1与避让位置P2之间移动。接近位置P1是在电气检查头10旋转时摄像部12(更详细地说是摄像终端22)可与电气检查头10接触的位置。另外，避让位置P2是在电气检查头10旋转时摄像部12(更详细地说是摄像终端22)不与电气检查头10接触的位置。
如上所述，该电气检查装置1通过摄像终端22从接近位置P1拍摄所述基准位置标记，由此能够实现电气检查处理的效率化等。另一方面，如果摄像终端22配置在接近位置P1，则限制电气检查头10的旋转，有时难以使电气检查头10与被检查区域对位。因此，在该电气检查装置1中，构成为能够通过移动机构13使摄像终端22移动到避让位置P2。
移动机构13优选独立于电气检查头10使摄像部12移动。换言之，移动机构13优选设置成在电气检查头10旋转及升降时，摄像终端22不追随电气检查头10移动。根据该结构，能够在保持光学元件22a相对于印刷基板W的焦距的同时，使电气检查头10相对于印刷基板W对位，并且在该对位后由电气检查头10进行电气检查。其结果，能够更有效且稳定地进行电气检查。
如图3所示，避让位置P2优选为从接近位置P1在印刷基板W的法线方向上远离的位置。通过这样地构成，该电气检查装置1即使在将摄像终端22配置在电气检查头10的侧方且与电气检查头10接近的情况下，也能够防止摄像终端22的移动距离增加。其结果，能够促进电气检查处理的效率化，更容易抑制由电气检查头10的移动引起的误差。
在印刷基板W的法线方向观察，优选接近位置P1处的摄像部12(更详细地说是摄像终端22)与旋转轴R之间的间隔与避让位置P2处的摄像部12(更详细地说是摄像终端22)与旋转轴R之间的间隔相同。通过这样地构成，能够容易地减小摄像终端22的移动距离。
移动机构13优选设置成使摄像终端22直动。根据该结构，能够更容易地减小摄像终端22的移动距离。
作为接近位置P1与避让位置P2之间的摄像部12的移动距离，优选为电气检查头10的厚度T2以下，更优选为基台21d的厚度T1以下。该电气检查装置1例如构成为通过摄像终端22从基台21d的侧方对所述基准位置标记进行拍摄，由此能够将摄像部12的移动距离控制在基台21d的厚度T1以下。根据该结构，能够适当地维持光学元件22a相对于接近位置P1的印刷基板W的焦距，并且能够容易减小摄像终端22的移动距离。
移动机构13在与框体16连结的状态下保持摄像终端22。移动机构13设置成能够使摄像终端22相对于框体16在印刷基板W的法线方向上滑动。通过这样地构成，移动机构13能够与电气检查头10独立地使摄像终端22在印刷基板W的法线方向上移动。作为移动机构13的具体结构，列举具有例如配置在框体16上的轨道部件和可滑动地配置在该轨道部件上并可固定摄像终端22的可动部件的结构。
(定位机构)
定位机构14在维持了电气检查头10的方向的状态下，将该电气检查头10在印刷基板W的平面方向上定位。该电气检查装置1具备定位机构14，由此在通过摄像部12对所述基准位置标记进行了拍摄后，能够容易地将电气检查头10与被检查区域对位。
作为定位机构14的具体结构，只要能够将电气检查头10在印刷基板W的平面方向上定位，就没有特别限定，例如可列举图1及图2所示的正交坐标型***。定位机构14具有：一对固定轨道14a，其在与印刷基板W的平面方向平行的一方向(图1及图2的Y方向)上平行地延伸；可动轨道14b，其与印刷基板W的平面方向平行地延伸，架设在一对固定轨道14a之间；移动体14c，其配置在可动轨道14b上。在移动体14c上固定有框体16。
定位机构14构成为可动导轨14b沿一对固定导轨14a的延伸方向(图1及图2的Y方向)移动，并且移动体14c沿可动导轨14b的延伸方向(图1及图2的X方向)移动。通过这样地构成，框体16被设置成维持印刷基板W在平面方向上的朝向并且能够在该平面方向上移动。其结果，电气检查头10也与框体16一起在维持印刷基板W在平面方向上的朝向的同时在该平面方向上移动。
另外，定位机构14设置成能够同时将电气检查头10和摄像部12在印刷基板W的平面方向上定位。更详细地说明，摄像终端22通过经由移动机构13与框体16连结，与框体16一起在印刷基板W的平面方向上移动。其结果，电气检查头10和摄像端末22构成为经由框体16，通过定位机构14同时在印刷基板W的平面方向上定位。通过这样地构成，该电气检查装置1能够促进电气检查处理的效率化，并且能够更容易地抑制由电气检查头10的移动引起的误差。
(升降机构)
升降机构15可升降地设有固定在电气检查头10的基台21d上的固定部件18。升降机构15通过使固定部件18升降，使电气检查头10在印刷基板W的法线方向上移动。
