CN115493699A - 基于消色差超透镜的宽带全斯托克斯矢量偏振检测器件 - Google Patents

基于消色差超透镜的宽带全斯托克斯矢量偏振检测器件 Download PDF

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Abstract

本发明公开了一种基于消色差超透镜的宽带全斯托克斯矢量偏振检测器件,所述偏振检测器件包括二氧化硅衬底和设置在二氧化硅衬底上的亚波长单元结构,其中:所述亚波长单元结构由四个模块组成,分别为x线偏振消色差超透镜、y线偏振消色差超透镜、45°线偏振消色差超透镜和右旋圆偏振消色差超透镜。由于矢量偏振态可以由x、y、45°线偏振和右旋圆偏振光的光强计算获得,因此通过提取宽带范围的四焦点能量,可以同时重建宽波段入射光的斯托克斯参数,实现宽带矢量偏振状态的检测。本发明提出的结构可与成熟的CMOS图像传感器集成,大大提高了器件的集成度,可用于消色差偏振测量、宽带偏振成像等超表面功能器件,对推进超表面的实用化具有重要意义。

Description

基于消色差超透镜的宽带全斯托克斯矢量偏振检测器件
技术领域
本发明属于微纳光学设计领域,涉及一种偏振成像器件,具体涉及一种基于消色差超透镜的全斯托克斯矢量偏振检测器件。
背景技术
光场除了振幅、相位和频率信息外,还包含偏振信息,当光与物质相互作用时,物质表面的粗糙度、材料等属性会对光的偏振态进行调制,通过探测光的偏振态,即可获取光场的偏振信息,从而拓宽光学成像的维度。偏振成像技术利用偏振滤波片等偏振光学元件分离偏振光,通过探测器获取不同偏振光的强度以提取偏振信息,进一步分析偏振信息可以得到目标表面的粗糙度、缺陷等传统光强图像无法获取的额外细节。传统的偏振成像***存在***体积庞大、光学元件复杂、不易集成等问题,同时偏振滤波片无法工作于圆偏振光状态,使得全斯托克斯(Stokes)参量探测成为偏振成像技术突破的巨大难题。
超表面(Metasurface)是一类基于亚波长结构的二维人工材料,它可以实现对电磁波振幅、相位和偏振的灵活调控,同时超表面具有小型化、轻型化和集成化的优势,这为解决偏振成像技术的难题提供了新的思路。目前基于超表面的偏振成像技术已经有了较大的发展,依据六像素偏振测量原理实现了全Stokes矢量的偏振成像器件。然而超表面结构普遍具有色散问题,一旦入射光偏移设计波长,焦平面位置的光斑会出现散斑甚至完全不能聚焦,因而会严重影响成像质量,偏振检测的准确度也会大幅下降,这大大影响了偏振成像在军事探测、雾天成像、自动驾驶等领域的实际应用。
发明内容
为解决现有的基于超表面的偏振成像器件存在的色散问题,本发明提供了一种基于消色差超透镜的宽带全斯托克斯矢量偏振检测器件,可以在250nm带宽的近红外波段实现对目标的全偏振成像检测。由于矢量偏振态可以由x、y、45°线偏振和右旋圆偏振光的光强计算获得,因此通过提取宽带范围的四焦点能量,可以同时重建宽波段入射光的斯托克斯参数,实现宽带矢量偏振状态的检测。本发明提出的结构可与成熟的CMOS图像传感器集成,大大提高了器件的集成度,可用于消色差偏振测量、宽带偏振成像等超表面功能器件,对推进超表面的实用化具有重要意义。
本发明的目的是通过以下技术方案实现的:
一种基于消色差超透镜的宽带全斯托克斯矢量偏振检测器件,包括二氧化硅衬底和设置在二氧化硅衬底上的亚波长单元结构,其中:所述亚波长单元结构由四个模块组成,分别为x线偏振消色差超透镜、y线偏振消色差超透镜、45°线偏振消色差超透镜和右旋圆偏振消色差超透镜。
本发明中,二氧化硅衬底在近红外波段为透明,对光场调制几乎无影响。
本发明中,四个基本模块之间相邻组合,构成一个超像素单元,分别独立聚焦不同的偏振分量,即:分别聚焦x线偏振、y线偏振、45°线偏振和右旋圆偏振光,聚焦波长为1μm-1.25μm的宽带范围,入射光在该宽带范围内任意波长的焦距相同,通过组合计算四个偏振基矢的光强可以得到全斯托克斯参数,因此一次检测就可以同时得到宽波段的全斯托克斯参数。
本发明中,亚波长单元结构为硅介质矩形纳米柱结构,硅介质矩形纳米柱结构具有高深宽比,通过调节矩形纳米柱的长、宽和转角来调节透射光的相位。
本发明中,亚波长单元结构通过在特定波长下对长、宽进行参数扫描,获得对应尺寸纳米柱在该波长下的调制相位和调制透射率。
本发明中,硅介质矩形纳米柱的高度为750nm,亚波长单元结构周期小于工作波长,在近红外波段具有较高的透射率和高对比度折射率。
本发明中,四个模块为周期20×20、尺寸10μm×10μm的方形结构,每个模块的焦距均为f=20μm,四种偏振光分量同时聚焦在焦平面中心位置。
