CN116261498A - 激光加工装置以及使用其的激光的焦点位置调整方法 - Google Patents

激光加工装置以及使用其的激光的焦点位置调整方法 Download PDF

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CN116261498A CN202180066454.7A CN202180066454A CN116261498A CN 116261498 A CN116261498 A CN 116261498A CN 202180066454 A CN202180066454 A CN 202180066454A CN 116261498 A CN116261498 A CN 116261498A
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福光洋一
大原隆靖
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Abstract

激光加工装置(100)至少具备产生激光(LB)的激光振荡器、将激光(LB)朝向工件照射的激光头(60)以及安装有激光头(60)的操纵器(40)。操纵器(40)具有机械臂(41)、能够绕轴线(RA)旋转并且设置于机械臂(41)的前端的末端轴(J6)、以及将末端轴(J6)与激光头(60)连接的连接部件(50)。在连接部件(50)设置有用于以能够装卸的方式安装测量仪(80)的测量仪安装部(51a)。测量仪(80)具有与激光(LB)的焦点位置对应的基准点。

Description

激光加工装置以及使用其的激光的焦点位置调整方法
技术领域
本发明涉及激光加工装置以及使用该激光加工装置的激光的焦点位置调整方法。
背景技术
以往,广泛已知有使用机器人一边使激光头移动一边进行激光加工的技术。在该情况下,为了进行期望的加工,需要使从激光头射出的实际的激光的焦点位置与由机器人或其控制部设定的激光的焦点位置一致。
在专利文献1中提出了使用电扫描仪的激光加工装置。通过利用设置于电扫描仪的透镜驱动机构调整聚光透镜的位置,能够以良好的精度进行激光的光轴方向的焦点对位。另外,能够利用与马达连结的电流镜相对于与光轴方向正交的方向以良好的精度调整焦点位置。
另外,在专利文献2中提出了利用设置有狭缝、销孔的夹具进行激光的焦点对位的方法。
现有技术文献
专利文献
专利文献1:日本特开2019-093399号公报
专利文献2:日本特开2020-104168号公报
发明内容
发明要解决的课题
然而,专利文献1所公开的那样的电扫描仪价格昂贵。另一方面,在不具有电扫描仪的廉价的激光加工装置中,需要使激光头自身移动而使实际的激光的焦点位置与由机器人设定的焦点位置匹配、或者测定实际的激光的焦点位置而由机器人设定该焦点位置。然而,这需要麻烦且复杂的作业,耗费成本。
另外,在专利文献2所公开的方法中,为了激光的焦点对位而需要高精度地确定狭缝、销孔的配置,但实际上这样的作业较为困难。
本发明是鉴于上述点而完成的,其目的在于提供能够通过简便且廉价的结构而以良好的精度确认激光的焦点位置的激光加工装置以及使用该激光加工装置的激光的焦点位置调整方法。
用于解决课题的方案
为了达成上述目的,本发明的激光加工装置的特征在于,所述激光加工装置至少具备:激光振荡器,其至少产生激光;激光头,其将所述激光朝向工件照射;以及多关节机器人,其安装有所述激光头,所述多关节机器人至少具有:机械臂;末端轴,其能够绕规定的轴线旋转,且设置于所述机械臂的前端;以及连接部件,其将所述末端轴与所述激光头连接,在所述连接部件设置有测量仪安装部,该测量仪安装部用于以能够装卸的方式安装测量仪,所述测量仪具有与所述激光的焦点位置对应的基准点。
