CN115488426A - 摆动装置及其控制方法、进给总成、线切割机 - Google Patents

Abstract

本发明涉及线切割技术领域，具体涉及一种摆动装置及其控制方法、进给总成、线切割机。本申请旨在解决现有摆动装置存在的稳定性差、精度低的问题。为此目的，本申请的摆动装置包括：第一摆动板和第二摆动板，第二摆动板位于第一摆动板的下方，且第二摆动板用于连接晶托；从动齿部，从动齿部设置于第二摆动板；第一驱动部和第一主动齿轮，第一驱动部设置于第一摆动板，且第一驱动部与第一主动齿轮连接，第一主动齿轮与从动齿部啮合；第二驱动部和第二主动齿轮，第二驱动部设置于第一摆动板，且第二驱动部与第二主动齿轮连接，第二主动齿轮与从动齿部啮合。本申请可以提高摆动装置的摆动稳定性和摆动精度，降低生产成本。

Description

摆动装置及其控制方法、进给总成、线切割机

技术领域

本发明涉及线切割技术领域，具体涉及一种摆动装置及其控制方法、进给总成、线切割机。

背景技术

多线切割是一种通过金属丝的高速往复运动，把磨料带入待切割件的加工区域进行研磨，将硬脆材料一次同时切割为数百片薄片的一种切割加工方法。多线切割在线切割机上实现，举例而言，线切割机的运行时，待切割件自上向下进给运动，线网在高速旋转过程中把待切割件切割成多个切片。

为了提高对高硬度待切割件的切割效率和切割质量，部分线切割机在进给总成上设置摆动装置，通过摆动装置自身摆动的同时带动位于其下部的待切割件一起摆动，来实现对待切割件的摆动切割。摆动装置通常采用皮带传动或齿轮传动的形式实现，但是，目前摆动装置仍存在传动精度低或者传动稳定性差的问题，不利于切割质量的提升。

相应地，本领域需要一种新的技术方案来解决上述问题。

发明内容

为了解决现有技术中的上述至少一个问题，即为了解决现有摆动装置存在的稳定性差、精度低的问题，本申请第一方面提供了一种摆动装置，包括：

第一摆动板和第二摆动板，所述第二摆动板位于所述第一摆动板的下方，且所述第二摆动板用于连接晶托；

从动齿部，所述从动齿部设置于所述第二摆动板；

第一驱动部和第一主动齿轮，所述第一驱动部设置于所述第一摆动板，且所述第一驱动部与所述第一主动齿轮连接，所述第一主动齿轮与所述从动齿部啮合；

第二驱动部和第二主动齿轮，所述第二驱动部设置于所述第一摆动板，且所述第二驱动部与所述第二主动齿轮连接，所述第二主动齿轮与所述从动齿部啮合。

通过设置两个驱动部和两个主动齿轮，并将两个主动齿轮同时与从动齿部相啮合，可以提高摆动装置的摆动稳定性和摆动精度，降低生产成本。具体地，由于设置有两个驱动部和两个主动齿轮，因此在摆动过程中可以通过对其中一个驱动部进行伺服补偿，有利于实现主动齿轮与从动齿部间的传动消隙，提高摆动稳定性和摆动精度。

在上述摆动装置的优选技术方案中，所述第一主动齿轮与所述第二主动齿轮并排设置。

通过第一主动齿轮与第二主动齿轮并排设置，使得摆动装置的结构紧凑，提高摆动装置的工作过程稳定。

在上述摆动装置的优选技术方案中，所述第一主动齿轮与所述第二主动齿轮相同。

通过第一主动齿轮与第二主动齿轮相同设置，可以提高摆动过程的稳定性和传动一致性。

在上述摆动装置的优选技术方案中，所述第一主动齿轮与所述第二主动齿轮的宽度之和小于等于所述从动齿部的宽度。

通过第一主动齿轮与第二主动齿轮的宽度之和小于从动齿部的宽度，可以使得两个主动齿轮与从动齿部完全接触，提高传动效率。

在上述摆动装置的优选技术方案中，所述第一驱动部固定设置于所述第一摆动板的上侧面，所述第一摆动板上设置有第一通孔，所述第一主动齿轮伸入所述第一通孔与所述从动齿轮啮合。

通过将第一驱动部固定设置在第一摆动板的上侧面，方便第一驱动部的安装，且降低了摆动装置的结构复杂度。

在上述摆动装置的优选技术方案中，所述第一摆动板上固定连接有第一支座，所述第一驱动部固定连接于所述第一支座。

通过采用第一支座安装第一驱动部，可以提高第一驱动部的安装稳定性。

在上述摆动装置的优选技术方案中，所述第二驱动部固定设置于所述第一摆动板的上侧面，所述第二主动齿轮伸入所述第一通孔与所述从动齿轮啮合。

通过将第二驱动部固定设置在第一摆动板的上侧面，方便第二驱动部的安装，且降低了摆动装置的结构复杂度。

在上述摆动装置的优选技术方案中，所述第一摆动板上固定连接有第二支座，所述第二驱动部固定连接于所述第二支座。

通过采用第二支座安装第二驱动部，可以提高第二驱动部的安装稳定性。

在上述摆动装置的优选技术方案中，所述第一驱动部与所述第二驱动部相对于所述第一摆动板的上侧面呈中心对称设置。

通过第一驱动部与第二驱动部中心对称设置，可以降低摆动装置工作过程中的振动，提高摆动装置的工作稳定性。

在上述摆动装置的优选技术方案中，所述从动齿部包括本体和齿结构，所述本体的下部连接于所述第二摆动板，所述本体的顶部为弧形，所述齿结构形成于所述本体的顶部；或者

所述从动齿部包括本体和弧形齿条，所述本体的下部连接于所述第二摆动板，所述本体的顶部为弧形，所述弧形齿条固定连接于所述本体的顶部；或者

所述从动齿部为弧形齿条，所述弧形齿条固定连接于所述第二摆动板的上侧面。

在上述摆动装置的优选技术方案中，所述摆动装置还包括导向机构，所述导向机构连接于所述第一摆动板与所述第二摆动板之间，用于在所述第二摆动板摆动时进行导向。

通过设置导向机构，可以在摆动装置摆动过程中提供导向，提高摆动装置的摆动精度和摆动稳定性。

在上述摆动装置的优选技术方案中，所述导向机构包括弧形导轨和弧形滑槽，所述弧形导轨与所述弧形滑槽中的一个固定连接于所述第一摆动板的下侧面，另一个固定连接于所述第二摆动板的上侧面；或者

所述导向机构包括弧形导轨和滑块，所述弧形导轨与所述滑块中的一个固定连接于所述第一摆动板的下侧面，另一个固定连接于所述第二摆动板的上侧面。

在上述摆动装置的优选技术方案中，所述导向机构设置有两个，两个所述导向机构设置在所述从动齿部的两侧。

通过设置两个导向机构，可以提高导向稳定性。

在上述摆动装置的优选技术方案中，两个所述导向机构相对于所述第二摆动板的上侧面呈中心对称设置。

通过两个导向机构中心对称设置，可以提高摆动装置的摆动一致性，从而提高摆动装置的工作稳定性。

在上述摆动装置的优选技术方案中，所述摆动装置还包括装夹组件，所述装夹组件连接于所述第二摆动板，所述装夹组件用于与晶托配合连接。

在上述摆动装置的优选技术方案中，所述装夹组件包括装夹板和设置于所述装夹板底部的装夹轨道，所述装夹板固定连接于所述第二摆动板，所述装夹轨道用于与晶托配合连接。

在上述摆动装置的优选技术方案中，所述装夹组件还包括限位板，所述限位板设置于所述装夹板的下侧面一端，用于在晶托的长度方向对晶托进行限位。

通过设置限位板，可以提高晶托的定位精度，从而提高切割精度。

在上述摆动装置的优选技术方案中，所述装夹组件还包括限位杆，所述限位杆设置于所述装夹板的下侧面的一侧且沿所述装夹板的长度方向延伸，所述限位杆用于在晶托的宽度方向上对晶托进行限位。

