CN114505629B - 一种用于半球谐振子与电极基板焊接的电极基板固定装置 - Google Patents

Abstract

一种用于半球谐振子与电极基板焊接的电极基板固定装置，涉及一种精密装配检测***。为了解决焊接固定半球谐振子及电极基板无法避免的加热问题引起的装配误差的问题。本发明包括由上至下依次同轴设置的电极基板卡环、加热垫、隔热环、安装盘和固定基座，安装盘包括安装盘基板和多根导电弹簧针，隔热环、加热垫和石英电极基板依次套在多根导电弹簧针上，电极基板卡环固接在安装盘基板上，且电极基板卡环与安装盘基板之间形成容置腔，电极基板卡环与安装盘基板将隔热环、加热垫和石英电极基板卡紧，安装盘基板固接在固定基座上，石英半球谐振子穿过电极基板卡环上的通孔插装在石英电极基板上。本发明主要用于固定电极基板。

Description

一种用于半球谐振子与电极基板焊接的电极基板固定装置

技术领域

本发明涉及一种精密装配检测***，尤其涉及一种用于半球谐振子与电极基板焊接的电极基板固定装置。

背景技术

半球谐振陀螺是一种新型固态振动陀螺，具备功耗低、寿命长、稳定性高等特点。近年来，随着两件套平板电极结构半球谐振陀螺的提出及发展，半球谐振陀螺在保障原有高精度的基础上，零部件个数进一步减少，陀螺体积进一步缩减，生产工艺进一步简化，同时，在全角工作模式下半球谐振陀螺同时具备大量程、高标度因数稳定性等特点。目前平板电极结构半球谐振陀螺已在陆地、海洋、武器***等众多领域中得到了广泛的应用。

传统半球谐振陀螺一般工作于力平衡工作模式，通过电极向谐振子特定方位施加控制力，使驻波被锁定在该方向上，通过锁定驻波方位角所需的控制力大小表征石英半球谐振子沿对称轴的转动，此时的半球谐振陀螺为速率陀螺。力平衡工作模式下半球谐振陀螺的测量范围受到静电控制力的限制，主要应用于卫星、深空探测等领域。

为了进一步拓展半球谐振陀螺的应用领域，两件套平板电极结构半球谐振陀螺应运而生。不同于传统工作于力平衡模式下的半球谐振陀螺，两件套平板电极结构半球谐振陀螺工作于全角工作模式下，仅对石英半球谐振子驻波施加幅度控制，驻波方位角自由转动，通过测量得到的驻波方位角增量表征石英半球谐振子沿对称轴的转动，此时半球谐振陀螺是一种速率积分陀螺。由于在全角工作模式下，驻波不受约束，自由转动，因此对石英半球谐振子和石英电极基板的装配精度提出了更高要求。

目前国内的半球谐振陀螺装配装置主要针对由激励罩、半球谐振子和读出基座为核心部件的三件套球面电极结构半球谐振陀螺，并不适用于两件套平面电极结构半球谐振陀螺，同时，两件套平面电极结构半球谐振陀螺对装配误差更为敏感，对装配精度要求更高。

发明内容

本发明需要解决的技术问题是：现有的半球谐振陀螺装配装置仅适用于三件套球面电极结构半球谐振陀螺，并不适用于两件套平面电极结构半球谐振陀螺，而且两件套平面电极结构半球谐振陀螺对装配误差敏感以及装配过程中通过焊接固定石英半球谐振子及石英电极基板无法避免的加热问题而引起的装配误差的问题；进而提供一种用于半球谐振子与电极基板焊接的电极基板固定装置。

本发明为解决上述技术问题采用的技术方案是：

一种用于半球谐振子与电极基板焊接的电极基板固定装置，包括由上至下依次同轴设置的电极基板卡环、加热垫、隔热环、安装盘和固定基座，石英电极基板同轴设置在电极基板卡环和加热垫之间；所述的安装盘包括安装盘基板和多根导电弹簧针，所述的多根导电弹簧针从安装盘基板的底部由下至上周向插装在安装盘基板上，所述的隔热环、加热垫和石英电极基板依次套在多根导电弹簧针上，所述的电极基板卡环固接在安装盘基板上，且电极基板卡环与安装盘基板之间形成容置腔，所述的电极基板卡环与安装盘基板将隔热环、加热垫和石英电极基板卡紧，所述的安装盘基板固接在固定基座上，石英半球谐振子穿过电极基板卡环上的通孔插装在石英电极基板上。

