CN114512433A - 一种用于定位物体的移动平台和固晶摆臂 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种用于定位物体的移动平台和固晶摆臂，该移动平台包括第一驱动装置、第二驱动装置、第三驱动装置、载物平台和第四驱动装置，第一驱动装置包括第一动子和第一定子，第一动子能相对第一定子沿第一方向移动，第一动子分别与第二驱动装置和第三驱动装置连接，第二驱动装置驱动第一动子沿第二方向移动，第三驱动装置驱动第一动子沿第三方向移动，第一方向、第二方向和第三方向两两相交；第一动子与载物平台连接，第一定子与第四驱动装置连接，第四驱动装置驱动第一定子沿第三方向移动。该固晶摆臂包括上述移动平台。本发明能提高载物平台的移动速度，并能在预设方向上增大载物平台的移动距离。

Description

一种用于定位物体的移动平台和固晶摆臂

技术领域

本发明涉及移动平台领域，具体是涉及一种用于定位物体的移动平台和固晶摆臂。

背景技术

固晶一般是使用点胶机对支架上安装晶片的位置进行点胶，然后移动到固晶位，固晶摆臂从供晶平台上吸取晶片，再旋转并放置到支架上，以实现固晶。固晶摆臂将晶片放置在支架上时，由于固晶摆臂的自身移动距离限制，固晶摆臂将多个晶片排列成一列后，需要依靠支架下方的输送机构移动支架，使得支架上待放置晶片的位置移动至固晶摆臂的工作范围内，方便后续晶片的摆放。由于晶片体积小，对应地支架的移动距离也很小，因此对支架的位置精度要求较高，依靠输送机构移动支架很难达到该精度要求。

发明内容

本发明的第一目的是提供一种能提高移动速度并能在预设方向上增大移动距离的用于定位物体的移动平台。

本发明的第二目的是提供一种包含上述移动平台的固晶摆臂。

为了实现上述的第一目的，本发明提供的一种用于定位物体的移动平台，包括第一驱动装置、第二驱动装置、第三驱动装置、载物平台和第四驱动装置，第一驱动装置包括第一动子和第一定子，第一动子能相对第一定子沿第一方向移动，第一动子分别与第二驱动装置和第三驱动装置连接，第二驱动装置驱动第一动子沿第二方向移动，第三驱动装置驱动第一动子沿第三方向移动，第一方向、第二方向和第三方向两两相交；第一动子与载物平台连接，第一定子与第四驱动装置连接，第四驱动装置驱动第一定子沿第三方向移动。

由上述方案可见，通过设置第一驱动装置、第二驱动装置和第三驱动装置用于驱动第一动子沿第一方向、第二方向和第三方向移动；通过设置第四驱动装置，用于驱动第一定子沿第三方向移动，使得第一定子与第一动子能同步沿第三方向移动，有利于增大第一动子在第三方向上的移动距离；本实施例的第一驱动装置、第二驱动装置和第三驱动装置均采用动子与定子的配合实现驱动作用，由于动子与定子之间不直接接触，即定子的负载不会转移至动子上，有利于减轻动子的负载和摩擦力，提高动子和载物平台的移动速度。

进一步的方案是，第一方向、第二方向和第三方向相互垂直，或者，第一方向与第二方向垂直，且第一方向与第三方向垂直。

进一步的方案是，在第三方向上，第一动子和第一定子能同步移动，第一动子与第一定子之间设置有预设间隙，第一动子的移动距离大于或等于预设间隙。

由上述方案可见，第一动子的移动距离不再受第一动子与第一定子之间的预设间隙限制。

进一步的方案是，在第三方向上，第一动子还能相对第一定子移动。

由上述方案可见，通过设置第一动子相对第一定子移动，有利于进一步提高第一动子在第三方向上的移动距离。

进一步的方案是，第四驱动装置和第一定子之间设置有导向移动架和导向固定座，导向固定座沿第三方向延伸，导向移动架滑动地设置在导向固定座上，导向移动架分别与第四驱动装置和第一定子连接。

