CN116169055A - 一种分选机 - Google Patents

Abstract

本发明公开一种分选机，包括晶圆盒供料组件；晶圆台组件与晶圆盒供料组件连接，晶圆盒供料组件能够给晶圆台组件提供晶圆，晶圆能够移动至上料装置上，上料装置上的抓取装置能够抓取晶圆并带动晶圆进行旋转；晶圆拉料组件设置在晶圆盒供料组件和晶圆台组件之间，晶圆拉料组件能够拉取晶圆盒供料组件的晶圆放置至晶圆台组件上；输入视觉能够观察抓取装置上的晶圆旋转后的位置；视觉检测机构与上料装置连接，视觉检测机构能够获取晶圆的图像；控制器根据晶圆的图像控制顶针带动合格的晶圆进入与上料装置连接的卷盘内。本发明方案可解决现有分选机仍需工人对晶圆进行归类放置，易造成晶圆被划伤导致晶圆的生产质量及产品合格率受到影响。

Description

一种分选机

技术领域

本发明涉及晶圆生产设备技术领域，特别涉及一种分选机。

背景技术

晶圆是指制作硅半导体积体电路所用的硅晶片。晶圆加工过程中，由于外界因素会导致生产的晶圆种类和质量有所不同，通常在自动光学检测机中进行测试，对晶圆的种类、质量进行检测后，然后依据种类及质量的不同对晶圆进行分选，把不同的晶圆分隔开来。

在现有技术中，晶圆的分选主要是通过分选机进行分选，但分选机在工作过程中，仍需要工人对每片晶圆进行归类放置，导致分选人工劳动强度大，分选成本增高，且在分选过程中，由于人员操作不细心等各种主观原因易导致晶圆被划伤，导致晶圆直接报废或降级处理，影响晶圆的生产质量及产品合格率。

发明内容

本发明的主要目的是提供一种分选机，旨在解决现有分选机在工作过程中仍需分选工人对每片晶圆进行归类放置，容易造成晶圆被划伤导致晶圆的生产质量及产品合格率受到影响的问题。

为实现上述目的，本发明提出的分选机，包括：

晶圆盒供料组件；

晶圆台组件，所述晶圆台组件与所述晶圆盒供料组件连接，所述晶圆盒供料组件能够给所述晶圆台组件提供晶圆，所述晶圆能够移动至上料装置上，所述上料装置上的抓取装置能够抓取所述晶圆并带动所述晶圆进行旋转；

晶圆拉料组件，所述晶圆拉料组件设置在所述晶圆盒供料组件和所述晶圆台组件之间，所述晶圆拉料组件能够拉取所述晶圆盒供料组件的晶圆放置至所述晶圆台组件上；

输入视觉，所述输入视觉能够观察所述抓取装置上的所述晶圆旋转后的位置；

视觉检测机构，所述视觉检测机构与所述上料装置连接，所述视觉检测机构能够获取所述晶圆的图像；

控制器，所述控制器根据所述晶圆的图像控制顶针带动合格的所述晶圆进入与所述上料装置连接的所述卷盘内。

在一实施例中，所述晶圆盒供料组件为扩膜机构，所述扩膜机构包括：

扩膜机构主体；

升降载板，活动安装于所述扩膜机构主体上方；

载膜板，搭设于所述升降载板的上表面，所述载膜板设置有一侧开口的插槽，以供晶圆盘***；

其中，所述载膜板能够跟随所述升降载板上升或下降；所述晶圆拉料组件能够吸附所述晶圆送至所述晶圆台组件上。

在一实施例中，所述分选机还包括可供不同尺寸封条使用的封刀部件，所述可供不同尺寸封条使用的封刀部件与所述晶圆台组件连接，所述可供不同尺寸封条使用的封刀部件包括：

封刀部件支撑架，包括两根沿z轴延伸的竖杆，一根沿x轴延伸且连接于两根所述竖杆之间的横杆；

封刀组件，所述封刀组件安装于所述横杆上；所述封刀组件可沿x轴做相对靠近或相对远离的运动，所述封刀组件能够将不同尺寸的所述晶圆进行密封。

在一实施例中，所述晶圆拉料组件还包括故障检测结构控制装置以及分别与所述故障检测结构控制装置电连接的传送装置和报警装置，所述晶圆拉料组件还包括故障检测结构，所述故障检测结构包括：

连接部，所述连接部设置有用于抓取晶圆的夹爪；

活动部，所述活动部可活动地安装于所述连接部，所述活动部用于与所述传送装置连接，用以在所述传送装置的带动下向拉料方向或者推料方向移动。

在一实施例中，所述晶圆拉料组件还包括传感结构，所述传感结构用于与所述故障检测结构控制装置电连接，所述传感结构设置于所述活动部，用于在所述活动部移动的距离大于预设阈值时生成报警信号，以使所述故障检测结构控制装置根据所述报警信号控制所述报警装置输出所述报警信号，并控制所述传送装置停止工作。

在一实施例中，所述视觉检测机构包括基于视觉检测的顶针装置，所述基于视觉检测的顶针装置包括：

支架组件，所述视觉检测机构设置在所述支架组件上；

顶针机构，所述顶针机构设置在所述支架组件上，所述顶针机构包括顶针，所述顶针能够运动至预设位置并顶出芯片，所述上料装置的副塔能够吸取所述芯片，并将所述芯片传送至所述上料装置的主塔上；

所述视觉检测机构位于所述顶针机构的上方，所述视觉检测机构用于检测所述顶针机构的位置。

在一实施例中，所述视觉检测机构还包括侧面检测机构，所述侧面检测机构包括：

支撑架，所述支撑架设置于所述侧面检测机构上；

反射组件，所述反射组件能够反射光线，所述反射组件设置于所述支撑架上；

光源，设置于所述支撑架上，用于照射晶圆，所述反射组件能够改变所述光源的光路；

所述控制器能够根据接受的所述光路控制顶针带动合格的所述晶圆进入与所述晶圆台组件连接的所述所述卷盘内。

在一实施例中，所述分选机还包括晶圆推送装置，所述晶圆推送装置与所述晶圆台组件连接，所述晶圆推送装置包括：

推送组件，所述推送组件推送方向对应晶圆的方向，用于推送晶圆进行贴装；

弹性机构，所述弹性机构位于所述推送组件的下方，用于对所述推送组件限位，当所述推送组件运动时，所述推送机构与所述弹性机构之间的距离缩短；

晶圆推送装置检测机构，所述晶圆推送装置检测机构与所述弹性机构连接，所述晶圆推送装置检测机构用于检测所述推送组件与所述弹性机构之间的距离。

在一实施例中，所述分选机还包括检测组件，所述检测组件用于检测所述卷盘上的晶圆，所述检测组件包括：

载台；

载带，所述载台用于承载所述载带，所述载带沿第一方向延伸设置，用于传输晶圆；

视觉模块，所述视觉模块朝向所述载带设置，用于在检测晶圆的缺失或不良；

吸嘴模块，所述吸嘴模块用于吸取、放置所述晶圆。

在一实施例中，所述分选机包括：供料模块，用于提供所述晶圆；拉料模块，用于拾取所述晶圆；上料模块，用于存放所述拉料模块拾取的所述晶圆；检测模块，用于检测所述晶圆的位置和质量；根据检测的所述晶圆的位置和质量，控制优质的所述晶圆进入所述卷盘内，劣质的所述晶圆进行清料。

本发明技术方案通过在分选机上设置晶圆盒供料组件用于放置晶圆，设置晶圆台组件和晶圆盒供料组件连接，晶圆盒供料组件上的晶圆能够通过晶圆拉料组件放置在晶圆台组件上，其中晶圆拉料组件设置在晶圆盒供料组件和晶圆台组件之间，且在分选机上设置视觉检测机构，将晶圆的图像通过视觉检测机构传递给控制器，控制器根据晶圆的图像控制顶针带动合格的晶圆进入与晶圆台组件连接的卷盘内，实现分选机自动进料并自动分选，不再需要工人对每片晶圆进行归类放置，使分选成本降低，且在分选过程中，提高晶圆的生产质量及产品合格率。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图示出的结构获得其他的附图。

图1为本发明分选机一实施例的结构示意图；

图2为本发明分选机一实施例另一角度的结构示意图；

图3为本发明扩膜机构一实施例的结构示意图；

图4为图3中A处的局部放大图；

图5为本发明扩膜机构一实施例中的部分结构剖视图；

图6为图5的俯视图；

图7为本发明封刀部件一实施例的结构示意图；

图8为图7的正视图；

图9为图7隐藏竖杆后的侧视图；

图10为本发明的故障检测结构的一实施例的结构示意图；

图11为本发明的故障检测结构的一实施例的另一视角的部分结构示意图；

图12为本发明的分选机的一实施例的功能模块示意图；

图13为本发明基于视觉检测的顶针装置一实施例的结构示意图；

图14为本发明视觉检测机构一实施例的结构示意图；

图15为本发明顶针机构一实施例的结构示意图；

图16为本发明基于视觉检测的顶针装置又一实施例的结构示意图；

图17为本发明侧面检测机构一实施例的结构示意图；

图18为本发明侧面检测机构一实施例的半剖结构示意图；

图19为本发明晶圆推送装置一实施例的结构示意图；

图20为本发明检测组件一实施例的结构示意图；

图21为本发明真空吸料组件一实施例的***图；

图22为图21中A处的局部放大图；

图23为本发明真空吸料组件一实施例的结构示意图；

图24为图23中B处的局部放大图；

图25为图23的俯视图；

图26为图23的剖视图。

附图标号说明：

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本发明目的的实现、功能特点及优点将结合实施例，参照附图做进一步说明。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

需要说明，本发明实施例中所有方向性指示仅用于解释在某一特定姿态下各部件之间的相对位置关系、运动情况等，如果该特定姿态发生改变时，则该方向性指示也相应地随之改变。

另外，在本发明中涉及“第一”、“第二”等的描述仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示其相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。另外，各个实施例之间的技术方案可以相互结合，但是必须是以本领域普通技术人员能够实现为基础，当技术方案的结合出现相互矛盾或无法实现时应当认为这种技术方案的结合不存在，也不在本发明要求的保护范围之内。

在现有技术中，晶圆的分选主要是通过分选机进行分选，但分选机在工作过程中，仍需要工人对每片晶圆进行归类放置，导致分选人工劳动强度大，分选成本增高，且在分选过程中，由于人员操作不细心等各种主观原因易导致晶圆被划伤，导致晶圆直接报废或降级处理，影响晶圆的生产质量及产品合格率。

为解决上述问题，本发明提出一种分选机。

请参阅图1至图2，在本实施例中，所述分选机晶圆盒供料组件C；晶圆台组件D，所述晶圆台组件D与所述晶圆盒供料组件C连接，所述晶圆盒供料组件C能够给所述晶圆台组件D提供晶圆620，所述晶圆620能够移动至上料装置G上，所述上料装置G上的抓取装置能够抓取所述晶圆620并带动所述晶圆620进行旋转；晶圆拉料组件E，所述晶圆拉料组件E设置在所述晶圆盒供料组件C和所述晶圆台组件D之间，所述晶圆拉料组件E能够拉取所述晶圆盒供料组件C的晶圆620放置至所述晶圆台组件D上；输入视觉，所述输入视觉能够观察所述晶圆620旋转后的位置；视觉检测机构F，所述视觉检测机构F与所述上料装置G连接，所述视觉检测机构F能够获取所述晶圆620的图像；控制器，所述控制器根据所述晶圆620的图像控制顶针带动合格的所述晶圆620进入与所述上料装置G连接的所述卷盘内。在分选机分选晶圆时，晶圆盒供料组件C内存放有晶圆620，晶圆拉料组件E能够将存放在晶圆盒供料组件C内的晶圆620放置至晶圆台组件D上，晶圆台组件D能够移动至上料装置G，晶圆620能够在上料装置G上旋转，输入视觉进行判定旋转的晶圆620是否送达至正确位置，当输入视觉观察到晶圆620旋转至正确位置时，设置在晶圆台组件D上的顶针能够将质量优良的晶圆620顶出进行封刀，晶圆620通过侧面检测机构61的检测后，将劣质晶圆620排除，优质晶圆620被卷盘收集，实现分选机自动进料并自动分选，不再需要工人对每片晶圆620进行归类放置，使分选成本降低，且在分选过程中，提高晶圆620的生产质量及产品合格率。

