CN115642117B - 适用薄型小体积半导体框架的一体式固化炉 - Google Patents

Abstract

本发明提供了适用薄型小体积半导体框架的一体式固化炉，包括沿横向依次设置的上料机构、固化机构、下料机构以及纵向设置在所述下料机构后方的收料机构，所述上料机构包括纵向设置的滑台、设置在所述滑台上的取料吸嘴、设置在所述固化机构左侧的装载台；所述固化机构包括固化台和能够盖合在所述固化台上的炉盖，所述固化台上设有若干个不同温度的加热区，所述加热区上横向设置有若干个凹槽，所述固化台的下方设有能够将料片从装载台经过固化机构移转到下料机构上的步进机构；所述下料机构对已完成固化的料片进行移位对中并纵向移转至所述收料机构；所述收料机构设置有接收所述下料机构移转来的所述料片的料盒。

Description

适用薄型小体积半导体框架的一体式固化炉

技术领域

本发明涉及半导体封装技术领域，尤其涉及适用薄型小体积半导体框架的一体式固化炉。

背景技术

半导体在封装制造过程中，固化是将组装之后的芯片与料片框架（简称料片或框架）通过200-400°C的温度将其组合在一起形成金属连接的过程，完成了固化后才能进行后续的塑封、测试等环节。固化是需要将完成了贴片固晶的半成品置于固化炉中进行烧结、固化，使待封装体变为致密、坚硬的烧结体，现有的固化炉一般为分体式结构，主要针对的是大体积、厚度较高的框架料片进行封装，固化炉一般也是以固化炉体为主体结构，在固化炉中通常采用较大直径搬运杆进行搬运，且固化炉中由于要满足搬运杆体积要求，通常会采用大间距的加热块进行加热，这样的结构特征不适合薄型小体积框架的固化环境。

且现有固化方式在固化后道的下料、收料或者装叠等操作多是通过人工进行或者在固化工序后端利用冷却装置将料片冷却后辅以外部的机械手、橡胶吸嘴等分体式收料机构进行。

对于较薄的且小体积的料片框架封装时由于封装固化的节拍时间较短，在封装时是处于快速工序移转的状态，因此无法设置待料区域等到料片框架冷却后移转，必须要做到在线式下料和收料的操作，现有的机械手橡胶吸嘴搬运的方式无法满足对固化炉中及时移转出来的料片进行操作的要求，且传统料片移转的空间大、结构复杂，会造成现有的固化炉体积过大，无法满足封装产线中对小空间紧凑型结构的需求，因此传统的固化设备已经无法满足现有的薄型、小料片的固化工况。

发明内容

本发明要解决的技术问题是提供了适用薄型小体积半导体框架的一体式固化炉解决了现有固化炉炉体结构不适合薄型小框架，炉中炉前及炉后工序多采用分体式大空间占用的方式，且不能够在线式对完成封装的料片框架进行及时下料、收料的问题。

本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：适用薄型小体积半导体框架的一体式固化炉，包括沿横向依次设置的上料机构、固化机构、下料机构以及纵向设置在所述下料机构后方的收料机构，所述上料机构包括纵向设置的滑台、设置在所述滑台上的取料吸嘴、设置在所述固化机构左侧的装载台；所述固化机构包括固化台和能够盖合在所述固化台上的炉盖，所述固化台上设有若干个不同温度的加热区，所述加热区上横向设置有若干个凹槽，所述固化台的下方设有能够将料片从装载台经过固化机构移转到下料机构上的步进机构；所述下料机构对已完成固化的料片进行移位对中并纵向移转至所述收料机构；所述收料机构设置有接收所述下料机构移转来的所述料片的料盒。

进一步地：所述下料机构包括将料片移转至所述收料机构的输送辊和用于将料片夹紧对中的对中机构；所述对中机构包括沿横向间隔平行设置的主对中板和从对中板，所述主对中板和所述从对中板上端均设有若干个能够向上伸出所述输送辊的对中杆；在所述主对中板和所述从对中板之间设置有对中导向机构，在所述主对中板上设置有对中驱动机构，所述对中驱动机构驱动所述主对中板远离或接近所述从对中板移动；所述主对中板和所述从对中板之间设有二根叠放的推杆，二根所述推杆的中部设置有铰接轴，二根所述推杆沿所述铰接轴转动，二根所述推杆的两端设置有轴承，所述主对中板和所述从对中板的底端设置有纵向的滚道，所述轴承可沿所述滚道滚动。

