CN115326364A - 一种用于准直物镜与波前分析仪的位姿调整*** - Google Patents

Abstract

本申请提供了一种用于准直物镜与波前分析仪的位姿调整***，其中，该所述位姿调整***包括激光器、光路传导组件和光路校正板，所述光路校正板上设置有透光孔，其中，激光器布置在光学平台的第一位置处，波前分析仪布置在光学平台的第二位置处，光路校正板布置在光路传导组件与波前分析仪之间的第三位置处，其中，激光器发射的激光束通过光路传导组件的传导，经由光路校正板上的透光孔和准直物镜投射到波前分析仪的靶面上，以在所述靶面上形成光斑，根据所述光斑在靶面上的光斑位置，调整准直物镜的安装角度，以使准直物镜的光轴与波前分析仪的光轴重合。达到基于准直物镜的所接收的光线，准确地对安装在波前分析仪上的准直物镜进行调节的效果。

Description

一种用于准直物镜与波前分析仪的位姿调整***

技术领域

本申请涉及光学校正技术领域，具体而言，涉及一种用于准直物镜与波前分析仪的位姿调整***。

背景技术

目前，随着集成电路产业芯片特征尺寸的不断缩小，对曝光***的性能要求不断提高，而投影物镜的像差控制直接关系着曝光图形线宽质量，因此，需要对投影物镜的主要性能参数进行离线或在线检测，确保满足设备工艺需求；主要检测参数有波像差、畸变、倍率、像散、IPD(集成产品开发，英文全称Integrated Product Development)和NA(光学***的数值孔径，英文全称Numerical Aperture)一致性等。

测量传感器使用哈特曼传感器，在光线经过物镜折射聚光后，需经过准直物镜准直，然后经过哈特曼传感器的微透镜阵列并分别聚焦到CCD(电荷耦合器件，英文全称Charge-coupled Device)靶面上。为实现测量精度，需首先校正准直物镜与波前分析仪的相对位置，消除准直物镜倾斜带来的***误差。

在校正准直物镜的安装位置时，一方面轴外视场的波像差波动较大，可能会导致测量的敏感度误差，另一方面，在对接被测物镜像点时，波前分析仪的姿态难以精确定位到标定的准直物镜像点位置，在被测物镜远心度较大时，还会带来不能完整承接像点光锥的情况。

发明内容

有鉴于此，本申请的目的在于提供一种用于准直物镜与波前分析仪的位姿调整***，能够通过对激光器、光路传导组件和光路校正板的位置调整，保证了准直物镜的所接收的光线的光轴垂直于波前分析仪的靶面，解决现有技术中存在的在校正准直物镜的安装位置时，一方面轴外视场的波像差波动较大，可能会导致测量的敏感度误差，另一方面，在对接被测物镜像点时，波前分析仪的姿态难以精确定位到标定的准直物镜像点位置，在被测物镜远心度较大时，还会带来不能完整承接像点光锥的问题，达到基于准直物镜的所接收的光线，准确地对安装在波前分析仪上的准直物镜进行调节的效果。

本申请实施例提供了一种用于准直物镜与波前分析仪的位姿调整***，所述位姿调整***包括激光器、光路传导组件和光路校正板，所述光路校正板上设置有透光孔，其中，激光器布置在光学平台的第一位置处，波前分析仪布置在光学平台的第二位置处，光路传导组件布置在激光器与波前分析仪之间，光路校正板布置在光路传导组件与波前分析仪之间的第三位置处，准直物镜可调节的安装于波前分析仪的靠近光路校正板的一侧，光路校正板上的透光孔所在位置为准直物镜的焦点所在位置处，其中，激光器发射的激光束通过光路传导组件的传导，经由光路校正板上的透光孔和准直物镜投射到波前分析仪的靶面上，以在所述靶面上形成光斑，根据所述光斑在靶面上的光斑位置，调整准直物镜的安装角度，以使准直物镜的光轴与波前分析仪的光轴重合。