如图2至图7所示，在一实施例中，所述晶圆盒供料组件C为扩膜机构，所述扩膜机构包括：扩膜机构主体2100；升降载板2200，活动安装于所述扩膜机构主体上方；载膜板2300，搭设于所述升降载板2200的上表面，所述载膜板2300设置有一侧开口的插槽2301，以供晶圆盘2800***；其中，所述载膜板2300能够跟随所述升降载板2200上升或下降；所述晶圆拉料组件E能够吸附所述晶圆620送至所述晶圆台组件D上。

该扩膜机构包括扩膜机构主体2100、升降载板2200、载膜板2300、扩膜件2400、驱动组件2500以及锁紧件2600；其中，载膜板2300搭设于所述升降载板2200的上表面，所述载膜板2300设置有一侧开口的插槽2301，以供晶圆盘2800***；扩膜件2400设置于所述扩膜机构主体2100且置于所述升降载板2200的下方，所述载膜板2300和所述升降载板2200对应所述扩膜件2400位置设置有避让孔2210；驱动组件2500与所述升降载板2200传动连接，用于驱动所述升降载板2200靠近或远离所述扩膜机构主体2100；锁紧件2600在张开位和锁紧位之间可切换的安装于所述升降载板2200，在处于所述张开位，晶圆盘2800可自所述开口***所述插槽2301，在处于所述锁紧位时，所述锁紧件2600置于所述载膜板2300的开口侧2302，限制晶圆盘2800自所述开口脱出；所述驱动组件2500驱动所述升降载板2200下降时，所述锁紧件2600切换至锁紧位，所述载膜板2300跟随所述升降载板2200下降。

可选地，该扩膜机构主体2100作为扩膜机构的扩膜机构主体2100支撑结构，用于供驱动组件2500等其他件安装。升降载板2200作为一个中间件，供载膜板2300安装，用于与驱动组件2500驱动连接，在驱动组件2500的作用力下相对扩膜机构主体2100作升降运动，并间接带动载膜板2300下降。一般而言，用于扩膜的晶圆盘2800呈圆盘状，在扩膜时，为使晶圆盘2800在扩张过程中的受力更加均匀，该扩膜件2400可以是凸设于扩膜机构主体2100上的圆柱形凸起，也可以是圆筒或圆环等，在此不一一限定其具体形成，只需要其能够实现扩膜功能即可。进一步地，载膜板2300、升降板上均具有供扩膜件2400穿过的圆形避让孔2210，以使晶圆盘2800安装在载膜板2300的插槽2301内后，跟随升降载板2200向下运动时，晶圆盘2800直接与扩膜件2400的上端面相抵接，以进行扩膜。

进一步地，该载膜板2300整体呈空心圆盘状，该插槽2301沿水平方向延伸设置，以供，晶圆盘2800自其开口侧2302适配***该插槽2301内，可以在插槽2301内***销钉进行导向，以便于晶圆盘2800插接到位。

该扩膜机构的基本原理为：驱动组件2500驱动，带动升降载板2200作上升运动，使得锁紧件2600处于张开位置，其不会干涉晶圆盘2800自开口***载膜板2300的插槽2301内。当晶圆盘2800盘***到位后，驱动组件2500工作，带动升降载板2200下降，该锁紧件2600与升降载板2200联动，随着升降载板2200的下降，锁紧件2600逐步自张开位切换至锁紧位，以将载膜板2300锁紧在升降载板2200上，跟随升降载板2200一起下降，升降载板2200带动晶圆盘2800一起下压至扩膜件2400的上端面上。在下压过程中，晶圆盘2800的下表面一直抵压在扩膜件2400的上端面，晶圆盘2800的上表面与插槽2301的上壁面相抵接，具有一定弹性的晶圆盘2800会在扩膜件2400的压力作用下逐步扩张起来。因此，本发明不仅结构简单，在将晶圆620板装入该载膜板2300内后，无需人工通过其他紧固件将载膜板2300固定在升降载板2200上，提升了扩膜效率，在扩膜过程中，可以防止晶圆盘2800变形。且使得载膜板2300的安装拆卸更加简单，以便于根据不同型号的晶圆盘2800，适应性地替换该载膜板2300，整个扩膜机构的使用范围更广。

需要说明的是，在锁紧件2600处于锁紧位时，置于插槽2301内的晶圆盘2800可以是与扩膜件2400相抵接，也可以是置于扩膜件2400的上方且与扩膜件2400间隔设置。

在一实施例中，所述锁紧件2600包括抵接件、轴销以及扣接部，所述抵接件安装于所述扩膜机构主体2100且置于所述升降载板2200的一侧，所述扣接部通过所述轴销转动安装于所述升降载板2200；在所述锁紧件2600处于张开位时，所述扣接部置于所述抵接件的上方，所述扣接部沿竖直方向的部分投影与所述抵接件重合，在所述驱动组件2500驱动所述升降载板2200下降时，所述扣接部与所述抵接件相抵接以转动切换至所述锁紧位。

可选地，该抵接件在此处只对扣接部起到一个抵接作用，在此不对其形状作限定。以该锁紧件2600处于张开位时，轴销上套设有卡簧，使扣接部沿水平方向延伸设置为例，在驱动组件2500带动升降载板2200下降过程中，该抵接件相对升降载板2200固定不动，扣接件随扣接部与抵接件的上表面相抵接，施加给扣接部一个向上的反作用力，扣接部以轴销为转动中心向上转动，直至该扣接部转动90°切换至锁紧位，扣接部与载膜板2300的上表面相抵接，同时扣接部与载膜板2300的开口侧2302向抵接，限制晶圆盘2800自插槽2301内脱出，导致晶圆盘2800变形。进一步地，该抵接件朝向扣接部的一侧与扣接部相抵接，以将扣接部保持在该位置。如此，在驱动组件2500带动升降载板2200作下降运动时，该扣接部与升降载板2200联动，带动载膜板2300随升降板一起运动。如此，该锁紧件2600在能起到与升降载板2200联动作用的同时，其结构简单，安装方便。

作为一种较优地实施方式，该抵接部的上端位置用于与抵接部相接触的部分安装有一个转动轴承，如此，使得扣接部不容易损坏，可靠性更高。具体地，抵接部的包括上端和下端，下端呈矩形体固定安装在扩膜机构主体2100，上端包括间隔设置的第一耳部和第二耳部以及连接第一耳部和第二耳部的转动轴承，该转动轴承的转动轴与轴销的转动轴平行。

在一实施例中，所述扣接部包括呈L型设置的第一板和第二板，所述第一板的一端与所述升降载板2200转动连接，所述第一板的另一端向上凸伸形成所述第二板，在所述锁紧件2600处于锁紧位时，所述第一板与所述载膜板2300的侧壁相抵接，所述第二板与所述载膜板2300的上表面相抵接。

可选地，在本实施例中，为使扣接部的结构更加简单，该扣接部呈板状结构，第一板和第二板一体设置且呈L形设置，如此，在锁紧件2600切换至锁紧位时，该第二板的下表面与载膜板2300的上表面相抵接，其接触面积更大，以使载膜板2300随升降载板2200同步向下运动。第一板远离第二板的一端朝向升降载板2200方向凸设有凸起部，轴销穿过该凸起部以将该扣接部转动安装于升降载板2200。

可以理解的是，综合考虑升降载板2200的厚度以及便于该扣接部的安装，在其他实施例中，该扣接件还可以包括一个安装块，该安装块固定安装在升降载板2200的下表面，第一板的凸起部与该安装块转动连接，也能实现将扣接部转动安装在升降载板2200上的目的。

在一实施例中，所述锁紧件2600还包括回弹构件，所述回弹构件组装在所述轴销上并与所述扣接部连接，用于在所述驱动组件2500驱动所述锁紧件2600上升时，将所述锁紧件2600复位至所述张开位。该回弹构件可以选用扭簧、弹簧等弹性件。需要说明的是，回弹构件组装在轴销上仅为其中一种实现方式，亦可以组装在其他位置，例如，该回弹构件设置在抵接件上并与扣接部相接。只要回弹构件能够实现扣接部的复位功能即可，在此不一一限定。

需要说明的是，该锁紧件2600可以是间隔设置的多个，一般而言，锁紧件2600的数量越多，其对载膜板2300的扣接效果越好，可以根据实际使用自行选用，在此不对锁紧件2600一一限定。在本实施例中，该锁紧件2600为间隔设置的2个，为便于表述锁紧件2600在张开位和锁紧位的两种状态，B处的锁紧件2600处于张开位，C处的锁紧件2600处于锁紧位，在实际使用过程中，多个锁紧件2600是同时处于张开位，或同时处于锁紧位的。

在一实施例中，所述载膜板2300包括晶圆压板、晶圆支撑板、以及连接所述晶圆压板和所述晶圆支撑板的连接部，所述晶圆支撑板的内周缘向下凸设有定位凸起，所述晶圆支撑板搭设于所述升降载板2200，所述定位凸起置于所述升降载板2200的避让孔2210，所述晶圆压板和所述晶圆支撑板之间形成有所述插槽2301。

可选地，在本实施例中，该载膜板2300分体设置，晶圆支撑板和晶圆压板组成，该晶圆支撑板和晶圆压板配合形成供晶圆盘2800容置的插槽2301。可以理解的是，该晶圆支撑板仅仅是用于支撑放置该晶圆盘2800，在载膜板2300跟随升降载板2200下降对晶圆盘2800进行扩膜过程中，晶圆盘2800的下表面与扩膜件2400的上端面相抵接，晶圆盘2800的上表面与晶圆压板的内周缘相抵接，以实现扩膜。因此，针对不同型号的晶圆盘2800进行扩膜时，可以保持晶圆支撑板不变，仅仅通过替换晶圆压板即可使该扩膜机构适配不同类型的晶圆盘2800，适用范围更广，降低了扩膜成本。

进一步地，该晶圆支撑板可以是由一整块环形板，也可以是由两块呈圆弧状的板组成，在此不一一限定。在本实施例中，该晶圆支撑板由两块半圆弧形的板组成。为便于描述，定义该晶圆盘2800***端为前端，该晶圆支撑板的前端面为平直切面，且该切面与晶圆盘2800的***方向垂直，该扣接部置于平直切面的外侧，如此，在扣接件置于锁紧位时，扣接件的侧壁与晶圆支撑板的前端的平直切面相贴，防止置于插槽2301内的晶圆盘2800在扩膜时发生变形。其中，晶圆支撑板的内周缘向下凸设有定位凸起，该定位凸起的外周壁与升降载板2200的内周壁相贴，如此，避免晶圆支撑板和升降载板2200沿其径向产生相对位置。

在本实施例中，该连接部和晶圆支撑板一体设置。具体地，晶圆支撑板的外周缘的部分向上凸伸形成第一连接块，第一连接块远离晶圆支撑板的一端向内翻折，形成第二连接块，该第二连接块与晶圆支撑板平行。该晶圆压板呈为圆环板，其形状与晶圆支撑板的形状相适配，通过螺丝等紧固件固定在第一连接块的朝向晶圆支撑板的一侧表面，以使晶圆支撑板和晶圆压板之间形成供晶圆盘2800***的插槽2301。

在一实施例中，所述第一驱动组件2500包括电机、同步带传动组件以及若干个丝杆组件，若干个所述丝杆组件均匀分布在所述扩膜机构主体2100上，所述电机通过所述同步带传动组件与若干个所述丝杆组件传动连接，所述丝杆组件的活动端与所述升降载板2200相连。

在本实施例中，该丝杆组件为4个，设置于扩膜机构主体2100的四周角落位置，电机通过同步带传动组件驱动4个丝杆组件一起作升降运动，以带动升降载板2200运动，如此，使得升降载板2200的运动行程精度更高，晶圆盘2800在扩膜过程中，各个部位受力更加均匀，保证晶圆盘2800的扩膜均匀度。

需要说明的是，在其他实施例中，该升降载板2200也可以通过多个电机驱动驱动多个丝杆带动升降载板2200作升降运动，在此不一一限定。

在一实施例中，所述同步带传动组件包括第一同步带、第二同步带以及多个第一同步轮，所述电机的输出轴上设置有第二同步轮，所述第二同步轮和其中一所述第一同步轮通过所述第一同步带啮合，若干个所述第一同步轮通过所述第二同步带啮合；所述丝杆组件包括丝杆和丝杆螺母，所述丝杆与所述丝杆螺母螺纹配合，所述丝杆螺母设置在所述第一同步轮上，所述丝杆的上端设置在所述升降载板2200上，所述丝杆的下端穿过所述第一同步轮的内孔。