固定部件18相对于框体16可滑动地配置。固定部件18构成为独立于框体16升降。通过这样地构成，升降机构15设置成与基于移动机构13的摄像部12的移动独立地使电气检查头10升降。
(框体)
框体16如上所述地固定在移动体14c上。由此，框体16构成为能够在维持印刷基板W的平面方向上的朝向的同时在印刷基板W的平面方向上移动。
(控制部)
控制部17包括具有例如进行数据处理的CPU(Central Processing Unit：中央处理器)、临时或永久地存储各种信息的半导体存储器等存储部的计算机而构成。
对控制部17的控制顺序的一例进行说明。首先，控制部17通过摄像终端22从接近位置P1拍摄印刷基板W的所述基准位置标记。然后，控制部17使摄像终端22移动到避让位置P2，在该状态下使电气检查头10以旋转轴R为旋转中心旋转90°，并且使电气检查头10与印刷基板W的被检查区域对位。另外，控制部17在电气检查头10旋转后，使摄像终端22移动到接近位置P1。此外，控制部17在将摄像终端22维持在接近位置P1的同时，使电气检查头10从法线方向侧与印刷基板W接触，进行印刷基板W的被检查区域的电气检查。控制部17在由电气检查头10进行的电气检查结束后，使电气检查头10从印刷基板W离开。控制部17控制旋转机构11、移动机构13、定位机构14以及升降机构15的动作，以根据需要变更一部分顺序且对印刷基板W的各被检查区域进行上述的顺序。该电气检查装置1通过控制部17进行上述的控制，能够使电气检查头10相对于印刷基板W快速且容易地对位，并且能够适当地进行印刷基板W的电气检查。
[电气检查方法]
接着，参照各图对使用图1及图2的电气检查装置1的电气检查方法进行说明。
该电气检查方法使用电气检查装置1进行，该电器检查装置1具有：电气检查头10，其能够从法线方向侧与印刷基板W接触；旋转机构11，其使电气检查头10以与所述法线方向平行的旋转轴R为中心旋转；摄像部12，其具有从法线方向与印刷基板W正对的光学元件22a，能够对印刷基板W进行拍摄；移动机构13，其使摄像部12在接近位置P1与避让位置P2之间移动。如图4所示，该电气检查方法在接近位置P1通过摄像部12对印刷基板W进行拍摄(S1)，使摄像部12移动到避让位置P2(S2)，使电气检查头10旋转(S3)，使摄像部12移动到接近位置P1(S4)，使电气检查头10与印刷基板W接触(S5)。另外，该电气检查方法在S5之后，具备使电气检查头10从印刷基板W离开的顺序。该电气检查方法相对于印刷基板W的各被检查区域，通过根据必要变更一部分的顺序并反复进行上述顺序，将电气检查头10相对于印刷基板W快速且容易地对位，能够适当地进行印刷基板W的电气检查。
(S1)
在S1中，如图1所示，在摄像终端22配置在接近位置P1的状态下，由摄像终端22对印刷基板W的基准位置标记进行拍摄。
(S2)
在S2中，如图3所示，将摄像终端22移动到避让位置P2。在S2中，使摄像部12移动，以使接近位置P1是在电气检查头10旋转时摄像部12(更详细地说是摄像终端22)可与电气检查头10接触的位置，避让位置P2是在电气检查头10旋转时摄像部12(更详细地说是摄像终端22)不与电气检查头10接触的位置。
(S3)
在S3中，如图5所示，在摄像终端22处于避让位置P2的状态下，以旋转轴R为旋转中心使电气检查头10旋转。更详细地说，在S3中，在印刷基板W的法线方向观察下，使电气检查头10旋转，直到摄像终端22不与电气检查头10重合的位置。作为电气检查头10的旋转角度，没有特别限定，但典型地可设为90°。
(S4)
在S4中，如图6所示，在S3中使电气检查头10旋转后，摄像终端22移动到接近位置P1。更详细地说，在S4中，通过与在S2中使摄像终端22从接近位置P1移动到避让位置P2相同的路径，使摄像终端22从避让位置P2移动到接近位置P1。另外，在该电气检查方法中，可以在从S1的结束到S5的开始的任意定时，通过定位机构14使电气检查头10与印刷基板W的被检查区域对位。
(S5)
在S5中，如图7所示，使电气检查头10从法线方向侧与印刷基板W接触，通过多个探针21a进行被检查区域的电气检查。
＜优点＞
该电气检查装置1能够在将摄像部12配置在接近位置P1的状态下，通过该摄像部12从法线方向拍摄印刷基板W后，使摄像部12移动到电气检查头10旋转时不与电气检查头10接触的避让位置P2。因此，该电气检查装置1能够在通过摄像部12从电气检查头10的附近对印刷基板W进行拍摄的基础上，使电气检查头10与摄像部12独立地旋转。其结果，该电气检查装置1能够使电气检查头10相对于所述印刷基板W快速且容易地对位。因此，该电气检查装置1能够快速且稳定地进行印刷基板W的电气检查。