通过设置限位杆，可以提高晶托的定位精度，使得装夹组件具备防呆功能。

在上述摆动装置的优选技术方案中，所述摆动装置还包括夹紧机构，所述夹紧机构设置于所述第二摆动板，所述夹紧机构用于夹紧晶托。

通过设置夹紧机构，可以夹紧晶托，提高切割质量和切割效果。

在上述摆动装置的优选技术方案中，所述夹紧机构包括推动部和夹紧部，所述推动部与所述夹紧部连接，所述推动部能够直接或间接地推动所述夹紧部沿直线方向移动，以夹紧或松开晶托。

通过设置推动部和夹紧部，可以简单地实现对晶托的夹紧。

在上述摆动装置的优选技术方案中，所述夹紧机构还包括传动部，所述推动部与所述传动部连接，所述传动部与所述夹紧部连接，所述推动部能够推动所述传动部动作，以便所述传动部带动所述夹紧部沿直线方向移动。

通过设置传动部，有利于夹紧机构的空间灵活布局，提高了摆动装置的结构紧凑性，降低生产成本。

在上述摆动装置的优选技术方案中，所述夹紧机构还包括基座，所述基座固定连接于所述第二摆动板，所述推动部、所述传动部和所述夹紧部中的至少一个设置于所述基座。

通过将推动部、传动部和夹紧部中的至少一个设置在基座上，可以实现上述部件的有效固定。

在上述摆动装置的优选技术方案中，所述夹紧机构设置有两个，两个所述夹紧机构设置在所述从动齿部的两侧。

通过设置两个夹紧机构，可以提高对晶托的夹紧效果。

在上述摆动装置的优选技术方案中，两个所述夹紧机构相对于所述第二摆动板的上侧面呈中心对称设置。

通过两个夹紧机构中心对称设置，可以提高摆动装置的夹紧一致性，从而提高摆动装置的工作稳定性。

本申请第二方面提供了一种进给总成，所述进给总成包括滑板箱和上述第一方面的技术方案中任一项所述的摆动装置，所述摆动装置设置于所述滑板箱。

通过在进给总成上设置上述方案中的摆动装置，可以提高进给总成的工作稳定性和工作精度，进而提升切割质量。

在上述进给总成的优选技术方案中，所述滑板箱的底部形成有容纳腔，所述第一摆动板连接于所述滑板箱的底部且所述第一驱动部和所述第二驱动部位于所述容纳腔内。

通过在滑板箱底部形成容纳腔并将第一驱动部和第二驱动部容纳在容纳腔内，可以减小进给总成的体积，实现进给总成的结构紧凑化，降低生产成本。

本申请第三方面提供了一种线切割机，所述线切割机包括上述第一方面的技术方案中任一项所述的摆动装置或上述第二方面中任一项所述的进给总成。

通过在线切割机上采用上述摆动装置或进给总成，可以提高线切割机的工作稳定性，提升切割质量。

本申请第四方面提供了一种摆动装置的控制方法，所述摆动装置包括第一摆动板、第二摆动板、第一驱动部、第一主动齿轮、第二驱动部、第二主动齿轮以及从动齿部，所述第一驱动部与所述第一主动齿轮连接，所述第二驱动部与所述第二主动齿轮连接，所述第一主动齿轮和所述第二主动齿轮同时与所述从动齿部啮合，

所述控制方法包括：

控制所述第一驱动部和所述第二驱动部启动并朝相同方向转动；

控制所述第一驱动部转动第一预设角度后停止转动；

控制所述第二驱动部转动第二预设角度后降速转动、停止转动或反向转动，以使得第二主动齿轮与所述从动齿部反向贴合；

其中，所述第二预设角度小于等于所述第一预设角度。

通过上述控制方法，可以实现摆动过程的传动消隙，提高摆动装置的摆动稳定性和控制精度。

在上述摆动装置的控制方法的优选技术方案中，所述控制所述第二驱动部转动第二预设角度后降速转动、停止转动或反向转动的步骤进一步包括：

在所述第二驱动部转动第二预设角度后，获取所述第二驱动部的实时转速；

判断所述实时转速与预设速度阈值的大小；

在所述实时转速小于所述速度阈值时，控制所述第二驱动部降速转动、停止转动或反向转动。

通过上述控制方法，可以在第二驱动部的实时转速趋近于零的时候控制第二驱动部降速转动、停止转动或反向转动，提高摆动控制精度，减小第二驱动部的反向贴合对摆动的影响，降低能耗。

本申请第五方面提供了一种摆动装置的控制方法，所述摆动装置包括第一摆动板、第二摆动板、第一驱动部、第一主动齿轮、第二驱动部、第二主动齿轮以及从动齿部，所述第一驱动部与所述第一主动齿轮连接，所述第二驱动部与所述第二主动齿轮连接，所述第一主动齿轮和所述第二主动齿轮同时与所述从动齿部啮合，

所述控制方法包括：

获取所述第一驱动部的第一扭矩和所述第二驱动部的第二扭矩；

计算所述第一扭矩与所述第二扭矩之间的差值；

判断所述差值与预设差值阈值大小；

如果所述差值大于所述预设差值阈值，则控制所述第一驱动部和所述第二驱动部中扭矩较小的驱动部提高转速[提高一下或者一直提高]，以使得调整后的所述第一驱动电机的扭矩与所述第二驱动电机的扭矩之差小于所述差值阈值。

通过上述控制方法，有利于实现传动过程的传动消隙，提高摆动装置的摆动稳定性和控制精度。

附图说明

下面参照附图来描述本申请的摆动装置及其控制方法、进给总成、线切割机。附图中：

图1为本申请的摆动装置的装配图；

图2为本申请的摆动装置的主视图；

图3为本申请的摆动装置的侧视图；

图4为本申请的夹紧机构的装配图；

图5为本申请的夹紧机构中推动部和传动部的装配图；

图6为本申请的夹紧部的结构图；

图7为本申请的夹紧机构在推动部处的侧剖图；

图8为本申请的夹紧机构在夹紧部处的侧剖图；

图9为本申请的夹紧机构的主视剖视图；

图10为本申请的夹紧机构的工作原理图(一)；

图11为本申请的夹紧机构的工作原理图(二)；

图12为本申请的进给总成的装配图；

图13为本申请的进给总成的后视图；

图14为本申请的一种摆动装置的控制方法的流程图；

图15为本申请的另一摆动装置的控制方法的流程图。

附图标记列表

10、摆动装置；101、第一摆动板；1011、第一通孔；102、第二摆动板；103、第一驱动部；104、第一主动齿轮；105、第二驱动部；106、第二主动齿轮；107、从动齿部；1071、本体；1072、齿结构；108、导向机构；1081、弧形导轨；1082、弧形滑槽；109、装夹组件；1091、装夹板；1092、装夹轨道；1093、限位板；110、夹紧机构；1101、推动部；11011、活塞；11012、推杆；11013、密封圈；11014、第一沉孔；1102、传动部；11021、第一杆段；11022、第二杆段；11023、第三杆段；11024、第二沉孔；11025、压紧件；1103、夹紧部；11031、夹紧缸座；11032、夹紧缸杆；11033、弹性件；11034、定位件；11035、导向套；11036、螺母；1104、基座；11041、安装孔；11042、第二通孔；11043、凹槽；11044、凸耳；11045、滑孔；1105、限位组件；11051、限位块；11052、螺纹紧固件；111、第一支座；112、第二支座；113、检测组件；1131、位置传感器；1132、角度传感器；114、第一安装架；115、第二安装架；

20、滑板箱；

30、晶托；

40、待切割件。

具体实施方式

下面参照附图来描述本申请的优选实施方式。本领域技术人员应当理解的是，这些实施方式仅仅用于解释本申请的技术原理，并非旨在限制本申请的保护范围。

需要说明的是，在本申请的描述中，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方向或位置关系的术语是基于附图所示的方向或位置关系，这仅仅是为了便于描述，而不是指示或暗示所述装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

