CN114959610A - 一种平行臂式三自由协同驱动型薄膜掠射角溅射平台 - Google Patents

Abstract

本发明公开一种平行臂式三自由协同驱动型薄膜掠射角溅射平台，包括外壳；外壳内安装有公转驱动组件及中央动作结构组件；中央动作结构组件包括工作台，传动塔，自转传动组件及公转传动组件；自转传动组件安装于框体内，公转传动组件安装于框体外周壁，传动塔安装于框体顶部；框体置于外壳内腔中部。本发明在保证***可靠性、易维护性以及一定***冗余程度的前提下，实现了载物实验盘在传动塔上端中枢传动轴为原点作自转、摇摆、公转三个自由度的独立、协同、连续、自动化控制，能够满足新要求下高新材料镀膜溅射实验所需性能指标。

Description

一种平行臂式三自由协同驱动型薄膜掠射角溅射平台

技术领域

本发明涉及真空磁控镀膜技术领域，特别是涉及一种平行臂式三自由协同驱动型薄膜掠射角溅射平台。

背景技术

磁控溅射技术是一种常用的物理气相沉积薄膜制备方法，通过氩离子高速轰击靶材表面，使靶材发生溅射，溅射出来的粒子附着在工件表面形成一层薄膜，具有均匀性好、基材附着力强、溅射速率高、工艺稳定性好等优点。在现有的多靶共溅射沉积***中，样品台水平安装在溅射腔体上端，溅射靶材安装在腔体的下端且与样品台表面形成一定的偏轴角度，在溅射过程中，为了保证薄膜的均匀性，一般需将支撑工件的样品台设置为可旋转的样品台。

现有技术中，上述常规的多靶溅射***的样品台仅有一个水平方向上的自动自由度，靶材安装固定不动，这种布局方式可以很好实现薄膜的共溅射沉积，但却无法满足复杂工件的多方位、连续变位磁控溅射沉积或者复杂非线性结构性质薄膜的需求。例如在掠射角溅射沉积中，要求工件表面与入射粒子形成特定的倾斜角度，使得工件表面上已形成的薄膜结构对之后沉积在工件表面上的粒子产生自阴影效应，从而产生一种非线性复杂纳米结构性质的薄膜。

因此上述常规多靶溅射***在使用过程中，仍然存在较为明显的缺陷，样品台上的工件表面在水平旋转的同时，相对溅射靶材的角度无法自动有效调节，同时要求工件表面在倾角定位的同时能够沿着工件自身的轴线进行自转，传统镀膜溅射实验平台仅有一个自动自由度或一个自动自由度配一个手动自由度(即只能在实验开始前使用螺栓等装置固定实验盘的定角变位装置)，无法满足后续多方位溅射、连续变位溅射实验的需求。因此，亟需设计一种能满足自传、公转、角度可调的独立、协同、连续、自动化控制的薄膜溅射平台。

发明内容

本发明的目的是提供一种平行臂式三自由协同驱动型薄膜掠射角溅射平台，以解决上述现有技术存在的问题。

为实现上述目的，本发明提供了如下方案：本发明提供一种平行臂式三自由协同驱动型薄膜掠射角溅射平台，包括外壳；所述外壳内安装有公转驱动组件及中央动作结构组件；

所述中央动作结构组件包括工作台，传动塔，自转传动组件及公转传动组件；所述工作台与所述传动塔传动连接实现所述工作台的翻转；所述传动塔与所述自转传动组件传动连接，实现所述工作台的自转；所述公转驱动组件与所述公转传动组件传动连接，实现所述工作台的公转；

所述自转传动组件安装于所述框体内，所述公转传动组件安装于所述框体外周壁，所述传动塔安装于所述框体顶部；所述框体置于所述外壳内腔中部。

所述公转传动组件包括径向支撑架，导电滑环，电磁制动器和轴向传动组；所述轴向传动组设置有两组且分别与所述公转驱动组件传动连接；所述轴向传动组安装于所述径向支撑架上；

所述电磁制动器置于所述框体底部，且电磁制动器传动连接有公转制动轴的一端；所述公转制动轴另一端伸入所述框体底部，且固定安装在所述框体内；所述公转制动轴上还安装有所述导电滑环。