可选地，丝杆螺母固定安装在第一同步轮上，且随第一同步轮转动，如此，驱动丝杆和丝杆螺母相对转动，以带动升降载板2200的上升下降，实现晶圆盘2800的扩膜。较佳地，丝杆组件与第一同步轮的数量相适配。

需要说明的是，根据电机与丝杆组件的实际布局，可以适应性地在第一同步轮和第二同步轮之间增加传动件。在本实施例中，在第一同步轮和第二同步轮之间增设一个第三同步轮，该第三同步轮的上下两端分别通过皮带与第二同步轮和第一同步轮传动连接。具体的工作原理为：电机转动带动第二同步轮转动，第二同步轮通过第一皮带与第三同步轮传动连接，从而带动第三同步轮转动，第三同步轮通过皮带带动其中一个第三同步带轮转动，由于多个第三同步带轮通过一个同步带啮合，如此，通过一个电机驱动，实现多个丝杆共同转动，带动升降载板2200向下运动。

在一实施例中，所述扩膜机构还包括若干个第一导向组件，所述第一导向组件包括第一导套和第一导杆，所述第一导套设置在所述扩膜机构主体2100上，所述第一导杆竖直设置在所述扩膜机构主体2100上并且穿过所述第一导套与所述升降载板2200固定连接。

可选地，多个第一导向组件呈环形阵列设置在升降载板2200上。如此，通过增设该导向组件，在保证扩膜效果的同时，丝杆组件的数量可以相对减少，降低了扩膜机构的生产成本。其中，每一所述第一导向组件包括导向配合的第一导杆和第一导套，在本实施例中，导杆的一端固定在升降载板2200上，将导套固定在扩膜机构主体2100部上，如此，升降载板2200的厚度可以相对降低，结构更加紧凑。

在一实施例中，所述扩膜机构还包括第二驱动件，所述扩膜机构主体2100包括底座和转动板，所述转动板可转动安装于所述底座，所述导向套设置于所述转动板；

所述第二驱动组件2500与所述转动板转动连接，用于驱动所述转动板相对所述扩膜机构主体2100转动，间接驱动所述升降载板2200转动。所述扩膜件2400设置于所述转动板且可随所述转动板转动。

可选地，在本实施例中，该扩膜机构的扩膜机构主体2100包括底座和转动板，该底座作为整个扩膜机构的支撑部件，供转动板转动安装在上，丝杆螺母固定安装于该底座。该转动板的外周壁设置有传动带。该第二驱动件包括第二电机，安装在底座上，第二电机的输出轴与该传动带传动连接，以驱动转动板转动。进一步地，该扩膜件2400搭设在转动板上且可以跟随转动板转动，在此不限定其具体的连接结构。在本实施例中，该转动板为圆环板，相应地，该扩膜件2400呈圆筒状，其中扩膜件2400的外周壁凸设有凸块，转动板具有供所述凸块***的凹槽，如此，限制扩膜件2400和转动板相对转动。

该第二驱动件的工作原理为：第二驱动件转动带动转盘和扩膜件2400一起转动，在导向组件的作用下，转盘进一步带动升降载板2200转动，锁紧件2600和载膜板2300一起转动，如此，实现调整安装在载膜板2300上得晶圆盘2800的位置的目的。可选地，该第二驱动件可以选用步进电机。

在一实施例中，所述扩膜机构还包括辅助支撑板以及多个第二导向组件，第二导向组件包括导向配合的第二导套和第二导杆，所述第二导向套安装于所述底座且置于所述转动板的外周侧，所述第二导杆的自由端与所述辅助支撑板连接；所述升降载板2200转动安装于辅助支撑板。

可选地，该辅助支撑板为环形板，其尺寸设计大于升降载板2200，用于承载升降载板2200，如此，使得升降载板2200跟随转动板转动时更加稳定，精度更高。进一步地，该辅助支撑板通过第二导向组件与底座连接，如此，该辅助支撑板可以随着丝杆驱动组件2500一起向下运动。

在本实施例中，该辅助支撑板的周缘向外凸设形成有耳部，丝杆的自由端固定安装于耳部，如此，通过将丝杆组件与辅助支撑板连接，丝杆组件与转动盘之间的间距一定的情况下，升降载板2200的直径可以相对较小，降低了生产成本，结构更加紧凑。

参考图8至10，在一实施例中，所述分选机还包括可供不同尺寸封条使用的封刀部件，所述可供不同尺寸封条使用的封刀部件与所述晶圆台组件D连接，所述可供不同尺寸封条使用的封刀部件包括：

封刀部件支撑架3100，包括两根沿z轴延伸的竖杆3110，一根沿x轴延伸且连接于两根所述竖杆之间的横杆3120；

封刀组件，所述封刀组件安装于所述横杆3120上；所述封刀组件可沿x轴做相对靠近或相对远离的运动，所述封刀组件能够将不同尺寸的所述晶圆620进行密封。

在一实施例中，所公开的可供不同尺寸封条使用的封刀部件包括支撑架3100、左封刀组件3200和右封刀组件3300，支撑架3100包括两根沿z轴延伸的竖杆3110以及一根沿x轴延伸且连接于两根所述竖杆3110之间的横杆3120；左封刀组件3200和右封刀组件3300均安装于所述横杆3120上，并且，所述左封刀组件3200和右封刀组件3300可沿x轴做相对靠近或相对远离的运动。

所公开的封刀部件其左封刀组件3200和右封刀组件3300之间的间距可调，一个封刀部件能够对多种不同尺寸的料带进行热封。

所述左封刀组件3200和右封刀组件3300在横杆3120上运动的方式有多种，在一实施例中，所述左封刀组件3200包括第一挂接件3210和左封刀主体3220，所述左封刀主体3220通过所述第一挂接件3210挂设于所述横杆3120上；所述右封刀组件3300包括第二挂接件3310和右封刀主体3320，所述右封刀主体3320通过所述第二挂接件3310挂设于所述横杆3120上；所述第一挂接件3210和第二挂接件3310受外力作用可沿x轴于所述横杆3120上做相对靠近或远离的运动，进而带动所述左封刀主体3220和右封刀主体3320沿x轴于所述横杆3120上做相对靠近或相对远离的运动。

具体地，所述第一挂接件3210和第二挂接件3310可以呈H型设计，也可以呈“冂”型设计，以能够挂设于横杆3120上为准，对其具体结构不作限定。第一挂接件3210与左封刀主体3220，以及第二挂接件3310与右封刀主体3320的连接方式可以为螺接，以一具体实施方案进行说明：第一挂接件3210包括挂接板、第一连接板和第二连接板(此处所述的挂接板可以视为“H”中的横杆3120，第一连接板和第二连接板可以视为“H”中的两根竖杆3110)，第一连接板和第二连接板沿长度方向开设有第一连接通孔和第二连接通孔，左封刀主体3220对应所述第一连接通孔和第二连接通孔的位置开设有螺孔，一螺钉穿设所述第一连接通孔并固定于左封刀主体3220对应所述第一连接通孔的螺孔内，另一螺钉穿设所述第二连接通孔并固定于左封刀主体3220对应所述第二连接通孔的螺孔内，将第一挂接件3210与左封刀主体3220固定连接；第二挂接件3310与右封刀主体3320的连接方式可参考前文，在此不作赘述。

当需要调节左封刀组件3200与右封刀组件3300的间距时，可以通过手动拨动至适合位置。

在一实施例中，所述横杆3120上开设有沿x轴延伸的第一条形孔；所述左封刀组件3200还包括第一连接件3230，所述第一连接件3230与所述左封刀主体3220连接设置，且远离所述左封刀主体3220的一侧上开设有第一螺孔；所述右封刀组件3300还包括第二连接件3300，所述第二连接件3300与所述右封刀主体3320连接设置，且远离所述左封刀主体3220的一侧上开设有第二螺孔；所述第一挂接件3210和第二挂接件3310对应所述第一条形孔的位置分别开设有第一通孔和第二通孔；所述左封刀主体3220通过螺钉(图未示出)依次穿设所述第一通孔、第一条形孔和第一螺孔锁挂于所述横杆3120上；所述右封刀主体3320通过螺钉依次穿设所述第二通孔、第一条形孔和第二螺孔锁挂于所述横杆3120上。

在本实施例中，所述的“第一”、“第二”不指代数量，第一螺孔可以有一个也可以有多个，同理，第二螺孔可以有一个也可以有多个。

右封刀主体3320和左封刀主体3220锁挂于横杆3120上的具体形式有多种，以一具体实施方案为例对本实施例进行说明：螺钉包括螺帽及螺柱，螺帽的直径大于第一条形孔的宽度，或者大于第一通孔的孔径，也即，螺帽无法穿过所述第一条形孔或第一通孔，左封刀主体3220通过该螺钉依次穿设所述第一通孔、第一条形孔，固定于第一螺孔，螺帽可以卡设于第一通孔处，也可以穿设第一通孔卡设于第一条形孔处，螺钉将第一连接件3230、左封刀主体3220锁固于横杆3120上；右封刀主体3320所固于横杆3120上的方式同理，在此不作赘述。

可以理解的，第一条形孔的设置能够使得螺钉无需完全拆卸，即可实现左封刀主体3220/右封刀主体3320在x轴上自由移动。

其中，条形孔的设置有时候由于受限于封刀部件中其他零部件的影响，不一定会设置于中心位置，当其偏位设置时，具体地，在一实施例中，连接件上设置有两个螺孔，两个所述螺孔沿与所述横杆3120垂直的方向间隔排布，当该连接件作为左封刀主体3220的连接件时(也即第一连接件3230)，其中一个螺孔与横杆3120上的条形孔对应，当该连接件作为右封刀主体3320的连接件时(也即第二连接件3300)，另一螺孔与横杆3120上的条形孔对应，也即，此时的连接件是通用的，既可以作为第一连接件3230也可以作为第二连接件3300。

具体地，第一连接件3230(或第二连接件3300)包括一次连接设置的第一固定板、第二固定板和第三固定板，其中，第一固定板和第三固定板沿远离横杆3120的方向延伸，第二固定杆沿横杆3120的长度方向延伸，第一螺孔设置于第二固定板上，第一固定板及第三固定板上均开设有一个或多个螺孔，用于通过采用螺钉等紧固件与左封刀主体3220(或右封刀主体3320)连接固定。

在本实施例中，当需要调节左封刀组件3200和右封刀组件3300之间的间隙时，可将螺钉拧松(无需完全拆卸)，以使得左封刀组件3200和右封刀组件3300能够在横杆3120上自由移动，当调节至预设间距时，再将螺钉紧固，以将左、右封刀组件3300固定，保证其在对料带进行热封时不移动、晃动。

在一实施例中，所述螺钉包括螺柱和螺帽，所述螺帽的直径大于所述第一条形孔的宽度，以保证螺钉穿设第一通孔、第一条形孔，固定于第一螺孔时顺利将左封刀主体3220锁紧于横杆3120上，以及，保证螺钉穿设第二通孔、第一条形孔，固定于第二螺孔时顺利将右封刀主体3320锁紧于横杆3120上。

进一步地，所述螺帽沿所述螺柱长度方向的高度小于或等于所述第一通孔和第二通孔的高度，保证螺钉藏设于第一通孔/第二通孔内，不外露。

在一实施例中，所述横杆3120具有相对设置的第一侧和第二侧，所述左封刀主体3220和右封刀主体3320位于所述第二侧，所述第一挂接件3210和第二挂接件3310位于所述第一侧；所述第二侧沿x轴开设有滑槽，所述第一连接件3230远离所述左封刀主体3220的一侧设置有与所述滑槽适配的第一滑块，所述第二连接件3300远离所述右封刀主体3320的一侧设置有与所述滑槽适配的第二滑块。

在本实施例中，横杆3120的具体结构可以参考图4，第一连接件3230和第二连接件3300的具体结构可参考图5，第一连接件3230的第一滑块滑动设置于所述横杆3120的滑槽内，第二连接件3300的第二滑块滑动设置于横杆3120的滑槽内，可以理解地，滑槽和滑块(第一滑块、第二滑块)的设置能够使得左、右封刀主体3320直接挂接于横杆3120上，并且能够沿横杆3120的长度方向自由移动。

