CN114855251B - 动态阳极遮挡结构 - Google Patents

Abstract

本发明涉及电镀技术领域，具体而言，涉及一种动态阳极遮挡结构。动态阳极遮挡结构包括安装板、遮挡板以及驱动组件；遮挡板与安装板可转动地连接；驱动组件与安装板连接，并用于驱动遮挡板相对于安装板转动。该动态阳极遮挡结构能够均匀遮挡镀件的边缘，进而可以消除晶圆在垂直机台上边缘局部的差异，使整板镀层均匀性进一步提高。

Description

动态阳极遮挡结构

技术领域

本发明涉及电镀技术领域，具体而言，涉及一种动态阳极遮挡结构。

背景技术

目前，为了提高阴极镀层或者工件的均匀性，通常都会有阳极遮挡，确保电力线分布均匀。但是在垂直晶圆电镀领域，均匀性始终无法达到水平机台的效果。因为，除了阳极遮板外，还受镀液流态在垂直方向上流动的差异，即镀液搅拌或交换不均匀，会影响镀层的均匀性，同时流态交换不均匀直接影响遮挡的效果。

发明内容

本发明的目的包括，例如，提供了一种动态阳极遮挡结构，其能够均匀遮挡镀件的边缘，进而可以消除晶圆在垂直机台上边缘局部的差异，使整板镀层均匀性进一步提高。

本发明的实施例可以这样实现：

本发明提供一种动态阳极遮挡结构，动态阳极遮挡结构包括安装板、遮挡板以及驱动组件；

遮挡板与安装板可转动地连接；驱动组件与安装板连接，并用于驱动遮挡板相对于安装板转动。

在可选的实施方式中，驱动组件包括驱动件、转动连接件以及传动件；

驱动件通过转动连接件与安装板可转动地连接，遮挡板与驱动件连接；

传动件与驱动件传动连接，且传动件用于与外部动力单元传动连接。

在可选的实施方式中，驱动件的外周面设置有外齿，传动件为传动齿轮，传动齿与外齿啮合。

在可选的实施方式中，驱动件设置有镂空的圆心部；遮挡板为环形件，遮挡板具备环形的第一遮挡部；

沿驱动件的轴线方向，第一遮挡部位于圆心部的投影区域内。

在可选的实施方式中，第一遮挡部开设有至少一个镂空孔。

在可选的实施方式中，第一遮挡部开设有多个第一镂空孔及多个第二镂空孔，多个第一镂空孔及多个第二镂空孔均绕驱动件的转动轴线分布。

在可选的实施方式中，第一镂空孔小于第二镂空孔。

在可选的实施方式中，驱动件设置有镂空的圆心部；遮挡板包括子板体，子板体与驱动件连接，子板体具备第二遮挡部；

沿驱动件的轴线方向，第二遮挡部位于圆心部的投影区域内。

在可选的实施方式中，遮挡板包括第一子板体及第二子板体，第一子板体及第二子板体均与驱动件连接，且第一子板体及第二子板体绕驱动件的转动轴线分布；第一子板体及第二子板体分别具备第三遮挡部及第四遮挡部；

沿驱动件的轴线方向，第三遮挡部及第四遮挡部均位于圆心部的投影区域内。

在可选的实施方式中，沿驱动件的转动轴线方向，第三遮挡部位于圆心部的投影区域内的面积大于第四遮挡部位于圆心部的投影区域内的面积。

本发明实施例的有益效果包括：

该动态阳极遮挡结构包括安装板、遮挡板以及驱动组件；遮挡板与安装板可转动地连接；驱动组件与安装板连接，并用于驱动遮挡板相对于安装板转动。

其中，该动态阳极遮挡结构在工作的过程中，驱动组件能够在外力的作用下驱动遮挡板相对于安装板转动，进而能够通过这样的方式，均匀的遮挡镀件边缘，进而可以消除晶圆在垂直机台上边缘局部的差异，使整板镀层均匀性进一步提高。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本发明的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。

