CN114636314A - 一种基于电子级多晶硅生产装置还原炉石墨预热器结构 - Google Patents
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Abstract
本发明的目的在于公开一种基于电子级多晶硅生产装置还原炉石墨预热器结构，它包括石墨连杆和连接器，所述石墨连杆之间通过锥形承插方式互相连接，石墨预热器与电极之间通过锥形承插方式互相连接；与现有技术相比，通过对石墨预热器连接结构改造，便于拆卸，有利于去除表面附着的硅，从而实现预热器的再次净化和重复使用，另外可对发生断裂后的石墨预热器进行收集、纯化，再机械加工，达到预热器石墨杆原长度进行重复使用；满足电子级多晶硅生产的质量要求，利用率高，节能降耗明显，实现本发明的目的。
Description
技术领域
本发明涉及一种电子级多晶硅生产装置，特别涉及一种基于电子级多晶硅生产装置还原炉石墨预热器结构。
背景技术
现有还原炉中，大量使用化学性能稳定、导电性能好、耐高温的石墨材料，硅芯在还原炉中通过石墨部件与电极连接，而还原炉启动方式多为预加热启动，依靠还原炉内石墨预热器通电将还原炉内部环境温度加热到硅芯可以导通的温度，再给硅芯通电进行导通。
目前，大部分电子级多晶硅生产企业还原炉预加热依靠还原炉内石墨预热器进行加热。
目前使用的石墨预热器由上、下石墨杆和星形连接器组成，上下石墨杆之间，石墨与电极之间均采用螺纹连接，在实际生产运行过程中，存在以下问题：
(1)石墨预热器在还原炉内还原反应的过程中，表面会沉积少量的硅，预热器上下杆螺纹连接部位无法再次拆卸，当还原炉连续运行几批次，预热器表面结硅的厚度过大，再次启动预热器表面温度发生急剧时，结硅脱落的频率较大，硅皮脱落导致还原炉非正常停车的频率升高。
(2)预热器结硅过多时，预热器发热量减小，硅芯导通难度较大，只能对预热器进行更换。
(3)预热器成本较高，运行3-4批次后，由于表面结硅过多，必须进行更换，拆除后无法再次利用，预热器利用率较低，导致生产成本偏高。
因此，特别需要一种基于电子级多晶硅生产装置还原炉石墨预热器结构，以解决上述现有存在的问题。
发明内容
本发明的目的在于提供一种基于电子级多晶硅生产装置还原炉石墨预热器结构，针对现有技术的不足，解决还原炉石墨预热器表面因结硅过多、脱落造成的还原炉非正常停车，预热器发热量减小和硅芯导通难度较大的问题，延长石墨预热器使用周期，提高石墨预热器重复利用率，降低生产成本。
本发明所解决的技术问题可以采用以下技术方案来实现：
一种基于电子级多晶硅生产装置还原炉石墨预热器结构，其特征在于，它包括石墨连杆和连接器，所述石墨连杆之间通过锥形承插方式互相连接，石墨预热器与电极之间通过锥形承插方式互相连接。
在本发明的一个实施例中，所述石墨预热器与电极之间锥形承插方式的锥形连接口与电极的锥形头相匹配。
在本发明的一个实施例中，所述石墨连杆至少包括石墨上连杆和石墨下连杆，所述石墨上连杆和所述石墨下连杆之间通过锥形承插方式互相连接。
进一步，所述石墨连杆的石墨上连杆和石墨下连杆之间通过多次承插方式互相连接，所述石墨连杆的长度与硅芯的长度相匹配。
本发明的基于电子级多晶硅生产装置还原炉石墨预热器结构，与现有技术相比，通过对石墨预热器连接结构改造，便于拆卸，有利于去除表面附着的硅，从而实现预热器的再次净化和重复使用，另外可对发生断裂后的石墨预热器进行收集、纯化，再机械加工，达到预热器石墨杆原长度进行重复使用；满足电子级多晶硅生产的质量要求，利用率高，节能降耗明显，实现本发明的目的。
本发明的特点可参阅本案图式及以下较好实施方式的详细说明而获得清楚地了解。
附图说明
图1为本发明的石墨预热器结构石墨连杆的结构示意图；
图2为本发明的石墨预热器结构的结构示意图。
具体实施方式
为了使本发明实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体图示，进一步阐述本发明。
实施例
如图1和图2所示，本发明的基于电子级多晶硅生产装置还原炉石墨预热器结构，它包括石墨连杆和连接器，所述石墨连杆之间通过锥形承插方式互相连接，石墨预热器与电极之间通过锥形承插方式互相连接。
在本实施例中，所述石墨预热器与电极之间锥形承插方式的锥形连接口与电极的锥形头相匹配。
在本实施例中，所述石墨连杆至少包括石墨上连杆和石墨下连杆，所述石墨上连杆和所述石墨下连杆之间通过锥形承插方式互相连接。
所述石墨连杆的石墨上连杆和石墨下连杆之间通过多次承插方式互相连接，所述石墨连杆的长度与硅芯的长度相匹配。
本发明的基于电子级多晶硅生产装置还原炉石墨预热器结构，满足电子级多晶硅生产的要求，有效地解决了还原炉石墨预热器表面因结硅过多脱落造成的还原炉非正常停车问题，同时解决了还原炉石墨预热器表面因结硅过多，预热器发热量减小，硅芯导通难度较大问题；实现了重复利用目的，生产成本降低明显，产生的经济效益显著。以上显示和描述了本发明的基本原理和主要特征和本发明的优点。本行业的技术人员应该了解，本发明不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本发明的原理，在不脱离本发明精神和范围的前提下，本发明还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本发明范围内，本发明要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。
Claims (4)
1.一种基于电子级多晶硅生产装置还原炉石墨预热器结构，其特征在于，它包括石墨连杆和连接器，所述石墨连杆之间通过锥形承插方式互相连接，石墨预热器与电极之间通过锥形承插方式互相连接。
2.如权利要求1所述的基于电子级多晶硅生产装置还原炉石墨预热器结构，其特征在于，所述石墨预热器与电极之间锥形承插方式的锥形连接口与电极的锥形头相匹配。
3.如权利要求1所述的基于电子级多晶硅生产装置还原炉石墨预热器结构，其特征在于，所述石墨连杆至少包括石墨上连杆和石墨下连杆，所述石墨上连杆和所述石墨下连杆之间通过锥形承插方式互相连接。
4.如权利要求3所述的基于电子级多晶硅生产装置还原炉石墨预热器结构，其特征在于，所述石墨连杆的石墨上连杆和石墨下连杆之间通过多次承插方式互相连接，所述石墨连杆的长度与硅芯的长度相匹配。
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