CN114967036A - 一种反射镜面形控制结构及光束线装置 - Google Patents
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Abstract
本申请提供了一种反射镜面形控制结构及光束线装置，涉及同步辐射及自由电子激光技术领域。反射镜面形控制结构包括光学元件及冷却补偿模组，光学元件设有反射面及冷却槽，冷却槽中设有冷却液，冷却补偿模组包括冷却管道、冷却板及多个电加热片，冷却板设置于冷却管道，且***在冷却液中不与冷却槽接触，冷却板的长度大于冷却管道的长度；多个电加热片设置于冷却板上，且沿冷却板的长度方向分布。本申请提供的反射镜面形控制结构通过冷却和温度补偿相结合的方式，消除反射面吸收热功率后的温度梯度，有效地控制反射面的面形，满足新一代光源对面形控制的要求，且适用于反射面吸收的热功率达到5W的情况。
Description
技术领域
本申请涉及同步辐射及自由电子激光技术领域，尤其涉及一种反射镜面形控制结构及光束线装置。
背景技术
无论对于同步辐射及自由电子激光装置，光源产生的X射线中包含了一定的热载荷。当反射镜接受来自上游的白光后，会将一部分X射线反射出去，同时还会吸收一定量的热功率。反射镜吸收光源热功率后，在反射镜上会产生温度梯度，从而导致镜面出现热变形，最终对X射线的传输效率和传输质量造成不利影响。
新一代光源对光学元件的面形控制提出了非常高的要求，一般要求高度误差PV(Peak to valley，峰谷值)在若干nm及斜率误差RMS(均方根)值小于100nrad(纳弧度)量级。因此对反射镜的冷却就显得尤为重要。
然而现有的针对反射镜的冷却方案具有以下几种：侧面接触冷却；侧面开槽设计，通过优化切槽位置、深度和宽度等参数使特定热负荷作用下的表面热变形最小；侧面局部冷却方案，在保持反射镜外观完整的情况下，对于冷却铜块和反射镜侧面接触区域的长度和宽度进行优化，可以对某个载荷得到极小的面形误差。除了侧面接触冷却外，对于短尺寸的光学元件还有利用内部通道冷却的方案。上述这些方案有个共同点就是只能针对光斑中心和反射镜的表面中心基本一致时才有效，针对高热负载的反射镜(即反射镜吸收的热功率为5W)不再适用。
发明内容
本申请的目的在于提供一种反射镜面形控制结构及光束线装置，用以解决现有技术中存在的不足。
为达上述目的，第一方面，本申请提供的一种反射镜面形控制结构，包括光学元件及冷却补偿模组；
所述光学元件设有反射面，所述光学元件沿长度方向设有冷却槽，所述冷却槽的开口朝上，且所述冷却槽中设有冷却液；
所述冷却补偿模组包括冷却管道、冷却板及多个电加热片，所述冷却管道可外接冷却水供应设备，所述冷却板设置于所述冷却管道上，所述冷却板背向所述冷却管道的一侧边***所述冷却液中，且不与所述冷却槽接触，其中，所述冷却板的两端分别沿所述冷却管的长度方向延伸，且所述冷却板的长度大于所述冷却管道的长度；多个所述电加热片均设置于所述冷却板上，且沿所述冷却板的长度方向分布。
结合第一方面，在一种可能的实施方式中，多个所述电加热片沿所述冷却板的长度方向均匀分布。
结合第一方面，在一种可能的实施方式中，所述冷却板的长度大于光束线在所述反射面上形成的光斑的长度，且所述冷却管道的长度小于所述光斑的长度。
结合第一方面，在一种可能的实施方式中，所述冷却板上任意一面至与所述冷却槽的壁面之间的距离相同。
结合第一方面，在一种可能的实施方式中，所述光学元件与所述反射面相邻的两个侧面均设有应力缓释槽，所述应力缓释槽沿所述光学元件的长度方向贯穿设置。
结合第一方面，在一种可能的实施方式中，所述冷却补偿模组还包括运动机构，所述运动机构与所述冷却管道连接，所述运动机构用于驱动所述冷却管道带动所述冷却板沿所述冷却槽移动。
结合第一方面，在一种可能的实施方式中，所述光学元件具有上表面、与所述上表面相对的下表面及位于所述上表面与所述下表面之间的两个侧表面；