所述轴向传动组包括承力盘，公转齿轮及推力球轴承；所述承力盘固定安装在所述框体外壁，所述公转齿轮固定安装在所述承力盘底部，所述推力球轴承安装在所述公转齿轮另一侧。

所述径向支撑架包括肩部固定架，腰部固定架，底部固定架及稳定架；所述腰部固定架和底部固定架固定安装在所述框体上，且设置于所述稳定架两侧，所述肩部固定架与所述腰部固定架内安装有一组所述轴向传动组；所述底部固定架下方安装有一组所述轴向传动组。

所述稳定架包括径向保持盘，托盘和深沟球轴承；所述径向保持盘固定安装于所述框体中部，所述径向保持盘外圈安装有所述深沟球轴承；所述托盘与所述底部固定架对所述轴向传动组限位。所述公转驱动组件设置有两组且分别与所述轴向传动组位置对应；所述公转驱动组件包括公转电机，电磁离合器，公转传动轴和驱动齿轮；

所述公转电机固定安装于所述外壳侧壁，且所述公转电机通过联轴器与所述电磁离合器传动连接；所述电磁离合器传动安装有所述公转传动轴的一端，所述公转传动轴的另一端通过轴承安装有所述驱动齿轮；所述驱动齿轮与所述公转齿轮相啮合。

所述工作台包括中枢传动机构、试验台架和加热盘；所述试验台架上方安装有所述加热盘，所述试验台架底部通过所述中枢传动机构与所述传动塔顶部传动连接。

所述传动塔包括连杆，连接杆头，传动塔连杆稳定臂和塔体；所述塔体顶部安装有所述中枢传动机构；所述连杆设置于所述塔体一侧，所述连杆两端均安装有所述连接杆头；所述连杆一端通过所述连接杆头与所述中枢传动机构传动连接；所述连杆另一端与摇摆控制结构传动连接；所述塔体中部安装有所述传动塔连杆稳定臂；所述传动塔连杆稳定臂还安装于所述连杆侧壁；所述传动塔连杆稳定臂与所述塔体侧壁形成的限位凹台配合安装。

所述摇摆控制结构安装于所述框体内；所述摇摆控制结构包括蜗轮蜗杆减速电机，摇摆控制齿轮，摇摆控制盘及肩部连杆稳定臂；所述肩部连杆稳定臂与所述连杆一端通过所述连接杆头传动连接；所述肩部连杆稳定臂上开设有活动槽，所述活动槽内滑动设置有所述摇摆控制盘的一端，所述摇摆控制盘与所述摇摆控制齿轮同轴连接，且所述摇摆控制齿轮与所述蜗轮蜗杆减速电机输出端安装的减速电机驱动齿轮相啮合。

所述自转传动组件包括，自转电机，自转传动齿轮，主传动轴和电磁离合器；所述自转电机固定安装在所述框体内，所述自转电机的输出轴安装有驱动齿轮，所述驱动齿轮与所述自转传动齿轮相啮合，所述自转传动齿轮安装于所述电磁离合器一侧，所述电磁离合器另一侧传动安装有主传动轴；所述主传动轴伸出所述框体且贯穿所述塔体与所述中枢传动机构传动连接；所述主传动轴上还安装有若干个轴承固定结构。

本发明公开了以下技术效果：本发明在保证***可靠性、易维护性以及一定***冗余程度的前提下，实现了载物实验盘在实验舱内以装置中央动作结构体传动塔上端中枢传动轴为原点作自转、摇摆、公转三个自由度的独立、协同、连续、自动化控制，能够满足新要求下高新材料镀膜溅射实验所需性能指标。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为整体结构正视图；

