CN114717518A

CN114717518A - 一种蒸镀坩埚及其取放装置

Info

Publication number: CN114717518A
Application number: CN202210507436.4A
Authority: CN
Inventors: 林志斌; 林泽; 吴晟远
Original assignee: Fujian Huajiacai Co Ltd
Current assignee: Fujian Huajiacai Co Ltd
Priority date: 2022-05-10
Filing date: 2022-05-10
Publication date: 2022-07-08

Abstract

本发明公开了一种蒸镀坩埚，包括坩埚侧部以及处于坩埚侧部内部的锅体，所述锅体的顶部预留有开口，并形成有出气口，用于气体的排出，所述锅体的内部放置有内置材料，所述锅体的底部设置有底座，所述锅体两侧中部即底部外侧设置有侧壁下侧加热丝，在锅体两侧顶部外侧设置有侧壁上侧加热丝；本发明设计具有吊环的蒸镀坩埚，同时设计一种取放装置，结构简单，易于制作，二者配合使用可解决现有在做保养或更换添加材料而人为操作导致的碰撞损坏侧部加热丝、加热丝固定块或坩埚的问题，同时也提高了作业效率，改善了长时间开腔导致的材料被污染或腔体氛围变差的而影响器件效果的问题。

Description

一种蒸镀坩埚及其取放装置

技术领域

本发明属于蒸镀坩埚技术领域，具体涉及一种蒸镀坩埚及其取放装置。

背景技术

随着技术的进步，显示行业主流技术也从早期的LCD逐渐往OLED甚至Micro LED、QLED等方向发展，各种技术在市场中扮演着不同的角色，其中OLED由于其超薄柔性可折叠、广色域、宽视角等特性，成为当今中小尺寸手机屏最为主流的技术；

目前量产OLED制备器件最主要采用蒸镀的方式，通过加热使有机材料升华或气化逸出，最终遇冷凝结沉积在玻璃基板上，形成所需要的功能膜层，不同功能膜层搭配最终在电流的驱动下发出肉眼可见的颜色。当前阴极金属层普遍采用点源坩埚进行蒸镀，其是设备保养、添加或更换材料作业过程中拆装最为频繁的组件；

现有点源腔体内，由于为了为保证加热与保温效果，石墨制造的点源坩埚与腔体侧壁距离非常狭窄，通常坩埚与侧壁上的加热丝及加热丝固定环距离仅有不到1cm，侧面的加热丝通常为易脆性材质，作业人员在取放坩埚时需用手指深入坩埚出气口，在取放时必须小心翼翼保持垂直地上下，稍有不慎倾斜即会导致石墨坩埚撞坏侧壁的加热丝或固定环，甚至从手中脱落导致坩埚破损，均会造成巨大的成本浪费，同时也会严重影响生产节奏。同时，由于蒸镀有机材料接触水养易变质的特性，在进行保养、加料或更换材料时需严格管控作业时间，用手取存在污染材料的问题，作业人员小心翼翼的作业同时也存在效率低下的问题。

发明内容

本发明的目的在于提供一种蒸镀坩埚及其取放装置，以解决上述背景技术中提出的在取放坩埚时，存在可能导致石墨坩埚撞坏侧壁的加热丝或固定环，甚至从手中脱落导致坩埚破损，均会造成巨大的成本浪费的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种蒸镀坩埚，包括坩埚侧部以及处于坩埚侧部内部的锅体，所述锅体的顶部预留有开口，并形成有出气口，用于气体的排出，所述锅体的内部放置有内置材料，所述锅体的底部设置有底座，所述锅体两侧中部即底部外侧设置有侧壁下侧加热丝，在锅体两侧顶部外侧设置有侧壁上侧加热丝，实现加热，所述侧壁上侧加热丝与侧壁下侧加热丝之间设置有固定环，在所述坩埚侧部的顶部开设有三个定位槽，在所述锅体的顶部还固定有吊环口，所述吊环口的顶部设置有保险扣。

