CN1153243C

CN1153243C - 等离子显示装置面板的排气密封方法

Info

Publication number: CN1153243C
Application number: CNB991036255A
Authority: CN
Inventors: 下里吉计; 泰; 名越稔泰
Original assignee: Chugai Ro Co Ltd
Current assignee: Chugai Ro Co Ltd
Priority date: 1999-03-01
Filing date: 1999-03-01
Publication date: 2004-06-09
Anticipated expiration: 2019-03-01
Also published as: CN1265516A

Abstract

提供一种能对面板均匀地加热和冷却的等离子显示装置面板的排气密封方法，包括：将多个封装一体化的带有芯管的面板按一定间隔以基本垂直状态保持在排气车上，并将真空排气***与放电气体供给***可切换地与各芯管连接并使该多个带有芯管的面板位于炉内；使循环气体沿单方向通过上述多个封装一体化的带有芯管的面板之间的空隙并进行加热及冷却并进行排气处理；在将放电气体供至各面板内后将各芯管封闭。

Description

等离子显示装置面板的排气密封方法

技术领域

本发明涉及等离子显示装置面板的排气密封方法。

背景技术

以往在等离子显示装置面板的制造过程中，包括在将表面玻璃与带有芯管的背面玻璃基板封装一体化后通过芯管对该带有芯管的面板的内部进行真空排气的工序、在真空排气后将放电气体封入面板内部至预定压力(400-600乇)、以及在此后将芯管封闭的工序。

而且，尤其是真空排气处理是通过将多个带有芯管的面板装入分批式排气炉内并将上述带有芯管的面板加热到排气处理温度后使与芯管连接的真空排气装置驱动，从而在上述带有芯管的面板内进行真空排气。另外，密封处理则是在其后停止上述真空排气装置并将带有芯管的面板冷却到预定温度(40-50℃)后，通过上述芯管将一定量的放电气体供给带有芯管的面板内后将芯管封闭。

然而，在上述处理方法中，带有芯管的面板的加热或冷却系通过循环风扇将热风或冷风吹到多个带有芯管的面板之间进行的，但通常是从带有芯管的面板的下方两侧供给热风或冷风，并通过设置在排气炉的炉顶部的循环风扇吸引到上方而形成循环。因此，从两侧供给的热风(冷风)在带有芯管的面板的中央部冲突，带有芯管的面板无法全面均匀地加热，存在带有芯管的面板易产生破损或变形的问题。

另外，还有使带有芯管的面板依次在由升温带、加热带、冷却带组成的连续炉内移动并进行上述工序的方法，但由于带有芯管的面板的加热或冷却方法与上述相同，故存在与上述同样的问题。

发明内容

因此，本发明的目的在于提供一种能使面板均匀地加热和冷却的等离子显示装置面板的排气密封方法。

为实现以上目的，本发明的第一方案为：将多个封装一体化的带有芯管的面板按一定间隔以基本垂直状态保持在排气车上，并且在将真空排气***与放电气体供给***可切换地与各芯管连接并使该多个封装一体化的带有芯管的面板位于炉内的同时，一面使循环气体沿单方向通过上述多个封装一体化的带有芯管的面板之间的空隙，一面进行加热及冷却并进行排气处理，在排气处理后将放电气体供至各面板内，其后将各芯管封闭。

另外，本发明的第二方案为：将多个封装一体化的带有芯管的面板在该各面板的平面朝向搬运方向的情况下按一定间隔以基本垂直状态保持在排气车上，并且在将真空排气***与放电气体供给***可切换地与各芯管连接并使该多个封装一体化的带有芯管的面板位于炉内的同时，使上述排气车间歇移动，并一面使循环气体沿单方向通过上述多个封装一体化的带有芯管的面板之间的空隙，一面进行加热及冷却并进行排气处理，在排气处理后将放电气体供至各面板内，其后将各芯管封闭。