所述反射面与所述冷却槽均设于所述上表面，且所述冷却槽设有两个，两个所述冷却槽分设于所述反射面沿宽度方向的两侧。
结合第一方面，在一种可能的实施方式中，所述光学元件具有上表面、与所述上表面相对的下表面及位于所述上表面与所述下表面之间的两个侧表面；
其中，所述反射面设于其中一个所述侧表面，所述冷却槽设于所述上表面。
结合第一方面，在一种可能的实施方式中，所述光学元件具有上表面、与所述上表面相对的下表面及位于所述上表面与所述下表面之间的两个侧表面；
所述反射面设于所述下表面；
两个所述侧表面均设有应力缓释槽，每个所述应力缓释槽靠近所述反射面的一槽侧壁上均设有所述冷却槽。
为达上述目的，第二方面，本申请还提供了一种光束线装置，包括装置本体及如上述第一方面提供的反射镜面形控制结构，所述反射面与所述装置本体的出光侧对应，所述装置本体用于向所述反射面发射光束线，其中，所述装置本体为同步辐射装置或自由电子激光装置。
相比于现有技术，本申请的有益效果：
本申请提供了一种反射镜面形控制结构及光束线装置，其中，反射镜面形控制结构包括光学元件及冷却补偿模组，冷却补偿模组通过冷却管道外接冷却水供应设备，由冷却水供水设备向冷却管道提供冷却水，由于冷却板背向冷却管道的一侧边***在冷却液中，所以冷却管道可通过依次通过冷却板和冷却液与光学元件进行热量交换，由冷却水带走反射面吸收的热功率，已对反射面进行冷却。又因为光束线照射在反射面会形成光斑，而沿光斑的长度方向，其热量分布符合高斯分布，所以会在反射面上形成中间向两端递减的温度梯度。由此，冷却时，冷却管道与光斑的中部相对应，以对光斑的中部位置所对应的反射面进行冷却，对于光斑中部位置至两端的所对应的反射面，则可通过分布于冷却板上的相对应的电加热片进行温度补偿。本申请提供的反射镜面形控制结构通过冷却和温度补偿相结合的方式，可以消除反射面吸收热功率后的温度梯度，更有效地对反射面的面形进行控制，以使反射面的面形控制符合新一代光源对面形控制的要求，尤其适用于反射面吸收的热功率达到5W的情况。
附图说明
为了更清楚地说明本申请实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本申请的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
图1示出了本申请实施例提供的第一种反射镜面形控制结构的主视图；
图2示出了图1所示反射镜面形控制结构的俯视图；
图3示出了图1所示反射镜面形控制结构二分之一立体结构示意图；
图4示出了图1所示反射镜面形控制结构中冷却补偿模组的立体结构示意图；
图5示出了图1所示高热负载反射镜面形控制结构的右视图；
图6示出了本申请实施例提供的第二种反射镜面形控制结构的右视图；
图7示出了采用本实施例提供的反射镜面形控制结构时，光斑在第一位置时反射面的沿子午法线方向的变形曲线图(a)和斜率误差曲线图(b)；
图8示出了未采用本实施例提供的反射镜面形控制结构时，光斑在第二位置时反射面的沿子午法线方向的变形曲线图(a)和斜率误差曲线图(b)；
图9示出了采用本实施例提供的反射镜面形控制结构时，光斑在第二位置时反射面的沿子午法线方向的变形曲线图(a)和斜率误差曲线图(b)；
图10示出了本申请实施例提供的第三种反射镜面形控制结构的右视图；
图11示出了本申请实施例提供的第四种反射镜面形控制结构的右视图；
图12示出了未采用本实施例提供的反射镜面形控制结构时，光斑在第一位置时反射面的沿子午法线方向的变形曲线图(a)和斜率误差曲线图(b)。
主要元件符号说明：
100-光学元件；100a-反射面；100b-上表面；100c-下表面；100d-侧表面；110-冷却槽；120-应力缓释槽；200-冷却液；300-冷却补偿模组；310-冷却管道；320-冷却板；330-电加热片；340-运动机构；400-光斑；500-第一位置；600-第二位置。