进一步的，所述的石英电极基板为圆环形结构，石英电极基板上周向均匀开有多个电极通孔，每个电极通孔中设置有一个导电针帽，所述的导电弹簧针的上端插装在导电针帽中。

进一步的，所述的电极基板卡环为陶瓷材质，包括第一圆环形安装盘和多个卡爪，所述的多个卡爪周向均匀设置在第一圆环形安装盘上盘面的内侧，所述的卡爪的根部固定在第一圆环形安装盘上，卡爪的臂部竖直向上延伸，且卡爪臂部的内壁与第一圆环形安装盘的内壁一齐，卡爪的爪部水平朝向第一圆环形安装盘的轴心位置，且多个卡爪的爪部之间形成一个通孔，所述的卡爪的爪部抵接在石英电极基板上；所述的第一圆环形安装盘和多个卡爪一体制成；所述的第一圆环形安装盘上周向均匀开有多个安装通孔，电极基板卡环通过多个安装通孔和多个紧固螺钉螺接在安装盘基板上。

进一步的，所述的卡爪爪部的下端面设置成斜切面，石英电极基板的上端面与侧壁之间的夹角设置成斜坡面，石英电极基板上的斜坡面与卡爪爪部的斜切面相匹配。

进一步的，所述的加热垫为圆环形结构，加热垫的外壁周向均匀开有多个豁口，所述的导电弹簧针处于加热垫上的豁口中。

进一步的，所述的隔热环的中心位置插装有一根定位筒，所述的定位筒的顶端插在加热垫的中心通孔内；所述的隔热环上周向均匀开有多个通孔，所述的隔热环通过多个通孔套在多根导电弹簧针上；所述的隔热环为陶瓷材质。

进一步的，在安装盘基板上径向由外至内依次开有一圈固定基座安装孔、一圈第一弹性胶圈安装槽、一圈电极基板卡环安装螺孔、一圈第二弹性胶圈安装槽、一圈导电弹簧针安装孔和中心通孔；所述的安装盘基板通过多个紧固螺钉和固定基座安装孔安装在固定基座上，所述的电极基板卡环通过多个紧固螺钉螺接在电极基板卡环安装螺孔内，每个导电弹簧针安装孔内插装有一根导电弹簧针，所述的第一弹性胶圈安装槽和第二弹性胶圈安装槽内分别内嵌一根弹性胶圈；所述的定位筒的底端插在安装盘基板的中心通孔内。

进一步的，所述的安装盘基板采用不锈钢材质，所述的每个导电弹簧针安装孔内还插装有一个绝缘子，所述的绝缘子将导电弹簧针安装孔的内壁完全覆盖，所述的绝缘子为圆环形结构，导电弹簧针插在绝缘子的中心通孔内。

进一步的，所述的固定基座包括第二圆环形安装盘和圆环形底座，所述的圆环形底座安装在第二圆环形安装盘上盘面的内侧，所述的圆环形底座的侧壁上周向均匀开有多个线槽，相邻的两个线槽之间形成一个柱体，每个柱体的顶端开有一个螺纹孔；所述的第二圆环形安装盘上周向均匀开有多个安装孔，所述的固定基座通过多个安装孔和多个紧固螺钉安装在隔振平台上。

进一步的，所述的固定基座采用不锈钢材质。

本发明与现有技术相比产生的有益效果是：

1、本发明主要针对的是两件套平面电极结构半球谐振陀螺的精密装配，适用性更强，可以实现石英半球谐振子与石英电极基板的高精度、高效率和高可靠性焊接；

2、本发明的电极基板卡环和隔热环采用具备低温度膨胀系数的陶瓷材质，避免石英半球谐振子与石英电极基板在焊接过程中，温度升高引起装置形变，从而对石英半球谐振子与石英电极基板的相对位置产生影响，保证了石英半球谐振子与石英电极基板焊接精度更高；