本发明中,四个基本模块由利用粒子群优化算法搜索得到的不同长、宽尺寸矩形纳米柱组成,每个模块的调制相位均通过参数索引实现宽波段同时满足透镜的聚焦相位分布
Figure BDA0003902682730000031
其中w表示频率,f表示透镜的焦距,r为超透镜的尺寸,C(w)表示粒子群优化算法的参数。
本发明中,x线偏振消色差超透镜通过粒子群优化算法优化纳米柱的长、宽尺寸实现目标波长处的相位匹配,单元结构的转角为0;y线偏振消色差超透镜由x线偏振的单元结构绕其对称中心顺时针旋转90°实现;45°线偏振消色差超透镜由x线偏振的单元结构绕其对称中心顺时针旋转45°实现;右旋圆偏振消色差超透镜引入几何相位,通过粒子群优化算法优化纳米柱的长、宽和旋转角度(0~180°,每个位置的旋转角度不同)实现对目标波长处的相位匹配。
本发明的原理在于:基于消色差超透镜的宽带全斯托克斯矢量偏振检测器件主要由设置在二氧化硅衬底上的硅矩形纳米柱阵列构成,单元结构在近红外波长处具有高透射率和高折射率等优势;通过调整纳米柱的长、宽尺寸和旋转角度,可以组成四个聚焦不同偏振基矢的消色差超透镜模块,模块之间紧凑连接,实现1μm-1.25μm带宽同时聚焦且焦平面在同一位置;通过探测器同时检测四个偏振基矢的光强,利用斯托克斯参数计算公式,即可获取入射光的任意矢量偏振信息。
相比于现有技术,本发明具有如下优点:
(1)本发明区别于现有的基于超表面的偏振成像***采用的六像素偏振信息获取的方案,提出了更加集成化的四象元超像素矢量偏振检测方案,在补偿算法矫正误差的情况下,可以实现近红外250nm带宽的实时全斯托克斯参数检测和矢量偏振测量。
(2)本发明区别于现有的基于超表面的偏振成像***强烈的色散问题,提出了利用粒子群优化算法和色散补偿的方法,通过参数索引和优化匹配机制,调节纳米柱的长、宽和转角参数,可以实现在宽波段范围的同时聚焦成像效果,且宽带聚焦的焦平面在同一位置,具有消色差的特性,这大大提高了偏振检测的适用范围,同时提高了器件的集成度,有潜力成为具有广泛应用的集成偏振成像器件。
(3)相比于传统的分孔径、分振幅和基于偏振滤波片的分焦平面偏振成像方案,本发明的基于消色差超透镜的宽带全斯托克斯矢量偏振检测器件可以直接级联在图像传感器的前端,不需要额外的光学元件,同时仅需要一个探测器就可以实时探测,具有超高的集成度和高效的实时探测成像能力;偏振滤波片结构仅针对线偏振光滤波,而超透镜可以针对线偏振光分量和圆偏振光分量聚焦,以此获得全部的斯托克斯参数,这将拓展偏振探测的实际应用范围;超透镜附加的聚焦功能可以将入射光的能量集中聚焦在探测器中心,这大大减少了入射光能量的损耗,提高了探测的灵敏度。
附图说明
图1本发明基于消色差超透镜的宽带全斯托克斯矢量偏振检测器件的结构示意图。
图2是单元结构的示意图,衬底为二氧化硅,纳米柱为硅介质矩形结构。
图3是宽带全斯托克斯矢量偏振检测器件与CMOS图像传感器的集成示意图。
图4是线偏振光超透镜的宽带消色差聚焦的结果,包括xz和xy方向的光强分布图。
图5是线偏振光的宽带聚焦效率结果和半峰全宽的结果图。
图6是右旋圆偏振光超透镜的宽带消色差聚焦结果,包括xz和xy方向的光强分布图。
图7是右旋圆偏振光的宽带聚焦效率结果和半峰全宽的结果图。
图8是四像素超像元的局部放大图像,右侧为单元结构阵列排布的示意图。
图9是不同偏振光入射时,焦平面位置在不同波长处的光强分布图。
图10是依据监视器得到的焦平面的四组不同偏振基矢的光强数据,计算的所有斯托克斯参数结果。
具体实施方式
下面结合附图对本发明的技术方案作进一步的说明,但并不局限于此,凡是对本发明技术方案进行修改或者等同替换,而不脱离本发明技术方案的精神和范围,均应涵盖在本发明的保护范围中。
本发明提供了一种基于消色差超透镜的宽带全斯托克斯矢量偏振检测器件,如图1所示,所述偏振检测器件由二氧化硅衬底层和硅介质矩形纳米柱层组成,依据不同偏振基矢将硅介质矩形纳米柱层分为四个模块,分别为x线偏振消色差超透镜、y线偏振消色差超透镜、45°线偏振消色差超透镜和右旋圆偏振消色差超透镜;四个模块可以同时实现宽带的矢量聚焦功能,在焦平面处具有消色差的光斑;结构整体工作在1μm-1.25μm的近红外波段,带宽为250nm。
图2所示为该模型的单元结构示意图,单元结构为硅介质矩形纳米柱,通过改变矩形的长、宽尺寸,可以得到不同尺寸对应的附加透射率和附加相位分布。单元结构的周期为U=520nm,纳米柱的高度为h=750nm,长宽尺寸的变化范围是50~450nm,入射光从衬底一侧入射,经过硅介质纳米柱的相位调制后,从另一侧透射。