图2为外壳内部结构示意图；

图3为外壳与轴向传动组装配示意图；

图4为公转传动组件及传动塔轴测图；

图5为承力盘结构俯视图；

图6为承力盘结构仰视图；

图7为径向保持盘结构示意图；

图8为框体内部结构示意图；

图9为摇摆控制结构示意图；

图10为摇摆控制盘结构正视图；

图11为摇摆控制盘结构俯视图；

图12为公转齿轮结构示意图；

其中，1、外壳；2、工作台；3、传动塔；4、框体；21、中枢传动机构；22、试验台架；23、加热盘；31、连杆；32、连接杆头；34、传动塔连杆稳定臂；35、塔体；36、限位凹台；51、轴向传动组；52、导电滑环；53、电磁制动器；54、公转制动轴；55、承力盘；56、公转齿轮；57、肩部固定架；58、腰部固定架；59、底部固定架；510、径向保持盘；511、托盘；512、深沟球轴承；61、公转电机；62、电磁离合器；63、公转传动轴；64、驱动齿轮；81、蜗轮蜗杆减速电机；82、摇摆控制齿轮；83、摇摆控制盘；84、肩部连杆稳定臂；85、减速电机驱动齿轮；71、自转电机；72、自转传动齿轮；73、主传动轴。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

为使本发明的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图和具体实施方式对本发明作进一步详细的说明。

本发明提供一种平行臂式三自由协同驱动型薄膜掠射角溅射平台，包括外壳1；外壳内安装有公转驱动组件及中央动作结构组件；

中央动作结构组件包括工作台2，传动塔3，自转传动组件及公转传动组件；工作台2与传动塔3传动连接实现工作台2的翻转；传动塔3与自转传动组件传动连接，实现工作台2的自转；公转驱动组件与公转传动组件传动连接，实现工作台1的公转；

自转传动组件安装于框体4内，公转传动组件安装于框体4外周壁，传动塔3安装于框体4顶部；框体4置于外壳1内腔中部。

公转传动组件包括径向支撑架，导电滑环52，电磁制动器53和轴向传动组51；轴向传动组51设置有两组且分别与公转驱动组件传动连接；轴向传动组51安装于径向支撑架上；

电磁制动器53置于框体4底部，且电磁制动器53传动连接有公转制动轴54的一端；公转制动轴54另一端伸入框体4底部，且固定安装在框体4内；公转制动轴54上还安装有导电滑环52。

轴向传动组51包括承力盘55，公转齿轮56及推力球轴承；承力盘55固定安装在框体4外壁，公转齿轮56固定安装在承力盘55底部，推力球轴承安装在公转齿轮56另一侧。

径向支撑架包括肩部固定架57，腰部固定架58，底部固定架59及稳定架；腰部固定架58和底部固定架59固定安装在框体4上，且设置于稳定架两侧，肩部固定架57与腰部固定架58内安装有一组轴向传动组51；底部固定架59下方安装有一组轴向传动组51。

稳定架包括径向保持盘510，托盘511和深沟球轴承512；径向保持盘510固定安装于框体4中部，径向保持盘510外圈安装有所述深沟球轴承512；托盘511与底部固定架59对所述轴向传动组51限位。

公转驱动组件设置有两组且分别与轴向传动组51位置对应；公转驱动组件包括公转电机61，电磁离合器62，公转传动轴63和驱动齿轮64；

公转电机61固定安装于外壳1侧壁，且公转电机61通过联轴器与电磁离合器62传动连接；电磁离合器62传动安装有公转传动轴63的一端，公转传动轴63的另一端通过轴承安装有驱动齿轮64；驱动齿轮64与公转齿轮56相啮合。

工作台2包括中枢传动机构21、试验台架22和加热盘23；试验台架22上方安装有加热盘23，试验台架22底部通过中枢传动机构21与传动塔3顶部传动连接。

传动塔3包括连杆31，连接杆头32，传动塔连杆稳定臂34和塔体35；塔体35顶部安装有中枢传动机构21；连杆31设置于塔体35一侧，连杆31两端均安装有连接杆头32；连杆31一端通过连接杆头32与中枢传动机构21传动连接；连杆31另一端与摇摆控制结构传动连接；塔体35中部安装有传动塔连杆稳定臂34；传动塔连杆稳定臂34还安装于连杆31侧壁；传动塔连杆稳定臂34与塔体35侧壁形成的限位凹台36配合安装。