3、由于电极基板卡环的卡爪内壁采用倒角设计，即卡爪爪部的下端面设置成斜切面形式，与石英电极基板上的斜坡面相匹配，当本装置中的电极基板卡环通过8个周向均布的螺钉与安装盘相连时，同时可以实现电极基板卡环中心、石英电极基板中心与安装盘中心的快速精准对齐，并实现了石英电极基板的可靠固定；本装置避免了螺杆调整及固定装置需要反复调节以及无法锁定的问题，在保证石英电极基板定位精度的前提下，充分提高了石英电极基板固定的可靠性，同时，两件套平面电极结构半球谐振陀螺的焊接装配效率也有显著提高；

4、本发明通过在安装盘上设置有两圈弹性胶圈，可以避免电极基板卡环通过螺钉螺接在安装盘上时，存在受力不均匀而引起陶瓷材质的电极基板卡环结构的损伤，使装置具备更高的可靠性及更长的使用寿命；

5、本发明中安装盘上固定的8根导电弹簧针通过石英电极基板上焊接的导电针帽与石英电极基板上的8个电极相连，实现对石英半球谐振子与石英电极基板相对位置的实时监控，进一步保证两件套平面电极结构半球谐振陀螺的装配精度；

6、本装置操作简单，充分提高了石英半球谐振子与石英电极基板的焊接效率。

附图说明

附图作为本申请的一部分，用来提供对本发明的进一步的理解，本发明的示意性实施例及其说明用于解释本发明，但不构成对本发明的不当限定。

图1为本发明装配后的整体结构示意图；

图2为本发明的结构***图；

图3为安装盘的结构示意图；

图4为图1的竖剖图；

图5为图4中A处的局部放大图；

图6为图4中B处的局部放大图。

图中：1-电极基板卡环；1-1-第一圆环形安装盘；1-1-1-安装通孔；1-2-卡爪；2-加热垫；2-1-豁口；3-隔热环；4-安装盘；4-1-安装盘基板；4-1-1-固定基座安装孔；4-1-2-第一弹性胶圈安装槽；4-1-3-电极基板卡环安装螺孔；4-1-4-第二弹性胶圈安装槽；4-1-5-导电弹簧针安装孔；4-1-6-中心通孔；4-2-导电弹簧针；4-4-绝缘子；5-固定基座；5-1-第二圆环形安装盘；5-1-1-安装孔；5-2-圆环形底座；5-2-1-线槽；5-2-2-柱体；5-2-3-螺纹孔；6-紧固螺钉；7-石英半球谐振子；8-石英电极基板；8-1-导电针帽。

具体实施方式

为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施例中的附图，对实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，以下实施例用于说明本发明，但不用来限制本发明的范围。

在本发明的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

参见图1至图6所示，本申请实施例提供一种用于半球谐振子与电极基板焊接的电极基板固定装置，包括由上至下依次同轴设置的电极基板卡环1、加热垫2、隔热环3、安装盘4和固定基座5，石英电极基板8同轴设置在电极基板卡环1和加热垫2之间；

所述的安装盘4包括安装盘基板4-1和多根导电弹簧针4-2，所述的多根导电弹簧针4-2从安装盘基板4-1的底部由下至上周向插装在安装盘基板4-1上，所述的隔热环3、加热垫2和石英电极基板8依次套在多根导电弹簧针4-2上，所述的电极基板卡环1固接在安装盘基板4-1上，且电极基板卡环1与安装盘基板4-1之间形成容置腔，即隔热环3、加热垫2和石英电极基板8处于电极基板卡环1与安装盘基板4-1之间的容置腔中，所述的电极基板卡环1与安装盘基板4-1将隔热环3、加热垫2和石英电极基板8卡紧，不仅保证了电极基板卡环1、石英电极基板8、加热垫2、隔热环3和安装盘基板4-1同轴的精度，还可以防止石英半球谐振子7与石英电极基板8在焊接过程中，由于温度的升高而导致装置变形，进而导致石英半球谐振子7与石英电极基板8之间相对位置的变化，所述的安装盘基板4-1固接在固定基座5上，石英半球谐振子7穿过电极基板卡环1上的通孔插装在石英电极基板8上。

