CN114384085A - 视觉检测***及其调节方法和面板检测装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种视觉检测***及其调节方法和面板检测装置，该视觉检测***包括：固定机构；用于对待检测面板进行扫描的视觉检测机构，视觉检测机构安装在固定机构上；以及调节机构，调节机构设置为可调节视觉检测机构所包括的模块的角度。本发明提供的视觉检测***包括视觉检测机构和调节机构，该调节机构可以对视觉检测机构所包括的模块的角度进行调节，从而使得所述模块能够与待检测面板严格地符合相应的角度要求。本发明提供的调节机构能够针对视觉检测机构所包括的模块逐个调节角度，因此调节的灵活性和自由度更高，为提高成像质量提供的极大的可能性。

Description

视觉检测***及其调节方法和面板检测装置

技术领域

本发明涉及显示面板检测的技术领域，具体地，涉及一种视觉检测***、一种面板检测装置以及一种视觉检测***的调节方法。

背景技术

面板检测装置可以通过视觉检测模块对显示面板的基板和集成电路 (IC)上可能存在的各种缺陷进行检测，包括外观检测和导电粒子压痕检测。因此，视觉检测模块通常包括多个相机，而其中的用于检测导电粒子的相机通常为精度较高的微分干涉差显微镜(DIC)相机。

以DIC相机为例，其需要在高速运动下拍摄图像，DIC相机的分辨率可以达到0.7μm。为保证清晰度，需要对DIC相机所包括的各个模块的角度进行调节，以提高拍摄效果。

发明内容

为了至少部分地解决现有技术中存在的问题，根据本发明的一个方面，提供一种视觉检测***，包括：固定机构；用于对待检测面板进行扫描的视觉检测机构，视觉检测机构安装在固定机构上；以及调节机构，调节机构设置为可调节视觉检测机构所包括的模块的角度。

示例性地，视觉检测机构包括镜头模块和相机模块，镜头模块安装在固定机构上，相机模块绕镜头模块的轴线可旋转地连接至镜头模块，相机模块采用时间延时积分成像，调节机构包括第一调节机构，第一调节机构设置为可调节相机模块相对于镜头模块的角度，使得相机模块的时间延时积分方向垂直于像素排列方向。

示例性地，第一调节机构包括：固定至固定机构的调节机构定子；固定至相机模块的调节机构动子；以及调节组件，调节组件位置可调节地设置在调节机构定子和调节机构动子中的一者上，且调节组件抵顶调节机构定子和调节机构动子中的另一者，调节组件在该调节过程中改变调节机构动子相对于调节机构定子的位置，以调节相机模块相对于镜头模块的角度。

示例性地，调节机构定子和调节机构动子中的一者上设置有凸块，调节机构定子和调节机构动子中的另一者上设置有安装座，调节组件位置可调节地设置在安装座上且抵顶凸块。

示例性地，安装座围绕凸块，调节组件包括第一调节件和第二调节件，第一调节件和第二调节件分别在凸块的两侧、位置可调节地设置在安装座上，且分别从凸块的两侧抵顶凸块。

示例性地，调节组件为螺纹调节组件，调节组件与调节机构定子和调节机构动子中的一者螺纹连接，使得调节组件位置可调节地设置在调节机构定子和调节机构动子中的一者上。

示例性地，视觉检测机构包括镜头模块，调节机构还包括第二调节机构，第二调节机构设置在视觉检测机构和固定机构之间，用于调节视觉检测机构相对于固定机构的角度，使得镜头模块垂直于待检测面板。

示例性地，镜头模块通过多个紧固件连接至固定机构，多个紧固件非线性地排列，第二调节机构包括套设在多个紧固件中的一个或多个上的垫高件。

示例性地，多个紧固件的数量为四个，多个紧固件分布在矩形的四个顶点上。

根据本发明的另一个方面，还提供一种面板检测装置。该面板检测装置包括如上任一种视觉检测***。

示例性地，面板检测装置还包括用于承载待检测面板的检测平台，视觉检测机构设置为沿水平方向可移动并在该移动过程中对待检测面板进行视觉检测。

根据本发明的另一个方面，还提供一种视觉检测***的调节方法，视觉检测***包括固定机构和用于对待检测面板进行扫描的视觉检测机构，视觉检测机构安装在固定机构上，方法包括：调节视觉检测机构所包括的模块的角度。