进一步的方案是，沿第一方向延伸，第一动子至少一端与第一定子相邻设置。

进一步的方案是，第二驱动装置包括第二动子和第二定子，第二定子沿第二方向延伸，第二动子至少一端与第二定子相邻设置，第二动子能相对第二定子沿第二方向移动。

进一步的方案是，第三驱动装置包括第三动子和第三定子，第三定子沿第三方向延伸，第三动子至少一端与第三定子相邻设置，第三动子能相对第三定子沿第三方向移动。

进一步的方案是，第一动子超出第一定子端部的一端连接有第一移动架，第二动子超出第二定子端部的一端连接有第二移动架，第三动子超出第三定子端部的一端连接有第三移动架，第一移动架沿第一方向移动地连接在第二移动架上，第二移动架沿第二方向移动地连接在第三移动架上。

进一步的方案是，第四驱动装置、第二驱动装置和第三驱动装置均设置在第一驱动装置的同一侧，或者，所述第四驱动装置、所述第二驱动装置和所述第三驱动装置分设在所述第一驱动装置的两侧。

由上述方案可见，通过将第四驱动装置、第二驱动装置和第三驱动装置均设置在第一驱动装置的同一侧，有利于减小移动平台的自身体积，将第四驱动装置、第二驱动装置和第三驱动装置分设在第一驱动装置的两侧可根据现场实际条件适应性调节各个驱动装置的位置。

为了实现上述的第二目的，本发明提供的一种固晶摆臂，包括旋转臂、取晶片组件和上述的移动平台，移动平台设置在旋转臂上，取晶片组件设置在移动平台的载物平台上。

由上述方案可见，将移动平台应用于固晶机的固晶摆臂上，有利于增大取晶片组件的工作范围，方便固晶摆臂在支架上放置多列晶片形成矩形阵后，支架才移动一次，一方面有利于减少支架的移动次数，提高放置晶片的效率，另一方面支架的移动距离比现有技术中的移动距离大，方便支架自身的定位，有利于提高其定位精度。

附图说明

图1是本发明移动平台第一实施例的结构图。

图2是本发明移动平台第二实施例的结构图。

以下结合附图及实施例对本发明作进一步说明。

具体实施方式

移动平台第一实施例：

参见图1，本实施例提供的一种用于定位物体的移动平台，包括第一驱动装置、第二驱动装置、第三驱动装置、载物平台3和第四驱动装置4，第一驱动装置、第二驱动装置、第三驱动装置相当于线性马达，第四驱动装置4可以为线性马达、气缸或液压缸。

第一驱动装置包括第一动子1和第一定子2，第一动子1能相对第一定子2沿第一方向移动。第一动子1设为缠绕有多个线圈的线圈支架，第一定子2设为具有多个永久性磁铁的磁铁支架，或者，第一动子1设为具有多个永久性磁铁的磁铁支架，第一定子2设为缠绕有多个线圈的线圈支架。线圈支架上的线圈通电后产生电磁场，电磁场与磁铁支架相互作用，以驱动第一动子1沿第一方向移动。

第一动子1分别与第二驱动装置和第三驱动装置连接，第二驱动装置驱动第一动子1沿第二方向移动，第三驱动装置驱动第一动子1沿第三方向移动，第一方向、第二方向和第三方向两两相交。具体地，第一方向、第二方向和第三方向相互垂直，或者，第一方向与第二方向垂直，且第一方向与第三方向垂直，此时第二方向与第三方向可垂直，也可不垂直，本实施例优选为第一方向、第二方向和第三方向相互垂直。为了方便说明，本实施例将第一方向设为Z向，将第二方向设为Y向，即图1中垂直纸面的方向，将第三方向设为X向。

第一动子1与载物平台3连接，第一定子2与第四驱动装置4连接，第四驱动装置4驱动第一定子2沿X向移动。在X向上，第一动子1和第一定子2能同步移动，第一动子1与第一定子2之间设置有预设间隙，第一动子1的移动距离大于或等于该预设间隙,使得第一动子1在X向上的移动距离不再受该预设间隙限制，有利于增大第一转轴在X向上的移动距离。

