CN114334700A - 半导体设备电极板的安装治具 - Google Patents

半导体设备电极板的安装治具 Download PDF

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Abstract

本公开涉及一种半导体设备电极板的安装治具，包括：对位组件，包括支撑盘和至少两个导向轴，所述支撑盘具有至少两个定位孔、至少两个固定孔和至少两个安装孔，所述导向轴能够穿过所述定位孔和所述定位螺孔，且所述导向轴的一端具有定位槽，所述定位槽能够与所述定位螺钉连接，所述固定螺钉能够穿过所述固定螺孔和所述固定孔；驱动组件，包括安装板组件、至少两个支撑杆、驱动杆组件，所述支撑杆与安装板组件连接，且支撑杆的一端与安装孔连接，驱动杆组件与安装板组件连接；支撑组件，包括至少两个支撑座，支撑座具有安装槽，支撑杆的另一端位于安装槽内。该半导体设备电极板的安装治具能够实现单人安装电极板的目的，并且还能够实现精准定位。

Description

半导体设备电极板的安装治具
技术领域
本公开涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种半导体设备电极板的安装治具。
背景技术
目前，在半导体技术领域，半导体设备电极板的拆装工作通常需要至少两个操作人员完成，从而浪费了大量的人力资源。同时，在电极板的安装过程中，还需要操作人员手动的将固定盘上的螺钉与电极板上的螺孔对准安装，从而在安装过程中很容易造成固定盘上的唇形密封圈位置偏移，导致腔体内部发生泄漏，最终对半导体的刻蚀等产生影响。并且，操作人员手动安装容易产生碰撞，从而造成电极板的损坏，使得电极板的安装成本增加。
需要说明的是，在上述背景技术部分公开的信息仅用于加强对本公开的背景的理解，因此可包括不构成对本领域普通技术人员已知的现有技术的信息。
发明内容
本公开目的在于提供一种半导体设备电极板的安装治具，该半导体设备电极板的安装治具能够实现单人安装电极板的目的，并且还能够实现精准定位，并节省电极板的安装成本。
本公开提供了一种半导体设备电极板的安装治具，所述半导体设备具有固定盘，且所述固定盘上具有至少两个定位螺钉和至少两个固定螺钉，所述电极板上具有至少两个定位螺孔和至少两个固定螺孔，所述半导体设备电极板的安装治具，包括：
对位组件，包括支撑盘和至少两个导向轴，所述支撑盘具有至少两个定位孔、至少两个固定孔和至少两个安装孔，所述导向轴能够穿过所述定位孔和所述定位螺孔，且所述导向轴的一端具有定位槽，所述定位槽能够与所述定位螺钉连接，所述固定螺钉能够穿过所述固定螺孔和所述固定孔；
驱动组件，包括安装板组件、至少两个支撑杆、驱动杆组件，所述支撑杆与所述安装板组件连接，且所述支撑杆的一端与所述安装孔连接，所述驱动杆组件与所述安装板组件连接；
支撑组件，包括至少两个支撑座，所述支撑座具有安装槽，所述支撑杆的另一端位于所述安装槽内。
在本公开的一种示例性实施例中，所述支撑盘还包括：
卡环导向器，具有第一阻挡部和第一导向部，所述第一阻挡部位于所述第一导向部的***并与所述第一导向部连接，且所述第一阻挡部与所述支撑盘靠近所述安装板组件的一侧接触，
所述第一导向部的一端穿过所述定位孔，且所述第一导向部具有通孔，所述导向轴能够穿过所述通孔。
在本公开的一种示例性实施例中，所述支撑盘还包括：
驱动导向器，具有第二阻挡部和第二导向部，所述第二阻挡部位于所述第二导向部的***并与所述第二导向部连接，且所述第二阻挡部与所述支撑盘靠近所述安装板组件的一侧接触，
所述第二导向部具有导向槽，所述导向槽靠近所述安装板组件的一侧具有开口，且所述第二导向部远离所述开口的一端穿过所述安装孔并与所述支撑盘远离所述安装板组件的一侧平齐。
在本公开的一种示例性实施例中，所述安装板组件包括第一安装板件和第二安装板件，