本发明的激光的焦点位置调整方法使用所述激光加工装置,其特征在于,所述激光的焦点位置调整方法至少包括:第一步骤,在安装于所述末端轴的所述连接部件安装所述测量仪;第二步骤,在所述第一步骤之后,从所述激光头射出引导用激光;第三步骤,在所述第二步骤的执行期间,判断所述引导用激光在所述测量仪上的照射位置与所述基准点的距离是否在规定的范围内,若所述第三步骤中的判断结果为否定,则调整所述激光头相对于所述末端轴的位置,并返回所述第一步骤,反复执行一系列的步骤直到所述第三步骤中的判断结果变为肯定。
发明效果
根据本发明,能够通过简便且廉价的结构而以良好的精度确认激光的焦点位置。
附图说明
图1是实施方式的激光加工装置的概要结构图。
图2是操纵器(manipulator)的主要部分的放大图。
图3是将激光头与末端轴连接的连接部件的分解立体图。
图4A是测量仪的立体图。
图4B是由图4A的虚线包围的部分的放大图。
图5是示出激光的焦点位置调整顺序的流程图。
图6A是引导用激光的照射位置与测量仪的基准点的距离超过规定的范围的情况的示意图。
图6B是示出激光头相对于末端轴的位置调整顺序的示意图。
图6C是引导用激光的照射位置与测量仪的基准点的距离在规定的范围内的情况的示意图。
图7A是其他测量仪的立体图。
图7B是由图7A的虚线包围的部分的放大图。
具体实施方式
以下,基于附图来说明本发明的实施方式。需要说明的是,以下的优选的实施方式的说明本质上不过是例示,并不意在限制本发明、其应用物或其用途。
(实施方式1)
[激光加工装置的结构]
图1示出本实施方式的激光加工装置的概要结构图。需要说明的是,在以后的说明中,有时将光学单元20内的激光LB的行进方向称为X方向,将图1所示的工件200的表面的、与X方向交叉的方向称为Y方向。有时将与X方向以及Y方向分别交叉的方向称为Z方向。另外,在操纵器40以图1所示的姿态静止的状态下,对于Z方向,有时将配置有激光头60的一侧称为上方或上侧,将配置有工件200的侧称为下方或下侧。另外,操纵器40在相同的状态下,对于X方向,有时将配置有激光头60的一侧称为前方或前侧,将配置有机械臂41的一侧称为后方或后侧。
如图1所示那样,激光加工装置100具有激光振荡器10、光学单元20、操纵器40、光纤30以及激光头60。另外,激光加工装置100具有激光控制部71、操纵器控制部72以及示教器73。
激光振荡器10产生激光LB并将激光LB朝向光学单元20射出。在本实施方式中,激光LB的波长为900nm~1000nm程度,输出为1kW~5kW程度。但是,并不特别限定于此,可分别取其他值。另外,激光振荡器10具备其他激光源(未图示),并从其他激光源射出引导用激光GLB。引导用激光GLB的波长为650nm左右,输出为几mW~几十mW程度。引导用激光GLB的光轴与激光LB的光轴大致一致。
需要说明的是,在本申请说明书中,“大致一致”或“大致正交”是指,比较对象间以包含构成激光加工装置100的各部件的加工公差、组装公差的方式一致或正交。并不意味着比较对象间在严格意义上一致或正交。
光学单元20在壳体21的内部具有聚光透镜22以及闸门23。聚光透镜22将入射到壳体21的内部的激光LB聚光,并向光纤30入射。闸门23设置为能够在激光LB的光路中与光路外之间移动,且通过开闭动作而控制激光LB向光纤30的入射状态。需要说明的是,为了使激光LB的聚光位置与光纤30的入射端面相匹配,可以在光学单元20设置有未图示的聚光位置调整机构。
操纵器40是具有第一关节轴J1~第六关节轴J6的公知的垂直六轴机器人。需要说明的是,在以后的说明中,有时将第六关节轴J6称为末端轴J6。末端轴J6设置于机械臂41的前端。另外,末端轴J6构成为能够绕规定的轴线RA(参照图1、2)旋转。需要说明的是,线缆42中收容有激光头60的冷却软管(未图示)、热控开关等I/O线(未图示)。
光纤30连接于光学单元20以及激光头60,并将从光学单元20入射的激光LB向激光头60传送。需要说明的是,虽未图示,但光纤30具有一个或多个作为激光LB的导波路的芯。