优选的，所述定位槽围绕锅体的中心呈等间距三角阵列排布，能够在吊装中，实现快速稳定的吊起。

一种蒸镀坩埚的取放装置，包括与坩埚侧部连接的支撑组件，以及设置在支撑组件内侧的滑轮提升组件，用于将埚体进行稳定提升，实现方便取出，所述支撑组件包括***定位槽中的主体支架，所述主体支架的顶部设置有顶盖，所述顶盖与主体支架的连接处设置有连接螺栓，所述顶盖的顶部安装有固定螺栓，所述顶盖的底部设置有与固定螺栓固定连接的圆形吊环，用于吊装，所述圆形吊环的底部安装有顶部吊环，所述滑轮提升组件包括安装在顶部吊环底部的定滑轮、固定在其中一个主体支架上的绞盘，用于起到提升作用，并且带有刹车功能，实现定点限位悬挂，在绞盘与定滑轮上设置有吊索一，所述吊索一的底部形成有三根吊索二，所述吊索二的底部与吊环口套设连接。

优选的，所述顶部吊环的开口处还设置有保险装置。

优选的，所述坩埚侧部的顶部与主体支架之间还设置有固定组件，进一步提升安装的稳定性，所述固定组件包括固定在坩埚侧部顶端面上的固定组，所述固定组的顶部通过转轴连接有转轴，所述转轴呈“V”型结构，且转轴与主体支架贴合连接。

优选的，所述转轴的内侧面设置有防滑垫一，提升摩擦力，避免出现晃动，该防滑垫一与主体支架贴合连接，所述定位槽的内部设置有防滑垫二，所述防滑垫二的内部与主体支架的底端相抵。

与现有技术相比，本发明的有益效果是：

本发明设计具有吊环的蒸镀坩埚，同时设计一种取放装置，结构简单，易于制作，二者配合使用可解决现有在做保养或更换添加材料而人为操作导致的碰撞损坏侧部加热丝、加热丝固定块或坩埚的问题，同时也提高了作业效率，改善了长时间开腔导致的材料被污染或腔体氛围变差的而影响器件效果的问题，再者也可避免人为伸手入坩埚导致污染坩埚内材料的风险，既降低了生产成本，又改善了产品效果。

附图说明

图1为现有点源坩埚的剖面图；

图2为现有点源坩埚的俯视图；

图3为本发明点源坩埚及其取放装置示意图；

图4为本发明点源坩埚取出顶部加热丝后的俯视图；

图5为本发明固定组件闭合时的示意图；

图6为本发明固定组件放开时的示意图；

图7为本发明取出坩埚过程中的示意图；

图8为本发明使用取放装置取出坩埚的流程图；

图9为本发明使用取放装置放置坩埚的流程图。

图中：100、锅体；101、出气口；102、内置材料；200、为坩埚侧部；202、侧壁上侧加热丝；203、侧壁下侧加热丝；204、固定环；205、底座；301、定位槽；303、绞盘；304、主体支架；305、圆形吊环；306、固定螺栓；307、顶盖；308、连接螺栓；309、顶部吊环；310、保险装置；311、定滑轮；312、吊索一；313、吊索二；314、吊环口；315、保险扣；316、固定组件；3161、固定组；3162、转轴；3163、防滑垫一；3164、防滑垫二。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

实施例

请参阅图3至图9，本发明提供一种技术方案：一种蒸镀坩埚，包括坩埚侧部200以及处于坩埚侧部200内部的锅体100，锅体100的顶部预留有开口，并形成有出气口101，锅体100的内部放置有内置材料102，锅体100的底部设置有底座205，锅体100两侧中部即底部外侧设置有侧壁下侧加热丝203，在锅体100两侧顶部外侧设置有侧壁上侧加热丝202，侧壁上侧加热丝202与侧壁下侧加热丝203之间设置有固定环204，在坩埚侧部200的顶部开设有三个定位槽301，用于后期的安装，在锅体100的顶部还固定有吊环口314，方便后期起吊，吊环口314的顶部设置有保险扣315，定位槽301围绕锅体100的中心呈等间距三角阵列排布。