在X向上，第一动子1还能相对第一定子2移动。首先，第三驱动装置驱动第一动子1沿X向移动，同时第四驱动装置4驱动第一定子2与第一动子1同步沿X向移动至预设位置，第一动子1和第一定子2同步移动的距离大于或等于第一动子1与第一定子2之间的预设间隙；然后，第四驱动装置4保持第一定子2位置不变，第三驱动装置继续驱动第一动子1沿X向移动预设间距，该预设间距小于第一动子1与第一定子2之间的预设间隙，以进一步增大第一转轴在X向上的移动距离。

第一定子2设为“U”型结构，第一定子2内开设有第一安装槽21，第一安装槽21沿Z向延伸，第一安装槽21朝下开设第一槽口。第一动子1的一端平行地设置在第一安装槽21内，第一动子1的两侧表面分别与第一安装槽21的对应槽壁相邻布置，第一动子1的另一端凸出第一槽口之外。

第四驱动装置4和第一定子2之间设置有导向移动架41和导向固定座42，导向固定座42沿第三方向延伸，导向移动架41滑动地设置在导向固定座42上，导向移动架41分别与第四驱动装置4和第一定子2连接。

第二驱动装置包括第二动子5和第二定子6，第二定子6沿Y延伸，且第二定子6垂直于第一定子2的延伸方向，或者，第二定子6平行于第一定子2的延伸方向，本实施例优选为前者。第二动子5设为缠绕有多个线圈的线圈支架，第二定子6设为具有多个永久性磁铁的磁铁支架，或者，第二动子5设为具有多个永久性磁铁的磁铁支架，第二定子6设为缠绕有多个线圈的线圈支架。线圈支架上的线圈通电后产生电磁场，电磁场与磁铁支架相互作用，驱动第二动子5沿Y向移动。第二定子6设为“U”型结构，第二定子6内开设有第二安装槽61，第二安装槽61沿Y向延伸，第二安装槽61朝向第一定子2方向开设有第二槽口，第二动子5的一端平行地插装在第二安装槽61内，第二动子5的两侧表面分别与第二安装槽61对应的槽壁相邻布置，第二动子5的另一端凸出第二槽口之外。

第三驱动装置包括第三动子7和第三定子8，第三定子8沿X向延伸，第三动子7设为缠绕有多个线圈的线圈支架，第三定子8设为具有多个永久性磁铁的磁铁支架，或者，第三动子7设为具有多个永久性磁铁的磁铁支架，第三定子8设为缠绕有多个线圈的线圈支架。线圈支架上的线圈通电后产生电磁场，电磁场与磁铁支架相互作用，驱动第三动子7沿X向移动。第三定子8设为“U”型结构，第三定子8内开设有第三安装槽81，第三安装槽81沿X向延伸，第三安装槽81朝向第一定子2的方向开设有第三槽口，第三动子7的一端平行地插装在第三安装槽81内，第三动子7的两侧表面分别与第三安装槽81对应的槽壁相邻布置，第三动子7的另一端凸出第三槽口之外。

第一动子1凸出第一安装槽21的一端连接有第一移动架9，第一移动架9沿Z向延伸，载物平台3设置在第一移动架9上并向远离第三驱动装置的一侧延伸；第二动子5凸出第二安装槽61的一端连接有第二移动架10，第二移动架10沿Z向延伸；第三动子7凸出第三安装槽81的一端连接有第三移动架11，第三移动架11沿X向延伸。第一移动架9沿Z向移动地连接在第二移动架10上，第二移动架10沿Y向移动地连接在第三移动架11上。在第三移动架11的下方固定设置有固定架12，固定架12沿X向延伸，第三移动架11沿X向移动地连接在固定架12上。

本实施例中，第四驱动装置4、第二驱动装置和第三驱动装置均设置在第一驱动装置的同一侧，有利于减少移动平台的体积。第二驱动装置设置在第四驱动装置4和第三驱动装置之间，或者，第二驱动装置设置在所述第四驱动装置4和所述第三驱动装置的同一侧，本实施例优选为前者。