附图说明

图1为表示实施本发明的等离子显示装置面板的排气密封设备的第一实施形态的剖面图。

图2为图1的升温室和加热室的剖面图。

图3为表示带有芯管的面板与喷嘴部关系的平面图。

图4为安装有带有芯管的面板的排气车的平面图。

图5为排气炉与带有芯管的面板的加热曲线。

图6为表示实施本发明的等离子显示装置面板的排气密封设备的第二实施形态的剖面图。

图7为排气炉与带有芯管的面板的加热曲线。

图8为表示实施本发明的等离子显示装置面板的排气密封设备的第三实施形态的剖面图。

图9为图8的剖面图。

具体实施方式

以下根据附图说明本发明的第一实施形态。

图1-4表示用于连续实施本发明的排气密封设备，该设备大致上由排气炉T和多个排气车10组成。

上述排气炉T在炉床的全长上具有开口部8，同时由各中间门D₁、D₂隔开而形成的升温室A、加热室B和降温室C。另外，通过中间门D₃将上述升温室A进一步分为第一升温室A₁和第二升温室A₂，通过中间门D₄将上述降温室C进一步分为第一降温室C₁和第二降温室C₂。

而且，如图2所示，升温室A和加热室B在炉内设有循环马弗炉1的同时，在循环通道2中配置有辐射管式燃烧器或电热加热器等的热源3，炉内气体因循环风扇4而经具有贯穿孔7a的整流板7从上方均匀地流入下述多个带有芯管的面板W之间的空隙，并从设于循环马弗炉1下部的开口6至上述循环通道2，通过热源3加热后吸引到循环风扇4而进行炉内循环。另外，E为装入门，F为抽出门。

还有，如图3所示，循环马弗炉1下部的开口6沿炉长方向按一定间隔设置在循环马弗炉1的下方。

另外，上述降温室C中，在升温室A和加热室B的热源3上设计成使冷却空气供给管P₁与循环风扇4附近的循环通道2连通，并使排气管P₂与循环马弗炉1内的上部连通，其它结构则与上述升温室A和加热室B相同。

如图2、4所示，排气车10系在敷设在排气炉T的炉床下的轨道R上间歇移动，排气车10的上面与排气炉T的开口部8贯通，并配设有多个由位于炉内的支柱11a和将下述带有芯管的面板W以基本垂直状态在炉宽方向加以保持的保持部件11b组成的安装部件11。另外，在该安装部件11的支柱11a上包括在排气车10的全长上具有上述开口部8和若干空隙并进行遮蔽的隔热部件12。

而且，排气车10中并搭载有具有真空排气泵14的真空排气***和具有放电气体高压储气瓶15的放电气体供给***，两者通过电磁式开闭阀16a、16b和电磁式开闭阀17与管接头18连接。并且，排气车10中还包括对下述带有芯管的面板W的芯管Wa进行熔断的封闭加热器19。

上述带有芯管的面板W系预先将表面玻璃基板与安装有芯管Wa的背面玻璃基板具有一定间隔并在其周缘进行粘合一体化，并安装在排气车10的上述安装部件11上。

如图4所示，在这种情况下，为使芯管Wa穿过设于隔热部件12中的贯通孔13，带有芯管的面板W在通过例如未图示的夹持装置等适当手段固定在安装部件11上并以基本垂直状态沿炉宽方向(车宽方向)按一定间隔载置固定的同时，将芯管Wa与管接头18连接。另外，将封闭加热器19安装到芯管Wa部的炉外部。

以下说明上述结构的带有芯管的面板排气密封设备的操作。

首先使未搭载带有芯管的面板W的空的排气车10位于炉内整个区域，在各门D₁-D₄、E、F关闭状态下，将各室A、B、C如图5所示维持在第一升温室A₁为250℃，第二升温室A₂为350℃，第一降温室C₁为300℃，第二降温室C₂为150℃。