参考图11至图13，在一实施例中，所述晶圆拉料组件E还包括故障检测结构100控制装置以及分别与所述故障检测结构100控制装置电连接的传送装置320和报警装置330，所述晶圆拉料组件E还包括故障检测结构100，所述故障检测结构100包括：

连接部110，所述连接部110设置有用于抓取晶圆620的夹爪111；

活动部120，所述活动部120可活动地安装于所述连接部110，所述活动部120用于与所述传送装置320连接，用以在所述传送装置的带动下向拉料方向或者推料方向移动。

在一实施例中，所述晶圆拉料组件E还包括传感结构，所述传感结构用于与所述故障检测结构控制100装置电连接，所述传感结构设置于所述活动部120，用于在所述活动部120移动的距离大于预设阈值时生成报警信号，以使所述故障检测结构100控制装置根据所述报警信号控制所述报警装置330输出所述报警信号，并控制所述传送装置320停止工作。

所述分选机包括故障检测机构控制装置310以及分别与所述故障检测机构控制装置310电连接的传送装置320和报警装置330，所述故障检测结构100包括连接部110、活动部120以及传感结构250。其中：

所述连接部110设置有用于抓取物料的夹爪111；

所述活动部120可活动地安装于所述连接部110，所述活动部120用于与所述传送装置320连接，用以在所述传送装置320的带动下向拉料方向或者推料方向移动；

所述传感结构250用于与所述故障检测机构控制装置310电连接，所述传感结构250设置于所述活动部120，用于在所述活动部120移动的距离大于预设阈值时生成报警信号，以使所述故障检测机构控制装置310根据所述报警信号控制所述报警装置330输出所述报警信号，并控制所述传送装置320停止工作。

设置连接部110、活动部120和传感结构250，连接部110设置有用于抓取物料的夹爪111，通过夹爪111抓取物料以实现进料；活动部120用于在传送装置320的带动下向拉料方向或者推料方向移动；在活动部120设置传感结构250，在出现卡料时由传感结构250及时生成报警信号，由故障检测机构控制装置310根据所述报警信号控制报警装置330报警，并控制传送装置320停止工作，用于在因卡料出现进料故障的时候及时报警提醒，并及时停止拉料或者推料，避免在出现进料故障的时候传送装置320依旧处于拉料工作状态或者推料工作状态造成机器损坏。

可选地，所述夹爪111可设置于所述连接部110的任意位置，用以抓取物料。

在正常运行的时候，传送装置320通过活动部120带动抓取有物料的连接部110向拉料方向或者推料方向移动；在出现卡料的时候，抓取物料的夹爪111保持抓取状态，但活动部120依旧会在传送装置320的带动下移动，在活动部110设置传感结构250，传感结构250随活动部120移动，用于在活动部120向拉料方向或者推料方向移动的距离大于预设阈值时生成报警信号，根据活动部120的移动距离检测进料故障，可简化故障检测结构，易于实现，便于生产、组装。

可选地，所述连接部110包括相互连接的第一连接部和第二连接部，所述夹爪111设置于所述第一连接部，所述活动部120可活动地安装于所述第二连接部。所述连接部110还包括驱动电机，所述驱动电机设置于所述第一连接部，所述驱动电机与所述夹爪111驱动连接，用以驱动所述夹爪111抓取物料或者放下物料。可选地，可设置所述故障检测机构控制装置310与所述驱动电机电连接，用于在接收到所述报警信号后控制所述驱动电机停止工作。

在一实施例中，所述活动部120和所述连接部110中的一个设置有第一滑块，另一个设置有第一滑轨2，所述第一滑块与所述第一滑轨2滑动适配。

可选地，所述第一滑块设置于所述活动部120，所述第一滑轨2设置于所述连接部110；或者，所述第一滑块设置于所述连接部110，所述第一滑轨2设置于所述活动部120。设置相互滑动适配的第一滑块和第一滑轨2，在一定程度上起到缓冲作用，避免在出现卡料的时候立即停止移动导致机器损坏，同时避免在因摩擦阻碍移动的时候立即发出报警信号等误报警情况的出现。

可选地，可设置所述活动部120具有相对的第一端和第二端，所述第一端对应所述拉料方向设置，所述第二端对应所述推料方向设置。作为一示例，所述传送装置320用于带动所述活动部120向拉料方向移动，所述活动部120的第二端与所述连接部110之间设置有挡件、连接件、弹性结构等连接结构，以使活动部120沿拉料方向移动的同时能够带动连接部110移动，用以实现拉料。在出现卡料的时候，抓取物料的夹爪111保持抓取状态，通过第一滑块与第一滑轨2的滑动适配，使活动部120在传送装置320的带动下沿拉料方向移动而不会因卡料而立即停止移动，直至在移动的距离大于预设阈值时，由传感结构250生成报警信号报警。作为另一示例，所述传送装置320用于带动所述活动部120向推料方向移动，其具体实施方案参照上述示例，在此不再赘述。

在一实施例中，所述活动部120包括依次叠置的第一活动件和第二活动件，所述第一活动件靠近所述连接部110设置，所述第二活动件靠近所述传送装置320设置，所述第一活动件和所述第二活动件中的一个设置有第二滑块，另一个设置有第二滑轨，所述第二滑块与所述第二滑轨滑动适配。

可选地，所述第二滑块设置于所述第一活动件，所述第二滑轨设置于所述第二活动件；或者，所述第二滑块设置于所述第二活动件，所述第二滑轨设置于所述第一活动件。在上述示例的基础上，在所述第一活动件的靠近所述连接部110的一侧面、所述连接部110之间设置相互滑动适配的第一滑块和第一滑轨2。

可以理解的是，所述活动部120用于在传送装置320的带动下向拉料方向或者推料方向移动，设置所述活动部120包括依次叠置的第一活动件和第二活动件，用以在拉料或者推料时，由传送装置320带动第二活动件沿所述拉料方向或者推料方向移动，并通过所述第一活动件带动所述连接部110移动。

在所述第一活动件与所述第二活动件之间设置第二滑块和第二滑轨的具体实施方式参照上述的第一滑块与第一滑轨2，在此不再赘述。

在一实施例中，所述连接部110的朝向所述拉料方向的一端设置有用于挡设在所述第一活动件外的第一挡件，所述第一活动件的朝向所述推料方向的一端设置有用于挡设在所述第二活动件外的第二挡件1。

可以理解的是，活动部120可活动地安装于连接部110，活动部120用于与传送装置320连接，用以在传送装置320的带动下向拉料方向或者推料方向移动。对应拉料方向在第一活动件外设置第一挡件、以及对应推料方向在第二活动件外设置第二挡件1：在需要拉料时，第一活动件、第二活动件作为一个整体随传送装置320移动的同时通过第一挡件带动连接部110移动，在出现卡料或者因摩擦阻碍拉料的时候，抓取物料的夹爪111保持抓取状态，通过第二滑块与第二滑轨的滑动适配，使第二活动件在传送装置320的带动下相对第一活动件沿拉料方向移动而不会因卡料而立即停止移动；可选地，可在第一活动件与连接部110之间设置连接件、弹性结构等连接结构，在需要推料时，第一活动件、第二活动件作为一个整体随传送装置320移动的同时通过所述连接结构带动连接部110移动，在出现卡料或者因摩擦阻碍推料的时候，抓取物料的夹爪111保持抓取状态，第一活动件通过第二挡件1与第二活动件作为一个整体，通过第一滑块与第一滑轨2的滑动适配，使第一活动件及第二活动件作为一个整体在传送装置320的带动下沿推料方向移动而不会因卡料而立即停止移动。

需要说明的是，根据实际需要可在所述连接部110与所述第一活动件之间设置连接件、弹性结构等第一连接结构，并在所述第一活动件与所述第二活动件之间设置连接件、弹性结构等第二连接结构，在通过第一连接结构确定第一活动件与连接部110之间的活动连接关系、以及通过第二连接结构确定第一活动件与第二活动件之间的活动连接关系后，可不再设置所述第一挡件、第二挡件1；或者将所述第一挡件对应所述推料方向设置于所述第一活动件用以与所述连接部110连接，并将所述第二挡件对应拉料方向设置于所述第二活动件用以与所述第一活动件连接。

需要说明的是，根据实际，所述推料方向和拉料方向可相互替换，在此不进行具体限定。

在一实施例中，所述第一挡件与所述第一活动件之间设置有第一弹性结构，所述预设阈值包括第一预设阈值，所述传感结构250包括第一传感结构，所述第一传感结构设置于所述第一挡件外，用于在所述第一活动件带动所述第一挡件移动的距离大于所述第一预设阈值时生成报警信号。

可以理解的是，在第一挡件和第一活动件之间设置的第一弹性结构可起到保持作用，用以在未出现卡料的时候限制连接部110与第一活动件的连接位置，以使第一活动件、第二活动件作为一个整体随传送装置320移动的同时通过第一挡件带动连接部110移动；弹性件还起到缓冲作用，在出现卡料或者因摩擦阻碍移动的时候，抓取物料的夹爪111保持抓取状态，通过第一滑块与第一滑轨2的滑动适配，使第一活动件、第二活动件作为一个整体在传送装置320的带动下相对连接部110沿推料方向移动而不会因卡料而立即停止移动，避免在出现卡料的时候立即停止移动导致机器损坏，同时避免在因摩擦阻碍移动的时候立即发出报警信号等误报警情况的出现。

在一实施例中，所述第一弹性结构包括第一弹性件以及固定于所述连接部110的第一滑动结构，所述第一滑动结构包括第一导轨以及与所述第一导轨滑动适配的第一连接块，所述第一弹性件的第一自由端连接于所述第一挡件，所述第一弹性件的第二自由端连接于所述第一连接块。

作为一示例，此处可对应所述第一滑轨2设置所述第一滑动结构，用以优化报警提醒效果，避免在卡料的时候活动部120脱离连接部110继续移动，且通过第一导轨对第一连接块及第一弹性件的运动进行导向，可避免第一弹性件出现移位甚至变形。

可选地，为进一步避免第一弹性件在卡料的时候出现变形，可在所述第一弹性件外套设筒件，所述第一弹性件的第一自由端可钩设于所述第一挡件，或者采用扣接、螺接、卡接等形式与所述第一挡件连接；所述第一弹性件的第二自由端可钩设于所述第一连接块，或者采用扣接、螺接、卡接等形式与所述第一连接块连接。

在一实施例中，所述第二挡件1与所述第二活动件之间设置有第二弹性结构，所述预设阈值包括第二预设阈值，所述传感结构250包括第二传感结构，所述第二传感结构设置于所述第二活动件的背离所述第二挡件1的一端，用于在所述第二活动件带动所述第二挡件1移动的距离大于所述第二预设阈值时生成报警信号。

可以理解的是，在第二挡件1和第二活动件之间设置的第二弹性结构可起到保持作用，用以在未出现卡料的时候限制第一活动件与第二活动件的连接位置，以使第一活动件、第二活动件作为一个整体随传送装置320移动的同时通过第一挡件带动连接部110移动；弹性件还起到缓冲作用，在出现卡料或者因摩擦阻碍移动的时候，抓取物料的夹爪111保持抓取状态，通过第二滑块与第二滑轨的滑动适配，使第二活动件在传送装置320的带动下相对第一活动件沿拉料方向移动而不会因卡料而立即停止移动，避免在出现卡料的时候立即停止移动导致机器损坏，同时避免在因摩擦阻碍移动的时候立即发出报警信号等误报警情况的出现。

另外，需要说明的是，为便于取材、加工，所述第一传感结构、第二传感结构均可采用电感式开关，在卡料时，所述第一传感结构、第二传感结构的信号从有变成无，用以发送报警信号。所述第一传感结构、第二传感结构可对应所述拉料方向设置于同一侧或者不同侧，并根据实际需要设置所述第一预设阈值、第二预设阈值，在此不进行具体限定。

在一实施例中，所述第二弹性结构包括第二弹性件以及固定于所述第二活动件的第二滑动结构，所述第二滑动结构包括第二导轨以及与所述第二导轨滑动适配的第二连接块，所述第二弹性件的第一自由端连接于所述第二挡件1，所述第二弹性件的第二自由端连接于所述第二连接块。所述第二弹性结构的具体实施方式参照所述第一弹性结构，在此不再赘述。