图1为本发明实施例中动态阳极遮挡结构的结构示意图；

图2为本发明实施例中驱动组件的结构示意图；

图3为本发明实施例中驱动件与遮挡板的连接示意图；

图4为本发明其他实施例中驱动件与子板体的连接示意图；

图5为本发明其他实施例中驱动件与第一子板体及第二子板体的连接示意图。

图标：200-动态阳极遮挡结构；210-安装板；220-遮挡板；230-驱动组件；231-驱动件；232-转动连接件；233-传动件；234-外齿；235-圆心部；221-第一遮挡部；222-镂空孔；223-第一镂空孔；224-第二镂空孔；225-子板体；226-第二遮挡部；227-第一子板体；228-第二子板体；229-第三遮挡部；241-第四遮挡部。

具体实施方式

为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本发明实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。

因此，以下对在附图中提供的本发明的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本发明的范围，而是仅仅表示本发明的选定实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。

在本发明的描述中，需要说明的是，若出现术语“上”、“下”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该发明产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

此外，若出现术语“第一”、“第二”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

需要说明的是，在不冲突的情况下，本发明的实施例中的特征可以相互结合。

请参考图1-图3，图1示出了本发明实施例中动态阳极遮挡结构的结构，图2示出了本发明实施例中驱动组件的结构，图3示出了本发明实施例中驱动件及遮挡板的结构，本实施例提供了一种动态阳极遮挡结构200，动态阳极遮挡结构200包括安装板210、遮挡板220以及驱动组件230；

遮挡板220与安装板210可转动地连接；驱动组件230与安装板210连接，并用于驱动遮挡板220相对于安装板210转动。

该动态阳极遮挡结构200的工作原理是：

请参考图1-图3，该动态阳极遮挡结构200在工作的过程中，驱动组件230能够在外力的作用下驱动遮挡板220相对于安装板210转动，进而能够通过这样的方式，均匀的遮挡镀件边缘，进而可以消除晶圆在垂直机台上边缘局部的差异，使整板镀层均匀性进一步提高。

需要说明的是，在本实施例中，是以动态阳极遮挡结构200在垂直电镀机中应用为例进行说明，而在本发明的其他实施例中，该动态阳极遮挡结构200还可以应用于水平电镀机中。

进一步地，请参考图1-图3，在本实施例中，为使得遮挡板220能够相对于安装板210转动，故，驱动组件230包括驱动件231、转动连接件232以及传动件233；驱动件231通过转动连接件232与安装板210可转动地连接，遮挡板220与驱动件231连接；传动件233与驱动件231传动连接，且传动件233用于与外部动力单元传动连接。需要说明的是，在本实施例中，在设置转动连接件232时，转动连接件232可以包括安装于安装板210上的多个转动轴承，多个转动轴承绕驱动件231的轴线布置，而驱动件231与多个转动轴承的外圈转动连接，进而使得驱动件231可转动地连接于安装板210；需要说明的是，在本发明的其他实施例中，转动连接件232还可以采用其他类型的结构。

当外部动力单元驱动传动件233转动时，通过传动件233便可带动驱动件231相对于安装板210转动，而与驱动件231连接的遮挡板220便会与驱动件231同步转动；基于前述的结构设置，在驱动遮挡板220转动时，为提高转动的控制精度，故，驱动件231的外周面设置有外齿234，传动件233为传动齿轮，传动齿与外齿234啮合。即，驱动组件230采用的是齿轮传动的方式，以提高传动精度。

基于上述的结构设置，在设置遮挡板220时，由于遮挡板220与驱动件231连接，且与驱动件231同步转动，故遮挡板220有多种的设置方式，其中，以遮挡板220为环形件及遮挡板220为多边板为例；

请参考图1-图3，在本实施例中，遮挡板220为环形件，驱动件231设置有镂空的圆心部235；遮挡板220具备环形的第一遮挡部221；沿驱动件231的轴线方向，第一遮挡部221位于圆心部235的投影区域内。

其中，为调整遮挡板220的遮挡面积，采用的是第一遮挡部221开设有至少一个镂空孔222的方式；并且在开设镂空孔222以调整遮挡面积时，可以通过对镂空孔222的个数进行调整。需要说明的是，还可以通过对位于圆心部235的投影区域内的第一遮挡部221的轮廓进行调整的方式，调整遮挡板220的遮挡面积。

其外，在采用开设镂空孔222的方式对遮挡面积进行调整时，还可以在第一遮挡部221开设有多个第一镂空孔223及多个第二镂空孔224，多个第一镂空孔223及多个第二镂空孔224均绕驱动件231的转动轴线分布；而且第一镂空孔223还可以小于第二镂空孔224。

