CN115598580A - 分立器件半导体测试***测试站自动切换校准装置及方法 - Google Patents
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- 238000012360 testing method Methods 0.000 title claims abstract description 365
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 20
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 11
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 claims description 27
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 19
- 210000002318 cardia Anatomy 0.000 claims description 12
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 230000006978 adaptation Effects 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
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- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
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Abstract
本发明公开了一种分立器件半导体测试***测试站自动切换校准装置及方法，包括上位机、测试设备、智能切换盒、校准盒、校准仪器，上位机依次控制测试设备连接的测试站进行校准测试；当上位机控制第i个测试站进行校准测试时，上位机将第i个测试站的校准测试信号发送给智能切换盒；智能切换盒根据上位机发送的第i个测试站的校准测试信号将第i个测试站的输出校准信号切换发送给校准盒；校准仪器根据校准盒收到的第i个测试站的输出校准信号对第i个测试站进行校准，并将校准情况反馈给上位机。本发明提升设备了利用率和分立器件测试***可维护性，同时缩短生产周期。
Description
技术领域
本发明涉及一种基于分立器件半导体测试***多测试站自动切换校准装置及方法，属于半导体测试技术领域。
背景技术
目前市场上所有分离器件测试设备校准均为一个测试站校准完后，不能继续校准其它站，如图1所示，上位机PC电脑控制测试设置中的第1个测试站进行校准测试，第1个测试站的输出线缆分别与校准盒连通，校准盒将第1个测试站输出的校准测试信号发送给校准仪器进行校准，校准仪器将校准情况反馈给上位机，完成第1个测试站的校准测试工作。然后人工操作输出线缆，将第2个测试站的输出线缆分别与校准盒连通，进行第2个测试站的校准测试工作。第2个测试站校准测试工作完成后，人工切换输出线缆，将第3个测试站的输出线缆分别与校准盒连通，以此类推，直至最后一个测试站的输出线缆分别与校准盒，完成整个测试站的校准测试工作。最后，将最后一个测试站的输出线缆分别与检测盒连接，完成对测试站的检测，也就是说，这种测试站校准方法，在一个测试站测试完成后，需要人工操作更换另外一个测试站，不能完成一次操作一台分立器件测试设备的校准。
发明内容
发明目的：为了克服现有技术中存在的不足，本发明提供一种一次校准一台分立器件测试设备所有测试站的分立器件半导体测试***测试站自动切换校准装置及方法。
技术方案：为实现上述目的，本发明采用的技术方案为：
一种分立器件半导体测试***测试站自动切换校准装置，包括上位机、测试设备、智能切换盒、校准盒、校准仪器，所述测试设备设置有多个测试站，将测试设备的第i个的测试站记为第i个测试站，i=1,2，…,N，N为测试站个数，其中：
所述上位机用于依次控制测试设备连接的测试站进行校准测试。当上位机控制第i个测试站进行校准测试时，上位机将第i个测试站的校准测试信号发送给智能切换盒。
所述智能切换盒用于根据上位机发送的第i个测试站的校准测试信号将第i个测试站的输出校准信号切换发送给校准盒。