可选地，所述光路传导组件包括激光扩束镜、阿贝棱镜和激光聚焦镜，其中，激光扩束镜布置在光学平台的第四位置处，激光器发射的激光束经激光扩束镜扩束后投射到未安装准直物镜的波前分析仪的靶面上，在所述靶面上形成光斑，根据光斑在靶面上的光斑位置，调整激光扩束镜的安装角度，以使激光扩束镜的光轴与波前分析仪的光轴重合，其中，阿贝棱镜布置在光学平台的第五位置处，所述第五位置位于第四位置与波前分析仪之间、且靠近第四位置处，经调整后的激光扩束镜扩束后的激光束发射至阿贝棱镜的入射平面，经阿贝棱镜反射后，由阿贝棱镜的出射平面射出，并投射到未安装准直物镜的波前分析仪的靶面上以形成光斑，根据光斑在靶面上的光斑位置，调整阿贝棱镜的安装角度，以使阿贝棱镜的光轴与波前分析仪的光轴重合，其中，激光聚焦镜布置在光学平台的第六位置处，所述第六位置位于第五位置与波前分析仪之间，由调整后的阿贝棱镜的出射平面射出的激光束，经由激光聚焦镜投射到未安装准直物镜的波前分析仪的靶面上，调整激光聚焦镜的安装角度，以使激光聚焦镜的光轴与经阿贝棱镜反射后的激光束的光轴重合。

可选地，所述位姿调整***还包括平晶和自准直仪，所述平晶布置在激光聚焦板的朝向准直自准直仪的第一侧表面上，所述激光聚焦板位于所述激光聚焦镜的上方，所述激光聚焦板的第二侧表面与所述激光聚焦镜的边缘固定连接，所述平晶的设置高度高于所述波前分析仪的上沿的高度，自准直仪布置在光学平台的第七位置处，所述第七位置位于波前分析仪远离激光器的另一侧，布置于第七位置处的自准直仪的设置高度高于所述波前分析仪的上沿的高度，用于检测波前分析仪前的任一平面的安装角度，其中，自准直仪发射的测试光线照射到平晶上，并接收经由平晶反射回来的反馈光线，调整激光聚焦板的安装角度来使得测试光线与反馈光线重合，以使激光聚焦板上的激光聚焦镜的光轴与经阿贝棱镜反射后的激光束的光轴重合。

可选地，所述位姿调整***还包括自准直仪，自准直仪通过以下方式进行校正：在未在光学平台上布置激光聚焦镜、且调整阿贝棱镜的光轴与波前分析仪的光轴重合之后，自准直仪发射的测试光线照射到阿贝棱镜的出射平面上，并接收经由阿贝棱镜的出射平面反射回来的反馈光线，调整自准直仪在光学平台上的安装角度，以使自准直仪的测试光线与反馈光线重合。

可选地，所述位姿调整***还包括自准直仪，光路校正板的安装角度通过以下方式进行修正：自准直仪发射的测试光线照射到光路校正板上，并接收经由光路校正板反射回来的反馈光线，调整光路校正板的安装角度，以使测试光线与反馈光线重合。

可选地，所述位姿调整***还包括微动装置，所述光路校正板安装于所述微动装置上，所述微动装置布置在光学平台的第三位置处，所述光路校正板上设置有多个透光孔，每个透光孔的尺寸不同，将所述激光聚焦镜移除，控制微动装置动作以带动光路校正板移动，来使得光路校正板上的每个透光孔按照从大到小的顺序依次移动至准直物镜的焦点所在位置处，在每次移动时，调整光路校正板的安装角度，以使经阿贝棱镜的出射平面射出的激光束经光路校正板上的透光孔在所述波前分析仪的靶面上形成的光斑处于所述靶面的中心。

可选地，重新将所述激光聚焦镜布置在光学平台的第六位置处，调整激光聚焦镜的安装角度，以使激光聚焦镜的光轴与经阿贝棱镜反射后的激光束的光轴重合。

可选地，所述位姿调整***还包括镜座和调节螺丝，所述准直物镜通过镜座安装在波前分析仪上，调节螺丝用于调节所述准直物镜相对于所述波前分析仪的安装角度，以使准直物镜的光轴与波前分析仪的光轴重合。