一种蒸镀坩埚的取放装置，包括与坩埚侧部200连接的支撑组件，以及设置在支撑组件内侧的滑轮提升组件，支撑组件包括***定位槽301中的主体支架304，主体支架304的顶部设置有顶盖307，顶盖307与主体支架304的连接处设置有连接螺栓308，顶盖307的顶部安装有固定螺栓306，顶盖307的底部设置有与固定螺栓306固定连接的圆形吊环305，设计一种取放装置，结构简单，易于制作，二者配合使用可解决现有在做保养或更换添加材料而人为操作导致的碰撞损坏侧壁上侧加热丝202、侧壁下侧加热丝203或坩埚的问题，同时也提高了作业效率，改善了长时间开腔导致的材料被污染或腔体氛围变差的而影响器件效果的问题，再者也可避免人为伸手入坩埚导致污染坩埚内材料的风险，既降低了生产成本，又改善了产品效果，圆形吊环305的底部安装有顶部吊环309，滑轮提升组件包括安装在顶部吊环309底部的定滑轮311、固定在其中一个主体支架304上的绞盘303，在绞盘303与定滑轮311上设置有吊索一312，吊索一312的底部形成有三根吊索二313，吊索二313的底部与吊环口314套设连接，顶部吊环309的开口处还设置有保险装置310，坩埚侧部200的顶部与主体支架304之间还设置有固定组件316，固定组件316包括固定在坩埚侧部200顶端面上的固定组3161，固定组3161的顶部通过转轴连接有转轴3162，转轴3162呈“V”型结构，且转轴3162与主体支架304贴合连接，转轴3162的内侧面设置有防滑垫一3163，通过提升摩擦力实现避免晃动的功能，该防滑垫一3163与主体支架304贴合连接，定位槽301的内部设置有防滑垫二3164，防滑垫二3164的内部与主体支架304的底端相抵

对比例

参照图1和图2通常为保证加热效果，埚体100与坩埚侧壁上侧加热丝202、侧壁下侧加热丝203距离很近，现有模式中，在做保养或需加料换料需求时，操作员在取放坩埚前通常先拆除顶部加热丝，再从出气口101伸入手指将整个埚体100取出，在此过程中，具有易脆性质的石墨材质的点源坩埚与侧面的加热丝及固定环204，极易容易碰撞造成其中某些部件损坏，故而增加生产成本；同时由于操作者需小心翼翼地作业，降低了工作效率，也可能造成长时间开腔导致材料接触空气中的水汽而影响产品的显示效果，通常坩埚加热会分成3段式加热，侧面由底部到顶部再到坩埚盖顶部温度逐渐升高，如此才能保证材料蒸镀所需要的温度要求，顶部加热丝固定于顶盖307上，可正常取放，其与埚体100上表面非直接接触，具有一定的间隙。

本发明的工作原理及使用流程：本发明在使用时，定位槽301围绕埚体100的出气口101中心等间距三角阵列排布，其中心与出气口101中心的距离L2=2L1，L1=(1～2)L3，若L1太大，则会导致定位槽301距离过大，占用较多的作业空间，造成作业不便；

吊环口314设置在坩埚上距离出气口101中心等间距三角阵列排布，保险扣315可以确保吊绳套入后不轻易脱离；吊环口314与保险扣315为耐高温材质，可以是钽或者耐高温合金等，同时上端的顶部加热丝部件对应位置需有开口，可允许坩埚盖上的吊环口进出且不互相干涉；