具体实施方式
下面详细描述本申请的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本申请，而不能理解为对本申请的限制。
在本申请的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。
此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本申请的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。
在本申请中，除非另有明确的规定和限定，“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。
在本申请中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
实施例一
请参阅图1、图2、图3及图4，本实施例提供了一种反射镜面形控制结构，尤其涉及的是一种适用于热功率可达5W的高热负载反射镜面形控制结构。其中，反射镜面形控制结构可应用于光束线装置中，光束线装置可发出光束线，且光束线中包括X射线。
本实施例提供的反射镜面形控制结构包括光学元件100及冷却补偿模组300，其中，冷却补偿模组300用于对光学元件100进行冷却和温度补偿。
具体的，光学元件100设有反射面100a，光学元件100沿长度方向设有冷却槽110，冷却槽110的开口朝上，且冷却槽110中设有冷却液200。其中，冷却槽110的开口朝上设置的目的是确保冷却液200能够存留在冷却槽110中。
可选地，冷却液200为金属溶液。进一步的，可选择为铟镓溶液，导热性能好。
请参阅图3、图4及图5，冷却补偿模组300包括冷却管道310、冷却板320及多个电加热片330。冷却管道310可外接冷却水供应设备(图未示)。冷却板320设置于冷却管道310上，具体的冷却管道310位于冷却板320沿宽度方向的一侧边，冷却板320背向冷却管道310的一侧边***冷却液200中，且不与冷却槽110接触，即冷却板320与光学元件100通过冷却液200实现间接接触。
进一步的，冷却板320上任意一面至与冷却槽110的壁面之间的距离相同。具体的，冷却槽110的壁面分别为槽底和位于两侧的槽侧壁，冷却板320板背向冷却管道310的一侧边至冷却槽110的槽底的距离及冷却板320沿厚度方向的侧面与冷却槽110相应的槽侧壁之间的距离相同。
可以理解的，在本实施例中，通过冷却板320与光学元件100的间接接触，在确保光学元件100与冷却板320之间的热量传递的同时，可避免冷却管道310中通入冷却水时产生的振动直接传递给光学元件100。由此，可以使光学元件100工作时，反射面100a保持稳定，从而保障光束线装置的稳定运行。
进一步的，冷却板320的两端分别沿冷却管的长度方向延伸，且冷却板320的长度大于冷却管道310的长度，由此，当冷却补偿模组300工作时，冷却板320与冷却管道310相对应的区域温度最低，从而使冷却板320形成中间低两端逐渐升高的温度梯度。
还需要说的是，由于光束线装置中反射的光束线会照射至光学元件100的反射面100a上，并在反射面100a上形成光斑400，光斑400的长度与反射面100a的长度方向一致，同时光斑400的热功率分布符合高斯分布，即沿光斑400的长度方向，光斑400中间的温度最高，向两端温度逐渐递减，形成温度梯度。由此，反射面100a吸收光斑400的热功率也符合高斯分布的特性。所以在本实施例中，在进行冷却时，使冷却板320***冷却槽110中的位置与光斑400在反射面100a上的位置相对应，再利用冷却板320与光斑400相反的温度分布特性，通过热量交换对光学元件100进行冷却，从而降低反射面100a上的温度梯度，进而达到控制反射面100a面形的作用。