进一步地：所述下料机构还包括拨料装置、驱动所述拨料装置竖向移动的竖向驱动装置、驱动所述竖向驱动装置纵向移动的纵向驱动装置；所述拨料装置包括转动设置在竖向驱动装置的拨料板上的拨料杆、设置在所述拨料杆尾端的拨块、连接在所述拨块上的复位弹簧、设置在与所述复位弹簧相对一侧的限位块，所述复位弹簧顶推所述拨块使所述拨块贴紧在所述限位块上。

进一步地：所述收料机构包括收料架、竖向安装在所述收料架上的收料丝杆、套设在所述收料丝杆上的底托板、放置在所述底托板上的料盒；所述收料丝杆的顶端设有收料电机，所述收料电机可带动所述收料丝杆转动，从而带动放置在所述底托板上的料盒上下移动。

进一步地：所述步进机构包括横向设置的步进丝杆、安装在所述步进丝杆一端的步进电机、套设在所述步进丝杆上的步进螺母、与所述步进螺母固定连接的步进架，所述步进架的两端分别设置有左钢索座和右钢索座，所述左钢索座和所述右钢索座之间固定有穿设在所述凹槽中的钢索；所述步进电机可驱动所述步进丝杆转动，从而驱动所述步进螺母沿着所述步进丝杆左右移动，进而驱动安装在所述左钢索座和所述右钢索座上的钢索左右移动；所述步进架的下方还设有偏心电机，所述偏心电机的输出轴上套设有偏心轮，所述偏心电机可驱动所述偏心轮转动，从而抬升或降落所述步进架，进而使得所述钢索升出或回落所述凹槽中。

进一步地：所述收料机构还包括位于所述固化台后方的满料盒载台、位于所述满料盒载台下方的空料盒载台以及连接所述满料盒载台和所述空料盒载台的连接板；所述空料盒载台包括位于收料架下方的载台电机、与所述载台电机输出轴连接的载台丝杆、套设在所述载台丝杆上的载台滑块、固定安装在所述载台滑块上的空料盒载架，所述载台电机可驱动所载台丝杆转动从而驱动所述空料盒载架靠近或远离所述底托板；所述满料盒载台和所述空料盒载架上均开设有能够卡设所述底托板的卡口；所述空料盒载架的两端分别设有主动滚轮和从动滚轮，所述主动滚轮和所述从动滚轮之间套设有放置料盒的皮带。

进一步地：所述对中驱动机构包括穿设在所述主对中板上的对中丝杆、设置在所述对中丝杆一端的对中电机；所述对中导向机构包括横向固定在所述主对中板上的导柱、设置在所述从对中板上且能够套设在所述导柱上的导套。

进一步地：所述纵向驱动装置为直线气缸，所述直线气缸的滑块上安装有所述竖向驱动装置；所述竖向驱动装置包括固定安装在直线气缸的滑块上的竖直板、固定安装在所述竖直板上的拨料气缸、滑动设置在所述竖直板上的竖直滑块、与所述竖直滑块和所述拨料气缸的活塞杆固定连接的拨料板。

进一步地：所述底托板上固定有夹紧气缸，所述夹紧气缸的活塞杆上固定有穿设在所述收料丝杆上的上夹板。

本发明的有益效果是，本发明采用若干个平行设置的钢索设置在固化机构的下方，通过步进电机驱动钢索左右移动，通过偏心电机驱动钢索上下移动以实现料片在装载台、固化台、下料机构之间各个工位的移转，对中机构能够使得料片在输送辊上对准料盒的方向运行；拨料装置能够将料片拨入待装载的料盒中；收料机构能够自动将装满料片的料盒卸下并装上空料盒，且放置料盒的底托板能够在收料电机的带动下自动调节高度，以便料片能够顺利进入料盒；整个过程完全实现的自动化流水作业，结构紧凑，能够实现料片在各个工位之间的快速流转作业，大大提高了固化效率；且钢索的直径较小，使得需要凹槽的宽度也较小，从而提升了固化台上各个加热区的加热面积，有效提升了固化效果。