示例性地，视觉检测机构包括镜头模块和相机模块，相机模块采用时间延时积分成像，其中调节视觉检测机构所包括的模块的角度的步骤包括：调节相机模块相对于镜头模块的角度，直至相机模块的时间延时积分方向垂直于像素排列方向。

示例性地，视觉检测机构包括镜头模块，其中调节视觉检测机构所包括的模块的角度的步骤包括：调节视觉检测机构相对于固定机构的角度，直至镜头模块垂直于待检测面板。

示例性地，通过在视觉检测机构和固定机构之间添加垫高件来调节视觉检测机构相对于固定机构的角度。

本发明提供的视觉检测***包括视觉检测机构和调节机构，该调节机构可以对视觉检测机构所包括的模块的角度进行调节，从而使得所述模块能够与待检测面板严格地符合相应的角度要求。本发明提供的调节机构能够针对视觉检测机构所包括的模块逐个调节角度，因此调节的灵活性和自由度更高，为提高成像质量提供的极大的可能性。

在发明内容中引入了一系列简化形式的概念，这将在具体实施方式部分中进一步详细说明。本发明内容部分并不意味着要试图限定出所要求保护的技术方案的关键特征和必要技术特征，更不意味着试图确定所要求保护的技术方案的保护范围。

以下结合附图，详细说明本发明的优点和特征。

附图说明

本发明的下列附图在此作为本发明的一部分用于理解本发明。附图中示出了本发明的实施方式及其描述，用来解释本发明的原理。在附图中，

图1为根据本发明的一个示例性实施例的视觉检测***的示意图；

图2为图1中的视觉检测***的***图；

图3为根据本发明的一个示例性实施例的面板检测装置的示意图；以及

图4为根据本发明的一个示例性实施例的视觉检测***及周边部件的示意图。

其中，上述附图包括以下附图标记：

10、视觉检测***；12、巡边检相机；14、外观检测相机；20、检测平台；30、搬运机构；100、固定机构；110、镜头固定座；112a、112b、 112c和112d、安装孔；120、载座；200、视觉检测机构；210、镜头模块； 220、相机模块；300、第一调节机构；310、调节机构定子；320、调节机构动子；324和326、调节孔；312、凸块；322、安装座；400、导轨；410、待检测面板。

具体实施方式

在下文的描述中，提供了大量的细节以便能够彻底地理解本发明。然而，本领域技术人员可以了解，如下描述仅涉及本发明的较佳实施例，本发明可以无需一个或多个这样的细节而得以实施。此外，为了避免与本发明发生混淆，对于本领域公知的一些技术特征未进行描述。

由于压痕检测需要在高速运动下拍摄图像，分辨率为0.7μm，为保证清晰度，则曝光时间内运动的距离不能超过1个像素，按相机最快100KHz行频计算，

扫描速度＝分辨率×行频，

可以计算出最大扫描速度为70mm/s，曝光时间为10μs。通常在室内日光灯照明条件下要求相机的曝光时间为30ms左右，两者时长为3000倍，由此可以看出成像环境的恶劣。

本发明通过调节相机的正位度可以在一定程度上改善相机的成像环境。根据本发明的一个方面，提供一种视觉检测***10，如图1-2所示，视觉检测***10可以包括固定机构100、视觉检测机构200和调节机构。

视觉检测机构200固定在固定机构100上。固定机构100可以可滑动地安装到沿水平方向(例如x轴方向)延伸的导轨400(参见图4)上，固定机构100可以带动视觉检测机构200沿着导轨400移动，以对待检测面板410的边缘进行压痕检测。为了避免移动过程中视觉检测机构200发生振动造成检测精度变差，固定机构100具有足够的刚度和稳定性。在图示实施例中，固定机构100可以包括镜头固定座110和载座120。镜头固定座110和载座120是分体设置的。但是在未示出的其他实施例中，镜头固定座110和载座120也可以是一体的。载座120滑动连接至导轨400。视觉检测机构200可以安装在固定机构100上，例如安装在镜头固定座110 上。

视觉检测机构200用于对待检测面板410进行扫描。视觉检测机构200 主要是微分干涉差显微镜(DIC)相机，其用于检测粒子分布、粒子偏移、气泡检测、异物检测等。视觉检测机构200可以包括镜头模块210和相机模块220。视觉检测机构200安装固定机构100上。