激光头60安装于操纵器40,具体而言通过连接部件50而安装于末端轴J6。激光头60将从光纤30传送到激光头60的激光LB朝向工件200照射,对工件200进行激光加工。另外,激光头60在内部具有未图示的光学***、例如准直透镜以及聚光透镜,在将激光LB变换为平行光后,向工件200的表面聚光。
激光头60伴随着末端轴J6的旋转而旋转,在半径与连接部件50的长度相应的圆周上移动。其中,以从激光头60射出的激光LB的焦点位置不通过激光头60的旋转而变动的方式来设定激光头60、末端轴J6以及将它们连接的连接部件50的配置关系。换言之,以激光LB的焦点位置位于末端轴J6的旋转轴线即轴线RA上的方式,设定激光头60、末端轴J6以及将它们连接的连接部件50的配置关系。由此,例如在使操纵器40枢轴动作的情况下,动作的精度变得良好。即,在一边使末端轴J6旋转一边对工件200进行激光加工的情况下,能够使激光LB的焦点位置不变动地对规定的加工点进行适当的激光加工。
激光控制部71电连接于激光振荡器10,并控制激光振荡器10的动作。另外,控制连接于激光振荡器10的电源(未图示)的动作。具体而言,激光振荡器10控制激光LB的输出、振荡时间,另外,控制激光LB、引导用激光GLB的振荡开始以及振荡停止的时机。
操纵器控制部72电连接于操纵器40,并控制操纵器40的动作。具体而言,操纵器控制部72通过控制与第一关节轴J1~第六关节轴J6分别连接的马达(未图示)的旋转速度、旋转量来控制与操纵器40连接的激光头60的移动速度、移动量。
需要说明的是,操纵器控制部72基于预先准备的动作程序或从示教器73输入的参数来控制操纵器40的动作。需要说明的是,在操纵器控制部72中也设定保存有从激光头60射出的激光LB的焦点位置。
示教器73是用于使规定的动作存储于操纵器控制部72的设备。作业者使用示教器73实际操作操纵器40,并在操纵器控制部72存储各种参数、例如与第一关节轴J1~第六关节轴J6分别连接的马达(未图示)的从一个教示点到下一教示点的旋转量等。另外,使操纵器40再次执行存储于操纵器控制部72的动作,并根据需要利用示教器73对各种参数进行微修正,并将各种参数再次存储于操纵器控制部72。
[操纵器以及测量仪的结构]
图2示出操纵器的主要部分的放大图,图3示出将激光头与末端轴连接的连接部件的分解立体图。图4A示出测量仪的立体图,图4B示出由图4A的虚线包围的部分的放大图。需要说明的是,图2示出测量仪80被安装于测量仪安装部51a之前的状态。
如图2所示那样,激光头60通过连接部件50而被安装于末端轴J6。另外,如图3所示那样,连接部件50由第一部件51~第三部件53构成。
如图2所示那样,在第一部件51设置有测量仪安装部51a。测量仪安装部51a由第一部件51的平坦面51a2以及将第一部件51沿图2中的Z方向贯通的贯通孔51a1构成。作为末端轴J6的旋转轴线的上述轴线RA是通过贯通孔51a1的中心并与平坦面51a2大致正交的假想线。另外,如图2所示那样,测量仪80安装于贯通孔51a1的下方部分。另外,末端轴J6安装于贯通孔51a1的上方部分。
如图3所示那样,第一部件51以包围贯通孔51a1的方式具有多个第一螺栓孔51b。在多个第一螺栓孔51b分别***第一螺栓54a。通过将第一螺栓54a紧固连结,从而使第一部件51被安装固定于末端轴J6。
第二部件52在X方向的后方具有凹部52a。另外,第二部件52在X方向的前方具有安装部52e。从前方观察时安装部52e为四边形形状。
另外,在第二部件52形成有第一定位孔52b~第三定位孔52d。第一定位孔52b形成在第二部件52的侧面,且沿Z方向彼此隔开间隔地形成有两个。另外,对于第一定位孔52b的内径,在X方向上比Z方向上长。第二定位孔52c形成在第二部件52的上表面,且沿Y方向彼此隔开间隔地形成有两个。另外,对于第二定位孔52c的内径,在X方向上比Y方向上长。第三定位孔52d分别形成于第二部件52的安装部52e的四角。另外,对于第三定位孔52d的内径,在Y方向上比Z方向上长。