摇摆控制结构安装于框体4内；摇摆控制结构包括蜗轮蜗杆减速电机81，摇摆控制齿轮82，摇摆控制盘83及肩部连杆稳定臂84；肩部连杆稳定臂84与连杆31一端通过连接杆头32传动连接；肩部连杆稳定臂84上开设有活动槽，活动槽内滑动设置有摇摆控制盘83的一端，摇摆控制盘83与摇摆控制齿轮82同轴连接，且摇摆控制齿轮82与蜗轮蜗杆减速电机81输出端安装的减速电机驱动齿轮85相啮合。

自转传动组件包括，自转电机71，自转传动齿轮72，主传动轴73和电磁离合器62；自转电机71固定安装在框体4内，自转电机71的输出轴安装有驱动齿轮，驱动齿轮与自转传动齿轮72相啮合，自转传动齿轮72安装于电磁离合器62一侧，电磁离合器62另一侧传动安装有主传动轴73；主传动轴73伸出框体4且贯穿塔体35与中枢传动机构传动连接；主传动轴73上还安装有若干个轴承固定结构。

在本发明的一个实施例中，径向保持盘510上形成有若干个加强肋，且径向保持盘510内还开设有若干个减重孔；其中部镂空与框体4配合安装；径向保持盘510上还开设有让位槽，防止与摇摆控制盘83产生运动干涉。

在本发明的一个实施例中，底部固定架59和肩部固定架57分别嵌设在两承力盘55内，对公转齿轮56形成径向支撑；径向保持盘510通过腰部固定架58与轴向传动组51连接固定，通过径向保持盘510及其底部固定架59固定径向保持轴承。该部分仅负责保证框体4的径向稳定性，不负责承担其重量。

进一步的，公转齿轮56除了承担公转自由度传动任务外还同步承担其轴向支承功能，其下面端具有用于固定推力球轴承的相应固定槽位置。同时为了在保证一定刚度的前提下减轻其重量，公转齿轮56采用轮辐状刻槽与打孔两种方式进行减重。该部分除保证轴向传动组51的轴向稳定性之外，还同步承担其主体结构重量。

在本发明的一个实施例中，中枢传动机构21与连杆接头32转动连接，中枢传动结构21底部与传动塔3顶端的主传动轴73通过齿轮啮合的方式实现传动；中枢传动结构21通过与主动走73的传动实现试验台架22的翻转，通过与连杆接头32的连接实现翻转时的稳定孔子。

进一步的，中枢传动结构21顶部固定安装在试验台架22底部；试验台架22内安装有加热盘23，用于对实验台架22表面加热。

在本发明的一个实施例中，连杆接头32及肩部连杆稳定臂84均通过轴承固定结构与主传动轴73相连接，实现摇摆控制结构的传动稳定；肩部连杆稳定臂84除一般稳定传动作用外还承担壳体1内部的连杆31之间的动力承接任务。

进一步的，摇摆控制齿轮82上还设置有限位开关，通过调节限位开关的启闭控制摇摆控制盘83的旋转控制，进而调节试验台架22的旋转角度。

在本发明的一个实施例中，框体4由两部分扣合成型，其公转传动之所以布置在远离实验台架22的外壳体内部，是因为其实验台架22部分在工作时最高可产生700度的高温，在此温度下，所有电机及相关精密传感器完全无法运行，故其只能通过传动塔3将动力输入对于传动塔3上端的实验台架22内部再传给实验盘。实验台架22相关组件均为耐高温材料制成，除加热棒、热电偶外，无其他电子元件，因此可承受高温工况，提升了载物试验盘可进行实验的广度。电机动作部分主要由实验盘的自转、摇摆控制电机以及相应的机械控制结构组成。

在本发明的一个实施例中，其中自转电机71如公转电机61一样也设置了电磁离合器62作为自转传动齿轮72之间的可控动力通道，在实验盘加速匀速状态下，电磁离合器62通电保持动力通道畅通，此时自转电机1与自转传动齿轮72之间存在动力连接，保证实验盘运动；实验盘处于减速或急停工况时，电磁离合器62断电切断动力通道以保证自转电机71不受机械性损伤。