此外，还需要说明的是，在本申请的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域技术人员而言，可根据具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。

首先参照图1，对本申请的摆动装置进行描述。

如图1所示，为了解决现有摆动装置10存在的稳定性差、精度低的问题，本申请的摆动装置10包括：第一摆动板101、第二摆动板102、第一驱动部103、第一主动齿轮104、第二驱动部105、第二主动齿轮106和从动齿部107。第二摆动板102可摆动地设置于第一摆动板101的下方，且第二摆动板102用于连接晶托30。从动齿部107设置于第二摆动板102，第一驱动部103和第二驱动部105均设置于第一摆动板101，第一驱动部103与第一主动齿轮104连接，第二驱动部105与第二主动齿轮106连接，第一主动齿轮104和第二主动齿轮106均与从动齿部107啮合。

摆动装置10工作时，第一驱动部103和第二驱动部105启动并正反往复转动，第一驱动部103驱动第一主动齿轮104转动，第二驱动部105驱动第二主动齿轮106转动，第一主动齿轮104和第二主动齿轮106共同带动从动齿部107转动，从动齿部107与第二摆动板102连接，从而第二摆动板102随从动齿部107一起运动，即第二摆动板102相对于第一摆动板101往复摆动。

通过设置两个驱动部和两个主动齿轮，并将两个主动齿轮同时与从动齿部107相啮合，可以提高摆动装置10的摆动稳定性和摆动精度，降低生产成本。具体地，由于设置有两个驱动部和两个主动齿轮，因此在摆动过程中可以通过对其中一个驱动部进行伺服补偿，有助于实现主动齿轮与从动齿部107间的传动消隙，依次提高摆动装置10的摆动稳定性和摆动精度。

下面参照图1至图11，对本申请的摆动装置10的优选实施方式进行介绍。

首先参照图1和图2，在一种优选实施方式中，摆动装置10包括第一摆动板101、第二摆动板102、第一驱动部103、第一主动齿轮104、第二驱动部105、第二主动齿轮106、从动齿部107、导向机构108、装夹组件109、夹紧机构110和检测组件113。

第一摆动板101和第二摆动板102均为长方形板，第二摆动板102位于第一摆动板101的下方。第一驱动部103和第二驱动部105均设置于第一摆动板101，第一主动齿轮104与第一驱动部103连接，第二主动齿轮106与第二驱动部105连接，从动齿部107设置于第二摆动板102，第一主动齿轮104与第二主动齿轮106均与从动齿部107连接。导向机构108设置于第一摆动板101与第二摆动板102之间，导向机构108部分与第一摆动板101连接，部分与第二摆动板102连接。装夹组件109设置于第二摆动板102，用于与晶托30连接，实现晶托30的带载安装。夹紧机构110设置在第二摆动板102，其用于在晶托30安装至装夹组件109后进一步对晶托30进行夹紧操作，以实现晶托30的锁定。检测组件113用于检测夹紧机构110的状态和/或摆动装置10的摆动角度，以便对摆动装置10的状态进行监控。

参见图1至图3，第一驱动部103固定设置于第一摆动板101的上侧面，具体地，第一摆动板101的上侧面固定连接有第一支座111，第一驱动部103固定连接于第一支座111。更具体地，第一驱动部103包括电机和减速器，电机的输出轴与减速器的输入轴连接，减速器固定连接在第一支座111上，减速器的输出轴伸出第一支座111与第一主动齿轮104连接。与此类似地，第二驱动部105固定设置于第一摆动板101的上侧面，第一摆动板101的上侧面固定连接有第二支座112，第二驱动部105固定连接于第二支座112。具体地，第二驱动部105同样包括电机和减速器，电机的输出轴与减速器的输入轴连接，减速器固定连接在第二支座112上，减速器的输出轴穿过第二支座112与第二主动齿轮106连接。第一摆动板101上设置有第一通孔1011，第一主动齿轮104和第二主动齿轮106在第一通孔1011中与从动齿轮相啮合。本申请中，第一通孔1011设置于第一摆动板101的中部且沿第一摆动板101的宽度方向延伸(参见图1)，第一驱动部103与第二驱动部105相对于第一摆动板101的上侧面呈中心对称设置。第一主动齿轮104与第二主动齿轮106结构完全相同，且二者并排设置，设置好后，第一主动齿轮104与第二主动齿轮106的宽度之和小于等于从动齿部107的宽度。

通过将第一驱动部103和第二驱动部105固定设置在第一摆动板101的上侧面，方便第一驱动部103的安装，且降低了摆动装置10的结构复杂度。通过采用第一支座111和第二支座112分别安装第一驱动部103和第二驱动部105，可以提高第一驱动部103的安装稳定性。通过第一驱动部103与第二驱动部105中心对称设置，可以降低摆动装置10工作过程中的振动，提高摆动装置10的工作稳定性。通过第一主动齿轮104与第二主动齿轮106并排设置，使得摆动装置10的结构紧凑，提高摆动装置10的工作过程稳定。通过第一主动齿轮104与第二主动齿轮106相同结构设置，可以提高摆动过程的稳定性和传动一致性。通过第一主动齿轮104与第二主动齿轮106的宽度之和小于从动齿部107的宽度，可以使得两个主动齿轮与从动齿部107完全接触，提高传动效率。

当然，上述第一驱动部103、第二驱动部105、第一主动齿轮104和第二主动齿轮106仅仅为一种较为优选的设置方式，本领域技术人员在不偏离本申请原理的前提下，可以对上述各特征的设置方式进行调整，以便本申请适用于更加具体的应用场景。举例而言，第一主动齿轮104和第二主动齿轮106可以彼此错开设置，只要满足二者同时与从动齿部107相啮合即可。再如，第一主动齿轮104与第二主动齿轮106的结构也可以不完全相同，只要二者均可以与从动齿部107相啮合，本领域技术人员可以任意调整二者的结构形式。再如，第一主动齿轮104与第二主动齿轮106的宽度之和还可以大于从动齿部107的宽度，这种改变并未偏离本申请原理。再如第一驱动部103和第二驱动部105中的一个或全部也可以设置在第一摆动板101的下侧面或外侧边上，只要能够有效固定第一驱动部103和第二驱动部105即可。再如，第一支座111和第二支座112并非必须，第一驱动部103和/或第二驱动部105还可以直接与第一摆动板101相连。再如，第一驱动部103与第二驱动部105中心对称设置仅仅是一种优选的方式，二者还可以采用其他位置关系，如轴对称设置、不对称设置等。

继续参照图1至图3，一种优选实施方式中，从动齿部107包括一体成型的本体1071和齿结构1072，本体1071为板体，本体1071的下部固定连接于第二摆动板102的上侧面，本体1071的顶部为弧形，齿结构1072形成于本体1071的顶部。设置好后，齿结构1072部分伸入第一通孔1011中与第一主动齿轮104和第二主动齿轮106啮合。

通过本体1071与齿结构1072一体成型，能够提升从动齿部107的一体性，提高传动精度，降低故障率。

当然，从动齿部107的具体设置方式并非唯一，一种可替换实施方式中，从动齿部107包括本体1071和弧形齿条，本体1071的下部固定连接于第二摆动板102，本体1071的顶部为弧形，弧形齿条通过螺接、销钉连接等方式固定连接于本体1071的顶部。另一种可替换的实施方式中，也可以省略本体1071的设置，即从动齿部107只包括弧形齿条，弧形齿条固定连接于第二摆动板102的上侧面，此时第一主动齿轮104和第二主动此轮可以穿过第一通孔1011与弧形齿条相啮合。

参照图1和图2，导向机构108连接于第一摆动板101与第二摆动板102之间，用于在第二摆动板102摆动时进行导向。具体地，导向机构108包括弧形导轨1081和弧形滑槽1082，弧形导轨1081与弧形滑槽1082中的一个固定连接于第一摆动板101的下侧面，另一个固定连接于第二摆动板102的上侧面。本申请中，弧形滑槽1082与第一摆动板101的下侧面固定连接，弧形导轨1081与第二摆动板102的上侧面固定连接，弧形导轨1081***到弧形滑槽1082中。优选地，导向机构108设置有两个，两个导向机构108设置在从动齿部107的两侧，且两个导向机构108相对于第二摆动板102的上侧面呈中心对称设置。