在第一部件51,在与第二部件52的第一定位孔52b以及第二定位孔52c分别对应的部位设置有第二螺栓孔51c以及第三螺栓孔51d。第三部件53为板状的部件,安装于激光头60的侧面。在第三部件53,在与第二部件52的第三定位孔52d对应的部位设置有第四螺栓孔53a。另外,在第三部件53具有多个第五螺栓孔53b。在多个第五螺栓孔53b分别***第五螺栓54e。通过将第五螺栓54e紧固连结,从而使第三部件53被安装固定于激光头60。
在组装了连接部件50的状态下,在第二部件52的凹部52a收容第一部件51的前方部分。另外,第二部件52的安装部52e抵接于第三部件53的表面。另外,分别在第一定位孔52b和第二螺栓孔51c***第二螺栓54b、在第二定位孔52c和第三螺栓孔51d***第三螺栓54c。通过将第二螺栓54b以及第三螺栓54c分别紧固连结,从而使第二部件52安装于第一部件51。另外,在第三定位孔52d和第四螺栓孔53a***第四螺栓54d。通过将第四螺栓54d紧固连结,从而使第二部件52安装于第三部件53。
第一部件51与第二部件52的位置关系通过在第一定位孔52b以及第二定位孔52c分别***的第二螺栓54b以及第三螺栓54c的位置来调整。例如,在想要使第二部件52相对于第一部件51向X方向的前方移位的情况下,在第一定位孔52b以及第二定位孔52c中分别在比中央靠X方向的前侧的位置***第二螺栓54b以及第三螺栓54c,并在该状态下将第二螺栓54b以及第三螺栓54c紧固连结而将第二部件52安装于第一部件51。同样地,第二部件52与第三部件53的位置关系通过在第三定位孔52d***的第四螺栓54d的位置来调整。例如,在想要使第二部件52相对于第三部件53向Y方向的一方移位的情况下,在第三定位孔52d中,在比中央靠Y方向的一方侧的位置***第四螺栓54d,并在该状态下将第四螺栓54d紧固连结而将第二部件52安装于第三部件53。
测量仪80是用于确认激光LB的焦点位置的构件。如图4A所示那样,测量仪80由头部81以及从头部81呈直线状延伸的腿部82构成。头部81由凸部81a以及包围凸部81a的凸缘81b构成。在凸部81a被收容于贯通孔51a1且凸缘81b的上表面抵接于第一部件51的平坦面51a2的状态下,凸缘81b螺纹紧固于第一部件51。另外,通过松开凸缘81b与第一部件51的螺纹紧固,测量仪80能够简单地从测量仪安装部51a拆下。即,测量仪80以能够拆装的方式安装于测量仪安装部51a。
如图4B所示那样,腿部82是在沿着Z方向的中间部分具有缺口部83的圆柱状的构件。在缺口部83的中央形成有沿Z方向延伸的中心线84,需要说明的是,在本实施方式中,该中心线84是通过在缺口部83的表面划线而形成的描绘线。在测量仪80安装于测量仪安装部51a的状态下,缺口部83的中心线84与轴线RA大致一致。另外,在该状态下,测量仪80配置于与从激光头60射出的激光LB的光路交叉的位置。缺口部83的Z方向的下端部与缺口部83的中心线84的交点成为与激光LB的焦点位置对应的基准点85。
如在后叙述的那样,在连接部件50安装测量仪80,并执行激光LB的焦点位置的调整作业。另外,在通常的激光加工时,测量仪80当然已从测量仪安装部51a拆下。
[激光的焦点位置调整顺序]
图5示出激光的焦点位置调整顺序的流程图。图6A示出引导用激光的照射位置与测量仪的基准点的距离超过规定的范围的情况的示意图。图6B示出激光头相对于末端轴的位置调整顺序的示意图。图6C示出引导用激光的照射位置与测量仪的基准点的距离在规定的范围内的情况的示意图。
在从激光头60射出了激光LB的状态下,操纵器40以通过预先决定的轨迹的方式使激光头60移动,从而能够对工件200进行期望的激光加工。此时,激光LB的焦点位置需要位于作为加工对象的工件200的表面或其附近。