其后，将抽出门F打开，并在将第二降温室C₂内的排气车10向炉外抽出的同时将抽出门F关闭。接着将区分第一降温室C₁和第二降温室C₂的中间门D₄打开，并在将第一降温室C₁内的排气车10向第二降温室C₂移动的同时将中间门D₄关闭。其后，将加热室B前后的中间门D₁、D₂打开，并在使第二升温室A₂内的排气车10和加热室B内的排气车10前进一个节距，在使加热室B内的头一部排气车10位于第一降温室C₁的同时将中间门D₁、D₂分别关闭，与此同时，将区分第一升温室A₁和第二升温室A₂的中间门D₃打开，并将第一升温室A₁内的排气车10移动到第二升温室A₂内。移动完成后将中间门D₃关闭，打开装入门E并将搭载有带有芯管的面板W的排气车10装入第一升温室A₁内，然后将装入门E关闭。

此后重复上述操作，依次将搭载有带有芯管的面板W的排气车10装入抽出并进行排气处理。

即，一旦将搭载有带有芯管的面板W的排气车10装入炉内，将开闭阀16a、17分别打开并在各带有芯管的面板W内与真空排气泵14连通。各带有芯管的面板W在排气炉T内通过期间根据图5所示的加热曲线进行预热、加热和缓冷，在从两玻璃基板产生气体的同时，使带有芯管的面板W排气至10^-4-10^-7乇并向炉外排出。

然而，如图1所示，排气车10的隔热部件12与装入门E、中间门D₁-D₄、抽出门F相接，且各隔热部件12在加热室B内相接。最后，由于通过各排气车10的隔热部件12将设于排气炉T的炉床中的开口部8闭锁，故可防止外气侵入炉内。

另外，在各室中由于循环气体通过整流板7均匀化并在带有芯管的面板W之间均匀流动，其后并从带有芯管的面板W的下方通过开口6向循环通道2的上方流动，从而将带有芯管的面板W均匀地加热或冷却。

尤其是，在上述实施形态中，为通过降温室C对带有芯管的面板W均匀地进行冷却，将冷却空气供给到循环风扇4的附近并通过循环风扇4加以搅拌和均热化。

而且，为尽量防止炉温不稳定，循环风扇4最好在排气车10移动过程中停止。

而且，在将上述带有芯管的面板W搬出至炉外后如通过在停止真空排气泵14的同时关闭开闭阀16a并打开开闭阀16b，从放电气体高压储气瓶15将例如氖(Ne)、氩(Ar)或氙(Xe)等放电气体充至规定压力(400-760乇)并密封在面板内，密封一旦完成，即对封闭加热器19通电而将芯管Wa封闭，即成为预定的等离子显示装置面板。

虽然在上述实施形态中，升温室A和降温室C构成为各2室，但如图6所示也可构成为各1室。

在这种情况下，设于升温室A和降温室C的炉床中的开口部8如图2中假想线所示那样通过用油缸9b驱动的隔热门9a而可开闭。其它结构则与上述第一实施形态相同。

操作时，首先在升温室A和加热室B中配置空的排气车10，在驱动油缸9b并通过隔热门9a对降温室C的开口部8进行闭锁的同时关闭装入门E、中间门D₁、D₂和抽出门F。并且如图7所示，维持在升温室A为300℃，加热室B为350℃，降温室C为300℃。

一旦将各室A、B、C维持在上述温度，将中间门D₁、D₂和隔热门9a分别打开而使升温室A和加热室B内的排气车前进1个节距，一旦升温室A的排气车10到达加热室B中而加热室B的前面的排气车10到达降温室C中，则关闭中间门D₁、D₂。