通过设置导向机构108，可以在摆动装置10摆动过程中提供导向，提高摆动装置10的摆动精度和摆动稳定性。通过设置两个导向机构108，可以提高导向稳定性。通过两个导向机构108中心对称设置，可以提高摆动装置10的摆动一致性，从而提高摆动装置10的工作稳定性。

当然，导向机构108的设置方式并非一成不变，本领域技术人员可以对其设置方式进行调整。例如，一种可替换实施方式中，导向机构108包括弧形导轨1081和滑块，弧形导轨1081与滑块中的一个固定连接于第一摆动板101的下侧面，另一个固定连接于第二摆动板102的上侧面。再如，导向机构108的数量还可以为一个、三个或者更多，本领域技术人员可以根据摆动装置10的大小和布局空间灵活选择。再如，导向机构108为多个时，多个导向机构108既可以设置在从动齿部107的两侧，也可以同时设置在从动齿部107的同一侧，并且多个导向机构108设置在从动齿部107的两侧时，可以中心对称设置，也可以非对称设置。

继续参照图1至图3，装夹组件109连接于第二摆动板102，装夹组件109用于与晶托30配合连接。具体地，装夹组件109包括装夹板1091和装夹轨道1092，装夹板1091通过螺接、焊接、铆接等方式固定连接于第二摆动板102的下侧面，装夹轨道1092用于与晶托30配合连接，其设置于装夹板1091的底部。本申请中，装夹轨道1092设置有两个，两个轨道对称设置，设置好后，两个装夹轨道1092与装夹板1091之间围设形成安装空间，晶托30的上部可以插设并卡置在该安装空间内。装夹组件109还包括限位板1093和限位杆(图中未示出)，限位板1093设置于装夹板1091的下侧面一端，用于在晶托30安装过程中在晶托30的长度方向对晶托30进行限位。限位杆设置于装夹板1091的下侧面的一侧且沿装夹板1091的长度方向延伸，相应地晶托30的顶面上开设有限位槽，在晶托30安装过程中，晶托30顶面的限位槽与限位杆滑动配合，从而在晶托30的宽度方向上对晶托30进行限位。

通过设置限位板1093，可以提高晶托30的定位精度，从而提高切割精度。通过设置限位杆，可以提高晶托30的定位精度，使得装夹组件109具备防呆功能。

当然，装夹组件109的具体设置方式并非唯一，本领域技术人员可以对其设置方式进行调整，这种调整并未偏离本申请的原理。举例而言，装夹组件109可以不包括装夹板1091，而是将装夹轨道1092直接固定连接在第二摆动板102上。再如，限位板1093和限位杆的设置并非必须，本领有技术人员可以根据实际应用场景来选择是否保留。

接下来参照图4至图11，对夹紧机构110进行详细介绍。

如图1和图4所示，夹紧机构110设置于第二摆动板102，夹紧机构110用于夹紧晶托30。具体地，夹紧机构110设置有两个，两个夹紧机构110设置在从动齿部107的两侧，且相对于第二摆动板102的上侧面呈中心对称设置。每个夹紧机构110包括推动部1101、传动部1102、夹紧部1103、基座1104和限位组件1105，基座1104设置于第二摆动板102的上侧面并与第二摆动板102连接，推动部1101、传动部1102、夹紧部1103和限位组件1105均设置于基座1104上。推动部1101与传动部1102连接，传动部1102与夹紧部1103连接，推动部1101能够推动传动部1102动作，以便传动部1102带动夹紧部1103沿直线方向移动，以夹紧或松开晶托30，并且推动部1101的推动方向与夹紧部1103的移动方向具有夹角，本申请中，推动部1101的推动方向为水平方向，夹紧部1103的移动方向为竖直方向，也即二者之间的夹角为直角。传动部1102能够将推动部1101的水平推力转化为竖直推力来推动夹紧部1103移动。

具体地，参见图4、图5和图7，推动部1101包括活塞11011、推杆11012和密封圈11013。活塞11011可移动地设置于基座1104，活塞11011的第一端与动力源连接，第二端与传动部1102连接。具体地，基座1104的第一侧面设置有安装孔11041，活塞11011可移动地设置于安装孔11041内。安装孔11041的底部封闭，活塞11011的外周侧套设有密封圈11013，活塞11011通过该密封圈11013可密封滑动地安装在安装孔11041内。基座1104上还设置有与安装孔11041的封闭端连通的第二第二通孔11042，安装孔11041的封闭端通过第二通孔11042与动力源连通。优选地，动力源为气泵，气泵通过气管与第二通孔11042连通，气泵启动运行时，在气压的作用下，活塞11011被推动并沿安装孔11041滑动。推杆11012的两端分别与传动部1102和活塞11011连接，具体地，活塞11011上开设有第一沉孔11014，传动部1102上开设有第二沉孔11024，推杆11012的两端分别抵接在第一沉孔11014的孔底和第二沉孔11024的孔底。在活塞11011被推动时，活塞11011带动推杆11012移动，推杆11012推动传动部1102动作。优选地，推动部1101设置有两个，两个推动部1101并排设置于基座1104的同一侧面，且两个推动部1101的活塞11011同时与传动部1102连接。

通过夹紧机构110设置推动部1101、传动部1102和夹紧部1103，有利于夹紧机构110的空间灵活布局，提高了夹紧机构110的结构紧凑性，降低了生产成本。具体地，推动部1101的推动方向与夹紧部1103的移动方向具有夹角的设置方式，使得推动部1101与夹紧部1103可以不设置在同一直线上，而是借助传动部1102传动连接，在实现夹紧动作的同时，减小对空间的占用，提升夹紧机构110的结构紧凑性，降低生产成本。通过设置两个推动部1101，可以通过两个推动部1101同时推动传动部1102实现更好的夹紧或松开效果，同时减少推动部1101的整体空间占用。

通过将推动部1101、传动部1102和夹紧部1103同时设置在基座1104上，有利于实现上述部件的有效固定，有利于夹紧机构110独自形成产品，整体安装。通过设置活塞11011，可利用活塞11011相对于基座1104的移动来推动传动部1102，实现夹紧部1103的移动。通过设置两个夹紧机构110，可以提高对晶托30的夹紧效果。通过两个夹紧机构110中心对称设置，可以提高摆动装置10的夹紧一致性，从而提高摆动装置10的工作稳定性。通过将活塞11011可移动地设置在安装孔11041内，可以同时实现活塞11011的安装和动作。通过将活塞11011直接可密封滑动地安装在安装孔11041内，可以利用安装孔11041作为活塞11011活动的腔体，大幅降低夹紧机构110的结构复杂度。通过动力源为气源或液压泵，可以利用气压来实现活塞11011的有效移动。通过设置推杆11012，可以实现活塞11011与传动部1102之间的动力传动。通过将推杆11012的两端抵接在第一沉孔11014的孔底和第二沉孔11024的孔底，可以提高夹紧机构110的结构紧凑性，降低夹紧机构110的体积。

参见图4、图5和图8，传动部1102包括连杆，连杆可枢转地设置在基座1104上，连杆的第一端与活塞11011的第二端连接，连杆的第二端与夹紧部1103连接。具体地，连杆包括依次连接的第一杆段11021、第二杆段11022和第三杆段11023，第一杆段11021的第一端与第三杆段11023连接，第一杆段11021的第二端与第二杆段11022的第一端连接，第二杆段11022的第二端与夹紧部1103连接。两个推动部1101分别位于第一杆段11021的两侧，第三杆段11023沿两个推动部1101的连线方向延伸设置，且第三杆段11023由第一杆段11021的第一端向第一杆段11021的两侧延伸形成。每个第三杆段11023远离第一杆段11021的一端设置有第二沉孔11024，第二沉孔11024与推杆11012的一端连接。