调节机构300设置为可调节视觉检测机构200所包括的模块的角度。调节机构可以调节镜头模块210的角度和/或相机模块220的角度。示例性地，调节机构可以设置在固定机构100和镜头模块210之间，来调节镜头模块210的角度。示例性地，调节机构可以设置在固定机构100和相机模块220之间，来调节相机模块220的角度。

本发明提供的视觉检测***10包括视觉检测机构200和调节机构，该调节机构可以对视觉检测机构200所包括的模块的角度进行调节，从而使得所述模块能够与待检测面板410严格地符合相应的角度要求。本发明提供的调节机构能够针对视觉检测机构200所包括的模块逐个调节角度，因此调节的灵活性和自由度更高，为提高成像质量提供的极大的可能性。

示例性地，镜头模块210安装在固定机构100上，例如固定在镜头固定座110上。相机模块220绕镜头模块210的轴线可旋转地连接至镜头模块210。示例性地，镜头模块210和相机模块220可以螺纹连接，以便于调节各自的角度。

如前所述地，压痕检测的成像环境较为恶劣，采用时间延时积分(TDI) 成像方式可以在一定程度上提高拍摄效果。以8级TDI成像为例，相机沿着时间延时积分方向(简称为TDI积分方向)每运动一个像素尺寸，触发一次曝光，相机共曝光8次，每次曝光产生的感应电荷也逐级后移，最终在第8次曝光后输出所有电荷，获取图像。

在视觉检测机构200采用时间延时积分成像的情况下，调节机构可以包括第一调节机构300。第一调节机构300设置为可调节相机模块220相对于镜头模块210的角度，使得相机模块220的时间延时积分方向垂直于像素排列方向。由此可以保证拍摄图像的清晰度，否则会出现模糊或重影。其中，像素排列方向为每次曝光的一列或多列像素的列的方向。

示例性地，第一调节机构300可以包括调节机构定子310、调节机构动子320以及调节组件。调节机构定子310固定至固定机构100，例如固定至固定机构100的载座120。调节机构动子320固定至相机模块220。镜头模块210和相机模块220可以螺纹连接，以使镜头模块210和相机模块 220在较小的角度(例如5度)内可以微调。调节组件位置可调节地设置在调节机构定子310和调节机构动子320中的一者上，且调节组件抵顶调节机构定子310和调节机构动子320中的另一者。调节组件在该调节过程中改变调节机构定子310相对于调节机构动子320的位置，以调节相机模块220相对于镜头模块210的角度。示例性地，调节组件的一端可以抵顶调节机构定子310和调节机构动子320中的一者(简称为第一者)，而另一端可以可调节地设置在调节机构定子310和调节机构动子320中的另一者(简称为第二者)上。这样，当调节组件在第二者上改变位置之后，就可以顶着第一者相对于第二者改变位置，进而改变调节机构定子310和调节机构动子320的相对位置，也就可以改变相机模块220相对于镜头模块 210的角度了。

示例性地，调节组件可以包括定位柱，沿着定位柱可以设置有多个第一销孔。定位柱的一端可以抵顶第一者，第二者可以设置有第二销孔。调节组件还可以包括定位销。通过将第二销孔与不同的第一销孔对准，并使定位销穿过对准后的第一销孔和第二销孔就可以改变调节机构定子310和调节机构动子320的相对位置。

示例性地，调节机构定子310和调节机构动子320中的一者上设置有凸块312，调节机构定子310和调节机构动子320中的另一者上设置有安装座322。调节组件位置可调节地设置在安装座322上且抵顶凸块312。在图示实施例中，凸块312固定在调节机构定子310上。凸块312和调节机构定子310可以一体制成，也可以分体制成后采用任何合适的连接方式连接。安装座322固定在调节机构动子320上。安装座322和调节机构动子 320可以一体制成，也可以分体制成后采用任何合适的连接方式连接。反之，凸块312固定在调节机构动子320上，安装座322固定在调节机构定子310上也是可行的。如此设置，可以便于设置调节组件。