然而,在通过维护等从操纵器40拆下激光头60并再次安装的情况下,有时激光头60相对于操纵器40的末端轴J6的位置偏移。起因于该位置偏移,有时激光LB的焦点位置从由操纵器控制部72设定的位置偏移。当产生了这样的状况时,存在焊道的宽度、开孔时的孔的直径或者切断时的切断宽度等从期望的范围偏离而产生加工不良的可能性。
于是,在从操纵器40拆下激光头60的情况下、进行了其他维护等的情况下,需要确认激光LB的焦点位置是否位于期望的位置。在激光LB的焦点位置从由操纵器控制部72设定的位置偏移了的情况下,需要进行用于复原的调整作业。需要说明的是,在激光加工装置100的维护后,在通过示教器73再次重新设定操纵器40的动作程序的参数的情况下,也如本实施方式所示那样,需要进行激光LB的焦点位置的确认,并且根据需要而进行调整。
在本实施方式中,通过将测量仪80安装于测量仪安装部51a,并确认引导用激光GLB相对于基准点85的照射位置,从而进行激光LB的焦点位置的确认并且根据需要进行焦点位置的调整。以下,使用图5以及图6A~6C进一步进行说明。
如图5所示那样,在确认激光LB的焦点位置时,将测量仪80安装于第一部件51的测量仪安装部51a(步骤S1(第一步骤))。在该状态下,利用激光振荡器10产生引导用激光GLB,并将该引导用激光GLB经由光学单元20和光纤30向激光头60传送。被传送的引导用激光GLB向激光头60的外部射出。引导用激光GLB的光路与激光LB的光路大致一致。因此,可以说测量仪80配置于与从激光头60射出的引导用激光GLB的光路交叉的位置。即,引导用激光GLB被向测量仪80照射(步骤S2(第二步骤))。
另外,在激光LB的焦点位置位于由操纵器控制部72设定的位置时,引导用激光GLB照射于测量仪80的基准点85。
因而,在步骤S2的执行期间,判断引导用激光GLB是否照射于基准点85。更详细而言,判断引导用激光GLB在测量仪80上的照射位置与基准点85的距离是否在规定的范围内(步骤S3(第三步骤))。
在第三步骤的判断结果为肯定、即引导用激光GLB在测量仪80上的照射位置与基准点85的距离在规定的范围内的情况(参照图6C)下,判断为激光LB的焦点位置位于由操纵器控制部72设定的位置,因此结束作业。
另一方面,在第三步骤的判断结果为否定、即引导用激光GLB在测量仪80上的照射位置与基准点85的距离超过规定的范围的情况下,即在图6A所示的情况下,判断为激光LB的焦点位置从由操纵器控制部72设定的位置偏移。在该情况下,通过调整激光头60相对于末端轴J6的位置来修正激光LB的焦点位置(步骤S4(第四步骤))。具体而言,从末端轴J6拆下测量仪80。并且,调整连接部件50所包括的第一部件51~第三部件53的位置关系,修正激光LB的焦点位置。具体而言,如前述那样,通过调整第二部件52的第一定位孔52b~第三定位孔52d处的第二螺栓54b~第四螺栓54d的***位置,如图6B所示那样,调整第一部件51~第三部件53的位置关系、进而调整激光头60相对于末端轴J6的位置。
在步骤S4结束后,返回步骤S1,反复执行一系列的步骤直到第三步骤的判断结果成为肯定。
需要说明的是,引导用激光GLB在测量仪80上的照射位置与基准点85的距离当然优选为零。其中,在聚光透镜22、激光头60内部的光学***存在色像差的情况下、在引导用激光GLB的光路与激光LB的光路存在偏移的情况下等,引导用激光GLB在测量仪80上的照射位置与基准点85的距离不为零,前述的规定范围可为有限的值。需要说明的是,该规定的范围根据激光加工方法、激光加工装置100所要求的规格等而适当决定。
[效果等]
如以上所说明那样,本实施方式的激光加工装置100至少具备至少产生激光LB的激光振荡器10、将激光LB朝向工件200照射的激光头60以及安装有激光头60的操纵器(多关节机器人)40。
操纵器40至少具有机械臂41、能够绕规定的轴线RA旋转并且设置于机械臂41的前端的末端轴J6以及将末端轴J6与激光头60连接的连接部件50。