需要说明的是，可根据物料传送过程的摩擦等，预设弹性系数，避免所述第一弹性件、第二弹性件发生变形。所述第一弹性件、第二弹性件均根据实际设置成弹簧，或者具备一定弹性的金属、橡胶或者塑料等弹性件。

在一实施例中，所述报警装置330采用显示装置。通过所述显示装置显示报警信号，用以直观地显示故障状态以提醒用户。另外，根据实际，也可将所述报警装置330设置成蜂鸣器、指示灯、声光报警装置等任意一种或者多种适于实际使用的报警器。

本发明还提供了一种分选机，所述分选机包括故障检测机构控制装置310、传送装置320、报警装置330以及上述示例所述的故障检测结构100，所述故障检测机构控制装置310分别与所述传感结构250、所述传送装置320和所述报警装置330电连接，用于根据所述报警信号控制所述报警装置330输出所述报警信号，并控制所述传送装置320停止工作。

所述故障检测结构100包括连接部110、活动部120以及传感结构250，所述连接部110设置有用于抓取物料的夹爪111；所述活动部120可活动地安装于所述连接部110，所述活动部120用于与所述传送装置320连接，用以在所述传送装置320的带动下向拉料方向或者推料方向移动；所述传感结构250用于与所述故障检测机构控制装置310电连接，所述传感结构250设置于所述活动部120，用于在所述活动部120移动的距离大于预设阈值时生成报警信号，以使所述故障检测机构控制装置310根据所述报警信号控制所述报警装置330输出所述报警信号，并控制所述传送装置320停止工作。

参考图14至图17，在一实施例中，所述视觉检测机构F包括基于视觉检测的顶针装置，所述基于视觉检测的顶针装置包括：

支架组件10，所述视觉检测机构F设置在所述支架组件10上；

顶针机构20，所述顶针机构20设置在所述支架组件10上，所述顶针机构20包括顶针，所述顶针能够运动至预设位置并顶出芯片，所述上料装置的副塔能够吸取所述芯片，并将所述芯片传送至所述上料装置的主塔上；

所述视觉检测机构F位于所述顶针机构20的上方，所述视觉检测机构F用于检测所述顶针机构20的位置。

本发明实施例中，基于视觉检测的顶针装置20包括：

支架组件10；

顶针机构20，所述顶针机构20设置在所述支架组件10上，所述顶针机构20包括顶针21和顶针装置驱动组件22，所述顶针21与所述顶针装置驱动组件22驱动连接，所述顶针装置驱动组件22驱动所述顶针21运动至预设位置；

视觉检测机构30，所述视觉检测机构30设置在所述支架组件10上，所述视觉检测机构30位于所述顶针机构20的上方，所述视觉检测机构30用于检测所述顶针机构20的位置；

基于视觉检测的顶针装置控制装置，所述基于视觉检测的顶针装置控制装置与所述顶针机构20和所述视觉检测机构30电连接，所述基于视觉检测的顶针装置控制装置用于根据所述视觉检测机构30的检测信号，控制所述顶针装置驱动组件22运动以调整所述顶针21的位置。

本发明公开了一种基于视觉检测的顶针装置，包括支架组件10，将顶针机构20和视觉检测机构30分别安装在支架组件10上，更好的利用了安装空间，使结构更紧凑，顶针装置开始工作的时候，视觉检测机构30设置在顶针机构20的上方，便于对顶针21进行拍照，从而获取顶针21的位置，再将信息反馈到基于视觉检测的顶针装置控制装置，通过基于视觉检测的顶针装置控制装置控制顶针装置驱动组件22来调整顶针21的位置，从而保证顶针21的位置精度，以便于顶针21在顶针装置驱动组件22的驱动下到达预设位置，具体的预设位置可以是芯片处，顶针21到达此处时可以将芯片顶出，供下一道工序拾取，该设计提高了顶针21的顶出效率及准确度，提高了工作效率以及提高了生产率。

本发明实施例中，所述顶针装置驱动组件22包括联动件、X方向移动件221和Y方向移动件222，所述联动件设置在所述X方向移动件上，所述X方向移动件221设置在所述Y方向移动件222上，所述Y方向移动件222上设置在所述支架组件10上，所述联动件与所述基于视觉检测的顶针装置控制装置电连接，所述顶针21与所述联动件传动连接，所述联动件基于所述基于视觉检测的顶针装置控制装置的控制驱动所述顶针21运动至预设位置。

设置了支架组件10是为了更好的安装X方向移动件221和Y方向移动件222，更好的利用了安装空间，使结构更加紧凑，工作的时候，基于视觉检测的顶针装置控制装置驱动所述X方向移动件221和所述Y方向移动件222分别沿两个不同的方向运动，在X方向移动件221和Y方向移动件222共同的作用下带动顶针21运动至预设位置，具体的可运动至芯片处，顶针21到达此处时可以将芯片顶出，供下一道工序拾取，该设计通过带动顶针21可以通过多个方向的运动调整来提高顶针21运动的精确度，从而提高了顶针21的顶出效率及准确度，提高了工作效率以及提高了生产率。

本发明实施例中，所述X方向移动件221包括第一驱动件和X方向移动模块，所述第一驱动件与所述基于视觉检测的顶针装置控制装置电连接，所述第一驱动件基于所述基于视觉检测的顶针装置控制装置驱动连接所述X方向移动模块，并带动所述X方向移动模块沿X轴方向移动；

所述Y方向移动件包括第二驱动件和Y方向移动模块，所述第二驱动件与所述基于视觉检测的顶针装置控制装置电连接，所述第二驱动件基于所述基于视觉检测的顶针装置控制装置驱动连接所述Y方向移动模块，并带动所述Y方向移动模块沿Y轴方向移动；

所述联动件设置在所述X方向移动模块上，所述X方向移动模块设置在所述Y方向引动模块上，所述Y方向移动模块设置在所述支架组件10上。

两个传动装置分别驱动，一个驱动装置带动移动模块在X方向运动，一个驱动装置带动移动模块在Y方向运动，分别通过两个驱动装置实现两个方向的运动，可以使顶针21可以实现全方面的运动，从而提高顶针21到达预设位置的精确度，继而可以提高顶针21的顶出效率及准确度，同时该设计易于制造，故障率较低，易于维修，安全可靠性有保证，便于操作，而且通过多个驱动件来分别驱动各个模块运动，每一个驱动件的功率不需要很大，从而能有效防止传动轴断裂，同时也减小驱动件的使用空间，使结构更紧凑，充分利用安装空间。

本发明实施例中，所述联动件包括联动主体和Z方向移动组件223，所述顶针21设置在所述联动主体上，所述Z方向移动组件包括第三驱动件和Z方向移动模组，所述第三驱动件与所述基于视觉检测的顶针装置控制装置电连接，所述顶针机构与所述Z方向移动模组传动连接，所述第三驱动件基于所述基于视觉检测的顶针装置控制装置驱动连接所述Z方向移动模块，并带动所述Z方向移动模块沿Z轴方向移动。

通过基于视觉检测的顶针装置控制装置控制驱动第三驱动件驱动Z方向移动模块沿Z方向移动，从而进一步的带动顶针21在Z方向往复运动进一步的调整顶针21的运动，提高顶针21的顶出效率及准确度，提高了工作效率以及提高了生产率。

本发明实施例中，所述X方向移动模块、所述Y方向移动模块、所述Z方向移动模块包括同步带直线模组。

采用同步带直线模组稳定性较高，操作简单，便于维护，同时便于采购，成本较低，由于该结构较小型化，可以使结构更紧凑，更好的利用安装空间。

本发明实施例中，所述第一驱动件、所述第二驱动件和所述第三驱动件包括电机。

采用电机稳定性较高，功率范围大，便于维护，同时便于采购，成本较低，由于该结构较小型化，可以使结构更紧凑，更好的利用安装空间。

本发明实施例中，所述支架组件10包括第一支架11和第二支架12，所述顶针机构20设置在所述第一支架11上，所述视觉检测机构30设置在所述第二支架12上，所述第一支架11位于所述第二支架12的上方。

将视觉检测机构30和顶针机构20分别安装在第一支架11和第二支架12上，是为了能够便于视觉检测机构30更好的安装在顶针机构20的上方，以便于检测顶针机构20的位置关系。

本发明实施例中，所述视觉检测机构30包括架体31和视觉检测件32，所述视觉检测件32设置在所述架体31上，所述架体31设置在所述第二支架12上，所述视觉检测件32与所述基于视觉检测的顶针装置控制装置电连接，用于检测所述顶针机构20的位置。

设置了架体31，是为了更好的能将视觉检测件32安装在架体31上，使结构更紧凑，使用时避免视觉检测件32出现松脱等现象，架体31安装在第二支架12上，便于视觉检测件32可以更好的检测顶针21的位置。

本发明实施例中，所述视觉检测件32包括CCD相机。

CCD相机具有体积小、重量轻、不受磁场影响、具有抗震动和撞击之特性而被广泛应用。

本发明实施例中，所述基于视觉检测的顶针装置还包括按钮，所述按钮活动设置在所述顶针机构20上，所述按钮与所述基于视觉检测的顶针装置控制装置电连接，用于控制所述顶针机构20的运动。

通过启动按钮来控制顶针机构20的运动，当启动按钮的时候，顶针机构20开始运动，可以运动至预设位置，提高了操作便利性。

本发明还提出一种芯片分选机，包括：上述的基于视觉检测的顶针装置。

参考图18至图19，在一实施例中，所述视觉检测机构F还包括侧面检测机构61，所述侧面检测机构61包括：

支撑架62，所述支撑架62设置于所述侧面检测机构61上；

反射组件610，所述反射组件610能够反射光线，所述反射组件设置于所述支撑架62上；

光源，设置于所述支撑架62上，用于照射晶圆620，所述反射组件610能够改变所述光源的光路；

所述控制器能够根据接受的所述光路控制顶针带动合格的所述晶圆620进入与所述晶圆台组件D连接的所述所述卷盘内。

所述侧面检测机构61包括支撑架62、反射组件610、光源(图中未示出)和检测部630，所述支撑架62设置于所述侧面检测机构61上；所述反射组件610能够反射光线，所述反射组件610设置于所述支撑架62上；所述光源设置于所述支撑架62上，用于照射晶圆620，所述反射组件610能够改变所述光源的光路；所述检测部630包括接受部6310和控制器6320，所述接受部6310能够接受所述光路，所述控制器6320能够接受所述接受部6310的输出信号。

具体地，在侧面检测机构61上设置支撑架62，支撑架62能够起到固定反射组件610的作用，将反射组件610设置于支撑架62内能够防止外部光线干扰所述反射组件610工作。检测部630包括接受部6310和控制器6320，所述接受部6310具体可为相机或能够接受反射组件610反射的光源的设备，所述控制器6320能够接受接受部6310传出的信号，用于判断晶圆620的尺寸或晶圆620内部是否具有裂痕。

在一实施例中，所述反射组件610的数量为多个，多个所述反射组件610包括第二棱镜6120和第三棱镜6130，所述第二棱镜6120和所述第三棱镜6130倾斜45度设置于所述支撑架62上，所述第二棱镜6120和所述第三棱镜6130能够反射所述光源，将所述光路的传播方向改变至所述接受部6310上。

具体地，反射组件610具体为多个棱镜，在支撑架62上设置的第二棱镜6120和第三棱镜6130均45度设置于支撑架62上，将棱镜按照45度设置在支撑架62上可以保证光路完整的从第二棱镜6120上反射到第三棱镜6130上，不会发生反射的光路偏移于预定轨道的现象。通过第二棱镜6120和第三棱镜6130可以将光源发射出的光沿预定光路反射到接受部6310上，使接受部6310准确接收到光路，后续检测的信息更为准确。

在一实施例中，所述光源包括背光源，所述背光源设置于所述第二棱镜6120后，照射到所述晶圆620上的所述背光源通过所述第二棱镜6120反射至所述第三棱镜6130上，所述第三棱镜6130将所述背光源反射至所述接受部6310上。