示例性地，安装座322围绕凸块312。安装座322可以呈环形，安装座322围绕凸块312可以避免凸块312被碰撞，进而避免改变两者的相对位置。可选地，安装座322也可以呈中空的结构，凸块312可以设置在中空的结构中。调节组件可以包括第一调节件和第二调节件。示例性地，第一调节件可以包括调节销或者螺纹调节件。示例性地，第二调节件可以包括调节销或者螺纹调节件。安装座322上可以设置有调节孔324和326，调节孔324和326可以分别位于凸块312的两侧。调节销或者螺纹调节件可以穿过调节孔去抵顶凸块312，并且还能够保持调节后的位置相对于安装座322不动。第一调节件和第二调节件分别在凸块312的两侧、位置可调节地设置在安装座322上，且分别从凸块312的两侧抵顶凸块312。第一调节件和第二调节件从两侧抵顶凸块312可以避免凸块312的位置发生偏移，这样，凸块312可以稳定地维持在调节后的位置处。

示例性地，调节组件可以为螺纹调节组件。调节组件与调节机构定子 310和调节机构动子320中的一者螺纹连接，使得调节组件位置可调节地设置在调节机构定子310和调节机构动子320中的所述一者上。采用螺纹调节组件可以对调节机构定子310和调节机构动子320之间的相对位置进行微调，从而精准地控制相机模块220的角度，保证成像质量。而且螺纹调节组件的调节操作比较方便。

上文的描述中，第一调节机构主要用于调节相机模块220的角度。在其他实施例中，调节机构可以包括第二调节机构。第二调节机构设置在视觉检测机构200和固定机构100之间，用于调节视觉检测机构200相对于固定机构100的角度，使得镜头模块210垂直于待检测面板410。示例性地，视觉检测机构200包括的镜头模块210和相机模块220可以作为一个整体固定在固定机构100上，在此情况下，第二调节机构可以设置在该整体的视觉检测机构200与固定机构100之间，以调节该整体的视觉检测机构200相对于固定机构100的角度。示例性地，第二调节机构可以设置在镜头模块210与固定机构100之间，以直接调节镜头模块210相对于固定机构100的角度。该实施例适用于还需要独立地调节相机模块220的角度的情况。通过使镜头模块210垂直于待检测面板410，可以提高镜头模块 210的亮度指数，提高成像质量。

在一个具体的实施例中，镜头模块210可以通过多个紧固件连接至固定机构100，例如连接至镜头固定座110。镜头固定座110上设置有多个安装孔112a、112b、112c和112d。镜头模块210上也对应地设置有多个安装孔(未示出)。多个紧固件(例如螺纹紧固件)可以穿过对应的两个安装孔而将镜头模块210固定至镜头固定座110。多个紧固件可以非线性地排列。也就是说，需要至少三个紧固件。它们可以排列在任意多边形的顶点上。如图所示，四个安装孔112a、112b、112c和112d示出了多个紧固件的位置。这些安装孔112a、112b、112c和112d排列成在矩形的四个顶点上。基于此，第二调节机构可以包括套设在多个紧固件中的一个或多个上的垫高件。垫高件例如是垫片。如图2所示，在左侧的安装孔112a和112d 或者在右侧的安装孔112c和112b处增加垫高件可以大体上以镜头模块210 的轴线为轴左右旋转镜头模块210。在上侧的安装孔112a和112b或者在下侧的安装孔112c和112d处增加垫高件可以调节镜头模块210的俯仰角。当然，也可以仅在左侧安装孔中的一个、或者右侧安装孔中的一个处增加垫高件。类似地，也可以仅在上侧安装孔中的一个、或者下侧安装孔中的一个处增加垫高件。而且还可以通过改变垫高件的高度，来实现不同角度的调节。本领域的技术人员可以根据实际情况来选择在何处增加垫高件。

通过在连接镜头模块210和固定机构100的多个紧固件上选择性地设置垫高件来调节镜头模块210的角度，不仅结构简单，而且可调节的角度范围较大、调节维度较多，因此调节更加方便，而且不会导致整个设备的成本升高，经济且有效。

示例性地，多个紧固件的数量为四个，多个紧固件分布在矩形的四个顶点上。相比于三个紧固件，四个紧固件会增大调节角度且使调节维度变多。相比于五个及以上紧固件，四个紧固件并未显著地影响调节效果，而且结构更加简单。