在连接部件50设置有用于以能够装卸的方式安装测量仪80的测量仪安装部51a。测量仪80具有与激光LB的焦点位置对应的基准点85。
根据本实施方式,能够通过简便且廉价的结构而以良好的精度确认激光LB的焦点位置。另外,在激光LB的光轴变动的情况下,例如在更换激光振荡器10、光纤30、激光头60时,无需修正操纵器40的动作程序。
连接部件50具有第一部件51~第三部件53,在末端轴J6安装有第一部件51。另外,在第一部件51设置有测量仪安装部51a。
激光加工装置100构成为能够通过调整连接部件50所包括的第一部件51~第三部件53间的位置关系而调整激光LB的焦点位置。
根据本实施方式,能够通过简便且廉价的结构而以良好的精度调整激光LB的焦点位置。
在测量仪安装部51a安装有测量仪80的状态下,测量仪80的沿长度方向延伸的中心线84与末端轴J6的旋转轴线即轴线RA大致一致。另外,基准点85设置于中心线84上。
由此,能够简便且廉价地确认激光LB的焦点位置。
测量仪80是在沿着长度方向即Z方向的中间部分具有缺口部83的圆柱状的构件。缺口部83的下端部与沿Z方向延伸的缺口部83的中心线84的交点为基准点85。
由此,能够在将引导用激光GLB照射于测量仪80的情况下,可靠地判断引导用激光GLB是否照射于基准点85。
通常,在判断引导用激光GLB是否照射于基准点85时,佩戴有保护具的作业者通过目视来判断、或者利用相机来测定测量仪80处的引导用激光GLB的照射位置与基准点85的距离。
在基准点85被平面显示、例如基准点85作为图像显示在与轴线RA平行的平面上的情况下,根据引导用激光GLB的强度、相机的灵敏度不同,存在难以判断引导用激光GLB是否照射于基准点85的情况。
另一方面,在以前述的交点作为基准点85的情况下,当向基准点85照射引导用激光GLB时,引导用激光GLB散射,反射光扩展。当引导用激光GLB从基准点85偏移而照射于缺口部83、腿部82中的位于缺口部83的下方的部分时,引导用激光GLB的散射减少、进而反射光的扩展减少。
这样,通过也一并评价引导用激光GLB的反射光的扩展程度,能够可靠地且以良好的精度判断引导用激光GLB是否照射于基准点85。
本实施方式的激光LB的焦点位置调整方法具备在安装于末端轴J6的连接部件50安装测量仪80的步骤S1(第一步骤)以及在步骤S1之后从激光头60射出引导用激光GLB的步骤S2(第二步骤)。
还具备在步骤S2的执行期间判断引导用激光GLB在测量仪80上的照射位置与基准点85的距离是否在规定的范围内的步骤S3(第三步骤)。
若步骤S3中的判断结果为否定,则调整激光头60相对于末端轴J6的位置(步骤S4),并返回步骤S1,反复执行一系列的步骤直到步骤S3中的判断结果变为肯定。
根据本实施方式,能够简便且廉价地调整激光LB的焦点位置。
另外,通过调整连接部件50所包括的第一部件51~第三部件53间的位置关系,能够以良好的精度调整激光LB的焦点位置。
另外,在激光LB的光轴变动的情况下,例如在更换激光振荡器10、光纤30、激光头60时,无需修正操纵器40的动作程序,能够实现激光加工装置100的维护作业时间的缩短。另外,能够抑制维护成本的增加。
(其他实施方式)
在实施方式中,取图4A以及图4B所示的测量仪80为例进行了说明,但测量仪80的形状并不特别限定于此。例如,如图7A以及7B所示那样,测量仪80的腿部86也可以为棱柱状。另外,基准点87也可以是形成于腿部86的侧面的十字形状。需要说明的是,基准点87优选如图7B所示那样从腿部86的侧面向内侧凹陷、或者向外侧突出。由此,在引导用激光GLB向基准点87照射的情况下,能够通过也一并评价引导用激光GLB的反射光的扩展程度,可靠地且以良好的精度判断引导用激光GLB是否照射于基准点87。
另外,基准点的形状并不限定于图4B、图7B所示的例子。例如,也可以在测量仪80设置多个凹部或凸部,并将该多个凹部或凸部的交点作为基准点87。