所述第一安装板件位于所述驱动组件靠近所述支撑盘的一侧，所述第二安装板件位于所述驱动组件远离所述支撑盘的一侧，
所述驱动杆组件穿过所述第二安装板件并与所述第一安装板件固定连接，所述支撑杆穿过所述第二安装板件并与所述第一安装板件连接。
在本公开的一种示例性实施例中，所述支撑杆具有杆部和第三阻挡部，
所述杆部的一端穿过所述第一安装板件和第二安装板件，并与所述导向槽连接，所述第三阻挡部位于所述杆部***并与所述杆部连接，且所述第三阻挡部与所述第一安装板件靠近所述支撑盘的一侧接触。
在本公开的一种示例性实施例中，所述驱动组件还包括：
至少一个导向杆组件，所述导向杆组件穿过所述第二安装板件并与所述第一安装板件固定连接。
在本公开的一种示例性实施例中，所述导向杆组件具有导向杆和滚珠导向器，
所述导向杆穿过所述滚珠导向器并与所述第一安装板固定连接，
所述滚珠导向器具有滚珠导向部和第四阻挡部，所述滚珠导向部穿过所述第二安装板件，
所述第四阻挡部位于所述滚珠导向部的***，并与所述滚珠导向部连接，且所述第四阻挡部与所述第二安装板件靠近所述支撑盘的一侧接触。
在本公开的一种示例性实施例中，所述驱动杆组件具有驱动杆和啮合器，
所述驱动杆的外周面具有第一螺纹，且所述驱动杆的一端与所述第一安装板件连接，
所述啮合器具有啮合部和第五阻挡部，所述啮合部穿过所述第二安装板件，且所述啮合部内表面具有与所述第一螺纹匹配的第二螺纹，所述啮合部与所述驱动杆啮合，
所述第五阻挡部位于所述啮合部的***，并与所述啮合部连接，且所述第五阻挡部与所述第二安装板件远离所述支撑盘的一侧接触。
在本公开的一种示例性实施例中，所述支撑组件还包括：
至少一个加固杆，每个所述加固杆连接两个所述支撑座。
在本公开的一种示例性实施例中，所述电极板包括电极和夹紧环，所述电极安装于所述夹紧环上，所述对位组件还包括：
至少一个卡合板，所述卡合板具有连接部和卡合部，
所述连接部位于所述支撑盘远离所述安装板组件的一侧，并与所述支撑盘连接，且所述连接部具有连接孔，所述连接孔与所述固定孔的正投影重合，
所述卡合部位于所述连接部靠近所述支撑盘的中心的一侧，并与所述连接部连接，以用于卡合所述电极。
本公开提供的技术方案可以达到以下有益效果：
本公开所提供的半导体设备电极板的安装治具包括：对位组件、驱动组件和支撑组件。其中，对位组件包括支撑盘和至少两个导向轴，需要安装的电极板可以放置在支撑盘上，并将支撑盘上的定位孔和固定孔与电极板上的定位螺孔和固定螺孔相重合，从而使得电极板的位置固定。将导向轴与定位螺钉连接，从而能够固定导向轴的位置。当导向轴穿过定位孔和定位螺孔的时候，能够对电极板的位置进一步固定，从而使得电极板与冷却盘能够精准对位。从而，相比于现有技术，本申请的半导体设备电极板的安装治具不需要操作人员手工去对准定位，进而不会造成电极板和固定盘的对位不准的问题，也就因此不会对刻蚀产生影响。同时，由于不需要操作人员手工对位安装，从而不会造成电极板发生磕碰而损坏，进而降低了电极板的安装成本。
同时，驱动组件的支撑杆通过安装孔与支撑盘连接，从而能够驱动对位组件上下运动，使得电极板能够到达安装位置。并且，支撑组件可以通过支撑座将驱动组件和支撑盘支撑，从而不需要人工进行支撑，进而本申请提供的半导体设备电极板的安装治具只需要最多一个操作人员即可通过操作驱动杆组件来完成电极板的对位和安装，节省了人力资源，也提高了安装的效率。
应当理解的是，以上的一般描述和后文的细节描述仅是示例性和解释性的，并不能限制本公开。
附图说明
此处的附图被并入说明书中并构成本说明书的一部分，示出了符合本公开的实施例，并与说明书一起用于解释本公开的原理。显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本公开的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1示出了根据本公开一示例性实施例的半导体设备电极板的安装治具的结构示意图；