在本发明的一个实施例中，蜗轮蜗杆减速电机81具有自锁的特性，因此当其直接连接的减速电机驱动齿轮与摇摆控制齿轮82进行啮合传动，从而带动与摇摆控制齿轮连接的摇摆控制盘83进行角度摇摆动作时，无需采用其他机械装置对该***的位置进行锁定。

摇摆控制盘83上下两端，设有夹角为90度的两个限位开关，以锁定其机械运动范围，其圆心处连接精密角度传感器以实时读取当前角度进行闭环控制。摇摆控制盘83控制端通过平行连杆末端控制接头与中央结构体平行连杆之间连接，通过肩部平行连杆稳定臂84将动作传输至传动塔3的连杆31(传动塔连杆稳定臂34负责对传动塔平行连杆进行动作稳定，并配合两限位凹台36进行运动范围机械限位)最终通过中枢传动机构带动实验台进行摇摆角度调整。摇摆控制盘83分为左右两片，固定在摇摆控制齿轮82两侧。

在本发明的一个实施例中，为减轻重量考虑，摇摆控制齿轮82及实验台上的自转传动齿轮均进行不同程度镂空开槽。

在本发明的一个实施例中，框体4内所有电气走线通过设置在框体4内左半边结构体上的走线槽进行集中，最终汇总至中央动作结构体电气走线集合舱连接导电滑环52入线端，通过导电滑环52出线端，连接至壳体1侧壁的电气走线槽。该设计可使得框体4转动时保持通畅的电气连接。

在本发明的描述中，需要理解的是，术语“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

以上所述的实施例仅是对本发明的优选方式进行描述，并非对本发明的范围进行限定，在不脱离本发明设计精神的前提下，本领域普通技术人员对本发明的技术方案做出的各种变形和改进，均应落入本发明权利要求书确定的保护范围内。

Claims (10)

1.一种平行臂式三自由协同驱动型薄膜掠射角溅射平台，其特征在于，包括：外壳(1)；所述外壳内安装有公转驱动组件及中央动作结构组件；

所述中央动作结构组件包括工作台(2)，传动塔(3)，自转传动组件及公转传动组件；所述工作台(2)与所述传动塔(3)传动连接实现所述工作台(2)的翻转；所述传动塔(3)与所述自转传动组件传动连接，实现所述工作台(2)的自转；所述公转驱动组件与所述公转传动组件传动连接，实现所述工作台(2)的公转；

所述自转传动组件安装于所述框体(4)内，所述公转传动组件安装于所述框体(4)外周壁，所述传动塔(3)安装于所述框体(4)顶部；所述框体(4)置于所述外壳(1)内腔中部。

2.根据权利要求1所述的一种平行臂式三自由协同驱动型薄膜掠射角溅射平台，其特征在于：所述公转传动组件包括径向支撑架，导电滑环(52)，电磁制动器(53)和轴向传动组(51)；所述轴向传动组(51)设置有两组且分别与所述公转驱动组件传动连接；所述轴向传动组(51)安装于所述径向支撑架上；

所述电磁制动器(53)置于所述框体(4)底部，且电磁制动器(53)传动连接有公转制动轴(54)的一端；所述公转制动轴(54)另一端伸入所述框体(4)底部，且固定安装在所述框体(4)内；所述公转制动轴(54)上还安装有所述导电滑环(52)。

3.根据权利要求2所述的一种平行臂式三自由协同驱动型薄膜掠射角溅射平台，其特征在于：所述轴向传动组(51)包括承力盘(55)，公转齿轮(56)及推力球轴承；所述承力盘(55)固定安装在所述框体(4)外壁，所述公转齿轮(56)固定安装在所述承力盘(55)底部，所述推力球轴承安装在所述公转齿轮(56)另一侧。

4.根据权利要求2所述的一种平行臂式三自由协同驱动型薄膜掠射角溅射平台，其特征在于：所述径向支撑架包括肩部固定架(57)，腰部固定架(58)，底部固定架(59)及稳定架；所述腰部固定架(58)和底部固定架(59)固定安装在所述框体(4)上，且设置于所述稳定架两侧，所述肩部固定架(57)与所述腰部固定架(58)内安装有一组所述轴向传动组(51)；所述底部固定架(59)下方安装有一组所述轴向传动组(51)。