附图说明

下面结合附图和实施例对本发明进一步说明。

图1是本发明的结构示意图；

图2是本发明的另一结构示意图；

图3是下料机构的结构示意图；

图4是对中机构的结构示意图；

图5是对中机构的另一结构示意图；

图6是拨料装置正视图；

图7是拨料装置的侧视图；

图8是收料机构的结构示意图；

图9是收料机构的另一结构示意图；

图10是步进机构的结构示意图。

图中1、滑台，2、取料吸嘴，3、装载台，4、固化台，5、炉盖，6、凹槽，7、料片，8、料盒，9、输送辊，10、主对中板，11、从对中板，12、对中杆，13、推杆，14、铰接轴，15、轴承，16、滚道，17、拨料板，18、拨料杆，19、拨块，20、复位弹簧，21、限位块，22、收料架，23、收料丝杆，24、底托板，25、收料电机，26、步进丝杆，27、步进电机，28、步进螺母，29、步进架，30、左钢索座，31、右钢索座，32、钢索，33、偏心电机，34、偏心轮，35、满料盒载台，36、连接板，37、载台电机，38、载台丝杆，39、载台滑块，40、空料盒载架，41、卡口，42、主动滚轮，43、从动滚轮，44、皮带，46、对中丝杆，47、对中电机，48、导柱，49、导套，50、直线气缸，51、竖直板，52、拨料气缸，53、夹紧气缸，54、上夹板。

具体实施方式

下面详细描述本发明的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本发明，而不能理解为对本发明的限制。相反，本发明的实施例包括落入所附加权利要求书的精神和内涵范围内的所有变化、修改和等同物。

在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。此外，在本发明的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。

流程图中或在此以其他方式描述的任何过程或方法描述可以被理解为，表示包括一个或更多个用于实现特定逻辑功能或过程的步骤的可执行指令的代码的模块、片段或部分，并且本发明的优选实施方式的范围包括另外的实现，其中可以不按所示出或讨论的顺序，包括根据所涉及的功能按基本同时的方式或按相反的顺序，来执行功能，这应被本发明的实施例所属技术领域的技术人员所理解。

如图1、图2所示，本发明提供了适用薄型小体积半导体框架的一体式固化炉，包括沿横向依次设置的上料机构、固化机构、下料机构以及纵向设置在所述下料机构后方的收料机构，所述上料机构包括纵向设置的滑台1、设置在所述滑台1上的取料吸嘴2、设置在所述固化机构左侧的装载台3；所述固化机构包括固化台4和能够盖合在所述固化台4上的炉盖5，所述固化台4上设有若干个不同温度的加热区，所述加热区上横向设置有若干个凹槽6，所述固化台4的下方设有能够将料片7从装载台3经过固化机构移转到下料机构上的步进机构；所述下料机构对已完成固化的料片7进行移位对中并纵向移转至所述收料机构；所述收料机构设置有接收所述下料机构移转来的所述料片7的料盒8。

工作时，取料吸嘴2吸取料片7，通过滑台1的作用移送至装载台3，通过步进机构的作用，将装载台3上的料片7依次经过固化台4上不同温度的加热区，使得料片7加热固化，固化结束后，步进机构继续驱动固化好的料片7移转至下料机构，下料机构将料片7输送至收料机构，并将固化好的料片7整齐收集到料盒8，炉盖5上设有进气口和排气口等用来在固化机构中充入氮气或者抽真空操作，本小型一体式固化炉能够将料片7在上料机构、固化机构、下料机构、收料机构之间移转，快速实现流转作业，结构紧凑。