进一步的，冷却板320的长度大于光束线在反射面100a上形成的光斑400的长度，且冷却管道310的长度小于光斑400的长度，以确保对光斑400所在的反射面100a进行全面冷却，提高冷却效果。
可选地，冷却板320与冷却管道310的材质均可选择为铜材质。且冷却板320与冷却管道310可一体成型或焊接为一体。
多个电加热片330均设置于冷却板320上，且沿冷却板320的长度方向分布。其中，冷却补偿模组300还包温度控制器(图未示)，温度控制器与每个电加热片330电线连接，以对每个电加热片330的工作进行单独控制。
由此可以理解的，当需要对反射面100a的面形进行控制时，冷却管道310与光斑400的中部相对应，主要对光斑400的中部位置所对应的反射面100a进行冷却，对于光斑400的中部位置至光斑400的两端区域所对应的反射面100a，在冷却的基础上，还可通过分布于冷却板320上的相对应的电加热片330进行温度补偿。进而通过冷却与温度补偿结合的方式，消除反射面100a吸收热功率后的温度梯度，更有效地对反射面100a的面形进行控制，以使反射面100a的面形控制符合新一代光源对面形控制的要求，尤其适用于反射面100a吸收的热功率达到5W的情况。
还需要说明的是，由于每个电加热片330的加热温度可进行单独控制，因此，可根据光斑400的温度分布情况，精确地控制每个电加热片330的加热温度，由此实现对反射面100a的面形的精确控制。
可选地，多个电加热片330沿冷却板320的长度方向均匀分布，以提高温度补偿效果。
进一步的，光学元件100与反射面100a相邻的两个侧面均设有应力缓释槽120，应力缓释槽120沿光学元件100的长度方向贯穿设置。
可以理解的，应力缓释槽120的设计可以释放反射面100a吸热后产生的内应力，且两个应力缓释槽120具有对称性，可以更好的减弱内应力对反射面100a的面形影响。
实施例二
请参阅图2、图3及图6，本实施例提供了一种反射镜面形控制结构，应用于光束线装置中。本实施例是在上述实施例一的技术基础上做出的改进，相比上述实施例一，区别之处在于：
在本实施例中，冷却补偿模组300还包括运动机构340，运动机构340与冷却管道310连接，运动机构340用于驱动冷却管道310带动冷却板320沿冷却槽110移动。
进一步的，运动机构340与冷却管道310之间通过隔热垫(图未示)连接，防止热量向运动机构340传递。可选地，隔热垫有绝热材料制成，例如玻璃纤维、石棉或气凝胶等。应当理解的，上述仅是举例说明，不作为本申请保护范围的限制。
可以理解的，当光束线沿反射面100a的长度方向移动时，反射面100a上的光斑400也会随之移动，如果冷却补偿模组300保持在原位不动则无法对光斑400移动后的区域进行面形控制。由此，可将运动机构340与光斑400的移动通过***进行联动，即当光斑400沿反射面100a的长度方向移动至预设位置时，通过本实施例中的运动机构340驱动冷却管道310带动冷却板320沿冷却槽110移动至相应的位置，以与光斑400的位置保持对应，从而精确的对反射面100a的面形进行控制。
具体的，运动机构340能够输出往复直线运动，由此，运动机构340可选择为直线电机、无杆气缸、直线模组、电动推杆、电机+丝杠螺母传动机构或者电机+齿轮齿条传动机构。应当理解的，上述对运动机构340的描述仅是举例说明，不作为本申请保护范围的限制。
请参阅图2、图7、图8、图9及图10，为了更清楚地描述本申请的技术方案，以下进行举例说明：