图2示出了根据本公开一示例性实施例的半导体设备电极板的安装治具工作开始时的结构示意图；
图3示出了根据本公开一示例性实施例的半导体设备电极板的安装治具工作结束时的结构示意图；
图4示出了根据本公开一示例性实施例的电极板的结构示意图；
图5示出了根据本公开一示例性实施例的图4中A-A截面的结构示意图；
图6示出了根据本公开一示例性实施例的支撑盘的结构示意图；
图7示出了根据本公开另一示例性实施例的支撑盘的结构示意图；
图8示出了根据本公开一示例性实施例的图7的a-a和b-b截面的结构示意图；
图9示出了根据本公开一示例性实施例的图7的c-c和d-d截面的结构示意图；
图10示出了根据本公开一示例性实施例的电极板、支撑组件和固定盘的顶部重叠的结构示意图；
图11示出了根据本公开一示例性实施例的图10中D-D截面的分解结构示意图；
图12示出了根据本公开一示例性实施例的驱动组件的俯视示意图；
图13示出了根据本公开一示例性实施例的图12中E-E截面的结构示意图；
图14示出了根据本公开一示例性实施例的驱动杆组件的结构示意图；
图15示出了根据本公开一示例性实施例的导向杆组件的结构示意图；
图16示出了根据本公开一示例性实施例的第一安装板件的结构示意图；
图17示出了根据本公开一示例性实施例的对位组件和驱动组件连接的结构示意图；
图18示出了根据本公开一示例性实施例的支撑组件的俯视示意图；
图19示出了根据本公开一示例性实施例的图18中的F-F截面的结构示意图；
图20示出了根据本公开一示例性实施例的驱动组件和支撑组件连接的结构示意图。
附图标记说明：
1、半导体设备；2、半导体设备电极板的安装治具；11、固定盘；12、电极板；21、支撑盘；22、导向轴；23、第一安装板；24、第二安装板；25、支撑杆；26、驱动杆组件；27、导向杆组件；28、支撑座；29、加固杆；30、支撑脚；31、安装板组件；111、定位螺钉；112、固定螺钉；121、定位螺孔；122、固定螺孔；123、电极；124、夹紧环；211、定位孔；212、安装孔；213、卡环导向器；214、驱动导向器；215、卡合圈；216、卡合板；217、固定孔；221、定位槽；231、第一安装板；232、第二安装板；251、杆部；252、第三阻挡部；261、驱动杆；262、啮合器；263、摇把；271、导向杆；272、滚柱导向器；281、安装槽；2131、第一阻挡部；2132、第一导向部；2141、第二阻挡部；2142、第二导向部；2143、导向槽；2161、连接孔；2621、啮合部；2622、第五阻挡部；2721、滚珠导向部；2722、第四阻挡部。
具体实施方式
现在将参考附图更全面地描述示例实施方式。然而，示例实施方式能够以多种形式实施，且不应被理解为限于在此阐述的实施方式；相反，提供这些实施方式使得本公开将全面和完整，并将示例实施方式的构思全面地传达给本领域的技术人员。图中相同的附图标记表示相同或类似的结构，因而将省略它们的详细描述。
用语“一个”、“一”、“该”、“所述”用以表示存在一个或多个要素/组成部分/等；用语“包括”和“具有”用以表示开放式的包括在内的意思并且是指除了列出的要素/组成部分/等之外还可存在另外的要素/组成部分/等。
如图1至图3所示，本公开提供了一种半导体设备电极板的安装治具2，该半导体设备电极板的安装治具2可以包括对位组件、驱动组件和支撑组件。该半导体设备电极板的安装治具2能够实现单人安装电极板12的目的，从而节省了大量的人力资源，提高了安装效率。同时本申请的半导体设备电极板的安装治具2还能够自动对位，防止由于电极板12对位不准而对半导体刻蚀产生的影响。并且，还能够防止由于操作人员手工对位安装时发生碰撞，而造成电极板12的损坏，从而能够降低电极板12的安装成本。