如图3至图5所述下料机构包括将料片7移转至所述收料机构的输送辊9和用于将料片7夹紧对中的对中机构；所述对中机构包括沿横向间隔平行设置的主对中板10和从对中板11，所述主对中板10和所述从对中板11上端均设有若干个能够向上伸出所述输送辊9的对中杆12；在所述主对中板10和所述从对中板11之间设置有对中导向机构，在所述主对中板10上设置有对中驱动机构，所述对中驱动机构驱动所述主对中板10远离或接近所述从对中板11移动；所述主对中板10和所述从对中板11之间设有二根叠放的推杆13，二根所述推杆13的中部设置有铰接轴14，二根所述推杆13沿所述铰接轴14转动，二根所述推杆13的两端设置有轴承15，所述主对中板10和所述从对中板11的底端设置有纵向的滚道16，所述轴承15可沿所述滚道16滚动。

当料片7输送至输送辊9上时，在对中驱动机构的带动下，主对中板10向从对中板11靠近，由于在主对中板10和从对中板11之间设有二根叠放的推杆13，在二根推杆13的作用下从对中板11同时向主对中板10靠近，并使得位于料片7两侧的对中杆12夹紧料片7，直至输送辊9将料片7传输至收料机构，输送完成后，对中驱动机构驱动主对中板10远离从对中板11，在二根推杆13的作用下，从对中板11同时远离主对中板10，待下一料片7移转至输送辊9，对中驱动机构继续带动对中杆12夹紧对中工作。

如图6、图7所述下料机构还包括拨料装置、驱动所述拨料装置竖向移动的竖向驱动装置、驱动所述竖向驱动装置纵向移动的纵向驱动装置；所述拨料装置包括转动设置在竖向驱动装置的拨料板17上的拨料杆18、设置在所述拨料杆18尾端的拨块19、连接在所述拨块19上的复位弹簧20、设置在与所述复位弹簧20相对一侧的限位块21，所述复位弹簧20顶推所述拨块19使所述拨块19贴紧在所述限位块21上。

工作中由于料片7很薄，因此拨料杆18的下限高度会低于料片7碰到输送辊9，当拨料杆18与输送辊9接触，会导致拨料杆18旋转，为了使得拨料杆18的快速复位起到拨料的作用，复位弹簧20顶推拨块19使得拨块19贴紧在限位块21上，从而使得拨料杆18在避让完输送辊9之后能够继续将料片7向料盒8方向顶推。

如图8、图9所示，所述收料机构包括收料架22、竖向安装在所述收料架22上的收料丝杆23、套设在所述收料丝杆23上的底托板24、放置在所述底托板24上的料盒8；所述收料丝杆23的顶端设有收料电机25，所述收料电机25可带动所述收料丝杆23转动，从而带动放置在所述底托板24上的料盒8上下移动。

在收集料片7的过程中，由于料片7在料盒8中的堆叠使得料盒8要灵活调整高度以便输送辊9上传输来的料片7能够自动码垛整齐，工作中收料电机25带动收料丝杆23转动，使得套设在收料丝杆23上的底托板24到合适的高度，从而使得料盒8到合适的高度以便收集料片7。

如图10所示所述步进机构包括横向设置的步进丝杆26、安装在所述步进丝杆26一端的步进电机27、套设在所述步进丝杆26上的步进螺母28、与所述步进螺母28固定连接的步进架29，所述步进架29的两端分别设置有左钢索座30和右钢索座31，所述左钢索座30和所述右钢索座31之间固定有穿设在所述凹槽6中的钢索32；所述步进电机27可驱动所述步进丝杆26转动，从而驱动所述步进螺母28沿着所述步进丝杆26左右移动，进而驱动安装在所述左钢索座30和所述右钢索座31上的钢索32左右移动；所述步进架29的下方还设有偏心电机33，所述偏心电机33的输出轴上套设有偏心轮34，所述偏心电机33可驱动所述偏心轮34转动，从而抬升或降落所述步进架29，进而使得所述钢索32升出或回落所述凹槽6中。