可选地，根据所述光斑在靶面上的光斑位置与所述波前分析仪的靶面中心之间的偏移量，调节所述调节螺丝，以使准直物镜的光轴与波前分析仪的光轴重合。

可选地，所述镜座的外壁设置有内螺纹，所述波前分析仪内壁设置有与所述镜座的内螺纹螺接的外螺纹，以使准直物镜通过镜座安装在波前分析仪上。

本申请实施例提供的一种用于准直物镜与波前分析仪的位姿调整***，能够通过对激光器、光路传导组件和光路校正板的位置调整，保证了准直物镜的所接收的光线的光轴垂直于波前分析仪的靶面，解决现有技术中存在的在校正准直物镜的安装位置时，一方面轴外视场的波像差波动较大，可能会导致测量的敏感度误差，另一方面，在对接被测物镜像点时，波前分析仪的姿态难以精确定位到标定的准直物镜像点位置，在被测物镜远心度较大时，还会带来不能完整承接像点光锥的问题，达到基于准直物镜的所接收的光线，准确地对安装在波前分析仪上的准直物镜进行调节的效果。

为使本申请的上述目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举较佳实施例，并配合所附附图，作详细说明如下。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本申请的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。

图1为本申请实施例所提供的一种用于准直物镜与波前分析仪的位姿调整***的示意图；

图2为本申请实施例所提供的另一种用于准直物镜与波前分析仪的位姿调整***的示意图；

图3为本申请实施例所提供的一种准直物镜与波前分析仪之间的连接关系的结构示意图；

图4为本申请实施例所提供的一种准直物镜与波前分析仪之间的连接关系的结构原理图。

具体实施方式

为使本申请实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本申请实施例中附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本申请实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。因此，以下对在附图中提供的本申请的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本申请的范围，而是仅仅表示本申请的选定实施例。基于本申请的实施例，本领域技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的每个其他实施例，都属于本申请保护的范围。

首先，对本申请可适用的应用场景进行介绍。本申请可应用于光学校正技术领域。

经研究发现，随着集成电路产业芯片特征尺寸的不断缩小，对曝光***的性能要求不断提高，而投影物镜的像差控制直接关系着曝光图形线宽质量，因此，需要对投影物镜的主要性能参数进行离线或在线检测，确保满足设备工艺需求；主要检测参数有波像差、畸变、倍率、像散、IPD(集成产品开发，英文全称Integrated Product Development)和NA(光学***的数值孔径，英文全称Numerical Aperture)一致性等。

测量传感器使用哈特曼传感器，在光线经过物镜折射聚光后，需经过准直物镜准直，然后经过哈特曼传感器的微透镜阵列并分别聚焦到CCD(电荷耦合器件，英文全称Charge-coupled Device)靶面上。为实现测量精度，需首先校正准直物镜与波前分析仪的相对位置，消除准直物镜倾斜带来的***误差。

在校正准直物镜的安装位置时，一方面轴外视场的波像差波动较大，可能会导致测量的敏感度误差，另一方面，在对接被测物镜像点时，波前分析仪的姿态难以精确定位到标定的准直物镜像点位置，在被测物镜远心度较大时，还会带来不能完整承接像点光锥的情况。

基于此，本申请实施例提供了一种用于准直物镜与波前分析仪的位姿调整***，达到基于准直物镜的所接收的光线，准确地对安装在波前分析仪上的准直物镜进行调节的效果。

请参阅图1，图1为本申请实施例所提供的一种用于准直物镜与波前分析仪的位姿调整***的示意图。如图1中所示，本申请实施例提供的位姿调整***，包括：光学平台101、激光器102、光路传导组件103、光路校正板104、准直物镜105和波前分析仪106。

其中，激光器102布置在光学平台101的第一位置处，在光学平台101的第一位置处设置有位置固定件，用于固定激光器102，并将激光器102的高度调整到标准高度上。

波前分析仪106布置在光学平台101的第二位置处，在光学平台101的第一位置处设置有位置固定件，用于固定波前分析仪106，并将波前分析仪106的高度调整到标准高度上，以使激光器102和波前分析仪106处于同一直线。

其中，光路传导组件103布置在激光器102与波前分析仪106之间，

请参阅图2，图2为本申请实施例提供的另一种用于准直物镜与波前分析仪的位姿调整***的示意图。如图2中所示，本申请实施例提供的位姿调整***包括：光学平台101、激光器102、光路校正板104、准直物镜105、波前分析仪106、激光扩束镜201、阿贝棱镜202、激光聚焦镜205、平晶204、微动装置206、自准直仪207，其中，平晶204和激光聚焦镜205布置在激光聚焦板203上。