第一杆段11021与第二杆段11022的连接部位上设置有第一枢转结构，基座1104上设置有第二枢转结构，第一枢转结构与第二枢转结构枢转连接。具体地，基座1104的顶面中部开设有凹槽11043，凹槽11043的两侧壁向外伸出两个凸耳11044，凸耳11044上设置有第二枢转结构。优选地，第一枢转结构为第一枢转孔，第二枢转结构为第二枢转孔，第一枢转孔与第二枢转孔之间通过枢转轴连接。在活塞11011推动第三杆段11023时，连杆绕枢转轴枢转，第一杆段11021和第三杆段11023向上枢转，带动第二杆断向下枢转。

第二杆段11022的第二端还设置有压紧件11025，连杆通过压紧件11025与夹紧部1103连接。具体地，压紧件11025为滚轮，滚轮上设置有第一连接结构，连杆的第二端设置有安装位，安装位上设置有第二连接结构，第一连接结构与第二连接结构连接，实现滚轮可转动地连接于连杆的第二端。优选地，安装位为通槽，第一连接结构为第一轴孔，第二连接结构为第二轴孔，第一轴孔与第二轴孔之间通过转轴连接，使得滚轮可转动地嵌设在通槽中。

传动部1102设置为连杆，可以利用连杆的枢转实现动力传动，来实现夹紧部1103的移动。通过设置第一杆段11021和第二杆段11022，有利于提高夹紧机构110的结构紧凑性。通过连杆的第二端设置压紧件11025，可以利用压紧件11025对夹紧部1103进行抵压，提高夹紧机构110的工作稳定性。通过将压紧件11025设置为滚轮，可以减少压紧件11025与夹紧部1103抵压过程的摩擦，提升抵压过程的稳定性。通过设置第三杆段11023，有利于提高两个推动部1101与连杆的连接稳定性。通过推动部1101设置在第一杆段11021两侧，使得推动过程连杆的受力均匀，有利于提升夹紧装置的工作稳定性。

参照图4和图8，限位组件1105设置于基座1104上，用于限制连杆的枢转角度。具体地，限位组件1105包括限位块11051和过问紧固件11052，限位块11051固定连接于基座1104，限位块11051上开设有螺纹孔，过问紧固件11052螺接于螺纹孔并与第一杆段11021的第一端相对设置。本申请中，过问紧固件11052为内六角丝堵，其螺接于限位块11051上的螺纹孔内。安装好后，限位块11051与基座1104之间具有一定距离，第一杆段11021的第一端相对于第三杆段11023下延的部分能够在该空间内移动。调节内六角丝堵伸入螺纹孔内的长度，可以调节第一杆段11021枢转时的移动距离。

通过设置限位组件1105，可以利用限位组件1105限制连杆的枢转角度来控制连杆向下抵压夹紧部1103的程度，实现夹紧力度的调节。

参照图4、图6、图8和图9，夹紧部1103包括夹紧缸座11031、夹紧缸杆11032、弹性件11033、定位件11034、导向套11035和螺母11036。具体地，夹紧缸座11031固定连接于基座1104上，更为具体地，第二摆动板102对应夹紧部1103的位置设置有过孔，夹紧缸座11031、基座1104和装夹板1091之间通过紧固件连接到一起。如图9所示，装夹板1091上开设有沉头孔，夹紧缸座11031底部开设有通孔，基座1104底部开设有螺纹孔，内六角螺栓穿过装夹板1091和夹紧缸座11031后螺接于基座1104底部的螺纹孔中，从而实现将夹紧缸座11031、基座1104和装夹板1091固定连接在一起。

夹紧缸杆11032的第一端设置有夹紧结构，夹紧缸杆11032的第二端与传动部1102连接，夹紧缸杆11032可滑动地设置于夹紧缸座11031，且夹紧结构伸出夹紧缸座11031。具体地，夹紧结构为倒T形杆，基座1104上开设有滑孔11045，夹紧缸座11031固定连接于滑孔11045的一端，夹紧缸杆11032的第二端伸入滑孔11045内。定位件11034固定连接于夹紧缸杆11032上，弹性件11033的两端分别抵接于定位件11034和夹紧缸座11031上，在传动部1102带动夹紧部1103沿直线方向移动时，弹性件11033储存弹性势能。优选地，夹紧缸杆11032的第二端设置有轴肩，定位件11034为垫片，垫片抵接于轴肩并通过螺母11036螺接于夹紧缸杆11032的第二端而锁紧在夹紧缸杆11032上。优选地，弹性件11033为碟簧，且碟簧设置有多个，多个碟簧套设在夹紧缸杆11032上且套设好后，碟簧位于定位件11034与夹紧缸座11031之间。

导向套11035固定套设于夹紧缸杆11032的第二端，且导向套11035的外壁与滑孔11045的内壁相匹配。优选地，导向套11035穿设在夹紧缸杆11032的第二端且覆盖部分螺母11036，穿设好后夹紧缸杆11032的第二端采用弹性卡环将导向套11035卡紧。参照图8，在设置好的情况下，滚轮的底部抵接在夹紧缸杆11032的顶端。

通过设置弹性件11033，可以利用弹性件11033实现夹紧部1103的自动回位，尤其当推动部1101用于退出夹紧缸杆11032时，可以利用弹性件11033的弹性势能释放实现夹紧部1103的自动回位，来夹紧晶托30，无需额外引入动力机构对晶托30夹紧，设置方式简单实用。通过将夹紧缸座11031固定连接在滑孔11045的一端，有利于实现夹紧部1103的固定。通过设置导向套11035，可以对夹紧缸杆11032提供导向，提高夹紧缸杆11032的移动稳定性。

下面参照图4、图8、图10和图11，对夹紧机构110的动作原理进行简要介绍。

当需要安装晶托30时，控制气泵启动运行，气压通过第二通孔11042进入安装孔11041内并推动活塞11011向外移动。活塞11011通过推杆11012推动第三杆段11023，进而第三杆段11023向上枢转，第二杆段11022向下枢转。第二杆段11022向下枢转的过程中，滚轮向下抵压夹紧缸杆11032的顶部，夹紧缸杆11032在导向套11035的导向作用下向下移动，倒T形杆向下移动，碟簧被压缩产生弹性形变，此时可以通过晶托30上的倒T型槽与倒T形杆的配合，并借助装夹轨道1092和限位杆的导向作用将晶托30滑动卡接至装夹板1091上。晶托30安装到位后，控制器泵停止运行，碟簧释放弹性势能带动夹紧缸杆11032向上移动，倒T形杆带动晶托30一同向上移动，最终晶托30被夹紧在装夹板1091的底面。

当然，上述夹紧机构110仅仅为一种优选技术方案，本领域技术人员可以理解的是，夹紧机构110的实施方式并非唯一，只要能够实现对晶托30的有效夹紧的机构，均可以对上述夹紧机构110进行替换。

举例而言，虽然上述夹紧机构110是结合包括推动部1101、传动部1102、夹紧部1103、基座1104和限位组件1105进行介绍的，但是夹紧机构110的结构不只限于此，本领域技术人员可以对其替换，只要替换后的夹紧机构110能够实现对晶托30的夹紧即可。例如，夹紧机构110只包括推动部1101和夹紧部1103，更具体地，夹紧机构110为气缸或液压缸。再如，夹紧机构110可以只包括推动部1101、传动部1102和夹紧部1103，三者各自固定在第一摆动板101或第二摆动板102上，从而省略基座1104的设置。再如，夹紧机构110的数量并非唯一，其还可以设置一个、三个或者更多。

再如，推动部1101虽然是结合活塞11011、推杆11012和密封圈11013进行介绍的，但是其结构和设置方式并非唯一，例如推动部1101还可以包括缸体和活塞11011，缸体固定嵌设在安装孔11041内。再如，推杆11012还可以省略等。再如，第一沉孔11014和第二沉孔11024中的一个或者全部可以省略不设置。再如，虽然上述动力源是结合气泵描述的，但是该动力源并非限制性的，本领域技术人员还可以进行替换，如替换为液压泵等。再如，推动部1101虽然是结合两个进行介绍的，但是其数量并非唯一，如其设置数量还可以为一个、三个或更多。