该电气检查方法能够在将摄像部12配置在接近位置P1的状态下，通过该摄像部12从法线方向拍摄印刷基板W后，使摄像部12移动到电气检查头10旋转时不与电气检查头10接触的避让位置P2。因此，在该电气检查方法中，在通过摄像部12从电气检查头10的附近对印刷基板W进行了拍摄之后，能够使电气检查头10与摄像部12独立地旋转。其结果，该电气检查方法能够使电气检查头10相对于所述印刷基板W快速且容易地对位。因此，该电气检查方法能够快速且稳定地进行印刷基板W的电气检查。
[其他实施方式]
上述实施方式并不限定本发明的结构。因此，上述实施方式可基于本说明书的记载及技术常识省略、置换或追加上述实施方式各部的构成要素，应解释为它们全都属于本发明的范围。
在上述实施方式中，对移动机构使摄像部在印刷基板的法线方向上移动的结构进行了说明。但是，在该电气检查装置中，所述摄像部的移动方向不限于所述印刷基板的法线方向。例如，所述移动机构也可以使所述摄像部在所述印刷基板的平面方向上移动。另外，所述移动机构也可以不使所述摄像部直动。例如，所述移动机构也可以使所述摄像部在所述印刷基板的平面方向上旋转移动。
在上述实施方式中，对所述印刷基板保持在水平方向上的结构进行了说明。但是，所述印刷基板的保持方向可根据装置的规格而变更。另外，在上述实施方式中，对利用把持件把持所述印刷基板的角部的结构进行了说明，但该电气检查装置中的印刷基板的把持方法并不限定于上述结构。
所述电气检查头的具体结构不限于上述实施方式的结构。例如，所述电气检查头也可采用不具有所述支承板的结构。作为不具有所述支承板的结构，列举不具有所述底板及所述顶板的一方或双方的结构。例如在所述电气检查头不具有所述底板的情况下，所述电气检查头的厚度可通过所述基台和所述探针的合计厚度求出。另外，这里所说的探针的厚度是指电气检查前的状态下的探针的突出长度。
如上所述，优选所述移动机构能够与所述电气检查头独立地移动所述摄像部。但是，该电气检查装置如果能够将所述摄像部保持为不随着所述电气检查头的旋转而旋转，则也可采用所述摄像部对应于所述电气检查头而升降的结构。
在上述实施方式中，说明了所述电气检查头和所述摄像部通过所述定位机构在所述印刷基板的平面方向上同时定位的结构。但是，该电气检查装置也能够采用所述电气检查头和所述摄像部在所述印刷基板的平面方向上分别定位的结构。
在上述实施方式中，对所述电气检查头通过所述定位机构在所述印刷基板的平面方向上定位的结构进行了说明。但是，该电气检查装置也可以构成为，通过所述印刷基板在平面方向上移动，所述电气检查头在所述印刷基板的平面方向上被定位。
产业上的可利用性
如以上说明地，本发明一方面的电气检查装置适合于使电气检查头相对于印刷基板快速且容易地对位。

Claims (7)

1.一种电气检查装置，其中，具有：
电气检查头，其能够从法线方向侧与印刷基板接触；
旋转机构，其使所述电气检查头以与所述法线方向平行的旋转轴为中心旋转；
摄像部，其具有从法线方向与所述印刷基板正对的光学元件，能够对所述印刷基板进行拍摄；
移动机构，其使所述摄像部在接近位置与避让位置之间移动，
所述接近位置是在所述电气检查头旋转时所述摄像部能够与所述电气检查头接触的位置，
所述避让位置是在所述电气检查头旋转时所述摄像部不与所述电气检查头接触的位置。
2.如权利要求1所述的电气检查装置，其中，
所述移动机构使所述摄像部独立于所述电气检查头而移动。
3.如权利要求1或2所述的电气检查装置，其中，
所述避让位置是从所述接近位置在所述印刷基板的法线方向上远离的位置。
4.如权利要求1～3中任一项所述的电气检查装置，其中，
在所述印刷基板的法线方向观察下，所述接近位置的所述摄像部与所述旋转轴的间隔与所述避让位置的所述摄像部与所述旋转轴的间隔相同。
5.如权利要求1～4中任一项所述的电气检查装置，其中，
还具有定位机构，该定位机构能够在所述印刷基板的平面方向上将所述电气检查头定位。
6.如权利要求5所述的电气检查装置，其中，
所述定位机构将所述电气检查头和所述摄像部同时在所述平面方向上定位。
7.一种电气检查方法，使用电气检查装置，该电气检查装置具有：
电气检查头，其能够从法线方向侧与印刷基板接触；
旋转机构，其使所述电气检查头以与所述法线方向平行的旋转轴为中心旋转；
摄像部，其具有从法线方向与所述印刷基板正对的光学元件，能够对所述印刷基板进行拍摄；
移动机构，其使所述摄像部在接近位置与避让位置之间移动；
使所述摄像部移动，以使所述接近位置是在使所述电气检查头旋转时所述摄像部能够与所述电气检查头接触的位置，所述避让位置是在使所述电气检查头旋转时所述摄像部不与所述电气检查头接触的位置。
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