接着将装入门E打开，一旦将搭载有带有芯管的面板W的排气车10装入升温室A中，则在关闭装入门E的同时使升温室A从300℃升温到350℃。

并且，在升温室A如前所述升温到350℃后，一旦经过预定的均热时间，即打开抽出门F并将排气车10抽出，如前所述打开中间门D₁、D₂和隔热门9a，在使升温室A和加热室B内的排气车前进1个节距后，将升温室A再次降温至300℃，使下一辆排气车10的进入成为可能，以后通过重复前述操作，使带有芯管的面板W的排气车10位于加热室B内。

以这种方式过渡至常规操作，一旦加热室B内最前面的排气车10移动至降温室C，即从冷却空气供给管P₁使空气导入降温室C并降温至180℃，在降温室C到达180℃并经预定均热时间后打开抽出门F并将降温室C的排气车10抽出。

接着将抽出门F和隔热门9a关闭，将降温室C再次升温至300℃，并使下一辆排气车10的进入成为可能。

如上所述。一旦将排气车10从降温室C抽出，其后与前述第一实施形态同样地停止真空排气泵14、充入放电气体及进行芯管Wa的封闭处理。

另外，在将升温室A的温度从300℃升温至350℃后又降温至300℃的同时，将降温室C的温度从300℃降温至180℃后又升温至300℃，由于升温室A与降温室C各为一室，这样做可防止带有芯管的面板W因温度激烈变化而破损。

虽然上述各实施形态均采用使排气车10以自走方式间歇移动，但也可采用推进器方式。

虽然上述各实施形态均为对等离子显示装置面板进行连续处理，但如图8、9所示，也可采用分批式进行处理。即，图中T为分批式排气炉，在前面具有升降门G的同时，炉床与上述同样设有开口部8。另外，截面为大致コ字形的循环马弗炉1在炉内以其开口跨越上述开口部8状固定并设置在炉床上，在该循环马弗炉1的一侧壁中设置具有多个贯通孔7a的整流板7。另一方面，对面侧开口为靠近安装在炉壁中的循环风扇4的吸引口4a而方向相对。

其它结构与上述相同，故对同一部分采用同一符号，说明从略。此外，排气车10的隔热部件12为当排气车10位于炉床下时，将炉床的开口部8与升降门G全面闭锁。

由于采用上述结构，在炉外将多个带有芯管的面板W在其平面为排气车10的行进方向(带有芯管的面板W的运送方向)的状态下以一定间隔保持在大致垂直状态，使排气车10沿轨道R移动并位于排气炉T’的炉床下，并在用隔热部件12将炉床的开口部8闭锁的同时将升降门G闭锁，与上述相同地对带有芯管的面板W进行加热和冷却并进行排气处理，其后，在将放电气体供给各带有芯管的面板W内后对芯管Wa进行封闭。

在这种形态中，由于炉内的气体从整流板7的多个孔7a沿一个方向通过多个带有芯管的面板W之间的空隙而流动并通过循环风扇4加以吸引而循环，故能对带有芯管的面板W全面、均匀地进行加热和冷却。

如上所述，采用本发明由于多个封装一体化的带有芯管的面板以一定间隔保持在大致垂直状态进入炉内，且热风或冷风沿一个方向通过多个带有芯管的面板之间的空隙而将带有芯管的面板加热和冷却。因此，由于能对带有芯管的面板的两面均匀地加热和冷却，故能在进行正确的温度管理的同时防止带有芯管的面板的破损和变形。

Claims

1.一种等离子显示装置面板的排气密封方法，其特征在于，包括以下步骤：将多个封装一体化的带有芯管的面板按一定间隔以基本垂直状态保持在排气车上，并且在将真空排气***与放电气体供给***可切换地与各芯管连接并使该多个封装一体化的带有芯管的面板位于炉内的同时，一面使循环气体沿单方向通过上述多个封装一体化的带有芯管的面板之间的空隙，一面进行加热及冷却并进行排气处理，在排气处理后将放电气体供至各面板内，其后将各芯管封闭。

2.如权利要求1所述的排气密封方法，其特征在于，各面板的平面朝向所述排气车的搬运方向，所述排气车是间歇移动的。