本实施方式中，固定装置的最底层为固定基座5，保证了整套装置的稳定性，石英电极基板8、隔热环3和加热垫2可以通过安装盘4上固定的导电弹簧针4-2实现中心粗略对准，然后通过电极基板卡环1与安装盘基板4-1之间的连接，实现石英半球谐振子7与石英电极基板8精确可靠定位，保证焊接过程中石英半球谐振子及石英电极基板间相对位置精度。

本实施方式中，在石英半球谐振子7与石英电极基板8焊接前，先将焊料(粘稠状浆料)预先均匀涂抹于石英半球谐振子7中心杆待焊接部位，以及石英电极基板8中心谐振子安装孔内壁中，加热垫2用于实现对待焊接石英电极基板8的加热功能，可使石英电极基板8的温度达到300℃，熔化预先填充的焊料，完成石英半球谐振子7与石英电极基板8的焊接。

在一种可能的实施方案中，所述的石英电极基板8为圆环形结构，石英电极基板8上周向均匀开有多个电极通孔，每个电极通孔中设置有一个导电针帽8-1，所述的导电弹簧针4-2的上端插装在导电针帽8-1中。

本实施方式中，所述的导电弹簧针4-2为8根，安装盘4上固定的8根导电弹簧针4-2通过石英电极基板8上焊接的导电针帽8-1与石英电极基板上的8个电极相连，其中，石英半球谐振子7内表面与唇沿出镀有导电金属膜层，石英电极基板8上表面周向均匀分布有8个电极，各电极与石英半球谐振子唇沿可等效为平板电容器，通过电容检测电路测量得到周向均匀分布的8个等效平板电容的电容值，可以计算得到石英半球谐振子唇沿与石英电极基板上表面的相对距离，从而实现石英半球谐振子7与石英电极基板8相对位置的实时监控，进一步保证两件套平面电极结构半球谐振陀螺的装配精度。

在一种可能的实施方案中，所述的电极基板卡环1为陶瓷材质，包括第一圆环形安装盘1-1和多个卡爪1-2，所述的多个卡爪1-2周向均匀设置在第一圆环形安装盘1-1上盘面的内侧，所述的卡爪1-2的根部固定在第一圆环形安装盘1-1上，卡爪1-2的臂部竖直向上延伸，且卡爪1-2臂部的内壁与第一圆环形安装盘1-1的内壁一齐，卡爪1-2的爪部水平朝向第一圆环形安装盘1-1的轴心位置，且多个卡爪1-2的爪部之间形成一个通孔，所述的卡爪1-2的爪部抵接在石英电极基板8上；

所述的第一圆环形安装盘1-1和多个卡爪1-2一体制成；

所述的第一圆环形安装盘1-1上周向均匀开有多个安装通孔1-1-1，电极基板卡环1通过多个安装通孔1-1-1和多个紧固螺钉6螺接在安装盘基板4-1上。

本实施方式中，所述的电极基板卡环1设置为陶瓷材质，可以避免由于石英半球谐振子7与石英电极基板8在焊接过程中由于温度变化导致电极基板卡环1发生形变，从而避免石英半球谐振子7与石英电极基板8在焊接过程中二者的相对位置发生改变，提升焊接精度。

本实施方式中，所述的电极基板卡环1上设置的卡爪1-2个数为8个，8个卡爪1-2周向均匀分布，避免电极基板卡环1与安装盘基板4-1在安装过程中受力不均匀导致的电极基板卡环1结构损伤，提高装置的可靠性及使用寿命。

在一种可能的实施方案中，所述的卡爪1-2爪部的下端面设置成斜切面，石英电极基板8的上端面与侧壁之间的夹角设置成斜坡面，石英电极基板8上的斜坡面与卡爪1-2爪部的斜切面相匹配。