校准仪器根据校准盒收到的第i个测试站的输出校准信号对第i个测试站进行校准，并将校准情况反馈给上位机。
优选的：所述智能切换盒包括PLC控制板、切换矩阵板卡，所述切换矩阵板卡设置有N个信号输入端，第i个信号输入端与第i个测试站的校准测试信号输出端连接，而所述切换矩阵板卡的输出端与校准盒连接。上位机设为主动切换模式时，上位机发送第i个测试站的校准测试信号给PLC控制板，所述PLC控制板根据上位机发送的第i个测试站的校准测试信号将切换矩阵板卡中第i个信号输入端与第i个测试站的校准测试信号输出端导通，进而将第i个测试站的校准测试信号输送给校准盒。
优选的：所述智能切换盒包括时间校准模块，所述时间校准模块用于设定第i个测试站的切断时间，将第i个测试站的切断时间记为第i个切断时间，上位机设为固定时间切换模式时，上位机发送测试开始信号给PLC控制板，所述PLC控制板根据上位机发送的测试开始信号在第i个切断时间将切换矩阵板卡中第i个信号输入端与第i个测试站的校准测试信号输出端导通，进而将第i个测试站的校准测试信号输送给校准盒。
优选的：包括检测盒，所述检测盒与切换矩阵板卡的输出端连接。所述上位机用于依次控制测试设备连接的测试站进行检测测试。当上位机控制第i个测试站进行检测测试时，上位机将第i个测试站的检测测试信号发送给智能切换盒。所述智能切换盒用于根据上位机发送的第i个测试站的检测测试信号将第i个测试站的输出检测信号切换发送给校准盒。
优选的：所述校准仪器为校准板卡，所述校准板卡上设置有多个不同的校准模块。
一种分立器件半导体测试***测试站自动切换校准方法，包括以下步骤：
步骤1，上位机控制第i个测试站进行校准测试，上位机将第i个测试站的校准测试信号发送给智能切换盒。
步骤2，智能切换盒根据上位机发送的第i个测试站的校准测试信号将第i个测试站的输出校准信号切换发送给校准盒。
步骤3，校准仪器根据校准盒收到的第i个测试站的输出校准信号对第i个测试站进行校准，并将校准情况反馈给上位机。
优选的：当上位机设为主动切换模式时，上位机发送第i个测试站的校准测试信号给PLC控制板，PLC控制板根据上位机发送的第i个测试站的校准测试信号将切换矩阵板卡中第i个信号输入端与第i个测试站的校准测试信号输出端导通，进而将第i个测试站的校准测试信号输送给校准盒。
当上位机设为固定时间切换模式时，上位机发送测试开始信号给PLC控制板，所述PLC控制板根据上位机发送的测试开始信号在第i个切断时间将切换矩阵板卡中第i个信号输入端与第i个测试站的校准测试信号输出端导通，进而将第i个测试站的校准测试信号输送给校准盒。
本发明相比现有技术，具有以下有益效果：
本发明通过智能切换盒根据上位机发送的第i个测试站的校准测试信号将第i个测试站的输出校准信号切换发送给校准盒，使得在一台分立器件测试设备（设置有多个测试站）一次操作就能够完成所有的校准操作，因此本发明提升设备了利用率和分立器件测试***可维护性，同时缩短生产周期和降低人力成本。
附图说明
图1为现有的校准示意图。
图2为本发明的分立器件半导体测试***测试站自动切换校准装置的示意图。
图3为智能切换盒的结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施例，进一步阐明本发明，应理解这些实例仅用于说明本发明而不用于限制本发明的范围，在阅读了本发明之后，本领域技术人员对本发明的各种等价形式的修改均落于本申请所附权利要求所限定的范围。
一种分立器件半导体测试***测试站自动切换校准装置，如图2所示，包括上位机、测试设备、智能切换盒、校准盒、校准仪器，所述测试设备设置有多个测试站，将测试设备的第i个的测试站记为第i个测试站，i=1,2，…,N，N为测试站个数，其中：
所述上位机用于依次控制测试设备连接的测试站进行校准测试。当上位机控制第i个测试站进行校准测试时，上位机将第i个测试站的校准测试信号发送给智能切换盒。
所述智能切换盒用于根据上位机发送的第i个测试站的校准测试信号将第i个测试站的输出校准信号切换发送给校准盒。在智能切换盒上设计输入端口，不同的分立器件测试***只需要更换相对应的线缆。
校准仪器根据校准盒收到的第i个测试站的输出校准信号对第i个测试站进行校准，并将校准情况反馈给上位机。