具体的，所述光路传导组件103包括激光扩束镜201、阿贝棱镜202和激光聚焦镜205。

其中，激光扩束镜201布置在光学平台101的第四位置处，激光扩束镜201由可精密调节俯仰及偏转角度的光学夹具进行固定。

具体的，激光器102发射的激光束经激光扩束镜201扩束后投射到未安装准直物镜105的波前分析仪106的靶面上，在所述靶面上形成光斑，根据光斑在靶面上的光斑位置，调整激光扩束镜201的安装角度，以使激光扩束镜201的光轴与波前分析仪106的光轴重合。

在将激光扩束镜201的位置和安装角度调整完成后，将阿贝棱镜202布置在光学平台101的第五位置处，所述第五位置位于第四位置与波前分析仪106之间、且靠近第四位置处。

这里，在光学平台101的第五位置处设置有位置固定件，用于固定阿贝棱镜202，并将阿贝棱镜202的高度调整到标准高度上。

具体的，经调整后的激光扩束镜201扩束后的激光束发射至阿贝棱镜202的入射平面，经阿贝棱镜202反射后，由阿贝棱镜202的出射平面射出，并投射到未安装准直物镜105的波前分析仪106的靶面上以形成光斑，根据光斑在靶面上的光斑位置，调整阿贝棱镜202的安装角度，以使阿贝棱镜202的光轴与波前分析仪106的光轴重合。

在将阿贝棱镜202的位置和安装角度调整完成后，将激光聚焦镜205布置在光学平台101的第六位置处，所述第六位置位于第五位置与波前分析仪106之间，由调整后的阿贝棱镜202的出射平面射出的激光束，经由激光聚焦镜205投射到未安装准直物镜105的波前分析仪106的靶面上，调整激光聚焦镜205的安装角度，以使激光聚焦镜205的光轴与经阿贝棱镜202反射后的激光束的光轴重合。

这样，经过上述对光路传导组件103的调整，光路传导组件103的激光扩束镜201、阿贝棱镜202、激光聚焦镜205的光轴重合，保证了经光路传导组件投射出的激光束是与波前分析仪106的光轴重合的。

可选地，请参阅图2，所述位姿调整***还包括自准直仪207，如图2中所示，自准直仪207安装在波前分析仪106后的光学平台101的固定件上，自准直仪207在安装在光学平台101的固定件上后，自准直仪207可以越过波前分析仪106检测到波前分析仪106前的高于波前分析仪106的平面的安装角度。

需要说明的是，在将自准直仪207安装在波前分析仪106后的光学平台101的固定件上后，需要对自准直仪207的安装角度进行校正，以使自准直仪207可以准确地对平面的安装角度进行检测。

具体的，自准直仪207通过以下方式进行校正：在未在光学平台101上布置激光聚焦镜205、且调整阿贝棱镜202的光轴与波前分析仪106的光轴重合之后，自准直仪207发射的测试光线照射到阿贝棱镜202的出射平面上，并接收经由阿贝棱镜202的出射平面反射回来的反馈光线，调整自准直仪207在光学平台101上的安装角度，以使自准直仪207的测试光线与反馈光线重合。

请参阅图1，如图1所示，光路校正板104布置在光路传导组件与波前分析仪106之间的第三位置处。

具体的，请参阅图2，如图2所示，光路校正板104安装于所述微动装置206上，所述微动装置206布置在光学平台101的第三位置处，所述光路校正板104上设置有多个透光孔，每个透光孔的尺寸不同。

光路校正板104的安装角度通过以下方式进行修正：自准直仪207发射的测试光线照射到光路校正板104上，并接收经由光路校正板104反射回来的反馈光线，调整光路校正板104的安装角度，以使测试光线与反馈光线重合。

在通过自准直仪207对光路校正板104的俯仰角度进行调整后，将所述激光聚焦镜205移除，控制微动装置206动作以带动光路校正板104移动，来使得光路校正板104上的每个透光孔按照从大到小的顺序依次移动至准直物镜105的焦点所在位置处，在每次移动时，调整光路校正板104的安装角度，以使经阿贝棱镜202的出射平面射出的激光束经光路校正板104上的透光孔在所述波前分析仪106的靶面上形成的光斑处于所述靶面的中心。