步进电机27驱动步进丝杆26转动，从而驱动套设在步进丝杆26上的步进螺母28沿着步进丝杆26移动，进而驱动步进架29上的钢索32沿着横向左右移动；偏心电机33能够通过偏心轮34向上顶升步进架29从而使得钢索32升出凹槽6；工作时，钢索32先位于装载台3的下方，装载台3上设置有若干组U型通孔，用于钢索32升出装载台3并抬升料片7，偏心电机33驱动偏心轮34顶升步进架29，从而将钢索32从凹槽6中升出，然后步进电机27驱动丝杆转动使得步进螺母28向右移动，从而使得安装在步进架29上的钢索32将料片7从装载台3移动到固化台4，然后偏心电机33继续驱动偏心轮34转动使得钢索32落回凹槽6中，步进电机27驱动步进丝杆26反向转动，使得步进架29上的钢索32回到初始位置，整各过程中钢索32抬升的上限高度始终低于炉盖5，使得钢索32能够在不同温度的加热区之间移转料片7时不会与炉盖5摩擦接触；步进电机27和偏心电机33循环往复工作使得料片7依次经过不同温度的加热区，直至料片7移转至下料机构的输送辊9上，整个过程中可以同时移转多个料片7，流水式作业方式提高了工作效率；且钢索32的直径较小，使得需要凹槽6的宽度也较小，从而提升了固化台4上各个加热区的加热面积，有效提升了固化效果。

所述收料机构还包括位于所述固化台4后方的满料盒载台35、位于所述满料盒载台35下方的空料盒载台以及连接所述满料盒载台35和所述空料盒载台的连接板36；所述空料盒载台包括位于收料架22下方的载台电机37、与所述载台电机37输出轴连接的载台丝杆38、套设在所述载台丝杆38上的载台滑块39、固定安装在所述载台滑块39上的空料盒载架40，所述载台电机37可驱动所载台丝杆38转动从而驱动所述空料盒载架40靠近或远离所述底托板24；所述满料盒载台35和所述空料盒载架40上均开设有能够卡设所述底托板24的卡口41；所述空料盒载架40的两端分别设有主动滚轮42和从动滚轮43，所述主动滚轮42和所述从动滚轮43之间套设有放置料盒8的皮带44。

工作时，底托板24运行至所述空料盒载架40齐平的高度，载台电机37驱动载台丝杆38转动，使得套设在所述载台丝杆38上的载台滑块39带动空料盒载架40向底托板24方向移动，同时主动滚轮42驱动放置在皮带44上的空料盒8向底托板24方向移动，直到底托板24能够完成接住空料盒载台移转来的料盒8，然后载台丝杆38在电机的作用下反向转动使得空料盒载台远离底托板24，当料盒8装满料片7后，收料电机25驱动底托板24运行至与所述满料盒载台35齐平的高度，载台丝杆38在载台电机37的驱动下带动空料盒载台和满料盒载台35同时向收料架22方向移动直至满料盒载台35能够接住底托板24上的装满料片7的料盒8，然后载台电机37驱动空料盒载架40和满料盒载台35远离收料架22，收料电机25驱动底托板24向下移动直至与空料盒载架40齐平的高度，继续完成将空料盒载台上的料盒8移转到底托板24上的工作。

所述对中驱动机构包括穿设在所述主对中板10上的对中丝杆46、设置在所述对中丝杆46一端的对中电机47；所述对中导向机构包括横向固定在所述主对中板10上的导柱48、设置在所述从对中板11上且能够套设在所述导柱48上的导套49。

工作时，对中电机47驱动所述对中丝杆46转动，使得主对中板10远离对中电机47，并逐渐靠近从对中板11，在二根推杆13的带动下，从对中板11同时向主对中板10靠近，并使得位于料片7两侧的对中杆12夹紧料片7，对中完成后，对中电机47驱动对中丝杆46转动使得右对中板逐渐靠近对中电机47，并使得主对中板10远离从对中板11，在二根推杆13的带动下从对中板11同时远离主对中板10；导柱48、导套49使得主对中板10和从对中板11在相互靠近或远离过程中起到导向的作用。