进一步的，如图2和图3所示，上述半导体设备1可以具有固定盘11，该固定盘11可以用于安装电极板12。其中，该固定盘11上可以具有至少两个定位螺钉111和至少两个固定螺钉112，需要说明的是，该定位螺钉111和固定螺钉112可以为相同的螺钉，也可以为不同的螺钉。同时，固定盘11上也可以具有多个唇形密封，用于密封和分流固定盘11和电极板12组成的区域，防止其发生泄漏及不同区域间的相互影响。
如图4和图5所示，电极板12上可以具有至少两个定位螺孔121和至少两个固定螺孔122。其中，定位螺孔121和定位螺钉111匹配，固定螺孔122和固定螺钉112匹配，即电极板12通过定位螺孔121与固定盘11的定位螺钉111连接，从而实现电极板12的定位和连接，电极板12通过固定螺孔122与固定盘11的固定螺钉112连接，从而实现电极板12与固定盘11的连接和固定。需要说明的是，定位螺孔121和固定螺孔122可以相同，也可以不同，这均在本公开的保护范围之内。
进一步的，电极板12可以包括电极123和夹紧环124，其中，电极123可以安装在夹紧环124上，即夹紧环124可以包围在电极123的外部。举例而言，电极123可以与夹紧环124一体成型而形成电极板12，但不限于此，电极123也可以与夹紧环124分开制造，在制造完成之后，将电极123与夹紧环124连接在一起，从而形成电极板12。
在本公开的一个实施例中，如图1和图6至11所示，对位组件可以包括支撑盘21和至少两个导向轴22。支撑盘21可以具有至少两个定位孔211、至少两个固定孔217和至少两个安装孔212。其中，定位孔211可以与固定盘11上的定位螺钉111对齐，固定孔217可以与固定盘11上的固定螺钉112对齐，且固定螺钉112可以穿过固定螺孔122和固定孔217。从而使得电极板12放置在支撑盘21上以后，只需使得电极板12上的定位螺孔121和固定螺孔122分别与支撑板上的定位孔211和固定孔217对齐即可使得定位螺孔121与定位螺钉111对齐，固定螺孔122与固定螺钉112对齐。
需要说明的是，支撑盘21上的定位孔211的数量可以与定位螺孔121和定位螺钉111的数量相同。支撑盘21上的固定孔217的数量可以与固定螺孔122和固定螺钉112的数量相同。支撑盘21上的定位孔211的直径可以与定位螺孔121的直径相同。
导向轴22能够穿过定位孔211和定位螺孔121，且导向轴22的一端可以具有定位槽221，该定位槽221能够与定位螺钉111连接，从而导向轴22能够通过定位槽221与定位螺钉111连接。本公开对定位槽221与定位螺钉111的连接方式不做限定，例如定位槽221和定位螺钉111可以固定连接，也可以可拆卸连接。当定位槽221与定位螺钉111可拆卸连接时，导向轴22在电极板12和固定盘11对位完成后可以取下，从而能够防止导向轴22影响半导体设备的工作。同时，当导向轴22取下后，电极板12和固定板也可以通过定位螺钉111和定位螺孔121固定，即定位螺钉111和定位螺孔121能够起到固定螺钉112和固定螺孔122的作用，从而使得电极板12的固定更稳固，同时还能够尽可能的减少固定螺钉112和固定螺孔122的设置数量。
进一步的，导向轴22穿过定位螺孔121和定位孔211后，能够更进一步地对电极板12进行定位，同时还能够防止最终固定电极板12和固定盘11时，电极板12发生偏移，而造成电极板12安装失败的问题。需要说明的是，该导向轴22的数量可以与定位螺钉111的数量相同，该导向轴22的长度可以大于等于电极板12和固定盘11的总厚度，且该导向轴22的直径可以小于等于定位孔211和定位螺孔121的直径。
优选地，该导向轴22的直径可以略小于定位孔211和定位螺孔121的直径，使得导向轴22与定位孔211和定位螺孔121可以过渡配合，从而能够对电极板12更好地定位，使得电极板12和固定盘11的对位更加精准。