在光斑400移动过程中，考虑了反射面100a上两处不同的位置如图2所示，光斑400在第一位置500时反射面100a吸收的热功率为4W，光斑400在第二位置600时反射面100a吸收的热功率为5W。通过分析，如果没有采用本实施例提供的反射镜面形控制结构，光斑400分别在第一位置500与第二位置600时，反射面100a沿子午法线方向的变形曲线和斜率误差曲线，分别如图7和图9所示，其中，高度误差PV值都不小于10nm，斜率误差RMS值都大于100nrad，都不能满足要求。
利用本实施例提供的反射镜面形控制结构，得到了光斑400分别在第一位置500与第二位置600时，反射面100a沿子午法线方向的变形曲线和斜率误差曲线，分别如图8和图10所示，高度误差PV值都小于4nm，斜率误差RMS值都小于100nrad，可以满足面形的要求。由此可见，使用本实施例提供的反射镜面形控制结构可使得反射面100a的是高度误差PV及斜率误差RMS都明显降低，以使反射面100a的面形控制符合新一代光源对面形控制的要求。
实施例三
请参阅图3、图5及图6，本实施例提供了一种反射镜面形控制结构，应用于光束线装置中。本实施例是在上述实施例一或实施例二的技术基础上做出的改进，相比上述实施例一或实施例二，区别之处在于：
在本实施例中，光学元件100为长条状的长方体，其中，光学元件100具有上表面100b、与上表面100b相对的下表面100c及位于上表面100b与下表面100c之间的两个侧表面100d。
反射面100a与冷却槽110均设于上表面100b，其中，反射面100a设置于上表面100b，可以对从上方照射来的光束线进行反射。
进一步的，在本实施例中，冷却槽110设有两个，两个冷却槽110分设于反射面100a沿宽度方向的两侧，两个冷却槽110关于反射面100a的长度方向的中心线对称。每个冷却槽110对应设置有一个冷却补偿模组300，以提高反射面100a的面形控制效果。
两个侧表面100d均设有所述应力缓释槽120，且应力缓释槽120位于侧表面100d靠近上表面100b的一侧，以缩短热量传递的路径，进而更好的对反射面100a进行冷却和温度补偿，更好的控制反射面100a的面形。
实施例四
请参阅图11，本实施例提供了一种反射镜面形控制结构，应用于光束线装置中。本实施例是在上述实施例一或实施例二的技术基础上做出的改进，相比上述实施例一或实施例二，区别之处在于：
其中，在本实施例中，光学元件100为长条状的长方体，光学元件100具有上表面100b、与上表面100b相对的下表面100c及位于上表面100b与下表面100c之间的两个侧表面100d。
反射面100a设于其中一个侧表面100d，冷却槽110设于上表面100b。反射面100a设置于侧表面100d，可以对相应的左侧方或右侧向照射来的光束线进行反射。
进一步的，上表面100b与下表面100c均设有应力缓释槽120，且上表面100b与下表面100c上的应力缓释槽120靠近设有反射面100a的侧表面100d，以缩短热量传递的路径，进而更好的对反射面100a进行冷却和温度补偿，更好的控制反射面100a的面形。
实施例五
请参阅图12，本实施例提供了一种反射镜面形控制结构，应用于光束线装置中。本实施例是在上述实施例一或实施例二的技术基础上做出的改进，相比上述实施例一或实施例二，区别之处在于：
具体的，在本实施例中，光学元件100为长条状的长方体，光学元件100具有上表面100b、与上表面100b相对的下表面100c及位于上表面100b与下表面100c之间的两个侧表面100d。
其中，反射面100a设于下表面100c，进而可以对下方照射来的光束线进行反射。
两个侧表面100d均设有应力缓释槽120，且应力缓释槽120位于侧表面100d靠近下表面100c的一侧。进一步的，每个应力缓释槽120靠近反射面100a的一槽侧壁上均设有冷却槽110。
实施例六
请参阅图1至图12，本实施例提供了一种光束线装置，包括装置本体(图未示)及如任意一个实施例提供的反射镜面形控制结构。