其中，固定组3161绕着3162转轴旋转运动，防滑垫一316、防滑垫二3164均为不易发尘抗静电且具有防滑的材质，可以是PVC、铁氟龙、PU等。316固定组件状态可以有放开和闭合两种状态，当取放装置主体支架304精准放入定位槽301内后，用手扣动转轴3162，使防滑垫一3163顶住主体支架304起到固定作用，反之若要撤离取放装置，则反方向施力扣动即可。

参照图3和图7，通过手摇带绞盘303即可使埚体100上升或者下降，因绞盘303具有自刹车功能，可保证不会由于疏忽导致取放过程中埚体100掉落；由于3段吊索二313等长，同时顶部吊环309中心与坩埚出气口102中心在同一竖直线上，由等边三角形三个顶点到中心的距离一致可知，埚体100在升降过程中即可保持水平稳定，由于机械操作相较于人为操作的便捷稳定性，如此便能解决人为作业过程不小心造成的碰撞损坏问题，同时还能避免人为手深入坩埚内造成的材料污染问题，配合参照图8和图9，从而实现取出坩埚和放置坩埚的操作流程。

尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims

1.一种蒸镀坩埚，包括坩埚侧部（200）以及处于坩埚侧部（200）内部的锅体（100），所述锅体（100）的顶部预留有开口，并形成有出气口（101），所述锅体（100）的内部放置有内置材料（102），所述锅体（100）的底部设置有底座（205），其特征在于：所述锅体（100）两侧中部即底部外侧设置有侧壁下侧加热丝（203），在锅体（100）两侧顶部外侧设置有侧壁上侧加热丝（202），所述侧壁上侧加热丝（202）与侧壁下侧加热丝（203）之间设置有固定环（204），在所述坩埚侧部（200）的顶部开设有三个定位槽（301），在所述锅体（100）的顶部还固定有吊环口（314），所述吊环口（314）的顶部设置有保险扣（315）。

2.根据权利要求1所述的一种蒸镀坩埚及其取放装置，其特征在于：所述定位槽（301）围绕锅体（100）的中心呈等间距三角阵列排布。

3.一种蒸镀坩埚的取放装置，包括与权1中坩埚侧部（200）连接的支撑组件，以及设置在支撑组件内侧的滑轮提升组件，其特征在于：所述支撑组件包括***定位槽（301）中的主体支架（304），所述主体支架（304）的顶部设置有顶盖（307），所述顶盖（307）与主体支架（304）的连接处设置有连接螺栓（308），所述顶盖（307）的顶部安装有固定螺栓（306），所述顶盖（307）的底部设置有与固定螺栓（306）固定连接的圆形吊环（305），所述圆形吊环（305）的底部安装有顶部吊环（309），所述滑轮提升组件包括安装在顶部吊环（309）底部的定滑轮（311）、固定在其中一个主体支架（304）上的绞盘（303），在绞盘（303）与定滑轮（311）上设置有吊索一（312），所述吊索一（312）的底部形成有三根吊索二（313），所述吊索二（313）的底部与吊环口（314）套设连接。

4.根据权利要求3所述的一种蒸镀坩埚的取放装置，其特征在于：所述顶部吊环（309）的开口处还设置有保险装置（310）。

5.根据权利要求3所述的一种蒸镀坩埚的取放装置，其特征在于：所述坩埚侧部（200）的顶部与主体支架（304）之间还设置有固定组件（316），所述固定组件（316）包括固定在坩埚侧部（200）顶端面上的固定组（3161），所述固定组（3161）的顶部通过转轴连接有转轴（3162），所述转轴（3162）呈“V”型结构，且转轴（3162）与主体支架（304）贴合连接。

6.根据权利要求5所述的一种蒸镀坩埚的取放装置，其特征在于：所述转轴（3162）的内侧面设置有防滑垫一（3163），该防滑垫一（3163）与主体支架（304）贴合连接，所述定位槽（301）的内部设置有防滑垫二（3164），所述防滑垫二（3164）的内部与主体支架（304）的底端相抵。