本实施方式中的卡爪1-2针对待焊接石英电极基板8采用倒角设计，在紧固过程中可以实现石英电极基板8中心与安装盘4中心的快速精准对齐，充分提高焊接精度及焊接效率。

在一种可能的实施方案中，所述的加热垫2为圆环形结构，加热垫2的外壁周向均匀开有多个豁口2-1，所述的导电弹簧针4-2处于加热垫2上的豁口2-1中。

在一种可能的实施方案中，所述的隔热环3的中心位置插装有一根定位筒，所述的定位筒的顶端插在加热垫2的中心通孔内；所述的隔热环3上周向均匀开有多个通孔，所述的隔热环3通过多个通孔套在多根导电弹簧针4-2上；所述的隔热环3为陶瓷材质。

本实施方式中隔热环3为陶瓷材质，可以减慢加热垫2产生的热量向安装盘4传递的速度，减轻温度变化引起的金属材质的安装盘基板发生形变，保证装置焊接精度。

在一种可能的实施方案中，在安装盘基板4-1上径向由外至内依次开有一圈固定基座安装孔4-1-1、一圈第一弹性胶圈安装槽4-1-2、一圈电极基板卡环安装螺孔4-1-3、一圈第二弹性胶圈安装槽4-1-4、一圈导电弹簧针安装孔4-1-5和中心通孔4-1-6；所述的安装盘基板4-1通过多个紧固螺钉6和固定基座安装孔4-1-1安装在固定基座5上，确保装置整体的稳定性，所述的电极基板卡环1通过多个紧固螺钉6螺接在电极基板卡环安装螺孔4-1-3内，且与安装盘4中心对齐，实现隔热环3、加热垫2、待焊接石英半球谐振子7与石英电极基板8高精度定位及固定功能，每个导电弹簧针安装孔4-1-5内插装有一根导电弹簧针4-2，所述的第一弹性胶圈安装槽4-1-2和第二弹性胶圈安装槽4-1-4内分别内嵌一根弹性胶圈4-3；所述的定位筒的底端插在安装盘基板4-1的中心通孔4-1-6内。

本实施方式中，所述的固定基座安装孔4-1-1的个数为8个，所述的电极基板卡环安装螺孔4-1-3的个数为8个，所述的导电弹簧针安装孔4-1-5的个数为8个；

本实施方式中由于电极基板卡环1为陶瓷材质，当电极基板卡环1与安装盘4在连接过程中，防止电极基板卡环1受力不均匀导致结构损坏，因此在电极基板卡环安装螺孔的内侧及外侧分别设计有弹性胶圈安装槽，通过安放弹性胶圈4-3防止电极基板卡环1安装过程中损坏，提高装置可靠性，延长装置的使用寿命；

本实施方式中导电弹簧针安装孔4-1-5与待焊接石英电极基板8的电极通孔对应，中心通孔4-1-6与待焊接石英半球谐振子7的中心杆对应，可以实现该装置的应用拓展。

在一种可能的实施方案中，所述的安装盘基板4-1采用不锈钢材质，所述的每个导电弹簧针安装孔4-1-5内还插装有一个绝缘子4-4，所述的绝缘子4-4将导电弹簧针安装孔4-1-5的内壁完全覆盖，所述的绝缘子4-4为圆环形结构，导电弹簧针4-2插在绝缘子4-4的中心通孔内。

本实施方式中由于安装盘基板4-1为不锈钢材质，导电弹簧针4-2需借助绝缘子4-4实现与安装盘基板4-1的绝缘及可靠连接，导电弹簧针4-2可以与焊接好导电针帽8-1后的石英电极基板8实现可靠电路连接，即实现引出电极的功能。

在一种可能的实施方案中，所述的固定基座5包括第二圆环形安装盘5-1和圆环形底座5-2，所述的圆环形底座5-2安装在第二圆环形安装盘5-1上盘面的内侧，所述的圆环形底座5-2的侧壁上周向均匀开有多个线槽5-2-1，相邻的两个线槽5-2-1之间形成一个柱体5-2-2，每个柱体的顶端开有一个螺纹孔5-2-3；

所述的第二圆环形安装盘5-1上周向均匀开有多个安装孔5-1-1，所述的固定基座5通过多个安装孔5-1-1和多个螺钉安装在隔振平台上。

在一种可能的实施方案中，所述的固定基座5采用不锈钢材质。

本实施方式中所述的固定基座5采用不锈钢材质，其自重可以保持整套装置的稳定性，第二圆环形安装盘5-1上周向均匀分布有16个安装孔5-1-1，当对振动等因素有更高要求时，可通过安装孔5-1-1将固定基座5安放于隔振平台上，进一步减轻外部环境因素对焊接过程带来的影响。