其中，反射镜面形控制结构设置于装置本体的出光侧，且反射面100a与装置本体的出光侧对应。装置本体用于向反射面100a发射光束线。
其中，装置本体为同步辐射装置或自由电子激光装置。反射镜面形控制结构中的光学元件100及冷却补偿模组300均设有相应的支架(图未示)进行支撑。
在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本申请的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不必须针对的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。此外，在不相互矛盾的情况下，本领域的技术人员可以将本说明书中描述的不同实施例或示例以及不同实施例或示例的特征进行结合和组合。
尽管上面已经示出和描述了本申请的实施例，可以理解的是，上述实施例是示例性的，不能理解为对本申请的限制，本领域的普通技术人员在本申请的范围内可以对上述实施例进行变化、修改、替换和变型。
Claims (10)
1.一种反射镜面形控制结构，其特征在于，包括光学元件及冷却补偿模组；
所述光学元件设有反射面，所述光学元件沿长度方向设有冷却槽，所述冷却槽的开口朝上，且所述冷却槽中设有冷却液；
所述冷却补偿模组包括冷却管道、冷却板及多个电加热片，所述冷却管道可外接冷却水供应设备，所述冷却板设置于所述冷却管道上，所述冷却板背向所述冷却管道的一侧边***所述冷却液中，且不与所述冷却槽接触，其中，所述冷却板的两端分别沿所述冷却管的长度方向延伸，且所述冷却板的长度大于所述冷却管道的长度；多个所述电加热片均设置于所述冷却板上，且沿所述冷却板的长度方向分布。
2.根据权利要求1所述的反射镜面形控制结构，其特征在于，多个所述电加热片沿所述冷却板的长度方向均匀分布。
3.根据权利要求1所述的反射镜面形控制结构，其特征在于，所述冷却板的长度大于光束线在所述反射面上形成的光斑的长度，且所述冷却管道的长度小于所述光斑的长度。
4.根据权利要求1所述的反射镜面形控制结构，其特征在于，所述冷却板上任意一面至与所述冷却槽的壁面之间的距离相同。
5.根据权利要求1所述的反射镜面形控制结构，其特征在于，所述光学元件与所述反射面相邻的两个侧面均设有应力缓释槽，所述应力缓释槽沿所述光学元件的长度方向贯穿设置。
6.根据权利要求1所述的反射镜面形控制结构，其特征在于，所述冷却补偿模组还包括运动机构，所述运动机构与所述冷却管道连接，所述运动机构用于驱动所述冷却管道带动所述冷却板沿所述冷却槽移动。
7.根据权利要求1所述的反射镜面形控制结构，其特征在于，所述光学元件具有上表面、与所述上表面相对的下表面及位于所述上表面与所述下表面之间的两个侧表面；
所述反射面与所述冷却槽均设于所述上表面，且所述冷却槽设有两个，两个所述冷却槽分设于所述反射面沿宽度方向的两侧。
8.根据权利要求1所述的反射镜面形控制结构，其特征在于，所述光学元件具有上表面、与所述上表面相对的下表面及位于所述上表面与所述下表面之间的两个侧表面；
其中，所述反射面设于其中一个所述侧表面，所述冷却槽设于所述上表面。
9.根据权利要求1所述的反射镜面形控制结构，其特征在于，所述光学元件具有上表面、与所述上表面相对的下表面及位于所述上表面与所述下表面之间的两个侧表面；
所述反射面设于所述下表面；
两个所述侧表面均设有应力缓释槽，每个所述应力缓释槽靠近所述反射面的一槽侧壁上均设有所述冷却槽。
10.一种光束线装置，其特征在于，包括装置本体及如权利要求1-9中任一项所述的反射镜面形控制结构，所述反射面与所述装置本体的出光侧对应，所述装置本体用于向所述反射面发射光束线，其中，所述装置本体为同步辐射装置或自由电子激光装置。
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