具体地，照射到晶圆620上的光源包括有背光源，背光源设置在支撑架62上，且在第二棱镜6120后，打开所述背光源时，背光源通过第二棱镜6120将光源照射在晶圆620上，照射在晶圆620上的光源又重新反射到第二棱镜6120上，由于第二棱镜6120为45度设置在支架上，第二棱镜6120能够将晶圆620重新反射回的光路沿90度反射出，光路能够反射至与第二棱镜6120平行设置的第三棱镜6130上，由于第三棱镜6130也是45度设置在支撑架62上，反射到第三棱镜6130上的光路沿90度直接反射到接受部6310上，在本实施例中，显示为反射至第三棱镜6130上的光路通过第三棱镜6130反射至相机上。将第二棱镜6120与第三棱镜6130平行设置，且均45度设置于支撑架62上，可以保证照射在晶圆620上的背光源被完整反射出。

在一实施例中，所述接受部6310能够通过接受所述背光源的光路接受所述晶圆620的图像，所述接受部6310能够将所述晶圆620的图像信号传输至所述控制器6320。

具体地，通过第三棱镜6130反射的光路上包含有晶圆620的图像，晶圆620的图像沿光路被完整反射在相机上，相机内部通过控制器6320接受图像信号，通过计算能够完整计算出晶圆620的尺寸。通过在相机内直接设置控制器6320，可以使侧面检测机构61的检测速度达到最快，相机接受到晶圆620的图像信号后直接传输给控制器6320，可以通过计算直接判断晶圆620的尺寸。

在一实施例中，所述控制器6320能够根据所述图像信号检测到所述晶圆620的尺寸。

具体地，当晶圆620图像通过光路传输到相机上后，检测部630的控制器6320直接反应接受晶圆620的图像信息，根据晶圆620的图像信息能够直接判断晶圆620的侧边尺寸，例如长宽尺寸，使尺寸不合格的晶圆620可以快速被筛选出来。

在一实施例中，所述反射组件610还包括第一棱镜6110，所述第一棱镜6110倾斜45度设置于所述支撑架62上，所述第一棱镜6110能够反射所述光源，将所述光路的传播方向通过所述第二棱镜6120和所述第三棱镜6130改变至所述接受部6310上。

具体地，反射组件610包括的多个棱镜中还包括第一棱镜6110，第一棱镜6110也为45度设置在支撑架62上，且第一棱镜6110与第二棱镜6120平行，所述第一棱镜6110也可以反射光源，若有光源从第一棱镜6110出发射，所述第一棱镜6110能够将光源沿光路折射至第二棱镜6120上，折射至第二棱镜6120上的光源可沿光路折射至第三棱镜6130上，折射至第三棱镜6130的光源可以沿光路折射至相机上，相机将图像信息传输至控制器6320进行处理。反射组件610设置第一棱镜6110可以使光源的种类增多，通过设置不同种类的光源，实现对晶圆620的不同位置的检测和处理。

在一实施例中，所述光源还包括红外光，所述支撑架62上设置有红外光头640，所述红外光头640能够吸收所述红外光，通过与所述红外光头640连接的通光管650传输到所述第一棱镜6110上，所述第一棱镜6110将所述红外光反射至所述第二棱镜6120上，所述第二棱镜6120将所述红外光反射至所述第三棱镜6130上，所述第三棱镜6130将所述红外光反射至所述接受部6310上。

具体地，光源包括背光源和红外光，红外光设置在第一棱镜6110一侧，在支架上设置有红外光头640，红外光头640用于吸收红外光，通光管650与红外光头640连接，所述通光管650能够将红外光头640吸收的红外光传输至第一棱镜6110上，传输至第一棱镜6110上的红外光源包含有晶圆620的信息，所述红外光源通过第一棱镜6110传输至第二棱镜6120上，传输至第二棱镜6120上的红外光源沿光路传输至第三棱镜6130上，传输至第三棱镜6130上的光源通过光路传输到相机上，所述相机将晶圆620的信息输出给控制器6320，控制器6320通过计算能够判断晶圆620内部是否含有裂痕。在本实施例中还设置红外光可以实现对晶圆620内部的检测，且红外光和背光源设置的位置不同，使得对晶圆620内部的检测和对晶圆620的外部尺寸的检测可以同时进行，也可以分开进行，只需要控制红外光和背光源的打开方式即可。

更近一步地，若只打开红外光，则相机只接收到晶圆620的内部图像信息，控制器6320只判断晶圆620内部是否有裂痕，将有裂痕的不合格晶圆620进行筛选；若只打开背光源，则相机只接收到晶圆620的外部图像信息，控制器6320只判断晶圆620外部的尺寸是否合格，对外部尺寸不合格的晶圆620进行筛选；若同时打开红外光和背光源，则相机同时接收到晶圆620的内部信息和晶圆620的外部信息，控制器6320可以同时判断晶圆620的外部尺寸和内部是否有裂痕，根据工作需要判断红外光和背光源的打开或者闭合，能够根据工作要求灵活调整检测机构，使检测方式更科学高效。

在一实施例中，所述接受部6310能够通过接受所述红外光的光路接受所述晶圆620的内部信息，所述接受部6310能够将所述晶圆620的内部信息信号传输至所述控制器6320。

具体地，所述红外光可以照射到晶圆620的内部，照射到晶圆620内部的红外光通过第一棱镜6110、第二棱镜6120和第三棱镜6130反射至相机上，相机可以将晶圆620内部的图像信息信号传输给控制器6320，控制器6320判断晶圆620内部是否有裂痕。

在一实施例中，所述晶圆620的数量为多个，多个所述晶圆620能够通过外部转盘的转动停留在所述第二棱镜6120前。

具体地，所述晶圆620设置在外部的转盘上，外部转盘上设置有多个晶圆620，每一个晶圆620都能够在第一棱镜6110和第二棱镜6120之间停留，用于侧边检测机构判断晶圆620是否符合工艺要求。

在本发明中还提出一种分选机，所述分选机包括如权利要求1至9任意一项所述的侧面检测机构61和晶圆620。

具体地，分选机用于筛选晶圆620是否合格，在本发明中，侧面检测机构61还可以筛选晶圆620的外部尺寸和晶圆620的内部是否具有裂痕。

在本发明技术方案中，通过设置在支撑架62上的反射组件610反射包含有晶圆620图像的背光源或红外光，将所述背光源或红外光传输给相机，使相机内的控制器6320通过计算判断晶圆620的外部和晶圆620的内部是否合格，对不合格的晶圆620进行筛选，在后续能够进行回收，能够保证筛选出的晶圆620的质量。

参考图20，在一实施例中，所述分选机还包括晶圆620推送装置，所述晶圆620推送装置与所述晶圆台组件D连接，所述晶圆620推送装置包括：

推送组件712，所述推送组件712推送方向对应晶圆620的方向，用于推送晶圆620进行贴装；

弹性机构720，所述弹性机构720位于所述推送组件712的下方，用于对所述推送组件712限位，当所述推送组件712运动时，所述推送机构712与所述弹性机构720之间的距离缩短；

晶圆620推送装置检测机构730，所述晶圆620推送装置检测机构730与所述弹性机构720连接，所述晶圆620推送装置检测机构730用于检测所述推送组件712与所述弹性机构720之间的距离。

一种晶圆620推送装置，应用于晶圆620分选机，包括：

推送机构710，所述推送机构710包括晶圆620推送装置驱动组件711和推送组件712，所述推送组件712与所述晶圆620推送装置驱动组件711驱动连接，所述推送组件712推送方向对应晶圆620的方向，用于推送晶圆620进行贴装；

弹性机构720，所述弹性机构720位于所述推送组件712的下方，用于对所述推送组件712限位，当所述推送组件712运动时，所述推送机构710与所述弹性机构720之间的距离缩短；

晶圆620推送装置检测机构730，所述晶圆620推送装置检测机构730与所述弹性机构720连接，所述晶圆620推送装置检测机构730用于检测所述推送组件712与所述弹性机构720之间的距离；

晶圆620推送装置控制机构，所述晶圆620推送装置控制机构与所述晶圆620推送装置驱动组件711和所述晶圆620推送装置检测机构730电连接，所述晶圆620推送装置控制机构用于根据所述晶圆620推送装置检测机构730的检测信号，控制所述晶圆620推送装置驱动组件711驱动所述推送组件712运动以调整所述推送组件712与所述弹性机构720之间的距离。

本发明提供了一种晶圆620推送装置，推送机构710的推送方向对应晶圆620的方向，用于推送晶圆620进行贴装，通过晶圆620推送装置检测机构730检测推送机构710与弹性机构720之间的距离，以准确调整推送机构710与晶圆620之间的位置关系，避免晶圆620被压坏，或是避免推送机构710与晶圆620之间的距离过大，导致晶圆620无法贴装到位，具体的晶圆620推送装置驱动组件711驱动推送组件712进行运动，推送组件712对弹性机构720施加压力，以使弹性机构720发送弹性形变缓冲弹性机构720受到的外力，可以更好的调整推动组件711和弹性机构720之间的距离，通过设置了晶圆620推送装置检测机构730可以用来检测推送组件712与弹性机构720之间的距离，来实现与弹性机构720之间的距离的缩短，从而推送组件711与需要进行贴装的晶圆620之间的距离增加，通过晶圆620推送装置检测机构730的实时检测，以准确调整推送组件711与需要进行贴装的晶圆620之间的距离，避免晶圆620被压坏，或是推送组件711与需要进行贴装的晶圆620之间的距离过大，导致晶圆620无法贴装到位，该设计提高了贴装晶圆620的精确性，提高了晶圆620贴装的合格率，提高了生产效率。

本发明实施例中，所述Z方向移动模块可以是同步带直线模组。

本发明实施例中，所述第一驱动件可以是电机。

本发明实施例中，所述推送组件712包括导向杆件1和安装件，所述导向杆件1设置在所述安装件上，且与所述晶圆620推送装置驱动组件711传动连接，所述安装件与所述弹性机构720连接，且位于所述弹性机构720上方，所述晶圆620推送装置驱动组件711驱动所述导向杆件1运动，用于调整所述安装件与所述弹性机构720之间的距离。

通过设置安装件是为了更好的安装导向杆件1，便于与晶圆620推送装置驱动组件711传动连接，从而实现晶圆620推送装置驱动组件711驱动导向杆件1的运动来带动安装件与弹性机构720之间的距离，来实现避免晶圆620被压坏，或是避免晶圆620无法贴装到位。

本发明实施例中，所述导向杆件1包括第一导向杆和第二导向杆，所述第一导向杆和所述第二导向杆分别设置在所述安装件上，所述第一导向杆与所述晶圆620推送装置驱动组件711传动连接，所述晶圆620推送装置驱动组件711驱动所述第一导向杆运动，以调整所述安装件与所述弹性机构720之间的距离。

通过设置第一导向杆和第二导向杆来更好的保证对弹性机构720施加作用力，同时保证了弹性机构720的受力均匀，便于晶圆620推送装置检测机构730能够更好的检测推动组件711和弹性机构720之间的距离。

本发明实施例中，所述晶圆620推送装置检测机构730包括检测件和安装座，所述检测件与所述安装座连接，所述安装座设置在所述安装件远离所述弹性件的一端，所述检测件用于检测所述安装件与所述弹性机构720之间的距离。

通过安装座安装检测件，提高了检测件安装的稳固性，避免使用过程中出现脱落等情况，检测件进一步的用于检测所述安装件与所述安装座之间的距离，来实现避免晶圆620被压坏，或是避免晶圆620无法贴装到位。

本发明实施例中，所述检测件包括距离传感器。

距离传感器利用各种元件检测对象物的物理变化量，通过将该变化量换算为距离，来测量从传感器到对象物的距离位移，采用距离传感器高阻抗，小功率，而且仅需很低的输入能量，通过距离传感器检测数据精确。

本发明实施例中，所述距离传感器可以是光学距离传感器、红外距离传感器、超声波距离传感器。

本发明实施例中，所述弹性机构720包括弹性件和导向柱，所述弹性件设置在所述导向柱上，且位于所述推送组件712的下方，所述导向柱活动穿设于所述安装件和所述安装座，且与所述检测件相邻设置，所述检测件检测所述导向柱的位置变化。

晶圆620推送装置驱动组件711驱动推送组件712进行运动，导向杆件1带动安装件运动，具体的可以上下运动，当安装件向下运动的时候，安装件对弹性机构720施加压力，安装件与弹性机构720之间的距离减小，此时导向柱在安装件和安装座上的位置发生变化，具体的可以是导向柱的端部露出的高度发生变化，晶圆620推送装置检测机构730通过检测导向柱的端部的位置变化，从而实现检测所述安装件与所述弹性机构720之间的距离，来调整推动组件10的运动状态。