而在本发明的其他实施例中，请参考图4，图4示出了本发明其他实施例中子板体及驱动件的结构，在遮挡板220为多边形板时，遮挡板220包括子板体225，驱动件231设置有镂空的圆心部235；子板体225与驱动件231连接，子板体225具备第二遮挡部226；沿驱动件231的轴线方向，第二遮挡部226位于圆心部235的投影区域内。

由此，通过调整子板体225与驱动件231的连接位置，进而便可对子板体225的第二遮挡部226的面积进行调整，从而能够对遮挡板220的遮挡面积进行调整。

与上述设置子板体225的原理相同，请参考图5，图5示出了本发明其他实施例中第一子板体、第二子板体及驱动件的结构，在本发明的其他实施例中，在采用设置多个子板体225的实施方式时，遮挡板220还可以包括第一子板体227及第二子板体228，第一子板体227及第二子板体228均与驱动件231连接，且第一子板体227及第二子板体228绕驱动件231的转动轴线分布；第一子板体227及第二子板体228分别具备第三遮挡部229及第四遮挡部241；沿驱动件231的轴线方向，第三遮挡部229及第四遮挡部241均位于圆心部235的投影区域内。而且沿驱动件231的转动轴线方向，第三遮挡部229位于圆心部235的投影区域内的面积大于第四遮挡部241位于圆心部235的投影区域内的面积。

由此，在采用设置多个子板体225的实施方式时，即，在采用设置第一子板体227及第二子板体228的方式时，第三遮挡部229及第四遮挡部241的遮挡面积可以不同。

以上，仅为本发明的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应涵盖在本发明的保护范围之内。因此，本发明的保护范围应以权利要求的保护范围为准。

Claims (6)

1.一种动态阳极遮挡结构，其特征在于：

所述动态阳极遮挡结构包括安装板、遮挡板以及驱动组件；

所述遮挡板与所述安装板可转动地连接；所述驱动组件与所述安装板连接，并用于驱动所述遮挡板相对于所述安装板转动；

所述驱动组件包括驱动件、转动连接件以及传动件；

所述驱动件通过所述转动连接件与所述安装板可转动地连接，所述遮挡板与所述驱动件连接；

所述传动件与所述驱动件传动连接，且所述传动件用于与外部动力单元传动连接；

所述驱动件的外周面设置有外齿，所述传动件为传动齿轮，所述传动齿轮与所述外齿啮合；

所述驱动件设置有镂空的圆心部；

所述遮挡板为环形件，所述遮挡板具备环形的第一遮挡部；沿所述驱动件的轴线方向，所述第一遮挡部位于所述圆心部的投影区域内；或，所述遮挡板包括子板体，所述子板体与所述驱动件连接，所述子板体具备第二遮挡部；沿所述驱动件的轴线方向，所述第二遮挡部位于所述圆心部的投影区域内。

2.根据权利要求1所述的动态阳极遮挡结构，其特征在于：

所述第一遮挡部开设有至少一个镂空孔。

3.根据权利要求1所述的动态阳极遮挡结构，其特征在于：

所述第一遮挡部开设有多个第一镂空孔及多个第二镂空孔，多个所述第一镂空孔及多个所述第二镂空孔均绕所述驱动件的转动轴线分布。

4.根据权利要求3所述的动态阳极遮挡结构，其特征在于：

所述第一镂空孔小于所述第二镂空孔。

5.根据权利要求1所述的动态阳极遮挡结构，其特征在于：

所述遮挡板包括第一子板体及第二子板体，所述第一子板体及所述第二子板体均与所述驱动件连接，且所述第一子板体及所述第二子板体绕所述驱动件的转动轴线分布；所述第一子板体及所述第二子板体分别具备第三遮挡部及第四遮挡部；

沿所述驱动件的轴线方向，所述第三遮挡部及所述第四遮挡部均位于所述圆心部的投影区域内。

6.根据权利要求5所述的动态阳极遮挡结构，其特征在于：

沿所述驱动件的转动轴线方向，所述第三遮挡部位于所述圆心部的投影区域内的面积大于所述第四遮挡部位于所述圆心部的投影区域内的面积。