在其它实施例中，第二驱动装置、第三驱动装置和第四驱动装置4可分设在第一驱动装置的两侧，可根据现场实际条件适应性调节各个驱动装置的位置。例如，第三驱动装置和第四驱动装置4设置在第一驱动装置的同一侧，第二驱动装置设置在第一驱动装置的另一侧。

本实施例中，第一驱动装置、第二驱动装置和第三驱动装置均采用动子与定子的配合实现驱动作用，由于动子与定子之间不直接接触，即定子的负载不会转移至动子上，有利于减轻动子的负载和摩擦力，提高动子的移动速度。

移动平台第二实施例：

参见图2，在上述移动平台第一实施例的基础和原理上，本实施例的第一定子2a、第二定子6a和第三定子8a还可进行适当变形。

第一定子2a设为平板型结构，第一定子2a沿Z向延伸，第一动子1的第一端与第一定子2a平行且相邻设置，第一动子1第一端表面到第一定子2a表面之间具有第一预设距离，该第一预设距离以能实现第一动子1相对第一定子2a沿Z向移动为准。第一动子1的第二端超出第一定子2a的端部，载物平台3连接在第一动子1的第二端上。本实施例中，第一动子1的两端处于同一直线上，在其它实施例中，第一动子1的第二端能与其第一端夹角相交或平行设置。

第二定子6a设为平板型结构，第二定子6a沿Y向延伸，即第二定子6a垂直于第一定子2a,或者，第二定子6a平行于第一定子2a,第二动子5的第一端与第二定子6a平行且相邻设置，第二动子5的第二端表面到第二定子6a表面之间具有第二预设距离，该第二预设距离以能实现第二动子5相对第二定子6a沿Y向移动为准。第二动子5的第二端超出第二定子6a的端部，用于分别与第一支架9和第二支架10连接。

第三定子8a设为平板型结构，第三定子8a沿X向延伸，第三动子7的第一端与第三动子8a平行且相邻设置，第三动子7第二端的表面到第三定子8a表面之间具有第三预设距离，该第三预设距离以能实现第三动子7相对第三定子8a沿X向移动为准。第三动子7的第二端超出第三定子8a的端部，用于与第二移动架11连接。

上述移动平台第一实施例和移动平台第二实施例只是其中两种可行的实施方式，在其它实施例中，“U”形结构的定子和平板型结构的定子可设置在同一实施例的不同驱动装置中，以实现带动载物平台沿X/Y/Z向移动，在此不再赘述。

固晶摆臂实施例：

本实施例还提供的一种用于固晶机的固晶摆臂，固晶机包括供晶平台、输送机构、支架和固晶摆臂，支架设置在输送机构上，输送机构驱动支架沿X向移动，支架上设置有固晶位。固晶摆臂的第一端能在固晶位和供晶平台之间来回移动。

固晶摆臂包括旋转臂、取晶片组件和上述实施例的移动平台，旋转臂的第一端能绕其自身第二端旋转，移动平台设置在旋转臂的第一端上，取晶片组件设置在移动平台的载物平台上，旋转臂带动移动平台旋转过程中，移动平台带动取晶片组件在X/Y/Z方向上移动，实现取晶片和放晶片操作。

本实施例将移动平台应用于固晶机的固晶摆臂上，有利于增大取晶片组件在X向上的工作范围，方便固晶摆臂在支架上放置多列晶片形成矩形阵后，支架才移动一次，一方面有利于减少支架的移动次数，提高放置晶片的效率，另一方面支架的移动距离比现有技术中的移动距离大，方便支架自身的定位，有利于提高其定位精度。