本发明实施例中，所述弹性件包括弹簧。

通过弹簧来实现对调节件720受到外力时候的缓冲，该结构便于采购和便于安装，提高了操作性和便利性。

本发明实施例中，所述晶圆620推送装置驱动组件711包括第一驱动件和Z方向移动模块7，所述第一驱动件与所述Z方向模块7传动连接，所述第一驱动件与所述晶圆620推送装置控制机构电连接，所述第一驱动件基于所述晶圆620推送装置控制机构的控制驱动所述Z方向移动模块7带动所述推送组件712在Z方向运动，用于调整所述推送组件712与所述弹性机构720之间的距离。

通过晶圆620推送装置控制机构控制驱动第一驱动件驱动Z方向移动模块带动推送组件712沿Z方向移动，更好的调整推送组件712与弹性机构720之间的距离，同时该设计易于制造，故障率较低，易于维修，安全可靠性有保证，便于操作。

本发明实施例中，所述推送机构710还包括吸嘴组件713，所述吸嘴组件713设置在所述晶圆620推送装置驱动组件711上，且位于远离所述推送组件712的一端上，所述吸嘴组件713用于吸取晶圆620进行贴装。

设置了吸嘴组件713便于更好的吸取晶圆620，降低吸附过程中对晶圆620造成的损坏，也可以提高吸附晶圆620的稳定性。

本发明实施例中，所述吸嘴组件713包括第一吸嘴件、第二吸嘴件1和底座，所述第一吸嘴件和所述第二吸嘴件1设置在所述底座上，且相互平行，所述底座设置在所述晶圆620推送装置驱动组件711上。

本发明实施例中，所述吸嘴组件713还包括旋转件和第二驱动件，所述第一吸嘴件和所述第二吸嘴件1设置在所述旋转件上，所述旋转件设置在所述底座上，所述第二驱动件与所述晶圆620推送装置控制机构连接，所述第二驱动件与所述旋转件传动连接，所述第二驱动件基于所述晶圆620推送装置控制机构的控制驱动所述旋转件转动。

本发明还包括一种晶圆620分选机，包括上述的晶圆620推送装置，所述晶圆620推送装置包括：

推送机构710，所述推送机构710包括晶圆620推送装置驱动组件711和推送组件712，所述推送组件712与所述晶圆620推送装置驱动组件711驱动连接，所述推送组件712推送方向对应晶圆620的方向，用于推送晶圆620进行贴装；

弹性机构720，所述弹性机构720位于所述推送组件712的下方，用于对所述推送组件712限位，当所述推送组件712运动时，所述推送机构710与所述弹性机构720之间的距离缩短；

晶圆620推送装置检测机构730，所述晶圆620推送装置检测机构730与所述弹性机构720连接，所述晶圆620推送装置检测机构730用于检测所述推送组件712与所述弹性机构720之间的距离；

晶圆620推送装置控制机构，所述晶圆620推送装置控制机构与所述晶圆620推送装置驱动组件711和所述晶圆620推送装置检测机构730电连接，所述晶圆620推送装置控制机构用于根据所述晶圆620推送装置检测机构730的检测信号，控制所述晶圆620推送装置驱动组件711驱动所述推送组件712运动以调整所述推送组件712与所述弹性机构720之间的距离。

参考图21，在一实施例中，所述分选机还包括检测组件，所述检测组件用于检测所述卷盘上的晶圆620，所述检测组件包括：

载台8100；

载带，所述载台8100用于承载所述载带，所述载带沿第一方向延伸设置，用于传输晶圆620；

视觉模块8200，所述视觉模块8200朝向所述载带设置，用于在检测晶圆620的缺失或不良；

吸嘴模块，所述吸嘴模块用于吸取、放置所述晶圆620。

本发明提出一种检测组件，应用于分选机，旨在提高分选机所得产品的良品率。

在一实施例中，所述检测组件包括载台8100、载带(图未示出)、第一驱动模块、第二驱动模块、视觉模块8200、吸嘴模块(图未示出，但并不影响理解)和检测组件控制装置；载台8100用于承载载带，载带沿第一方向延伸设置，用于传输物料，物料包括具有至少一个载带口袋位的载体和贴设于至少一个载带口袋位上的晶圆620；第一驱动模块与载带驱动连接，用于驱动载带沿第一方向移动；第二驱动模块与载台8100驱动连接，用于驱动载台8100沿第一方向于第一位置和第二位置往复运动；视觉模块8200朝向载带设置，用于在检测到载带口袋位上缺失晶圆620时输出第一电平信号，以及检测到载带口袋位上的晶圆620存在不良时，输出第二电平信号；吸嘴模块用于吸取、放置晶圆620；检测组件控制装置分别与第一驱动模块、第二驱动模块、视觉模块8200和吸嘴模块电连接，用于在接收到第一电平信号时，控制吸嘴模块补贴晶圆620至载带口袋位上，在接收到第二电平信号时，控制吸嘴模块替换载带口袋位上的不良晶圆620，以提高分选机所得产品的良品率。

具体地，当视觉模块8200检测到载带上晶圆620处于缺失状态时，输出第一电平信号至检测组件控制装置，检测组件控制装置控制在接收到第一电平信号后，控制第一驱动模块暂停工作，控制第二驱动模块工作，以使得载台8100于第一位置运动至第二位置，其中，第一位置为视觉模块8200正对的位置，第二位置可理解为“载带口袋位”，载台8100移动至载带口袋位后，吸嘴模块对其进行重新贴片，贴装完毕后载台8100自第二位置复位至第一位置，视觉模块8200对新贴片晶圆620继续进行检测；

当视觉模块8200检测到载带上的晶圆620存在不良时，输出第二电平信号至检测组件控制装置，检测组件控制装置控制在接收到第二电平信号后，控制第一驱动模块暂停工作，并控制吸嘴模块吸取检测孔8101内的晶圆620，而后控制第二驱动模块工作，以使得载台8100于第一位置运动至第二位置，载台8100移动至第二位置后，吸嘴模块对其进行重新贴片，贴装完毕后载台8100自第二位置复位至第一位置，视觉模块8200对新贴片晶圆620继续进行检测。

所述检测组件还包括控制台，当视觉模块8200检测到载带上晶圆620的状态ok时(也即既无晶圆620缺失，也无晶圆620损坏时)，输出第三电平信号至控制台，控制台在接收到第三电平信号后计数一次。

具体地，在一实施例中，吸嘴模块包括第一吸嘴和第二吸嘴，第一吸嘴靠近第一位置设置，第二吸嘴靠近第二位置设置，第一吸嘴用于执行晶圆620吸取动作，第二吸嘴用于将晶圆620贴设于载带上。

在一实施例中，载台8100包括沿第一方向延伸的载带通道以及与载带通道连通的检测孔8101，载带设置于载带通道内，以提高载带移动的平稳性；视觉模块8200正对检测孔8101，透过检测孔8101检测载带上晶圆620的状态。

为进一步提高视觉模块8200检测的准确性，使得落入视觉模块8200实现范围内的仅为单一晶圆620，确保每一载带口袋位都被精确检测，在一实施例中，检测孔8101尺寸与晶圆620尺寸一致。

在一实施例中，检测组件还包括固定板8300，固定板8300上设置有滑轨8310，载台8100对应滑轨8310的位置设置有滑块8110；第一驱动模块包括第一电机8400和第一丝杆，第一丝杆与载台8100连接，第一电机8400驱动第一丝杆转动以带动载台8100于固定板8300上沿第一方向上于第一位置和第二位置往复运动；滑轨8310与滑块8110相配合，减少载台8100移动的摩擦阻力。

在一实施例中，所述分选机包括：供料模块，用于提供所述晶圆620；拉料模块，用于拾取所述晶圆620；上料模块，用于存放所述拉料模块拾取的所述晶圆620；检测模块，用于检测所述晶圆620的位置和质量；根据检测的所述晶圆620的位置和质量，控制优质的所述晶圆620进入所述卷盘内，劣质的所述晶圆620进行清料。

参考图22至图26，在一实施例中，所述晶圆拉料组件E包括旋转盘910和通气轴920，所述通气轴920设置于所述旋转盘910的轴向一端，且与所述旋转盘910间隙配合；所述通气轴920与所述旋转盘910之间的间隙定义为第一间隙，所述第一间隙大于0mm，且不大于0.1mm。

本发明提出一种真空吸料组件9100，用于分选机，用于旋转逐步吸取晶圆620，提升分选机的工作效率。

在一实施例中，所述真空吸料组件9100包括旋转盘910和通气轴920，通气轴920设置于所述旋转盘910的轴向一端，且与所述旋转盘910间隙配合；所述旋转盘910内设置有N条第一通道911，所述第一通道的出口端911b设置于延伸至所述旋转盘910朝向所述通气轴920的一端，所述第一通道的进口端911a用于与真空吸嘴连通；所述通气轴920正对所述旋转盘910的一端设置有N条条形槽922，N条所述条形槽922沿，所述第一通道的出口端911b的运动轨迹排布，每一所述条形槽922与每一所述第一通道的出口端911b正对设置；所述通气轴920开设有N条第二通道，每一所述第二通道的进口端921a延伸至每一所述条形槽922的槽底，每一所述第二通道的出口端921b用于与抽真空装置连通；相邻两条所述条形槽922的最小间距小于所述第一通道911的内径，N大于等于2。

其中N可以是2、3、4、5、6、7、8、9、10、11、，或是更多个，在此不限定其具体数量，具体可以根据设计需要，以及旋转盘910和通气轴920之间的体积大小来自行选定，在此不作限定。

可选地，以该旋转盘910和通气轴920上下放置为例进行说明。该旋转盘910用于安装固定有多个真空吸嘴，每一个真空吸嘴对应连通有一个第一通道911，该通气轴920可以呈圆柱体、矩形体或是其他形状，在此不对其作限定，为便于加工，在本实施例中，该通气轴920选用圆柱体，其作为一个抽真空的中间件，内部开设有与每一条第一通道911对应设置的第二通道，该通气轴920直接是直接安装固定在抽真空件装置上，也可以通过抽真空管将每一第二通道与抽真空装置连通，以使抽真空装置可以对每一第二通道抽真空处理，在此不限定该通气轴920的具体安装方式。

该真空吸料组件9100的工作原理为，抽真空装置启动，以对通气轴920的每一个第二通道进行抽真空操作。此时，由于旋转盘910和通气轴920间隙配合，他们之间的间隙比较小，抽真空过程中气体的泄漏面积比较小，在保证抽真空的原件流量足够大的情况下，不会影响与之相对应设置的第一通道911内的气体排出。即真空吸嘴内部的气体经第一通道的进口端911a、第一通道911、第一通道的出口端911b、条形槽922、第二通道以被抽真空装置抽出，使得真空吸嘴内部保持在负压状态，以吸取晶圆620。

进一步地，定义为安装在旋转盘910上的真空吸嘴运动至取料工位，拾取物料时，每一个第一通道的进口端911a与和之对应设置的条形槽922的中心轴重叠，真空吸嘴拾取物料的位置为第一工位，取料完后后，外部驱动件如电机或马达驱动旋转盘910转动，以带动真空吸嘴运动至下一个工位(第二工位)。此时，由于该相邻两条所述条形槽922的最小间距小于所述第一通道911的内径，当旋转盘910自第一工位转动至第二工位的过程中。与该真空吸嘴连通的第一通道的出口端911b的部分置于与之相邻的条形槽922的正上方，此时，相邻两个通道同时对该真空吸嘴抽真空处理，如此，在外部驱动件驱动旋转盘910相对通气轴920转动时，可以保证真空吸嘴始终保持在负压状态，避免其吸取的物料(如晶圆620)脱落。如此，无需使用气滑环的情况下，也能够实现安装在旋转盘910上的真空吸嘴在转动时也保持在负压状态，整个真空吸料组件9100的结构更加简单可靠。

本发明技术方案通过将旋转盘910和通气轴920间隙配合，使得旋转盘910和通气轴920之间具有一定的间隙，当外部驱动件驱动旋转盘910转动时，旋转盘910不会与通气轴920接触，它们之间不会产生刚性摩擦，降低了旋转盘910的磨损，提升了其使用寿命。且相比于加装气环而言，该结构更加简单。