如图3所示，所述智能切换盒包括PLC控制板、切换矩阵板卡，所述切换矩阵板卡设置有N个信号输入端，第i个信号输入端与第i个测试站的校准测试信号输出端连接，而所述切换矩阵板卡的输出端与校准盒连接。由于不同的分立器件测试***测试站数量不同，挑选测试站数量最多的分立器件测试***制作满配的PCB板（切换矩阵板卡），使得切换矩阵板卡的输入端大于等于测试站数量。对于测试站输出信号不一致、输出电压电流大小不一致以及测试站输出信号的整合的问题，在智能切换盒的切换矩阵板卡对测试站输入输出信号进行分组。
上位机有两种操作模式，分别为主动切换模式和固定时间切换模式，当上位机设为主动切换模式时，上位机发送第i个测试站的校准测试信号给PLC控制板，所述PLC控制板根据上位机发送的第i个测试站的校准测试信号将切换矩阵板卡中第i个信号输入端与第i个测试站的校准测试信号输出端导通，进而将第i个测试站的校准测试信号输送给校准盒。
所述智能切换盒包括时间校准模块，所述时间校准模块用于设定第i个测试站的切断时间，将第i个测试站的切断时间记为第i个切断时间，当上位机设为固定时间切换模式时，上位机发送测试开始信号给PLC控制板，所述PLC控制板根据上位机发送的测试开始信号在第i个切断时间将切换矩阵板卡中第i个信号输入端与第i个测试站的校准测试信号输出端导通，进而将第i个测试站的校准测试信号输送给校准盒。
还包括检测盒，所述检测盒与切换矩阵板卡的输出端连接。所述上位机用于依次控制测试设备连接的测试站进行检测测试。当上位机控制第i个测试站进行检测测试时，上位机将第i个测试站的检测测试信号发送给智能切换盒。所述智能切换盒用于根据上位机发送的第i个测试站的检测测试信号将第i个测试站的输出检测信号切换发送给校准盒。
所述校准仪器为校准板卡，校准板卡可扩展，所述校准板卡上设置有多个不同的校准模块，通过不同的校准模块对不同测试站进行测试。
一种分立器件半导体测试***测试站自动切换校准方法，包括以下步骤：
步骤1，上位机控制第i个测试站进行校准测试，上位机将第i个测试站的校准测试信号发送给智能切换盒。
步骤2，智能切换盒根据上位机发送的第i个测试站的校准测试信号将第i个测试站的输出校准信号切换发送给校准盒。
当上位机设为主动切换模式时，上位机发送第i个测试站的校准测试信号给PLC控制板，PLC控制板根据上位机发送的第i个测试站的校准测试信号将切换矩阵板卡中第i个信号输入端与第i个测试站的校准测试信号输出端导通，进而将第i个测试站的校准测试信号输送给校准盒。
当上位机设为固定时间切换模式时，上位机发送测试开始信号给PLC控制板，所述PLC控制板根据上位机发送的测试开始信号在第i个切断时间将切换矩阵板卡中第i个信号输入端与第i个测试站的校准测试信号输出端导通，进而将第i个测试站的校准测试信号输送给校准盒。
步骤3，校准仪器根据校准盒收到的第i个测试站的输出校准信号对第i个测试站进行校准，并将校准情况反馈给上位机。
本发明既能对于分立器件测试***生产效率的提升、减少人力需求，又能提升客户端对于分立器件测试***可维护性，降低没有人员操作只能暂停的状况。本发明可以对分立器件测试***生产以及维护智能化自动判断后进行切换不同测试站完成校准、检测。此设计使用电路板把不同测试站中的控制信号以及输出信号，进行整合在一个电路板中。再使用时间控制器控制各个测试站进行分组切换（此切换可由PC电脑端进行判断切换或设置固定时间进行切换），可以应用于分立器件半导体测试设备生产以及IC测试工厂内定期校准以及检测。
以上所述仅是本发明的优选实施方式，应当指出：对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。
Claims (7)
1.一种分立器件半导体测试***测试站自动切换校准装置，其特征在于：包括上位机、测试设备、智能切换盒、校准盒、校准仪器，所述测试设备设置有多个测试站，将测试设备的第i个的测试站记为第i个测试站，i=1,2，…,N，N为测试站个数，其中：
所述上位机用于依次控制测试设备连接的测试站进行校准测试；当上位机控制第i个测试站进行校准测试时，上位机将第i个测试站的校准测试信号发送给智能切换盒；
所述智能切换盒用于根据上位机发送的第i个测试站的校准测试信号将第i个测试站的输出校准信号切换发送给校准盒；
校准仪器根据校准盒收到的第i个测试站的输出校准信号对第i个测试站进行校准，并将校准情况反馈给上位机。
