CN211497775U - 一种用于卧式真空镀膜机的工件安装机构 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种用于卧式真空镀膜机的工件安装机构，其设置有安装架和转台架，所述转台架可绕水平轴转动地安装于所述安装架上，且所述转台架上设置有用于安装工件的工件安装结构，所述工件安装结构与所述转台架联动，从而在所述转台架转动时随之转动。本实用新型中的转台架可绕水平轴转动地设置在安装架上，可以适用于卧式镀膜机，并且进一步通过将其设置自转座组件来安装工件，既可以实现公转、自转，也可以较好的安装工件，为卧式真空镀膜机的实现提供结构基础，实用性强。

Description

一种用于卧式真空镀膜机的工件安装机构

技术领域

本实用新型属于真空镀膜机技术领域，具体涉及一种用于卧式真空镀膜机的工件安装机构。

背景技术

溅射式真空镀膜机是常见的真空镀膜设备之一，传统的溅射式真空镀膜机均是立式结构，在实际操作过程中通常需要在镀膜机的一侧搭建高台，以便于在真空镀膜室内的转台架上移出料后工人装卸工件。工人高台操作存在安全隐患，不利于安全生产的进行。并且立式镀膜机本身高度较高，且在镀膜机上方还需预留转台架上移的空间，对生产车间的高度要求较高，间接提高生产成本。

将镀膜机改为卧式结构即可解决上述问题，但是工件在镀膜过程中需要进行公转和自转，传统的立式镀膜机中的转台架无法直接横置应用到卧式结构中，因此需要一种适用于卧式真空镀膜机的工件安装机构。

实用新型内容

为了解决上述问题，本实用新型提供一种用于卧式真空镀膜机的工件安装机构，其设置有安装架和转台架，所述转台架可绕水平轴转动地安装于所述安装架上，且所述转台架上设置有用于安装工件的工件安装结构，所述工件安装结构与所述转台架联动，从而在所述转台架转动时随之转动。

优选的，所述转台架设置有两个转盘组件和若干连杆，两个所述转盘组件之间对称设置于所述连杆的两端，从而于两个所述转盘组件之间形成工件装载空间，所述转盘组件包括固定齿圈、公转齿圈、传动组件和自转座组件，所述固定齿圈和公转齿圈的内圈均设置有轮齿，所述固定齿圈固定安装于所述安装架上，所述自转座组件设置有多个并同圆周地分布于所述公转齿圈上，且所述自转座组件设置有啮合所述固定齿圈的传动齿轮，所述公转齿圈通过多个所述传动齿轮与所述固定齿圈的配合而配装于所述固定齿圈上，所述传动组件设置有啮合所述公转齿圈的驱动齿轮，通过两个所述转盘组件上的所述自转座组件形成所述工件安装结构。

优选的，所述固定齿圈于所述公转齿圈的外周侧设置有若干承重定滑轮。

优选的，所述承重定滑轮分布于所述公转齿圈的下半圆周区域。

优选的，所述安装架包括一水平设置的底板和竖直设置于所述底板的两端的侧板，所述转台架设置于两侧板之间。

优选的，所述公转齿圈的中心设置有靶材，所述靶材的两端连接所述侧板。

优选的，所述侧板上设置有靶头组件，所述靶材的两端连接靶头组件。

优选的，所述靶材设置有三个，且三个所述靶材之间联动设置。

优选的，所述工件安装结构设置有装夹套筒和与所述装夹套筒对应设置有夹持套筒，所述夹持套筒设置有一个可拆卸地半圆柱侧壁。

优选的，所述半圆柱侧壁采用聚四氟乙烯材料制成。

本实用新型的有益效果是：

本实用新型中的转台架可绕水平轴转动地设置在安装架上，可以适用于卧式镀膜机，并且进一步通过将其设置自转座组件来安装工件，既可以实现公转、自转，也可以较好的安装工件，为卧式真空镀膜机的实现提供结构基础，实用性强。

附图说明

下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明：

图1是转台架的一种结构示意图；

图2是安装架与转台架的一种装配示意图；

图3是夹持套筒的一种结构示意图。

具体实施方式

为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本实用新型实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。因此，以下对在附图中提供的本实用新型的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本实用新型的范围，而是仅仅表示本实用新型的选定实施例。

参照图1～图3，本实用新型公开一种用于卧式真空镀膜机的工件安装机构，其设置有安装架和转台架，转台架可绕水平轴转动地安装于安装架上，且转台架上设置有用于安装工件的工件安装结构，工件安装结构与转台架联动，从而在转台架转动时随之转动。

如图2所示，安装架包括一水平设置的底板101和竖直设置于底板101的两端的侧板100，转台架设置于两侧板100之间。具体的，转台架设置有两个转盘组件和若干连杆102，两个转盘组件之间对称设置于连杆102的两端，从而于两个转盘组件之间形成工件装载空间，转盘组件包括固定齿圈104、公转齿圈103、传动组件和自转座组件，固定齿圈104和公转齿圈103的内圈均设置有轮齿，固定齿圈104固定安装于侧板100上，自转座组件设置有多个并同圆周地分布于公转齿圈103上，且自转座组件设置有啮合固定齿圈104的传动齿轮108，公转齿圈103通过多个传动齿轮108与固定齿圈104的配合而配装于固定齿圈104上，传动组件设置有啮合公转齿圈103的驱动齿轮109，通过两个转盘组件上的自转座组件形成工件安装结构。