另外,在实施方式中,示出了连接部件50由第一部件51~第三部件53构成的例子,但并不特别限定于此。例如,也可以省略第三部件53,并将第二部件52直接安装于激光头60。另外,连接部件50也可以具有第一部件51~第三部件53以外的其他部件。
另外,在实施方式中,示出了作为操纵器40具有6个关节轴J1~J6的机器人的例子,但并不特别限定于此。例如,也可以是操纵器40具有3个以上的关节轴的多关节机器人。在该情况下,末端轴也能够绕规定的轴线旋转并且设置于机械臂41的前端。
另外,在实施方式中,示出了激光振荡器10具有产生引导用激光GLB的激光源的例子,但该激光源也可以与激光振荡器10分开设置。向光纤30入射的引导用激光GLB的光轴与激光LB的光轴大致一致即可。
工业实用性
本发明的激光加工装置能够通过简便且廉价的结构而以良好的精度确认激光的焦点位置,因此是有用的。
附图标记说明
10 激光振荡器
20 光学单元
21 壳体
22 聚光透镜
23 闸门
30 光纤
40 操纵器
41 机械臂
42 线缆
50 连接部件
51 第一部件
51a 测量仪安装部
51a2 平坦面
51a1 贯通孔
51b 第一螺栓孔
51c 第二螺栓孔
51d 第三螺栓孔
52 第二部件
52b 第一定位孔
52c 第二定位孔
52d 第三定位孔
52e 安装部
53 第三部件
53a 第四螺栓孔
53b 第五螺栓孔
54a~54e 第一螺栓~第五螺栓
60 激光头
71 激光控制部
72 操纵器控制部
73 示教器
80 测量仪
81 头部
81a 凸部
81b 凸缘
82、86 腿部
83 缺口部
84 中心线
85、87 基准点
100 激光加工装置
200 工件
J1~J5 第一关节轴~第五关节轴
J6 第六关节轴(末端轴)
LB 激光
GLB 引导用激光。

Claims (6)

1.一种激光加工装置,其特征在于,
所述激光加工装置至少具备:
激光振荡器,其至少产生激光;
激光头,其将所述激光朝向工件照射;以及
多关节机器人,其安装有所述激光头,
所述多关节机器人至少具有:
机械臂;
末端轴,其能够绕规定的轴线旋转,且设置于所述机械臂的前端;以及
连接部件,其将所述末端轴与所述激光头连接,
在所述连接部件设置有测量仪安装部,该测量仪安装部用于以能够装卸的方式安装测量仪,
所述测量仪具有与所述激光的焦点位置对应的基准点。
2.根据权利要求1所述的激光加工装置,其特征在于,
在所述测量仪设置有多个凹部或凸部,
所述多个凹部或凸部的交点为所述基准点。
3.根据权利要求1或2所述的激光加工装置,其特征在于,
所述连接部件至少具有第一部件以及第二部件,
所述第一部件安装于所述末端轴,
所述测量仪安装部设置于所述第一部件。
4.根据权利要求3所述的激光加工装置,其特征在于,
所述激光加工装置构成为通过调整所述连接部件所包括的多个部件间的位置关系,能够调整所述激光的焦点位置。
5.根据权利要求1至4中任一项所述的激光加工装置,其特征在于,
在所述测量仪被安装于所述测量仪安装部的状态下,所述测量仪的沿长度方向延伸的中心线与所述轴线大致一致,
所述基准点设置在所述中心线上。
6.一种激光的焦点位置调整方法,其使用权利要求5所述的激光加工装置,其特征在于,
所述激光的焦点位置调整方法至少具备:
第一步骤,在安装于所述末端轴的所述连接部件安装所述测量仪;
第二步骤,在所述第一步骤之后,从所述激光头射出引导用激光;以及
第三步骤,在所述第二步骤的执行期间,判断所述引导用激光在所述测量仪上的照射位置与所述基准点的距离是否在规定的范围内,
若所述第三步骤中的判断结果为否定,则调整所述激光头相对于所述末端轴的位置,并返回所述第一步骤,反复执行一系列的步骤直到所述第三步骤中的判断结果变为肯定。
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