图3所示为本发明提出的基于消色差超透镜的宽带全斯托克斯矢量偏振检测器件与CMOS图像传感器紧凑集成的示意图。基于消色差超透镜的宽带全斯托克斯矢量偏振检测器件由四个像元组成一个“超像元”结构,对应传感器的四个像素位置,探测器可以获得四个不同偏振基矢的光强信息,经过计算可以实时获取入射光的全斯托克斯参数。为实现成像功能,将“超像元”结构阵列化设计,具备一次探测就可以获取入射光场二维平面光强的能力,由此计算入射光场的全部偏振信息;同时该模型同时集成了聚焦成像、消色差成像和偏振滤波的功能,与传感器的集成不需要其他额外的光学元件,因此具有超高的集成度特性。
图4是本发明设计的基于x线偏振光宽带消色差聚焦成像的效果图,包括在1μm、1.05μm、1.1μm、1.15μm、1.2μm、1.25μm波长下计算的xz方向的光强分布图和焦平面位置的xy方向的光强分布图。本发明设计的消色差超透镜的周期为20×20,尺寸为10μm×10μm,焦距为20μm。超透镜每个周期位置的相位为传输相位,分布以下满足:
Figure BDA0003902682730000071
通过粒子群优化算法匹配结构参数索引,可以找到最佳的结构参数,满足不同波长时均符合聚焦相位的效果,因此在宽带范围内任意波长入射均对应目标相位分布。超构透镜的消色差效果体现为入射任意设计波长范围内的光,出射场的聚焦位置均在同一焦平面上,这样成像质量才不会降低。从仿真结果看出,聚焦光斑分布在20μm位置,焦平面上的光斑基本呈现出较好的聚焦效果。为验证消色差超构透镜的成像性能,计算消色差超构透镜的实际焦距和聚焦效率值,图5为仿真计算的数值结果。图5(a)是x线偏振光的不同入射波长下对应的实际焦距值,图5(b)为不同入射波长对应的聚焦效率参数。从结果可以看出,消色差设计的超构透镜实际焦距在f=20μm附近,而色散超构透镜的实际焦距出现明显偏移,同时消色差超透镜的聚焦效率均在30%以上,部分达到了60%,该结果可以与主流的非消色差设计的超构透镜相媲美,具有很好的聚焦成像功能。
图6是本发明设计的基于右旋偏振光宽带消色差聚焦成像的效果图,同样包括在1μm、1.05μm、1.1μm、1.15μm、1.2μm、1.25μm波长下计算的xz方向的光强分布图和焦平面位置的xy方向的光强分布图。设计的消色差超透镜的周期为20×20,尺寸为10μm×10μm,焦距为20μm,右旋圆偏振光消色差聚焦的原理和x线偏振光类似,通过引入几何相位来调制圆偏振光的相位特性,几何相位体现在结构的旋转角度,因此不同周期位置的相位为传输相位与几何相位的混合叠加。图7为仿真计算的数值结果,图7(a)是右旋圆偏振光的不同入射波长下对应的实际焦距值,图7(b)为不同入射波长对应的聚焦效率参数。从结果可以看出,消色差设计的超构透镜实际焦距在f=20μm附近,同时聚焦效率均在30%以上,具有很好的聚焦成像功能。
图8所示为结构的局部放大图像,结构包括四个模块的组合,其中x线偏振消色差超透镜通过优化纳米柱的长、宽尺寸实现目标波长处的相位匹配;y线偏振消色差超透镜由x线偏振的单元结构绕其对称中心旋转90°实现;45°线偏振消色差超透镜由x线偏振的单元结构绕其对称中心旋转45°实现;右旋圆偏振消色差超透镜引入几何相位,通过优化纳米柱的长、宽和旋转角实现对目标波长处的相位匹配;整体结构之间相邻连接,每个模块分别对敏感的偏振基矢聚焦成像。
为验证该结构的可行性和通用性,首先入射了四组宽带的偏振光,分别为x线偏振、y线偏振、45°线偏振和右旋圆偏振光。这几组偏振光对应设计的四组偏振基矢,因此可以很好的检测模型的串扰情况。图9为焦平面位置的不同偏振光在不同波长处的聚焦情况。从结果可以得到,x线偏振光和y线偏振光入射时均在目标位置有较强的光斑,而在45°线偏和右旋圆偏位置光强大致为一半;45°线偏振光和右旋圆偏振光入射时在对应位置同样有一个较强光斑,而在其他位置由于能量的正交分解,光强减少为一半。该结果与理论预期的结果一致。
为表征入射光的矢量偏振特性,我们将斯托克斯参数计算公式改成如下形式:
Figure BDA0003902682730000091
其中,Ix、Iy表示x偏振光和y偏振光的光强,I45°表示线偏振光的光强,IR表示右旋圆偏振光的光强,从该公式看出,仅需要四个不同的偏振基矢的光强信息就可以完全重建入射光的全斯托克斯参数。因此入射了16组任意斯托克斯参数的偏振光,并记录其在焦平面位置的光强信息。通过监视器能量场的积分运算和误差补偿机制,重建出了16组偏振光的全斯托克斯参数结果,图10所示为依据监视器得到的焦平面的四组不同偏振基矢的光强数据,计算的所有斯托克斯参数结果,其中空心圆表示入射的理论斯托克斯参数结果,实心圆代表不同波长下重建的斯托克斯参数结果。可以看出,16组结果的重建值与理论预期值基本一致,且宽带内的任意波长下的重建结果与理论值的误差保持在2%以内,结果具备一致性。