在经阿贝棱镜202的出射平面射出的激光束经光路校正板104上的透光孔在所述波前分析仪106的靶面上形成的光斑处于所述靶面的中心后，重新将所述激光聚焦镜205布置在光学平台101的第六位置处，调整激光聚焦镜205的安装角度，以使激光聚焦镜205的光轴与经阿贝棱镜202反射后的激光束的光轴重合。

此时，激光聚焦镜205对经阿贝棱镜202的出射平面射出的激光束进行聚焦后的焦点位置即为调整之后的光路校正板104的尺寸最小的通光孔的位置。

在对上述激光器102、光路校正板104、激光扩束镜201、阿贝棱镜202、激光聚焦镜205、平晶204、微动装置206、自准直仪207调整完成后，将准直物镜105可调节的安装于波前分析仪106的靠近光路校正板104的一侧，并调整波前分析仪106的水平位置，使光路校正板104上的透光孔所在位置为准直物镜105的焦点所在位置处。

此时，激光器102发射的激光束通过光路传导组件的传导，经由光路校正板104上的透光孔和准直物镜105投射到波前分析仪106的靶面上，以在所述靶面上形成光斑。

再根据所述光斑在靶面上的光斑位置，调整准直物镜105的安装角度，以使准直物镜105的光轴与波前分析仪106的光轴重合。

具体的，请参阅图3，图3为本申请实施例所提供的一种准直物镜与波前分析仪之间的连接关系的结构示意图，如图3所示，准直物镜105安装于镜座301上，在镜座上还设置有调节螺丝302和弹性结构303。

请参阅图4，图4为本申请实施例所提供的一种准直物镜与波前分析仪之间的连接关系的结构原理图，如图4所示，准直物镜105安装于镜座301上，在镜座301上还设置有调节螺丝302和弹性结构303。

具体的，所述位姿调整***还包括镜座301和调节螺丝302，所述准直物镜105通过镜座301安装在波前分析仪上，调节螺丝302用于调节所述准直物镜105相对于所述波前分析仪的安装角度，以使准直物镜105的光轴与波前分析仪的光轴重合。

其中，所述弹性结构303用于拉紧准直物镜105与波前分析仪，以保证准直物镜105与波前分析仪之间的连接刚度，进而保证调节螺丝302的预紧力。

具体的，可以根据所述光斑在靶面上的光斑位置与所述波前分析仪的靶面中心之间的偏移量，调节所述调节螺丝302，以使准直物镜105的光轴与波前分析仪的光轴重合。

示例性的，准直物镜105在波前分析仪靶面上的水平方向Rx和竖直方向Ry上的偏转角分别为θx、θy，准直物镜105绕支点的偏转臂长为L，其中，偏转臂长为调节螺丝302顶住的壳体的面与准直物镜105的像点位置的垂直距离，θx、θy偏转角引入的准直物镜105视场偏转量为Δhx、Δhy，视场偏转量引入的哈特曼上入射角偏差为θx′、θy′,准直物镜105入射角与视场关系在满足：

在小范围的对准及视场偏转要求下，对准与调节满足如下关系：

thetaX＝θx+θx′；

thetaY＝θy+θy′；

Δhx＝L×θx；

Δhy＝L×θy；

这样，基于上述公式即可计算出需要调节的倾角大小，再根据需要调节的倾角大小调节调节螺丝302，以使准直物镜105的光轴与波前分析仪的光轴重合。

可选地，镜座301的外壁设置有内螺纹，波前分析仪内壁设置有与所述镜座301的内螺纹螺接的外螺纹，以使准直物镜105通过镜座301安装在波前分析仪上。

本申请实施例提供的一种用于准直物镜与波前分析仪的位姿调整***，能够通过对激光器、光路传导组件和光路校正板的位置调整，保证了准直物镜的所接收的光线的光轴垂直于波前分析仪的靶面，解决现有技术中存在的在校正准直物镜的安装位置时，一方面轴外视场的波像差波动较大，可能会导致测量的敏感度误差，另一方面，在对接被测物镜像点时，波前分析仪的姿态难以精确定位到标定的准直物镜像点位置，在被测物镜远心度较大时，还会带来不能完整承接像点光锥的问题，达到基于准直物镜的所接收的光线，准确地对安装在波前分析仪上的准直物镜进行调节的效果。