5.根据权利要求4所述的一种平行臂式三自由协同驱动型薄膜掠射角溅射平台，其特征在于：所述稳定架包括径向保持盘(510)，托盘(511)和深沟球轴承(512)；所述径向保持盘(510)固定安装于所述框体(4)中部，所述径向保持盘(510)外圈安装有所述深沟球轴承(512)；所述托盘(511)与所述底部固定架(59)对所述轴向传动组(51)限位。

6.根据权利要求3所述的一种平行臂式三自由协同驱动型薄膜掠射角溅射平台，其特征在于：所述公转驱动组件设置有两组且分别与所述轴向传动组(51)位置对应；所述公转驱动组件包括公转电机(61)，电磁离合器(62)，公转传动轴(63)和驱动齿轮(64)；

所述公转电机(61)固定安装于所述外壳(1)侧壁，且所述公转电机(61)通过联轴器与所述电磁离合器(62)传动连接；所述电磁离合器(62)传动安装有所述公转传动轴(63)的一端，所述公转传动轴(63)的另一端通过轴承安装有所述驱动齿轮(64)；所述驱动齿轮(64)与所述公转齿轮(56)相啮合。

7.根据权利要求1所述的一种平行臂式三自由协同驱动型薄膜掠射角溅射平台，其特征在于：所述工作台(2)包括中枢传动机构(21)、试验台架(22)和加热盘(23)；所述试验台架(22)上方安装有所述加热盘(23)，所述试验台架(22)底部通过所述中枢传动机构(21)与所述传动塔(3)顶部传动连接。

8.根据权利要求7所述的一种平行臂式三自由协同驱动型薄膜掠射角溅射平台，其特征在于：所述传动塔(3)包括连杆(31)，连接杆头(32)，传动塔连杆稳定臂(34)和塔体(35)；所述塔体(35)顶部安装有所述中枢传动机构(21)；所述连杆(31)设置于所述塔体(35)一侧，所述连杆(31)两端均安装有所述连接杆头(32)；所述连杆(31)一端通过所述连接杆头(32)与所述中枢传动机构(21)传动连接；所述连杆(31)另一端与摇摆控制结构传动连接；所述塔体(35)中部安装有所述传动塔连杆稳定臂(34)；所述传动塔连杆稳定臂(34)还安装于所述连杆(31)侧壁；所述传动塔连杆稳定臂(34)与所述塔体(35)侧壁形成的限位凹台(36)配合安装。

9.根据权利要求8所述的一种平行臂式三自由协同驱动型薄膜掠射角溅射平台，其特征在于：所述摇摆控制结构安装于所述框体(4)内；所述摇摆控制结构包括蜗轮蜗杆减速电机(81)，摇摆控制齿轮(82)，摇摆控制盘(83)及肩部连杆稳定臂(84)；所述肩部连杆稳定臂(84)与所述连杆(31)一端通过所述连接杆头(32)传动连接；所述肩部连杆稳定臂(84)上开设有活动槽，所述活动槽内滑动设置有所述摇摆控制盘(83)的一端，所述摇摆控制盘(83)与所述摇摆控制齿轮(82)同轴连接，且所述摇摆控制齿轮(82)与所述蜗轮蜗杆减速电机(81)输出端安装的减速电机驱动齿轮(85)相啮合。

10.根据权利要求8所述的一种平行臂式三自由协同驱动型薄膜掠射角溅射平台，其特征在于：所述自转传动组件包括，自转电机(71)，自转传动齿轮(72)，主传动轴(73)和电磁离合器(62)；所述自转电机(71)固定安装在所述框体(4)内，所述自转电机(71)的输出轴安装有驱动齿轮，所述驱动齿轮与所述自转传动齿轮(72)相啮合，所述自转传动齿轮(72)安装于所述电磁离合器(62)一侧，所述电磁离合器(62)另一侧传动安装有主传动轴(73)；所述主传动轴(73)伸出所述框体(4)且贯穿所述塔体(35)与所述中枢传动机构传动连接；所述主传动轴(73)上还安装有若干个轴承固定结构。

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