Claims (7)

1.一种基于消色差超透镜的宽带全斯托克斯矢量偏振检测器件,其特征在于所述偏振检测器件包括二氧化硅衬底和设置在二氧化硅衬底上的亚波长单元结构,其中:所述亚波长单元结构由四个模块组成,分别为x线偏振消色差超透镜、y线偏振消色差超透镜、45°线偏振消色差超透镜和右旋圆偏振消色差超透镜。
2.根据权利要求1所述的基于消色差超透镜的宽带全斯托克斯矢量偏振检测器件,其特征在于所述四个基本模块之间相邻组合,构成一个超像素单元,聚焦波长为1μm-1.25μm的宽带范围,入射光在该宽带范围内任意波长的焦距相同。
3.根据权利要求1所述的基于消色差超透镜的宽带全斯托克斯矢量偏振检测器件,其特征在于所述亚波长单元结构为硅介质矩形纳米柱结构。
4.根据权利要求3所述的基于消色差超透镜的宽带全斯托克斯矢量偏振检测器件,其特征在于所述硅介质矩形纳米柱的高度为750nm,亚波长单元结构周期小于工作波长。
5.根据权利要求1所述的基于消色差超透镜的宽带全斯托克斯矢量偏振检测器件,其特征在于所述四个模块为周期20×20、尺寸10μm×10μm的方形结构,每个模块的焦距均为f=20μm,四种偏振光分量同时聚焦在焦平面中心位置。
6.根据权利要求1所述的基于消色差超透镜的宽带全斯托克斯矢量偏振检测器件,其特征在于所述四个基本模块由利用粒子群优化算法搜索得到的不同长、宽尺寸矩形纳米柱组成,每个模块的调制相位均通过参数索引实现宽波段同时满足透镜的聚焦相位分布
Figure FDA0003902682720000021
其中w表示频率,f表示透镜的焦距,r为超透镜的尺寸,C(w)表示粒子群优化算法的参数。
7.根据权利要求1所述的基于消色差超透镜的宽带全斯托克斯矢量偏振检测器件,其特征在于所述x线偏振消色差超透镜通过粒子群优化算法优化纳米柱的长、宽尺寸实现目标波长处的相位匹配,单元结构的转角为0;y线偏振消色差超透镜由x线偏振的单元结构绕其对称中心顺时针旋转90°实现;45°线偏振消色差超透镜由x线偏振的单元结构绕其对称中心顺时针旋转45°实现;右旋圆偏振消色差超透镜引入几何相位,通过粒子群优化算法优化纳米柱的长、宽和旋转角度实现对目标波长处的相位匹配。
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