CN113865573B - 一种基于压电/电容驱动检测的陀螺结构 - Google Patents
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- 238000001514 detection method Methods 0.000 title claims abstract description 44
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 claims description 2
- 238000005538 encapsulation Methods 0.000 claims 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 230000000295 complement effect Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 2
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 2
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 2
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 1
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000005350 fused silica glass Substances 0.000 description 1
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 238000011160 research Methods 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 1
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 1
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
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- G01C19/56—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces
- G01C19/5642—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces using vibrating bars or beams
- G01C19/5656—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces using vibrating bars or beams the devices involving a micromechanical structure
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
- G01C19/00—Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
- G01C19/56—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces
- G01C19/5642—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces using vibrating bars or beams
- G01C19/5649—Signal processing
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
- G01C19/00—Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
- G01C19/56—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces
- G01C19/5642—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces using vibrating bars or beams
- G01C19/5663—Manufacturing; Trimming; Mounting; Housings
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Radar, Positioning & Navigation (AREA)
- Remote Sensing (AREA)
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Abstract
本发明提供一种基于压电/电容驱动检测的陀螺结构,它包括绝缘层基座(2),在绝缘层基座(2)内设有谐振子(1),在绝缘层基座(2)上设有上套筒(3a),在上套筒(3a)上设有与绝缘层基座(2)对应配合的静电电极(5),在谐振子(1)上设有压电电极(4),在上套筒(3a)、下套筒(3b)还分别设有与压电电极(4)和静电电极(5)对应配合的信号输出孔(6)。本发明提出了一种具有压电、静电两类电极的陀螺结构,陀螺能够可以利用压电和静电两种驱动方式进行驱动,可以采用静电、压电两种检测方式进行信号采集,增加了陀螺驱动、检测的手段,能够将压电、静电两种驱动检测的方法进行优势互补,有利于陀螺可靠性和检测性能的提高。