根据本发明的另一个方面，还提供一种面板检测装置。如图3所示，该面板检测装置可以包括如上任一项所述的视觉检测***10。可选地，该面板检测装置还可以包括其他的视觉检测机构，例如巡边检相机12以及外观检测相机14等中的一种或多种，参见图4。巡边检相机12用于检测基板的外观，例如基板上有无裂痕、刮伤或者崩边崩角等情况。外观检测相机14用于检测集成电路的外观，特别是崩边、崩角等情况。所有的视觉检测机构可以都滑动连接至导轨400。

示例性地，面板检测装置还包括用于承载待检测面板410的检测平台 20，视觉检测机构200设置为沿水平方向(例如沿着x轴方向)可移动并在该移动过程中对待检测面板410进行视觉检测，结合图3-4。检测平台 20可以依靠吸附力将待检测面板410固定在其上。搬运机构30可以将待检测面板410搬运到检测平台20上。

根据本发明的另一个方面，还提供一种视觉检测***的调节方法。视觉检测***10包括固定机构100和用于对待检测面板410进行扫描的视觉检测机构200。视觉检测机构200安装在固定机构100上。视觉检测机构 200可以包括镜头模块210和相机模块220。

该调节方法包括调节视觉检测机构200所包括的模块的角度。示例性地，可以调节镜头模块210的角度和/或相机模块220的角度。

示例性地，相机模块220可以采用时间延时积分成像。在此情况下，前述的调节视觉检测机构200所包括的模块的角度的步骤包括：调节相机模块220相对于镜头模块210的角度，直至相机模块220的时间延时积分方向垂直于像素排列方向。

示例性地，前述的调节视觉检测机构200所包括的模块的角度的步骤包括：调节视觉检测机构200相对于固定机构100的角度，直至镜头模块 210垂直于待检测面板410。

示例性地，可以通过在视觉检测机构200和固定机构100之间添加垫高件来调节视觉检测机构200相对于固定机构100的角度。

在本发明的描述中，需要理解的是，方位词如“前”、“后”、“上”、“下”、“左”、“右”、“横向”、“竖向”、“垂直”、“水平”和“顶”、“底”等所指示的方位或位置关系通常是基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，在未作相反说明的情况下，这些方位词并不指示和暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位或者以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明保护范围的限制；方位词“内”、“外”是指相对于各部件本身的轮廓的内外。

为了便于描述，在这里可以使用区域相对术语，如“在……之上”、“在……上方”、“在……上表面”、“上面的”等，用来描述图中所示的一个或多个部件或特征与其他部件或特征的区域位置关系。应当理解的是，区域相对术语不但包含部件在图中所描述的方位，还包括使用或操作中的不同方位。例如，如果附图中的部件被整体倒置，则部件“在其他部件或特征上方”或“在其他部件或特征之上”的将包括部件“在其他部件或构造下方”或“在其他部件或构造之下”的情况。因而，示例性术语“在……上方”可以包括“在……上方”和“在……下方”两种方位。此外，这些部件或特征也可以其他不同角度来定位(例如旋转90度或其他角度)，本文意在包含所有这些情况。

需要注意的是，这里所使用的术语仅是为了描述具体实施方式，而非意图限制根据本申请的示例性实施方式。如在这里所使用的，除非上下文另外明确指出，否则单数形式也意图包括复数形式，此外，还应当理解的是，当在本说明书中使用术语“包含”和/或“包括”时，其指明存在特征、步骤、操作、部件、件和/或它们的组合。

需要说明的是，本申请的说明书和权利要求书及上述附图中的术语“第一”、“第二”等是用于区别类似的对象，而不必用于描述特定的顺序或先后次序。应该理解这样使用的数据在适当情况下可以互换，以便这里描述的本申请的实施方式能够以除了在这里图示或描述的那些以外的顺序实施。

本发明已经通过上述实施例进行了说明，但应当理解的是，上述实施例只是用于举例和说明的目的，而非意在将本发明限制于所描述的实施例范围内。此外本领域技术人员可以理解的是，本发明并不局限于上述实施例，根据本发明的教导还可以做出更多种的变型和修改，这些变型和修改均落在本发明所要求保护的范围以内。本发明的保护范围由附属的权利要求书及其等效范围所界定。

Claims (15)