所述纵向驱动装置为直线气缸50，所述直线气缸50的滑块上安装有所述竖向驱动装置；所述竖向驱动装置包括固定安装在直线气缸50的滑块上的竖直板51、固定安装在所述竖直板51上的拨料气缸52、滑动设置在所述竖直板51上的竖直滑块、与所述竖直滑块和所述拨料气缸52的活塞杆固定连接的拨料板17。

工作时，待拨料杆18位于料片7运行轨迹的后方，竖直气缸回缩使得拨料杆18的高度能够顶推料片7，然后直线气缸50驱动竖向驱动装置从而使得拨料杆18将料片7向料盒8顶推直到料片7完全落入料盒8，后拨料气缸52顶推拨料板17，使得拨料杆18抬升避免与输送辊9及料片7摩擦接触，直线气缸50驱动竖向驱动装置反向移动使得拨料杆18回到初始位置后，继续完成下个料片7的拨料工作。

所述底托板24上固定有夹紧气缸53，所述夹紧气缸53的活塞杆上固定有穿设在所述收料丝杆23上的上夹板54。

在收集料片7的过程中为了防止料盒8的位移，在底托板24上固定夹紧气缸53，并在夹紧气缸53的活塞杆上固定用于夹持料盒8的上端的上夹板54，通过底托板24和上夹板54的作用防止料盒8位移，影响收料工作。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本发明的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对所述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

以上述依据本发明的理想实施例为启示，通过上述的说明内容，相关工作人员完全可以在不偏离本项发明技术思想的范围内，进行多样的变更以及修改。本项发明的技术性范围并不局限于说明书上的内容，必须要根据权利要求范围来确定其技术性范围。

Claims (7)

1.一种适用薄型小体积半导体框架的一体式固化炉，包括沿横向依次设置的上料机构、固化机构、下料机构以及纵向设置在所述下料机构后方的收料机构，其特征在于：所述上料机构包括纵向设置的滑台（1）、设置在所述滑台（1）上的取料吸嘴（2）、设置在所述固化机构左侧的装载台（3）；

所述固化机构包括固化台（4）和能够盖合在所述固化台（4）上的炉盖（5），所述固化台（4）上设有若干个不同温度的加热区，所述加热区上横向设置有若干个凹槽（6），所述固化台（4）的下方设有能够将料片（7）从装载台（3）经过固化机构移转到下料机构上的步进机构，所述步进机构包括步进架（29）、安装在所述步进架（29）上并穿设在所述凹槽（6）中的钢索（32）、驱动所述步进架（29）左右移动的步进电机（27）和驱动所述步进架（29）作上下移动的偏心电机（33）；

所述下料机构对已完成固化的料片（7）进行移位对中并纵向移转至所述收料机构；

所述收料机构设置有接收所述下料机构移转来的所述料片（7）的料盒（8）；

所述下料机构包括将料片（7）移转至所述收料机构的输送辊（9）和用于将料片（7）夹紧对中的对中机构；

所述对中机构包括沿横向间隔平行设置的主对中板（10）和从对中板（11），所述主对中板（10）和所述从对中板（11）上端均设有若干个能够向上伸出所述输送辊（9）的对中杆（12）；

在所述主对中板（10）和所述从对中板（11）之间设置有对中导向机构，在所述主对中板（10）上设置有对中驱动机构，所述对中驱动机构驱动所述主对中板（10）远离或接近所述从对中板（11）移动；

所述主对中板（10）和所述从对中板（11）之间设有二根叠放的推杆（13），二根所述推杆（13）的中部设置有铰接轴（14），二根所述推杆（13）沿所述铰接轴（14）转动，二根所述推杆（13）的两端设置有轴承（15），所述主对中板（10）和所述从对中板（11）的底端设置有纵向的滚道（16），所述轴承（15）可沿所述滚道（16）滚动；

所述下料机构还包括拨料装置、驱动所述拨料装置竖向移动的竖向驱动装置、驱动所述竖向驱动装置纵向移动的纵向驱动装置；

所述拨料装置包括转动设置在竖向驱动装置的拨料板（17）上的拨料杆（18）、设置在所述拨料杆（18）尾端的拨块（19）、连接在所述拨块（19）上的复位弹簧（20）、设置在与所述复位弹簧（20）相对一侧的限位块（21），所述复位弹簧（20）顶推所述拨块（19）使所述拨块（19）贴紧在所述限位块（21）上。