Description
技术领域
本发明涉及轴对称谐振陀螺领域,具体地说就是一种基于压电/电容驱动检测的轴对称陀螺结构。
背景技术
陀螺仪是一种能够敏感载体角度或角速度的惯性器件,在姿态控制和导航定位等领域有着非常重要的应用。随着消费电子、工业机器人、车辆、船舶导航、无人机制造业等工业的发展,对陀螺仪的需求也逐渐向着低成本、小体积、高精度、高可靠性的方向发展。陀螺仪因其自身的抗冲击能力强,具有做成高精度陀螺仪的潜力,目前已经成为陀螺领域的研究热点。但现有的轴对称陀螺仪大多存在精度底、可靠性差,有效传感面积小,陀螺的电学驱动裕度较低等缺点。
专利CN104197921A公开了一种图形转移的压印式微型半球谐振陀螺及其制备方法, 所述陀螺八个通过离子掺杂形成的电极,其中八个电极环绕中央谐振子均匀分布配置,包含四个驱动电极和四个检测电极,并通过金属引线连接至引脚处;通过在对应引脚处施加正负电压,驱动电极和检测电极可以实现静电驱动与检测。该方法在一定程度提高了微机械陀螺***的稳定性,但是其检测和驱动方式有限,比较单一。本发明提出了一种具有压电、静电两类电极结构的陀螺结构,能够将压电、静电两种驱动检测的方法进行优势互补,有利于陀螺可靠性和检测性能的提高。
发明内容
本发明专利所要解决的技术问题在于,提供一种基于压电/电容检测的陀螺,该陀螺仪有两类电极,同时采用静电和压电两种方式进行陀螺的驱动和信号检测,可同时输出两种检测信号,其中静电驱动又分两种检测方式,分别为压电检测、静电检测,压电驱动也分两种检测方式,分别为静电检测、压电检测,有利于提高陀螺的电学驱动检测,轴对称陀螺仪精度、可靠性等。
本发明提供以下技术方案。
一种基于压电/电容驱动检测的陀螺结构,它包括基座,在基座内设有谐振子,其特征在于:所述的谐振子为轴对称型结构,在谐振子底部设有压电电极,谐振子通过锚点与基座固定;所述基座为圆盖槽形 , 在基座上设有绝缘层,在绝缘层上均布有一组与谐振子对应配合的静电驱动检测电极,设置一个与基座对应配合的套筒,在套筒上还分别设有与压电电极和静电电极相对应的信号输出孔。
在上述的技术方案的基础上,还可以有以下进一步的技术方案。
在所述的套筒分为上、下套筒,其上套筒与下套筒以凹槽形式嵌入。
所述的上套筒在基座上部,通过锚点固定。
所述在绝缘层基座与谐振子的谐振环的振动形成静电电极,内外两组静电电极与谐振子组成差分电容,可形成差分检测可进行差分方式检测。
所述的谐振子可以是多晶金刚石、碳化硅、熔石英等材料制成。
发明的优点。
本发明陀螺仪有两类电极,同时采用静电和压电两种方式进行陀螺的驱动和信号检测,可同时输出两种检测信号,其中静电驱动又分两种检测方式,分别为压电检测、静电检测,压电驱动也分两种检测方式,分别为静电检测、压电检测,可形成电容差分技术进行测试,提高了陀螺的电学驱动裕度和灵敏度,具有精度高、可靠性高,基频差较小等优点。
附图说明
图1为半球谐振陀螺整体结构***图。
图2为半球谐振陀螺谐振子剖面图。
图3为半球谐振陀螺谐振子“w”型剖面图。
图4为两种轴对称型谐振子立体结构示意图。
图5为谐振子压电电极分布结构示意图。
图6为半球谐振陀螺整体封装图。
具体实施方式
下面将结合本发明专利实施例中的附图,对实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本发明专利的一部分实施例,而不是全部的实施例。
实施例1。
如图1、2、6所示,一种基于压电/电容驱动检测的陀螺结构,它包括轴对称的谐振子1,所述的谐振子与变幅杆1a其连接为一体,谐振子1底部带有偶数个压电检测电极4。
绝缘层基座2底部为环形的凹槽 ,在绝缘层基座上均布有一组与谐振子1对应配合的静电电极5,内外两组静电电极5-1、5-2与谐振子1组成差分电容,可形成差分检测,基座2与谐振子1通过锚点9固定。
所述绝缘层基座2上的静电电极5上端都带有引线孔6,与上套筒3a带有信号输出孔6a相一致,所述带有信号输出孔6a的上套筒与基座2通过锚点8固定,基座1的直径小于上套筒3a的直径,且基座的上端面与上套筒的下端面之间还设有一定间距。
图1最左侧为上套筒3a,与绝缘层基座2通过锚点固定,所述上套筒的盖体带有静电电极相对应信号输出孔6a,最右侧为下套筒3b,底端带有压电电极4相对应信号输出孔6b,其上套筒3a与下套筒3b以凹槽形式嵌入。
谐振子1位于装置3的中间部分,上端与绝缘层基座2连接,并通过锚点9固定,谐振子1下端为下套筒3b,所述的下套筒的底端带有压电电极4相对应信号输出孔6b,绝缘层基座2的直径小于下套筒3b的直径,且绝缘层基座2的下端面与下套筒的上端面之间还设有一定间距。
实施例2。
如图3所示,一种基于压电/电容驱动检测的陀螺结构,所述陀螺结构介绍了两种轴对称谐振子,分别为谐振子1和“w”型谐振子10,所述装置的绝缘层基座2为环形端面上设有一个环形的凹槽,所述环形的凹槽4a与“w”型谐振子10上开口端的环形端面同轴,且所述环形的凹槽的槽底与“w”型谐振子10上开口端的环形端面平行,“w”型谐振子10上有一个平面11 ,上面设置压电电极4,所述的压电电极4与“w”型谐振子10平面11粘贴。
在“w”型谐振子10的中部设有竖直向上伸出的圆柱形的锚杆7,所述的锚杆7上部连接有基座2,在绝缘层基座2外圆端面上连接有静电电极5,所述的差分电极上部、绝缘层基座2的下端面在同一水平面上。