进一步为了减轻传动齿轮108的受力，优选的，固定齿圈104于公转齿圈103的外周侧设置有若干承重定滑轮105。并且承重定滑轮105分布于公转齿圈103的下半圆周区域。

从上述结构及附图所示可知，本实用新型中的固定齿圈104和公转齿圈103均为圆环结构，因此在一些实施例中，进一步于公转齿圈103的中心设置有靶材，靶材的两端连接侧板100。优选的，侧板100上设置有靶头组件，靶材的两端连接靶头组件。并且靶材的数量可以设置多个，如图所示，靶材设置有三个，且三个靶材之间联动设置。由于靶头组件、靶材亦或靶材内的靶心组件均属于公知常识，故其具体结构在此不作详述。

考虑到在用于部分管状工件(如玻璃管)的镀膜加工时，其两端并不需要镀膜，因此需要遮挡，为了适用于此类工件的加工，在一些实施例中，工件安装结构设置有装夹套筒106和与装夹套筒106对应设置有夹持套筒107，夹持套筒107设置有一个可拆卸地半圆柱侧壁110。并且优选的，半圆柱侧壁110采用聚四氟乙烯材料制成，以确保夹持力度，同时又避免损伤工件。

在结合前述的转台架结构设置时，将装夹套筒106和夹持套筒107分别设置于一自转座组件上。

综上所述，本实用新型中的转台架可绕水平轴转动地设置在安装架上，可以适用于卧式镀膜机，并且进一步通过将其设置自转座组件来安装工件，既可以实现公转、自转，也可以较好的安装工件，为卧式真空镀膜机的实现提供结构基础，实用性强。

除此之外，可以在底板101的下端设置滚轮，以用于实现安装架的移动。

另外，本实用新型还公开一种卧式镀膜机，其设置有卧式的真空镀膜室，真空镀膜室的一侧设置有可开闭的上下料口，并且真空镀膜室内设置有上述结构的工件安装机构。

上述实施例只是本实用新型的优选方案，本实用新型还可有其他实施方案。本领域的技术人员在不违背本实用新型精神的前提下还可作出等同变形或替换，这些等同的变型或替换均包含在本申请权利要求所设定的范围内。

Claims (8)

1.一种用于卧式真空镀膜机的工件安装机构，其特征在于，设置有安装架和转台架，所述转台架可绕水平轴转动地安装于所述安装架上，且所述转台架上设置有用于安装工件的工件安装结构，所述工件安装结构与所述转台架联动，从而在所述转台架转动时随之转动，所述转台架设置有两个转盘组件和若干连杆，两个所述转盘组件之间对称设置于所述连杆的两端，从而于两个所述转盘组件之间形成工件装载空间，所述转盘组件包括固定齿圈、公转齿圈、传动组件和自转座组件，所述固定齿圈和公转齿圈的内圈均设置有轮齿，所述固定齿圈固定安装于所述安装架上，所述自转座组件设置有多个并同圆周地分布于所述公转齿圈上，且所述自转座组件设置有啮合所述固定齿圈的传动齿轮，所述公转齿圈通过多个所述传动齿轮与所述固定齿圈的配合而配装于所述固定齿圈上，所述传动组件设置有啮合所述公转齿圈的驱动齿轮，通过两个所述转盘组件上的所述自转座组件形成所述工件安装结构，所述安装架包括一水平设置的底板和竖直设置于所述底板的两端的侧板，所述转台架设置于两侧板之间。

2.如权利要求1所述的一种用于卧式真空镀膜机的工件安装机构，其特征在于，所述固定齿圈于所述公转齿圈的外周侧设置有若干承重定滑轮。

3.如权利要求2所述的一种用于卧式真空镀膜机的工件安装机构，其特征在于，所述承重定滑轮分布于所述公转齿圈的下半圆周区域。

4.如权利要求1所述的一种用于卧式真空镀膜机的工件安装机构，其特征在于，所述公转齿圈的中心设置有靶材，所述靶材的两端连接所述侧板。

5.如权利要求4所述的一种用于卧式真空镀膜机的工件安装机构，其特征在于，所述侧板上设置有靶头组件，所述靶材的两端连接靶头组件。

6.如权利要求4所述的一种用于卧式真空镀膜机的工件安装机构，其特征在于，所述靶材设置有三个，且三个所述靶材之间联动设置。

7.如权利要求1所述的一种用于卧式真空镀膜机的工件安装机构，其特征在于，所述工件安装结构设置有装夹套筒和与所述装夹套筒对应设置有夹持套筒，所述夹持套筒设置有一个可拆卸地半圆柱侧壁。

8.如权利要求7所述的一种用于卧式真空镀膜机的工件安装机构，其特征在于，所述半圆柱侧壁采用聚四氟乙烯材料制成。

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