本实施方式中固定基座5周向均匀分布8个线槽及内部空间可以放置辅助测试设备，实现该装置功能的进一步拓展，柱体5-2-2顶端的8个螺纹孔5-2-3用于固定安装盘4。

本发明中的固定装置具有以下优势：

首先，本发明提出的石英电极基板固定装置是一种针对两件套平面电极结构半球谐振陀螺的专用焊接装配固定装置，该装置具备更好的适用性，能够为两件套平面电极结构半球谐振陀螺发展及批量化生产提供帮助。

其次，本发明采用陶瓷制核心部件，充分解决焊接过程中加热对固定装置精度带来的影响，并通过特殊的卡爪结构设计实现快速、精确待焊接石英电极基板定位，同时，弹性胶圈等设计的引入，避免了装置使用过程中的结构损伤。

本发明所述装置是一种可以实现石英半球谐振子与石英电极基板快速、高精度、高可靠焊接的新型石英电极基板固定装置，相比于现有方法，该装置适用性更强，能够充分提高焊接装配精度及焊接装配效率，对于半球谐振陀螺的发展有重要意义。

虽然在本文中参照了特定的实施方式来描述本发明，但是应该理解的是，这些实施例仅仅是本发明的原理和应用的示例。因此应该理解的是，可以对示例性的实施例进行许多修改，并且可以设计出其他的布置，只要不偏离所附权利要求所限定的本发明的精神和范围。应该理解的是，可以通过不同于原始权利要求所描述的方式来结合不同的从属权利要求和本文中所述的特征。还可以理解的是，结合单独实施例所描述的特征可以使用在其他所述实施例中。

Claims (9)

1.一种用于半球谐振子与电极基板焊接的电极基板固定装置，其特征在于：包括由上至下依次同轴设置的电极基板卡环(1)、加热垫(2)、隔热环(3)、安装盘(4)和固定基座(5)，石英电极基板(8)同轴设置在电极基板卡环(1)和加热垫(2)之间；

所述的安装盘(4)包括安装盘基板(4-1)和多根导电弹簧针(4-2)，所述的多根导电弹簧针(4-2)从安装盘基板(4-1)的底部由下至上周向插装在安装盘基板(4-1)上，所述的隔热环(3)、加热垫(2)和石英电极基板(8)依次套在多根导电弹簧针(4-2)上，所述的电极基板卡环(1)固接在安装盘基板(4-1)上，且电极基板卡环(1)与安装盘基板(4-1)之间形成容置腔，所述的电极基板卡环(1)与安装盘基板(4-1)将隔热环(3)、加热垫(2)和石英电极基板(8)卡紧，所述的安装盘基板(4-1)固接在固定基座(5)上，石英半球谐振子(7)穿过电极基板卡环(1)上的通孔插装在石英电极基板(8)上；

所述的石英电极基板(8)为圆环形结构，石英电极基板(8)上周向均匀开有多个电极通孔，每个电极通孔中设置有一个导电针帽(8-1)，所述的导电弹簧针(4-2)的上端插装在导电针帽(8-1)中。

2.根据权利要求1所述的一种用于半球谐振子与电极基板焊接的电极基板固定装置，其特征在于：所述的电极基板卡环(1)为陶瓷材质，包括第一圆环形安装盘(1-1)和多个卡爪(1-2)，所述的多个卡爪(1-2)周向均匀设置在第一圆环形安装盘(1-1)上盘面的内侧，所述的卡爪(1-2)的根部固定在第一圆环形安装盘(1-1)上，卡爪(1-2)的臂部竖直向上延伸，且卡爪(1-2)臂部的内壁与第一圆环形安装盘(1-1)的内壁一齐，卡爪(1-2)的爪部水平朝向第一圆环形安装盘(1-1)的轴心位置，且多个卡爪(1-2)的爪部之间形成一个通孔，所述的卡爪(1-2)的爪部抵接在石英电极基板(8)上；