所属领域的技术人员可以清楚地了解到，为描述的方便和简洁，上述描述的***、装置和单元的具体工作过程，可以参考前述方法实施例中的对应过程，在此不再赘述。

在本申请所提供的几个实施例中，应该理解到，所揭露的***、装置和方法，可以通过其它的方式实现。以上所描述的装置实施例仅仅是示意性的，例如，所述单元的划分，仅仅为一种逻辑功能划分，实际实现时可以有另外的划分方式，又例如，多个单元或组件可以结合或者可以集成到另一个***，或一些特征可以忽略，或不执行。另一点，所显示或讨论的相互之间的耦合或直接耦合或通信连接可以是通过一些通信接口，装置或单元的间接耦合或通信连接，可以是电性，机械或其它的形式。

所述作为分离部件说明的单元可以是或者也可以不是物理上分开的，作为单元显示的部件可以是或者也可以不是物理单元，即可以位于一个地方，或者也可以分布到多个网络单元上。可以根据实际的需要选择其中的部分或者全部单元来实现本实施例方案的目的。

另外，在本申请各个实施例中的各功能单元可以集成在一个处理单元中，也可以是各个单元单独物理存在，也可以两个或两个以上单元集成在一个单元中。

所述功能如果以软件功能单元的形式实现并作为独立的产品销售或使用时，可以存储在一个处理器可执行的非易失的计算机可读取存储介质中。基于这样的理解，本申请的技术方案本质上或者说对现有技术做出贡献的部分或者该技术方案的部分可以以软件产品的形式体现出来，该计算机软件产品存储在一个存储介质中，包括若干指令用以使得一台计算机设备(可以是个人计算机，服务器，或者网络设备等)执行本申请各个实施例所述方法的全部或部分步骤。而前述的存储介质包括：U盘、移动硬盘、只读存储器(Read-OnlyMemory，ROM)、随机存取存储器(Random Access Memory，RAM)、磁碟或者光盘等各种可以存储程序代码的介质。

最后应说明的是：以上所述实施例，仅为本申请的具体实施方式，用以说明本申请的技术方案，而非对其限制，本申请的保护范围并不局限于此，尽管参照前述实施例对本申请进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：任何熟悉本技术领域的技术人员在本申请揭露的技术范围内，其依然可以对前述实施例所记载的技术方案进行修改或可轻易想到变化，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改、变化或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本申请实施例技术方案的精神和范围，都应涵盖在本申请的保护范围之内。因此，本申请的保护范围应以权利要求的保护范围为准。

Claims (10)

1.一种用于准直物镜与波前分析仪的位姿调整***，其特征在于，所述位姿调整***包括激光器、光路传导组件和光路校正板，所述光路校正板上设置有透光孔，

其中，激光器布置在光学平台的第一位置处，波前分析仪布置在光学平台的第二位置处，光路传导组件布置在激光器与波前分析仪之间，光路校正板布置在光路传导组件与波前分析仪之间的第三位置处，准直物镜可调节的安装于波前分析仪的靠近光路校正板的一侧，光路校正板上的透光孔所在位置为准直物镜的焦点所在位置处，

其中，激光器发射的激光束通过光路传导组件的传导，经由光路校正板上的透光孔和准直物镜投射到波前分析仪的靶面上，以在所述靶面上形成光斑，根据所述光斑在靶面上的光斑位置，调整准直物镜的安装角度，以使准直物镜的光轴与波前分析仪的光轴重合。

2.根据权利要求1所述的位姿调整***，其特征在于，所述光路传导组件包括激光扩束镜、阿贝棱镜和激光聚焦镜，

其中，激光扩束镜布置在光学平台的第四位置处，激光器发射的激光束经激光扩束镜扩束后投射到未安装准直物镜的波前分析仪的靶面上，在所述靶面上形成光斑，根据光斑在靶面上的光斑位置，调整激光扩束镜的安装角度，以使激光扩束镜的光轴与波前分析仪的光轴重合，

其中，阿贝棱镜布置在光学平台的第五位置处，所述第五位置位于第四位置与波前分析仪之间、且靠近第四位置处，经调整后的激光扩束镜扩束后的激光束发射至阿贝棱镜的入射平面，经阿贝棱镜反射后，由阿贝棱镜的出射平面射出，并投射到未安装准直物镜的波前分析仪的靶面上以形成光斑，根据光斑在靶面上的光斑位置，调整阿贝棱镜的安装角度，以使阿贝棱镜的光轴与波前分析仪的光轴重合，