再如，连杆的结构并非唯一，其还可以只包括第一杆段11021、或者只包括第一杆段11021和第二杆段11022等。第一枢转结构除设置在第一杆段11021与第二杆段11022的连接部位外，还可以设置在第一杆段11021、第二杆段11022上。此外，第一枢转结构和第二枢转结构并非唯一，例如第一枢转结构还可以为枢转孔，第二枢转结构为枢转轴，枢转孔套设于枢转轴。或者第一枢转结构为枢转轴，第二枢转结构为枢转孔，枢转轴插设于枢转孔。再如，推动部1101的推动方向与夹紧部1103的移动方向除了垂直外，还可以是任意角度，或者二者移动方向相反。例如，连杆水平设置，推动部1101向上推动连杆的一端，连杆的另一端向下枢转并抵压夹紧部1103。再如，虽然第二杆段11022的第二端内设置有压紧件11025，但是压紧件11025并非必须，其结构也并非只限于滚轮，例如压紧件11025还可以为压块、滚珠等。再如，第一连接结构与第二连接结构的形式并非唯一，二者还可以调整。如第一连接结构为轴孔，第二连接结构为转轴，轴孔套设于转轴；或者第一连接结构为转轴，第二连接结构为轴孔，转轴插设于轴孔。再如，安装位除了通槽外，还可以为凸起结构或阶梯面。

再如，限位组件1105可以不设置，或者其设置方式可以调整。如限位块11051的设置位置可以调整，过问紧固件11052除内六角丝堵外，还可以为螺栓等。

再如，夹紧部1103的设置方式并非唯一，在能够满足与晶托30有效连接的前提下，其设置方式本领域技术人员可以调整。如夹紧机构110除了倒T形杆外，还可以为梯形杆。再如，在满足夹紧部1103包括夹紧缸杆11032的前提下，其他部件可以选择性地省略。如夹紧部1103可以只包括夹紧缸杆11032，夹紧缸杆11032与连杆的第二端可以传动连接，使得连杆的枢转运动可以带动夹紧缸杆11032上升和下降，在上升时夹紧晶托30，下降时松开晶托30。再如，弹性件11033除多个碟簧外，还可以为压缩弹簧，压缩弹簧的两端分别抵接于定位件11034和夹紧缸座11031上。夹紧缸座11031除与基座1104和装夹板1091三者固定到一起外，还可以单独与基座1104固定。再如，一种替换实施方式中，导向套11035还可以与螺母11036合二为一设置。

当然，在其他实施方式中，夹紧机构110也可以省略不设置。

参照图2和图3，检测组件113设置于第二摆动板102，用于检测摆动装置10的摆动角度和/或夹紧机构110的状态。具体地，检测组件113包括位置传感器1131和角度传感器1132，位置传感器1131设置于第二摆动板102，用于检测夹紧机构110的状态，角度传感器1132设置于第二摆动板102，用于检测摆动装置10的摆动角度。

位置传感器1131通过检测传动部1102的位置来检测夹紧机构110的状态。优选地，位置传感器1131设置于第二摆动板102的上侧且位于第二摆动板102沿其长度方向的一端，夹紧机构110的第三杆段11023朝向外侧，位置传感器1131与第三杆段11023的端部对应设置。第二摆动板102的上侧设置有第一安装架114，位置传感器1131固定于第一安装架114。其中，第一安装架114为L形板，L形板的横板通过螺栓、焊接或铆接等方式固定于第二摆动板102的上侧，位置传感器1131通过螺接、卡接等方式固定于L形板的竖板。本申请中，检测组件113包括两个位置传感器1131，两个位置传感器1131设置在第二摆动板102沿其长度方向的两端，每个位置传感器1131与一个第三杆段11023的端部对应设置。优选地，位置传感器1131为接近传感器，当第三杆段11023在活塞11011推动下向上枢转时，第三杆段11023靠近位置传感器1131，从而被位置传感器1131检测到。

通过设置检测组件113，可以对摆动装置10的摆动角度和夹紧机构110的状态进行检测，提高摆动装置10的安全性，降低摆动装置10工作过程中的安全隐患。通过设置位置传感器1131，有利于实现对夹紧机构110的状态检测，提高摆动装置10的安全性，降低安全风险。通过位置传感器1131检测传动部1102的位置来检测夹紧机构110的状态，可以降低检测难度。通过位置传感器1131与枢转端对应设置，可以利用连杆枢转过程中位置变化幅度较大的特点来检测夹紧机构110的状态，提高检测精度。通过将位置传感器1131设置在第二摆动板102的上侧，方便安装，且避免了与第二摆动板102的下侧连接的部件干涉。通过将位置传感器1131设置在第二摆动板102沿其长度方向的一端，方便位置传感器1131的安装和维修。通过采用第一安装架114来固定位置传感器1131，可以实现位置传感器1131的简单安装，并有利于调节位置传感器1131的安装位置，以使得位置传感器1131适用于更多不同型号的摆动装置10。通过两个夹紧机构110均对应设置一个位置传感器1131，可以同时对两个夹紧机构110进行检测，提高检测精度，进一步降低安全隐患。

继续参照图2和图3，角度传感器1132设置于第二摆动板102的上侧，且位于第二摆动板102沿其长度方向的一端的中部。第二摆动板102在该端的中部设置有第二安装架115，角度传感器1132固定于第二安装架115。优选地，安装支架为几字形板，几字形板的两个下横板通过螺接、焊接或铆接等方式固定连接于第二摆动板102的顶面，角度传感器1132通过螺接、铆接等方式固定于几字形板的上横板。角度传感器1132具体形式不作限制，任何能够检测摆动角度的传感器均可以应用于本申请中。在第二摆动板102相对于第一摆动板101摆动的过程中，角度传感器1132能够检测到第二摆动板102的摆动角度，以便线切割机基于该角度判断第二摆动板102的摆动情况。

通过设置角度传感器1132检测摆动装置10的摆动角度，可以利用摆动角度的检测来判断摆动装置10的摆动是否在预设范围内，避免摆动超过预设范围导致安全事故，提高摆动装置10的安全性，降低安全风险。通过将角度传感器1132设置在第二摆动板102的上侧，方便安装，且避免了与第二摆动板102的下侧连接的部件干涉。通过将角度传感器1132设置在第二摆动板102沿其长度方向的一端，方便角度传感器1132的安装和维修。通过采用第二安装架115安装角度传感器1132，有利于实现角度传感器1132的简单安装，并有利于调节角度传感器1132的安装位置，以使得角度传感器1132适用于更多不同型号的摆动装置10。

当然，上述检测组件113的具体设置方式并非一成不变，本领域技术人员可以对其进行调整，以便调整后的技术方案适用于更加具体的应用场景。

举例而言，虽然上述检测组件113是结合包括位置传感器1131和角度传感器1132进行介绍的，但是检测组件113也可以仅包括上述二者中的一个。再如，虽然位置传感器1131是结合与第三杆段11023的一端相对应设置进行介绍的，但是其具体设置位置并非不变，其还可以设置在其他位置，只要能够检测到连杆的动作即可。例如，位置传感器1131还可以设置在第一摆动板101的下侧面，并对应第二杆段11022设置，以检测第二杆段11022的枢转。再如，位置传感器1131还可以与第一杆段11021或第三杆段11023的中部对应设置。再如，虽然位置传感器1131是结合接近传感器介绍的，但是其具体形式可以替换，如还可以采用红外传感器、激光传感器等。再如，位置传感器1131除了采用L形支架进行固定外，还可以采用其他形状的安装架固定连接。再如，位置传感器1131的数量不限，其还可以为一个、三个或者更多，其数量也不必与夹紧组件的数量相对应。