绝缘层基座2底部为环形的凹槽 ,在绝缘层基座上均布有一组与“w”型谐振子10对应配合的电容差动检测电极5,基座2与谐振子10通过锚点固定,在绝缘层基座2上设有与静电电极5相对应的信号输出孔6a, “w”型谐振子10的直径小于差分电极5的直径,且差分电极的两侧与谐振子10之间还设有一定间距,差动电极的两侧与“w”型谐振子10在同一平面内,竖直平行,所述“w”型谐振子10上的谐振环1b与绝缘层基座2下端面在同一水平面上。
在上套筒3a上设有一组与差分电极5一一对应的信号输出孔3a,在所述的信号输出孔3a两侧的内壁上均设有绝缘套筒。
实施例3。
如图4、5所示,一种基于压电/电容驱动检测的陀螺结构,所述陀螺结构介绍了两种轴对称谐振子,分别为谐振子1和“w”型谐振子10,开口端为圆形形成谐振环1b,中部为锚杆7,所述轴对称型结构1或“w”型结构10的谐振子下端面均匀分布偶数个压电电极4,所述的压电电极与谐振子的下端面在同一水平面上。
在下套筒3b上设有一组与压电电极一一对应的信号输出孔6b。
工作原理。
本发明提出一种基于压电/电容驱动检测的陀螺结构,陀螺能够可以利用压电和静电两种驱动方式进行驱动,可以采用静电、压电两种检测方式进行信号采集,增加了陀螺驱动、检测的方法,能够将压电、静电两种驱动检测的方法进行优势互补,有利于陀螺可靠性和检测性能的提高,可形成电容差分技术进行测试,有利于提高轴对称陀螺仪精度、电学驱动裕度等。
本发明中的实施例仅用于对本发明进行说明,并不构成对权利要求范围的限制,本领域内技术人员可以对上述方案进行等同替代,均在本发明保护范围内。
Claims (1)
1.一种基于压电/电容驱动检测的陀螺结构,它包括绝缘层基座(2),在绝缘层基座(2)内设的谐振子(1),其特征在于:所述的谐振子(1)为轴对称型结构,谐振子底部设有均匀分布的偶数个压电电极(4),可进行陀螺的压电驱动和信号检测;谐振子(1)通过锚点 (9) 与绝缘层基座(2)固定;所述绝缘层基座(2)为凹槽圆盖形 , 在绝缘层基座(2)上均布有一组与谐振子(1)对应配合的静电电极(5),内外两组静电电极与谐振子(1)组成差分电容,可形成差分检测;
所述的绝缘层基座(2)上设置一个与基座对应配合的套筒(3),在套筒上还分别设有与压电电极(4)和静电电极(5)相对应的信号输出孔(6);
所述绝缘层基座(2)上的静电电极(5)上端都带有信号输出孔(6),与上套筒(3a)带有信号输出孔相对应;
所述的套筒(3)水平端面上分别设有与压电电极和差动电极相对应的信号输出孔;
所述的套筒分为上、下套筒,其下套筒(3b)以凹槽形式嵌入上套筒(3a)中,进行整体封装;
所述的谐振子类型为轴对称型结构,所述陀螺有两类电极,一类是静电电极(5),一类是压电电极(4),其中静电驱动又分两种检测方式,分别为压电检测、静电检测,压电驱动也分两种检测方式,分别为静电检测、压电检测,可同时输出两种检测信号。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202111311676.9A CN113865573B (zh) | 2021-11-08 | 2021-11-08 | 一种基于压电/电容驱动检测的陀螺结构 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202111311676.9A CN113865573B (zh) | 2021-11-08 | 2021-11-08 | 一种基于压电/电容驱动检测的陀螺结构 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN113865573A CN113865573A (zh) | 2021-12-31 |
CN113865573B true CN113865573B (zh) | 2024-01-09 |
Family
ID=78987320
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN202111311676.9A Active CN113865573B (zh) | 2021-11-08 | 2021-11-08 | 一种基于压电/电容驱动检测的陀螺结构 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN113865573B (zh) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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US6629460B2 (en) * | 2001-08-10 | 2003-10-07 | The Boeing Company | Isolated resonator gyroscope |
-
2021
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---|---|
CN113865573A (zh) | 2021-12-31 |
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PB01 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
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GR01 | Patent grant | ||
GR01 | Patent grant |