2.根据权利要求1所述的适用薄型小体积半导体框架的一体式固化炉，其特征在于：所述收料机构包括收料架（22）、竖向安装在所述收料架（22）上的收料丝杆（23）、套设在所述收料丝杆（23）上的底托板（24）、放置在所述底托板（24）上的料盒（8）；

所述收料丝杆（23）的顶端设有收料电机（25），所述收料电机（25）可带动所述收料丝杆（23）转动，从而带动放置在所述底托板（24）上的料盒（8）上下移动。

3.根据权利要求1所述的适用薄型小体积半导体框架的一体式固化炉，其特征在于：所述步进机构还包括横向设置的步进丝杆（26）和套设在所述步进丝杆（26）上的步进螺母（28），所述步进丝杆（26）一端安装所述步进电机（27），所述步进螺母（28）固定连接所述步进架（29），所述步进架（29）的两端分别设置有左钢索座（30）和右钢索座（31），所述左钢索座（30）和所述右钢索座（31）之间固定所述钢索（32）；

所述步进电机（27）可驱动所述步进丝杆（26）转动，从而驱动所述步进螺母（28）沿着所述步进丝杆（26）左右移动，进而驱动安装在所述左钢索座（30）和所述右钢索座（31）上的钢索（32）左右移动；

所述步进架（29）的下方设置所述偏心电机（33），所述偏心电机（33）的输出轴上套设有偏心轮（34），所述偏心电机（33）可驱动所述偏心轮（34）转动，从而抬升或降落所述步进架（29），进而使得所述钢索（32）升出或回落所述凹槽（6）中。

4.根据权利要求2所述的适用薄型小体积半导体框架的一体式固化炉，其特征在于：所述收料机构还包括位于所述固化台（4）后方的满料盒载台（35）、位于所述满料盒载台（35）下方的空料盒载台以及连接所述满料盒载台（35）和所述空料盒载台的连接板（36）；

所述空料盒载台包括位于收料架（22）下方的载台电机（37）、与所述载台电机（37）输出轴连接的载台丝杆（38）、套设在所述载台丝杆（38）上的载台滑块（39）、固定安装在所述载台滑块（39）上的空料盒载架（40），所述载台电机（37）可驱动所载台丝杆（38）转动从而驱动所述空料盒载架（40）靠近或远离所述底托板（24）；

所述满料盒载台（35）和所述空料盒载架（40）上均开设有能够卡设所述底托板（24）的卡口（41）；

所述空料盒载架（40）的两端分别设有主动滚轮（42）和从动滚轮（43），所述主动滚轮（42）和所述从动滚轮（43）之间套设有放置料盒（8）的皮带（44）。

5.根据权利要求1所述的适用薄型小体积半导体框架的一体式固化炉，其特征在于：所述对中驱动机构包括穿设在所述主对中板（10）上的对中丝杆（46）、设置在所述对中丝杆（46）一端的对中电机（47）；

所述对中导向机构包括横向固定在所述主对中板（10）上的导柱（48）、设置在所述从对中板（11）上且能够套设在所述导柱（48）上的导套（49）。

6.根据权利要求1所述的适用薄型小体积半导体框架的一体式固化炉，其特征在于：所述纵向驱动装置为直线气缸（50），所述直线气缸（50）的滑块上安装有所述竖向驱动装置；

所述竖向驱动装置包括固定安装在直线气缸（50）的滑块上的竖直板（51）、固定安装在所述竖直板（51）上的拨料气缸（52）、滑动设置在所述竖直板（51）上的竖直滑块、与所述竖直滑块和所述拨料气缸（52）的活塞杆固定连接的拨料板（17）。

7.根据权利要求2所述的适用薄型小体积半导体框架的一体式固化炉，其特征在于：所述底托板（24）上固定有夹紧气缸（53），所述夹紧气缸（53）的活塞杆上固定有穿设在所述收料丝杆（23）上的上夹板（54）。