本实施例中支架沿X向移动，与移动平台中增大载物平台的移动距离方向一致，有利于配合晶片的放置动作。

在其它实施例中，支架可沿Y向或Z向移动，此时可通过上述结构和原理增大载物平台在Y向或Z向上的移动距离，以配合晶片的放置动作，在此不再赘述。

综上可见，本发明通过设置第一驱动装置、第二驱动装置和第三驱动装置用于驱动第一动子沿第一方向、第二方向和第三方向移动；通过设置第四驱动装置，用于驱动第一定子沿第三方向移动，使得第一定子与第一动子能同步沿第三方向移动，有利于增大第一动子在第三方向上的移动距离；本实施例的第一驱动装置、第二驱动装置和第三驱动装置均采用动子与定子的配合实现驱动作用，由于动子与定子之间不直接接触，即定子的负载不会转移至动子上，有利于减轻动子的负载和摩擦力，提高动子和载物平台的移动速度。

最后需要强调的是，以上仅为本发明的优选实施例，并不用于限制本发明，对于本领域的技术人员来说，本发明可以有各种变化和更改，凡在本发明的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (11)

1.一种用于定位物体的移动平台，其特征在于：包括第一驱动装置、第二驱动装置、第三驱动装置、载物平台和第四驱动装置，所述第一驱动装置包括第一动子和第一定子，所述第一动子能相对所述第一定子沿第一方向移动，所述第一动子分别与所述第二驱动装置和所述第三驱动装置连接，所述第二驱动装置驱动所述第一动子沿第二方向移动，所述第三驱动装置驱动所述第一动子沿第三方向移动，第一方向、第二方向和第三方向两两相交；

所述第一动子与所述载物平台连接，所述第一定子与所述第四驱动装置连接，所述第四驱动装置驱动所述第一定子沿第三方向移动。

2.根据权利要求1所述的移动平台，其特征在于：

第一方向、第二方向和第三方向相互垂直，或者，第一方向与第二方向垂直，且第一方向与第三方向垂直。

3.根据权利要求1所述的移动平台，其特征在于：

在第三方向上，所述第一动子和所述第一定子能同步移动，所述第一动子与所述第一定子之间设置有预设间隙，所述第一动子的移动距离大于或等于所述预设间隙。

4.根据权利要求2所述的移动平台，其特征在于：

在第三方向上，所述第一动子还能相对所述第一定子移动。

5.根据权利要求1所述的移动平台，其特征在于：

所述第四驱动装置和所述第一定子之间设置有导向移动架和导向固定座，所述导向固定座沿第三方向延伸，所述导向移动架滑动地设置在所述导向固定座上，所述导向移动架分别与所述第四驱动装置和所述第一定子连接。

6.根据权利要求1至5任一项所述的移动平台，其特征在于：

所述第一定子沿第一方向延伸，所述第一动子至少一端与所述第一定子相邻设置。

7.根据权利要求6所述的移动平台，其特征在于：

所述第二驱动装置包括第二动子和第二定子，所述第二定子沿第二方向延伸，所述第二动子至少一端与所述第二定子相邻设置，所述第二动子能相对所述第二定子沿第二方向移动。

8.根据权利要求7所述的移动平台，其特征在于：

所述第三驱动装置包括第三动子和第三定子，所述第三定子沿第三方向延伸，所述第三动子至少一端与所述第三定子相邻设置，所述第三动子能相对所述第三定子沿第三方向移动。

9.根据权利要求8所述的移动平台，其特征在于：

所述第一动子超出所述第一定子端部的一端连接有第一移动架，所述第二动子超出所述第二定子端部的一端连接有第二移动架，所述第三动子超出所述第三定子端部的一端连接有第三移动架，所述第一移动架沿所述第一方向移动地连接在所述第二移动架上，所述第二移动架沿所述第二方向移动地连接在所述第三移动架上。

10.根据权利要求1至5任一项所述的移动平台，其特征在于：

所述第四驱动装置、所述第二驱动装置和所述第三驱动装置均设置在所述第一驱动装置的同一侧，或者，所述第四驱动装置、所述第二驱动装置和所述第三驱动装置分设在所述第一驱动装置的两侧。

11.固晶摆臂，其特征在于：包括旋转臂、取晶片组件和上述权利要求1至10任一项所述的移动平台，所述移动平台设置在所述旋转臂上，所述取晶片组件设置在所述移动平台的载物平台上。

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