在一实施例中，所述通气轴920与所述旋转盘910之间的间隙定义为第一间隙D，所述第一间隙D大于0mm，且不大于0.1mm。可选地，旋转盘910和通气轴920正对的面平行设计，如此，保证各个第一通道911内的真空度的一致性更高。该第一间隙D可以是0.0001mm、0.001mm、0.002mm、0.01mm、0.1mm，或是它们之间的任一数值，在此不一一限定。经发明人反复实现验证，当旋转盘910与通气轴920之间的间隙在该范围内时，使得旋转盘910转动时不会与通气轴920产生刚性摩擦导致旋转盘910损坏的同时，该第一间隙D所造成的抽真空泄漏面积较小，不会影响每一个第一通道911内的真空度，即可以保证安装于转盘且对应与第一通道的进口端911a连通的真空吸嘴内的真空度。

在一实施例中，所述第二通道为直通道。如此，相比于弧形通道、或是其他不规则形状通道而言，该第二通道的加工更简单，即通气轴920的加工更加简单。该第二通道沿竖直方向贯穿通气轴920的上下两端，如此，通气轴920的技工更加简单的同时，更便于该通气轴920与抽真空装置连接。

在一实施例中，N等于8，8条所述第一通道的出口端911b为沿所述旋转盘910的周向阵列设置。

在本实施例中，该第一通道的出口端911b为沿所述旋转盘910的周向阵列设置8个，对应的，该条形槽922为沿所述通气轴920的周向阵列设置8个，其中心点为旋转盘910沿其轴向投影的中心点，且条形槽922的长度方向为通气轴920的轴向方向。如此，当旋转盘910转动45°时，即可进行一个工位的切换，各个工位之间的角度切换一致，便于控制，更便于安装于旋转盘910上的抽真空管取放物料。

在一实施例中，所述条形槽922的横截面为椭圆形。

可以理解的是，为便于加工且在占用体积较小时，气流的导通效果相对较好，该第一通道911和第二通道均为横截面为圆形的圆孔。较佳地，该第一通道911和第二通道的内径相等，如此，抽真空装置对每一个第二通道的抽真空流量保持一致，便于控制。而由于该条形槽922的横截面为椭圆形，如此，在其中一个第一通道的出口端911b转动至两个条形槽922之间的位置时，该第一通道的出口端911b沿旋转盘910轴向方向与两个条形槽922的叠合面积最大，在第二通道的抽真空流量一定的情况下，对第一通道911的抽真空效果最好。进一步保证与第一通道911连通的真空吸嘴的吸取效果。

当然，在其他实施例中，该条形槽922也可以是方式或是其他形状，在此不作限定。

在一实施例中，多条所述第一通道的进口端911a设置于所述旋转盘910的周侧，用于与真空吸嘴连通，多个所述第一通道的进口端911a沿所述旋转盘910的周向阵列设置。

需要说明的是，真空吸嘴一般用于安装在旋转盘910的周侧，因此，为便于安装于旋转盘910的真空吸嘴的安装，第一通道的进口端911a延伸至旋转盘910的周侧，如此，使得真空吸嘴安装在旋转盘910的周侧后直接与第一通道的进口端911a连通，从而无需额外通道导通管将第一通道911和真空吸嘴导通，降低了装配难度。

进一步地，多个第一通道的进口端911a阵列设置于旋转盘910的周侧，多个第一通道的出口端911b沿以旋转轴为中心周向阵列设置在旋转盘910的下表面，如此设计，确保转盘旋转一定角度时，每一个第一通道911内都处于负压状态。

在一实施例中，所述第一通道911包括相互连接的一段和第二段，所述第一段远离所述第二段的一端沿所述旋转盘910的径向(水平方向)延伸设置形成有所述第一通道的进口端911a；所述第二段远离所述第一段的一端沿所述旋转盘910的轴向(竖直方向)延伸设置形成所述第一通道的出口端911b。如此设计，该第一通道911的加工更加简单方便，旋转盘910的生产加工更加简单可靠。

在一实施例中，所述旋转盘910包括第一旋转动盘和第二旋转动盘，所述第一旋转动盘正对所述通气轴920且与所述通气轴920间隙配合，所述第一通道911设置于所述第一旋转动盘；所述第二旋转动盘用于与驱动件连接，所述第一旋转动盘与所述第二旋转动盘连接且可跟随所述第二旋转动盘转动，所述第二旋转动盘设置有与每一所述第一通道911的第二段对应连通的多个第三通道。

可以理解的是，旋转盘910的径向尺寸越大，在安装在旋转盘910的相邻两个吸嘴的间距一定的情况下，可以安装的真空吸嘴数量更多。而旋转盘910的径向尺寸较大时，由于其整体的第一通道911整体呈L形，第一通道911的第一段的加工难度大。基于此，本实施例中，将旋转盘910分为相互连接的两个部件，第一旋转动盘和第二旋转动盘。该第一旋转动盘设置在通气轴920的正上方，其尺寸设计可以较小，以便于第一通道911的开设。同时，开设于第二旋转动盘的多个第三通道，相当于第一通道911的第一段延其长度方向的延伸，如此，降低整个旋转盘910的加工难度。

在一实施例中，所述第一旋转动盘包括圆柱段和连接段，所述第二旋转动盘包括圆环板，所述圆环板套设于所述圆柱段的外周，所述圆柱段的背离所述通气轴920的一端沿周向凸设形成所述连接段，所述连接段搭设于所述圆环板的上表面且通过紧固件与固定安装于所第二旋转动盘。

可选地，该圆柱段的直径与圆环板的内径相匹配，装配时，圆柱段***圆环板的内孔，圆柱段的外周壁与圆环板的内周壁相贴，连接段呈圆板状搭设于圆环板的上表面，旋转调整圆柱段和圆环板的相对位置，使得圆环板上的第三通道与圆柱段上的第一通道911的第一段连通且同轴，此时，通过螺丝将连接段锁紧在圆环板上，完成第一旋转动盘的装配。该第三通孔的一端延伸至圆环板的外周侧，用于与安装在圆环板外周侧的真空吸嘴连通。该圆环板与驱动件连接，如圆环板固定在电动马达上，通过电动马达带动所述圆环板旋转，实现安装在圆环板上的真空吸嘴在不同工位上的切换，实现多工位取料。

因此，开发一种晶圆自动分选机，不但具有迫切的研究价值，也具有良好的经济效益和工业应用潜力，这正是本发明得以完成的动力所在和基础。

以上所述仅为本发明的优选实施例，并非因此限制本发明的专利范围，凡是在本发明的构思下，利用本发明说明书及附图内容所作的等效结构变换，或直接/间接运用在其他相关的技术领域均包括在本发明的专利保护范围内。

Claims (10)

1.一种分选机，其特征在于，包括：

晶圆盒供料组件；

晶圆台组件，所述晶圆台组件与所述晶圆盒供料组件连接，所述晶圆盒供料组件能够给所述晶圆台组件提供晶圆，所述晶圆能够移动至上料装置上，所述上料装置上的抓取装置能够抓取所述晶圆并带动所述晶圆进行旋转；

晶圆拉料组件，所述晶圆拉料组件设置在所述晶圆盒供料组件和所述晶圆台组件之间，所述晶圆拉料组件能够拉取所述晶圆盒供料组件的晶圆放置至所述晶圆台组件上；

输入视觉，所述输入视觉能够观察所述抓取装置上的所述晶圆旋转后的位置；

视觉检测机构，所述视觉检测机构与所述上料装置连接，所述视觉检测机构能够获取所述晶圆的图像；

控制器，所述控制器根据所述晶圆的图像控制顶针带动合格的所述晶圆进入与所述上料装置连接的所述卷盘内。

2.如权利要求1所述的分选机，其特征在于，所述晶圆盒供料组件为扩膜机构，所述扩膜机构包括：

扩膜机构主体；

升降载板，活动安装于所述扩膜机构主体上方；

载膜板，搭设于所述升降载板的上表面，所述载膜板设置有一侧开口的插槽，以供晶圆盘***；

其中，所述载膜板能够跟随所述升降载板上升或下降；所述晶圆拉料组件能够吸附所述晶圆送至所述晶圆台组件上。

3.如权利要求1所述的分选机，其特征在于，所述分选机还包括可供不同尺寸封条使用的封刀部件，所述可供不同尺寸封条使用的封刀部件与所述晶圆台组件连接，所述可供不同尺寸封条使用的封刀部件包括：

封刀部件支撑架，包括两根沿z轴延伸的竖杆，一根沿x轴延伸且连接于两根所述竖杆之间的横杆；

封刀组件，所述封刀组件安装于所述横杆上；所述封刀组件可沿x轴做相对靠近或相对远离的运动，所述封刀组件能够将不同尺寸的所述晶圆进行密封。

4.如权利要求1所述的分选机，其特征在于，所述晶圆拉料组件还包括故障检测结构控制装置以及分别与所述故障检测结构控制装置电连接的传送装置和报警装置，所述晶圆拉料组件还包括故障检测结构，所述故障检测结构包括：

连接部，所述连接部设置有用于抓取晶圆的夹爪；

活动部，所述活动部可活动地安装于所述连接部，所述活动部用于与所述传送装置连接，用以在所述传送装置的带动下向拉料方向或者推料方向移动。

5.如权利要求4所述的分选机，其特征在于，所述晶圆拉料组件还包括传感结构，所述传感结构用于与所述故障检测结构控制装置电连接，所述传感结构设置于所述活动部，用于在所述活动部移动的距离大于预设阈值时生成报警信号，以使所述故障检测结构控制装置根据所述报警信号控制所述报警装置输出所述报警信号，并控制所述传送装置停止工作。

6.如权利要求1所述的分选机，其特征在于，所述视觉检测机构包括基于视觉检测的顶针装置，所述基于视觉检测的顶针装置包括：

支架组件，所述视觉检测机构设置在所述支架组件上；

顶针机构，所述顶针机构设置在所述支架组件上，所述顶针机构包括顶针，所述顶针能够运动至预设位置并顶出芯片，所述上料装置的副塔能够吸取所述芯片，并将所述芯片传送至所述上料装置的主塔上；

所述视觉检测机构位于所述顶针机构的上方，所述视觉检测机构用于检测所述顶针机构的位置。

7.如权利要求1所述的分选机，其特征在于，所述视觉检测机构还包括侧面检测机构，所述侧面检测机构包括：

支撑架，所述支撑架设置于所述侧面检测机构上；

反射组件，所述反射组件能够反射光线，所述反射组件设置于所述支撑架上；

光源，设置于所述支撑架上，用于照射晶圆，所述反射组件能够改变所述光源的光路；

所述控制器能够根据接受的所述光路控制顶针带动合格的所述晶圆进入与所述晶圆台组件连接的所述所述卷盘内。

8.如权利要求1所述的分选机，其特征在于，所述分选机还包括晶圆推送装置，所述晶圆推送装置与所述晶圆台组件连接，所述晶圆推送装置包括：

推送组件，所述推送组件推送方向对应晶圆的方向，用于推送晶圆进行贴装；

弹性机构，所述弹性机构位于所述推送组件的下方，用于对所述推送组件限位，当所述推送组件运动时，所述推送机构与所述弹性机构之间的距离缩短；

晶圆推送装置检测机构，所述晶圆推送装置检测机构与所述弹性机构连接，所述晶圆推送装置检测机构用于检测所述推送组件与所述弹性机构之间的距离。

9.如权利要求1所述的分选机，其特征在于，所述分选机还包括检测组件，所述检测组件用于检测所述卷盘上的晶圆，所述检测组件包括：

载台；

载带，所述载台用于承载所述载带，所述载带沿第一方向延伸设置，用于传输晶圆；

视觉模块，所述视觉模块朝向所述载带设置，用于在检测晶圆的缺失或不良；

吸嘴模块，所述吸嘴模块用于吸取、放置所述晶圆。

10.如权利要求1所述的分选机，其特征在于，所述分选机包括：

供料模块，用于提供所述晶圆；

拉料模块，用于拾取所述晶圆；

上料模块，用于存放所述拉料模块拾取的所述晶圆；

检测模块，用于检测所述晶圆的位置和质量；

根据检测的所述晶圆的位置和质量，控制优质的所述晶圆进入所述卷盘内，劣质的所述晶圆进行清料。

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