所述的第一圆环形安装盘(1-1)和多个卡爪(1-2)一体制成；

所述的第一圆环形安装盘(1-1)上周向均匀开有多个安装通孔(1-1-1)，电极基板卡环(1)通过多个安装通孔(1-1-1)和多个紧固螺钉(6)螺接在安装盘基板(4-1)上。

3.根据权利要求2所述的一种用于半球谐振子与电极基板焊接的电极基板固定装置，其特征在于：所述的卡爪(1-2)爪部的下端面设置成斜切面，石英电极基板(8)的上端面与侧壁之间的夹角设置成斜坡面，石英电极基板(8)上的斜坡面与卡爪(1-2)爪部的斜切面相匹配。

4.根据权利要求3所述的一种用于半球谐振子与电极基板焊接的电极基板固定装置，其特征在于：所述的加热垫(2)为圆环形结构，加热垫(2)的外壁周向均匀开有多个豁口(2-1)，所述的导电弹簧针(4-2)处于加热垫(2)上的豁口(2-1)中。

5.根据权利要求4所述的一种用于半球谐振子与电极基板焊接的电极基板固定装置，其特征在于：所述的隔热环(3)的中心位置插装有一根定位筒，所述的定位筒的顶端插在加热垫(2)的中心通孔内；所述的隔热环(3)上周向均匀开有多个通孔，所述的隔热环(3)通过多个通孔套在多根导电弹簧针(4-2)上；所述的隔热环(3)为陶瓷材质。

6.根据权利要求5所述的一种用于半球谐振子与电极基板焊接的电极基板固定装置，其特征在于：在安装盘基板(4-1)上径向由外至内依次开有一圈固定基座安装孔(4-1-1)、一圈第一弹性胶圈安装槽(4-1-2)、一圈电极基板卡环安装螺孔(4-1-3)、一圈第二弹性胶圈安装槽(4-1-4)、一圈导电弹簧针安装孔(4-1-5)和中心通孔(4-1-6)；所述的安装盘基板(4-1)通过多个紧固螺钉(6)和固定基座安装孔(4-1-1)安装在固定基座(5)上，所述的电极基板卡环(1)通过多个紧固螺钉(6)螺接在电极基板卡环安装螺孔(4-1-3)内，每个导电弹簧针安装孔(4-1-5)内插装有一根导电弹簧针(4-2)，所述的第一弹性胶圈安装槽(4-1-2)和第二弹性胶圈安装槽(4-1-4)内分别内嵌一根弹性胶圈(4-3)；所述的定位筒的底端插在安装盘基板(4-1)的中心通孔(4-1-6)内。

7.根据权利要求6所述的一种用于半球谐振子与电极基板焊接的电极基板固定装置，其特征在于：所述的安装盘基板(4-1)采用不锈钢材质，所述的每个导电弹簧针安装孔(4-1-5)内还插装有一个绝缘子(4-4)，所述的绝缘子(4-4)将导电弹簧针安装孔(4-1-5)的内壁完全覆盖，所述的绝缘子(4-4)为圆环形结构，导电弹簧针(4-2)插在绝缘子(4-4)的中心通孔内。

8.根据权利要求7所述的一种用于半球谐振子与电极基板焊接的电极基板固定装置，其特征在于：所述的固定基座(5)包括第二圆环形安装盘(5-1)和圆环形底座(5-2)，所述的圆环形底座(5-2)安装在第二圆环形安装盘(5-1)上盘面的内侧，所述的圆环形底座(5-2)的侧壁上周向均匀开有多个线槽(5-2-1)，相邻的两个线槽(5-2-1)之间形成一个柱体(5-2-2)，每个柱体的顶端开有一个螺纹孔(5-2-3)；

所述的第二圆环形安装盘(5-1)上周向均匀开有多个安装孔(5-1-1)，所述的固定基座(5)通过多个安装孔(5-1-1)和多个紧固螺钉安装在隔振平台上。

9.根据权利要求8所述的一种用于半球谐振子与电极基板焊接的电极基板固定装置，其特征在于：所述的固定基座(5)采用不锈钢材质。

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