再如，角度传感器1132的设置位置并非唯一，其只要固定在第二摆动板102上或者与第二摆动板102相连接的部件上，并因此来检测第二摆动板102的摆动角度即可。再如，第二安装架115的具体形式并非唯一，本领域技术人员可以调整其结构，只要能够对角度传感器1132进行有效固定即可。

当然，在其他实施方式中，检测组件113也可以整体省略。

当然，上述可以替换的实施方式之间、以及可以替换的实施方式和优选的实施方式之间还可以交叉配合使用，从而组合出新的实施方式以适用于更加具体的应用场景。

下面参照图12和图13，对本申请的进给总成进行简要介绍。

如图12和13所示，本申请还提供了一种进给总成，进给总成包括滑板箱20和上述的摆动装置10，摆动装置10设置于滑板箱20。具体地，滑板箱20的底部形成有容纳腔，第一摆动板101连接于滑板箱20的底部且第一驱动部103和第二驱动部105位于容纳腔内。

通过在进给总成上设置上述方案中的摆动装置10，可以提高进给总成的工作稳定性和工作精度，进而提升切割质量。通过在滑板箱20底部形成容纳腔并将第一驱动部103和第二驱动部105容纳在容纳腔内，可以减小进给总成的体积，实现进给总成的结构紧凑化，降低生产成本。

当然，进给总成的设置方式不仅于此，本领域技术人员可以对其调整，如滑板箱20底部还可以不形成容纳腔，而直接将第一摆动板101与滑板箱20底部连接。

此外，本申请还提供了一种线切割机，线切割机包括上述的摆动装置10或上述的进给总成。

通过在线切割机上采用上述摆动装置10或进给总成，可以提高线切割机的工作稳定性，提升切割质量。

下面参照图14和图15，对本申请的摆动装置10的控制方法进行介绍。

如图14所示，与上述摆动装置10对应地，本申请还提供了一种摆动装置10的控制方法，包括：

S101、控制第一驱动部103和第二驱动部105启动并朝相同方向转动；

S103、控制第一驱动部103转动第一预设角度后停止转动；

S105、控制第二驱动部105转动第二预设角度后降速转动、停止转动或反向转动，以使得第二主动齿轮106与从动齿部107反向贴合。

举例而言，摆动装置10工作时，分别向第一驱动部103和第二驱动部105输入预定数量的脉冲，其中向第一驱动部103输入的脉冲数量大于等于向第二驱动部105输入的脉冲数量，使得第一驱动部103和第二驱动部105朝相同方向转动，以共同驱动摆动装置10由第一侧向第二侧摆动，当第一驱动部103的转动角度达到第一预设角度后，控制第一驱动部103停止转动，此时第二摆动板102停止转动或即将停止转动。当第二驱动部105转动至第二预设角度时，此时第一驱动部103还未停止转动或刚刚停止转动，也即第二摆动板102还未停止摆动或刚刚停止摆动，此时向控制第二驱动部105降速转动、停止转动、或向第二驱动部105输入反向脉冲控制第二驱动部105反向转动，使得第二驱动部105带动第二主动齿轮106与从动齿部107反向贴合。如此，在控制摆动装置10由第二侧向第一侧反向摆动时，第二主动齿轮106已经与从动齿部107相啮合，二者之间不存在间隙。

通过上述控制方法，有利于实现摆动过程的传动消隙，提高摆动装置10的摆动稳定性和控制精度。

一种优选技术方案中，控制第二驱动部105转动第二预设角度后降速转动、停止转动或反向转动的步骤进一步包括：在第二驱动部105转动第二预设角度后，获取第二驱动部105的实时转速；判断实时转速与预设速度阈值的大小；在实时转速小于速度阈值时，控制第二驱动部105降速转动、停止转动或反向转动。

举例而言，速度阈值可以为0.1r/min-5r/min中的任意值。驱动部运行时会存在加速阶段、平稳运行阶段和减速阶段，当第二驱动部105的实时转速小于上述速度阈值时，其处于减速阶段，且速度趋近于零，此时控制第二驱动部105降速转动、停止转动或反向转动，以实现第二主动齿轮106与从动齿部107的反向贴合。

通过上述控制方法，可以在第二驱动部105的实时转速趋近于零的时候控制第二驱动部105降速转动、停止转动或反向转动，提高摆动控制精度，减小第二驱动部105的反向贴合对摆动的影响，降低能耗。

参照图15，对应上述摆动装置10，本申请还提供了一种摆动装置10的控制方法，包括：

S201、获取第一驱动部103的第一扭矩和第二驱动部105的第二扭矩；

S203、计算第一扭矩与第二扭矩之间的差值；

S205、判断差值与预设差值阈值大小；

S207、如果差值大于预设差值阈值，则控制第一驱动部103和第二驱动部105中扭矩较小的驱动部提高转速，以使得调整后的第一驱动电机的扭矩与第二驱动电机的扭矩之差小于差值阈值。

举例而言，在第一驱动部103和第二驱动部105共同驱动第二摆动板102摆动时，由于控制精度的问题以及齿轮传动间隙的问题，难免出现两个驱动部中一个驱动部驱动力矩较大，而另一个驱动部驱动力矩较小的情况，长此以往，不仅会降低控制精度，还会有损传动部1102的寿命。为此，本申请在第一驱动部103和第二驱动部105运行过程中，获取二者的扭矩值，并判断二者扭矩值之间的差值是否过大，如果差值大于预设差值阈值，则证明出现了上述问题，此时通过对扭矩相对较小的驱动部进行伺服补偿，提高其转速，来增大该驱动部的驱动力矩，使得两个驱动部的驱动力矩近似相等。其中，提高转速的方式可以为先增加驱动部的转速来增加驱动力矩，再降速至原有转速与另一驱动部同步转动。或者提高转速的方式还可以是直接微调转速，使得驱动部的转速提高并保持该转速一直运转，直至下次二者差值大于差值阈值时再次调整。

通过上述控制方法，有利于实现传动过程的传动消隙，提高摆动装置10的摆动稳定性和控制精度。

本申请的各个部件实施例可以以硬件实现，或者以在一个或者多个处理器上运行的软件模块实现，或者以它们的组合实现。本领域的技术人员应当理解，可以在实践中使用微处理器或者数字信号处理器(DSP)来实现根据本申请实施例的服务器、客户端中的一些或者全部部件的一些或者全部功能。本申请还可以实现为用于执行这里所描述的方法的一部分或者全部的设备或者装置程序(例如，PC程序和PC程序产品)。这样的实现本申请的程序可以存储在PC可读介质上，或者可以具有一个或者多个信号的形式。这样的信号可以从因特网网站上下载得到，或者在载体信号上提供，或者以任何其他形式提供。

上述实施例中虽然将各个步骤按照上述先后次序的方式进行了描述，但是本领域技术人员可以理解，为了实现本实施例的效果，不同的步骤之间不必按照这样的次序执行，其可以同时(并行)执行或以颠倒的次序执行，这些简单的变化都在本申请的保护范围之内。

本领域的技术人员能够理解，尽管在此所述的一些实施例包括其它实施例中所包括的某些特征而不是其它特征，但是不同实施例的特征的组合意味着处于本申请的范围之内并且形成不同的实施例。例如，在本申请的权利要求书中，所要求保护的实施例的任意之一都可以以任意的组合方式来使用。

至此，已经结合附图所示的优选实施方式描述了本申请的技术方案，但是，本领域技术人员容易理解的是，本申请的保护范围显然不局限于这些具体实施方式。在不偏离本申请的原理的前提下，本领域技术人员可以对相关技术特征作出等同的更改或替换，这些更改或替换之后的技术方案都将落入本申请的保护范围之内。

Claims (30)