其中，激光聚焦镜布置在光学平台的第六位置处，所述第六位置位于第五位置与波前分析仪之间，由调整后的阿贝棱镜的出射平面射出的激光束，经由激光聚焦镜投射到未安装准直物镜的波前分析仪的靶面上，调整激光聚焦镜的安装角度，以使激光聚焦镜的光轴与经阿贝棱镜反射后的激光束的光轴重合。

3.根据权利要求2所述的位姿调整***，其特征在于，所述位姿调整***还包括平晶和自准直仪，所述平晶布置在激光聚焦板的朝向准直自准直仪的第一侧表面上，所述激光聚焦板位于所述激光聚焦镜的上方，所述激光聚焦板的第二侧表面与所述激光聚焦镜的边缘固定连接，所述平晶的设置高度高于所述波前分析仪的上沿的高度，自准直仪布置在光学平台的第七位置处，所述第七位置位于波前分析仪远离激光器的另一侧，布置于第七位置处的自准直仪的设置高度高于所述波前分析仪的上沿的高度，用于检测波前分析仪前的任一平面的安装角度，

其中，自准直仪发射的测试光线照射到平晶上，并接收经由平晶反射回来的反馈光线，调整激光聚焦板的安装角度来使得测试光线与反馈光线重合，以使激光聚焦板上的激光聚焦镜的光轴与经阿贝棱镜反射后的激光束的光轴重合。

4.根据权利要求2所述的位姿调整***，其特征在于，所述位姿调整***还包括自准直仪，自准直仪通过以下方式进行校正：

在未在光学平台上布置激光聚焦镜、且调整阿贝棱镜的光轴与波前分析仪的光轴重合之后，自准直仪发射的测试光线照射到阿贝棱镜的出射平面上，并接收经由阿贝棱镜的出射平面反射回来的反馈光线，调整自准直仪在光学平台上的安装角度，以使自准直仪的测试光线与反馈光线重合。

5.根据权利要求2所述的位姿调整***，其特征在于，所述位姿调整***还包括自准直仪，光路校正板的安装角度通过以下方式进行修正：

自准直仪发射的测试光线照射到光路校正板上，并接收经由光路校正板反射回来的反馈光线，调整光路校正板的安装角度，以使测试光线与反馈光线重合。

6.根据权利要求5所述的位姿调整***，其特征在于，所述位姿调整***还包括微动装置，所述光路校正板安装于所述微动装置上，所述微动装置布置在光学平台的第三位置处，所述光路校正板上设置有多个透光孔，每个透光孔的尺寸不同，

将所述激光聚焦镜移除，控制微动装置动作以带动光路校正板移动，来使得光路校正板上的每个透光孔按照从大到小的顺序依次移动至准直物镜的焦点所在位置处，在每次移动时，调整光路校正板的安装角度，以使经阿贝棱镜的出射平面射出的激光束经光路校正板上的透光孔在所述波前分析仪的靶面上形成的光斑处于所述靶面的中心。

7.根据权利要求6所述的位姿调整***，其特征在于，重新将所述激光聚焦镜布置在光学平台的第六位置处，调整激光聚焦镜的安装角度，以使激光聚焦镜的光轴与经阿贝棱镜反射后的激光束的光轴重合。

8.根据权利要求1所述的位姿调整***，其特征在于，所述位姿调整***还包括镜座和调节螺丝，所述准直物镜通过镜座安装在波前分析仪上，调节螺丝用于调节所述准直物镜相对于所述波前分析仪的安装角度，以使准直物镜的光轴与波前分析仪的光轴重合。

9.根据权利要求8所述的位姿调整***，其特征在于，根据所述光斑在靶面上的光斑位置与所述波前分析仪的靶面中心之间的偏移量，调节所述调节螺丝，以使准直物镜的光轴与波前分析仪的光轴重合。

10.根据权利要求8所述的位姿调整***，其特征在于，所述镜座的外壁设置有内螺纹，所述波前分析仪内壁设置有与所述镜座的内螺纹螺接的外螺纹，以使准直物镜通过镜座安装在波前分析仪上。

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