1.一种视觉检测***，其特征在于，所述视觉检测***包括：

固定机构；

用于对待检测面板进行扫描的视觉检测机构，所述视觉检测机构安装在所述固定机构上；以及

调节机构，所述调节机构设置为可调节所述视觉检测机构所包括的模块的角度。

2.如权利要求1所述的视觉检测***，其特征在于，所述视觉检测机构包括镜头模块和相机模块，所述镜头模块安装在所述固定机构上，所述相机模块绕所述镜头模块的轴线可旋转地连接至所述镜头模块，所述相机模块采用时间延时积分成像，所述调节机构包括第一调节机构，所述第一调节机构设置为可调节所述相机模块相对于所述镜头模块的角度，使得所述相机模块的时间延时积分方向垂直于像素排列方向。

3.如权利要求2所述的视觉检测***，其特征在于，所述第一调节机构包括：

固定至所述固定机构的调节机构定子；

固定至所述相机模块的调节机构动子；以及

调节组件，所述调节组件位置可调节地设置在所述调节机构定子和所述调节机构动子中的一者上，且所述调节组件抵顶所述调节机构定子和所述调节机构动子中的另一者，所述调节组件在该调节过程中改变所述调节机构动子相对于所述调节机构定子的位置，以调节所述相机模块相对于所述镜头模块的角度。

4.如权利要求3所述的视觉检测***，其特征在于，所述调节机构定子和所述调节机构动子中的一者上设置有凸块，所述调节机构定子和所述调节机构动子中的另一者上设置有安装座，所述调节组件位置可调节地设置在所述安装座上且抵顶所述凸块。

5.如权利要求4所述的视觉检测***，其特征在于，所述安装座围绕所述凸块，所述调节组件包括第一调节件和第二调节件，所述第一调节件和所述第二调节件分别在所述凸块的两侧、位置可调节地设置在所述安装座上，且分别从所述凸块的两侧抵顶所述凸块。

6.如权利要求3所述的视觉检测***，其特征在于，所述调节组件为螺纹调节组件，所述调节组件与所述调节机构定子和所述调节机构动子中的所述一者螺纹连接，使得所述调节组件位置可调节地设置在所述调节机构定子和所述调节机构动子中的所述一者上。

7.如权利要求1所述的视觉检测***，其特征在于，所述视觉检测机构包括镜头模块，所述调节机构还包括第二调节机构，所述第二调节机构设置在所述视觉检测机构和所述固定机构之间，用于调节所述视觉检测机构相对于所述固定机构的角度，使得所述镜头模块垂直于所述待检测面板。

8.如权利要求7所述的视觉检测***，其特征在于，所述镜头模块通过多个紧固件连接至所述固定机构，所述多个紧固件非线性地排列，所述第二调节机构包括套设在所述多个紧固件中的一个或多个上的垫高件。

9.如权利要求8所述的视觉检测***，其特征在于，所述多个紧固件的数量为四个，所述多个紧固件分布在矩形的四个顶点上。

10.一种面板检测装置，其特征在于，所述面板检测装置包括：

如权利要求1-9中任一项所述的视觉检测***。

11.如权利要求10所述的面板检测装置，其特征在于，所述面板检测装置还包括用于承载所述待检测面板的检测平台，所述视觉检测机构设置为沿水平方向可移动并在该移动过程中对所述待检测面板进行视觉检测。

12.一种视觉检测***的调节方法，其特征在于，所述视觉检测***包括固定机构和用于对待检测面板进行扫描的视觉检测机构，所述视觉检测机构安装在所述固定机构上，所述方法包括：

调节所述视觉检测机构所包括的模块的角度。

13.如权利要求12所述的调节方法，其特征在于，所述视觉检测机构包括镜头模块和相机模块，所述相机模块采用时间延时积分成像，其中

所述调节所述视觉检测机构所包括的模块的角度的步骤包括：

调节所述相机模块相对于所述镜头模块的角度，直至所述相机模块的时间延时积分方向垂直于像素排列方向。

14.如权利要求12所述的调节方法，其特征在于，所述视觉检测机构包括镜头模块，其中

所述调节所述视觉检测机构所包括的模块的角度的步骤包括：

调节所述视觉检测机构相对于所述固定机构的角度，直至所述镜头模块垂直于所述待检测面板。

15.如权利要求14所述的调节方法，其特征在于，通过在所述视觉检测机构和所述固定机构之间添加垫高件来调节所述视觉检测机构相对于所述固定机构的角度。

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