1.一种摆动装置，其特征在于，包括：

第一摆动板和第二摆动板，所述第二摆动板位于所述第一摆动板的下方，且所述第二摆动板用于连接晶托；

从动齿部，所述从动齿部设置于所述第二摆动板；

第一驱动部和第一主动齿轮，所述第一驱动部设置于所述第一摆动板，且所述第一驱动部与所述第一主动齿轮连接，所述第一主动齿轮与所述从动齿部啮合；

第二驱动部和第二主动齿轮，所述第二驱动部设置于所述第一摆动板，且所述第二驱动部与所述第二主动齿轮连接，所述第二主动齿轮与所述从动齿部啮合。

2.根据权利要求1所述的摆动装置，其特征在于，所述第一主动齿轮与所述第二主动齿轮并排设置。

3.根据权利要求1所述的摆动装置，其特征在于，所述第一主动齿轮与所述第二主动齿轮相同。

4.根据权利要求1所述的摆动装置，其特征在于，所述第一主动齿轮与所述第二主动齿轮的宽度之和小于等于所述从动齿部的宽度。

5.根据权利要求1所述的摆动装置，其特征在于，所述第一驱动部固定设置于所述第一摆动板的上侧面，所述第一摆动板上设置有第一通孔，所述第一主动齿轮伸入所述第一通孔与所述从动齿轮啮合。

6.根据权利要求5所述的摆动装置，其特征在于，所述第一摆动板上固定连接有第一支座，所述第一驱动部固定连接于所述第一支座。

7.根据权利要求5所述的摆动装置，其特征在于，所述第二驱动部固定设置于所述第一摆动板的上侧面，所述第二主动齿轮伸入所述第一通孔与所述从动齿轮啮合。

8.根据权利要求7所述的摆动装置，其特征在于，所述第一摆动板上固定连接有第二支座，所述第二驱动部固定连接于所述第二支座。

9.根据权利要求1所述的摆动装置，其特征在于，所述第一驱动部与所述第二驱动部相对于所述第一摆动板的上侧面呈中心对称设置。

10.根据权利要求1所述的摆动装置，其特征在于，所述从动齿部包括本体和齿结构，所述本体的下部连接于所述第二摆动板，所述本体的顶部为弧形，所述齿结构形成于所述本体的顶部；或者

所述从动齿部包括本体和弧形齿条，所述本体的下部连接于所述第二摆动板，所述本体的顶部为弧形，所述弧形齿条固定连接于所述本体的顶部；或者

所述从动齿部为弧形齿条，所述弧形齿条固定连接于所述第二摆动板的上侧面。

11.根据权利要求1所述的摆动装置，其特征在于，所述摆动装置还包括导向机构，所述导向机构连接于所述第一摆动板与所述第二摆动板之间，用于在所述第二摆动板摆动时进行导向。

12.根据权利要求11所述的摆动装置，其特征在于，所述导向机构包括弧形导轨和弧形滑槽，所述弧形导轨与所述弧形滑槽中的一个固定连接于所述第一摆动板的下侧面，另一个固定连接于所述第二摆动板的上侧面；或者

所述导向机构包括弧形导轨和滑块，所述弧形导轨与所述滑块中的一个固定连接于所述第一摆动板的下侧面，另一个固定连接于所述第二摆动板的上侧面。

13.根据权利要求11所述的摆动装置，其特征在于，所述导向机构设置有两个，两个所述导向机构设置在所述从动齿部的两侧。

14.根据权利要求13所述的摆动装置，其特征在于，两个所述导向机构相对于所述第二摆动板的上侧面呈中心对称设置。

15.根据权利要求1所述的摆动装置，其特征在于，所述摆动装置还包括装夹组件，所述装夹组件连接于所述第二摆动板，所述装夹组件用于与晶托配合连接。

16.根据权利要求15所述的摆动装置，其特征在于，所述装夹组件包括装夹板和设置于所述装夹板底部的装夹轨道，所述装夹板固定连接于所述第二摆动板，所述装夹轨道用于与晶托配合连接。

17.根据权利要求16所述的摆动装置，其特征在于，所述装夹组件还包括限位板，所述限位板设置于所述装夹板的下侧面一端，用于在晶托的长度方向对晶托进行限位。

18.根据权利要求16所述的摆动装置，其特征在于，所述装夹组件还包括限位杆，所述限位杆设置于所述装夹板的下侧面的一侧且沿所述装夹板的长度方向延伸，所述限位杆用于在晶托的宽度方向上对晶托进行限位。

19.根据权利要求1所述的摆动装置，其特征在于，所述摆动装置还包括夹紧机构，所述夹紧机构设置于所述第二摆动板，所述夹紧机构用于夹紧晶托。

20.根据权利要求19所述的摆动装置，其特征在于，所述夹紧机构包括推动部和夹紧部，所述推动部与所述夹紧部连接，所述推动部能够直接或间接地推动所述夹紧部沿直线方向移动，以夹紧或松开晶托。

21.根据权利要求20所述的摆动装置，其特征在于，所述夹紧机构还包括传动部，所述推动部与所述传动部连接，所述传动部与所述夹紧部连接，所述推动部能够推动所述传动部动作，以便所述传动部带动所述夹紧部沿直线方向移动。

22.根据权利要求21所述的摆动装置，其特征在于，所述夹紧机构还包括基座，所述基座固定连接于所述第二摆动板，所述推动部、所述传动部和所述夹紧部中的至少一个设置于所述基座。

23.根据权利要求19所述的摆动装置，其特征在于，所述夹紧机构设置有两个，两个所述夹紧机构设置在所述从动齿部的两侧。

24.根据权利要求23所述的摆动装置，其特征在于，两个所述夹紧机构相对于所述第二摆动板的上侧面呈中心对称设置。

25.一种进给总成，其特征在于，所述进给总成包括滑板箱和权利要求1至24中任一项所述的摆动装置，所述摆动装置设置于所述滑板箱。

26.根据权利要求25所述的进给总成，其特征在于，所述滑板箱的底部形成有容纳腔，所述第一摆动板连接于所述滑板箱的底部且所述第一驱动部和所述第二驱动部位于所述容纳腔内。

27.一种线切割机，其特征在于，所述线切割机包括权利要求1至24中任一项所述的摆动装置或权利要求25或26所述的进给总成。

28.一种摆动装置的控制方法，其特征在于，所述摆动装置包括第一摆动板、第二摆动板、第一驱动部、第一主动齿轮、第二驱动部、第二主动齿轮以及从动齿部，所述第一驱动部与所述第一主动齿轮连接，所述第二驱动部与所述第二主动齿轮连接，所述第一主动齿轮和所述第二主动齿轮同时与所述从动齿部啮合，

所述控制方法包括：

控制所述第一驱动部和所述第二驱动部启动并朝相同方向转动；

控制所述第一驱动部转动第一预设角度后停止转动；

控制所述第二驱动部转动第二预设角度后降速转动、停止转动或反向转动，以使得第二主动齿轮与所述从动齿部反向贴合；

其中，所述第二预设角度小于等于所述第一预设角度。

29.根据权利要求28所述的摆动装置的控制方法，其特征在于，所述控制所述第二驱动部转动第二预设角度后降速转动、停止转动或反向转动的步骤进一步包括：

在所述第二驱动部转动第二预设角度后，获取所述第二驱动部的实时转速；

判断所述实时转速与预设速度阈值的大小；

在所述实时转速小于所述速度阈值时，控制所述第二驱动部降速转动、停止转动或反向转动。

30.一种摆动装置的控制方法，其特征在于，所述摆动装置包括第一摆动板、第二摆动板、第一驱动部、第一主动齿轮、第二驱动部、第二主动齿轮以及从动齿部，所述第一驱动部与所述第一主动齿轮连接，所述第二驱动部与所述第二主动齿轮连接，所述第一主动齿轮和所述第二主动齿轮同时与所述从动齿部啮合，

所述控制方法包括：

获取所述第一驱动部的第一扭矩和所述第二驱动部的第二扭矩；

计算所述第一扭矩与所述第二扭矩之间的差值；

判断所述差值与预设差值阈值大小；

如果所述差值大于所述预设差值阈值，则控制所述第一驱动部和所述第二驱动部中扭矩较小的驱动部提高转速，以使得调整后的所述第一驱动电机的扭矩与所述第二驱动电机的扭矩之差小于所述差值阈值。

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