2.根据权利要求1所述分立器件半导体测试***测试站自动切换校准装置，其特征在于：所述智能切换盒包括PLC控制板、切换矩阵板卡，所述切换矩阵板卡设置有N个信号输入端，第i个信号输入端与第i个测试站的校准测试信号输出端连接，而所述切换矩阵板卡的输出端与校准盒连接；上位机设为主动切换模式时，上位机发送第i个测试站的校准测试信号给PLC控制板，所述PLC控制板根据上位机发送的第i个测试站的校准测试信号将切换矩阵板卡中第i个信号输入端与第i个测试站的校准测试信号输出端导通，进而将第i个测试站的校准测试信号输送给校准盒。
3.根据权利要求2所述分立器件半导体测试***测试站自动切换校准装置，其特征在于：所述智能切换盒包括时间校准模块，所述时间校准模块用于设定第i个测试站的切断时间，将第i个测试站的切断时间记为第i个切断时间，上位机设为固定时间切换模式时，上位机发送测试开始信号给PLC控制板，所述PLC控制板根据上位机发送的测试开始信号在第i个切断时间将切换矩阵板卡中第i个信号输入端与第i个测试站的校准测试信号输出端导通，进而将第i个测试站的校准测试信号输送给校准盒。
4.根据权利要求3所述分立器件半导体测试***测试站自动切换校准装置，其特征在于：包括检测盒，所述检测盒与切换矩阵板卡的输出端连接；所述上位机用于依次控制测试设备连接的测试站进行检测测试；当上位机控制第i个测试站进行检测测试时，上位机将第i个测试站的检测测试信号发送给智能切换盒；所述智能切换盒用于根据上位机发送的第i个测试站的检测测试信号将第i个测试站的输出检测信号切换发送给校准盒。
5.根据权利要求4所述分立器件半导体测试***测试站自动切换校准装置，其特征在于：所述校准仪器为校准板卡，所述校准板卡上设置有多个不同的校准模块。
6.一种分立器件半导体测试***测试站自动切换校准方法，其特征在于，采用权利要求1所述的分立器件半导体测试***测试站自动切换校准装置，包括以下步骤：
步骤1，上位机控制第i个测试站进行校准测试，上位机将第i个测试站的校准测试信号发送给智能切换盒；
步骤2，智能切换盒根据上位机发送的第i个测试站的校准测试信号将第i个测试站的输出校准信号切换发送给校准盒；
步骤3，校准仪器根据校准盒收到的第i个测试站的输出校准信号对第i个测试站进行校准，并将校准情况反馈给上位机。
7.根据权利要求6所述分立器件半导体测试***测试站自动切换校准方法，其特征在于：当上位机设为主动切换模式时，上位机发送第i个测试站的校准测试信号给PLC控制板，PLC控制板根据上位机发送的第i个测试站的校准测试信号将切换矩阵板卡中第i个信号输入端与第i个测试站的校准测试信号输出端导通，进而将第i个测试站的校准测试信号输送给校准盒；
当上位机设为固定时间切换模式时，上位机发送测试开始信号给PLC控制板，所述PLC控制板根据上位机发送的测试开始信号在第i个切断时间将切换矩阵板卡中第i个信号输入端与第i个测试站的校准测试信号输出端导通，进而将第i个测试站的校准测试信号输送给校准盒。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202211589966.4A CN115598580A (zh) | 2022-12-12 | 2022-12-12 | 分立器件半导体测试***测试站自动切换校准装置及方法 |
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
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Publications (1)
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|---|---|
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Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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|---|---|
| CN (1) | CN115598580A (zh) |
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|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
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