如图12至17所示，驱动组件可以包括安装板组件31、至少两个支撑杆25、驱动杆组件26。其中，支撑杆25可以与安装板组件31连接，且支撑杆25的一端可以与安装孔212连接。可以理解的是，将支撑杆25与安装板组件31连接，可以使得支撑杆25能够随着安装板组件31的运动而运动。同时，将支撑杆25的一端可以与安装孔212固定连接，也可以与安装孔212过渡配合，从而使得支撑杆25能够带动支撑盘21运动。但是本公开对支撑杆25的一端与安装孔212的连接方式不做限定，只要能够时的支撑杆25带动支撑盘21运动即可，这均在本公开的保护范围之内。另外，支撑杆25的数量可以与安装孔212的数量相同，也可以与安装孔212的数量不同，这均在本公开的保护范围之内。
驱动杆组件26也可以与安装板组件31连接，以用于驱动安装板组件31运动，从而驱动支撑盘21运动，使得支撑盘21上的电极板12能够朝着靠近固定盘11的方向运动。
如图18至20所示，支撑组件可以包括至少两个支撑座28，该支撑座28可以具有安装槽281，且支撑杆25的另一端可以位于安装槽281内。可以理解的是，该支撑座28靠近安装板组件31的一端可以具有安装槽281，并通过安装槽281与支撑杆25的另一端连接。需要说明的是，当驱动组件位于最高位置时，支撑杆25的另一端仍需要位于安装槽281内。支撑座28远离安装板组件31的一端可以与地面接触，以支撑整个半导体设备电极板的安装治具2。
因此，通过支撑组件支撑，能够使得安装电机板的过程中，不再需要人工拿着电极板12，只需要将电极板12放在支撑盘21上即可，从而解放了双手，也节省了人工。同时，操作人员可以只操作驱动杆组件26，即可完成电极板12和固定盘11的对位，进而进一步的节省了人力，同时还能够提高安装的效率。并且，还能够防止由于位置偏移而造成唇形密封圈的偏移以及由于手工安装而造成电极板12的损坏的问题。
在本公开的一个实施例中，如图8所示，支撑盘21还可以包括卡环导向器213，该卡环导向器213可以具有第一阻挡部2131和第一导向部2132，其中，第一阻挡部2131可以位于第一导向部2132的***并与第一导向部2132连接，且第一阻挡部2131可以与支撑盘21靠近安装板组件31的一侧接触，可以理解的是，该第一阻挡部2131能够阻挡卡环导向器213向远离安装板组件31的方向运动。该第一阻挡部2131可以为两个阻挡块，也可以为阻挡圈，因此，本公开对第一阻挡部2131的样式不做限定，只要能够阻挡卡环导向器213向远离安装板组件31的方向运动即可，这均在本公开的保护范围之内。
第一导向部2132的一端能够穿过定位孔211。该第一导向部2132能够与定位孔211过盈配合，但不限于此，第一导向部2132与定位孔211也可以为其他配合方式，可以根据实际情况设置。
进一步的，该第一导向部2132可以具有通孔，上述导向轴22能够穿过该通孔，可以理解的是，该通孔的延伸方向与导向轴22的运动方向相同。为了使得导向轴22在穿过通孔时不会对支撑盘21造成损伤，可以将第一导向部2132的长度设置为比支撑盘21厚度大的数值，从而使得第一导向部2132远离安装板组件31的一端能够高于支撑盘21远离安装板组件31的一侧。
同时，使第一导向部2132远离安装板组件31的一端高于支撑盘21远离安装板组件31的一侧还能够进一步的通过第一导向部2132卡合电极板12上的定位螺孔121，使得电极板12上的定位螺孔121能够更便捷的与定位孔211对齐，同时还能够防止电极板12的定位螺孔121与支撑板上定位孔211对齐后，电极板12在运动的过程中发生偏移的情况。但不限于此，第一导向部2132远离安装板组件31的一端也可以与支撑盘21远离安装板组件31的一侧平齐，也可以低于支撑盘21远离安装板组件31的一侧，这均在本公开的保护范围之内。另外，该卡环导向器213的数量可以与定位孔211的数量相同。即每个定位孔211中均有一个卡环导向器213。
在本公开的一个实施例中，如图9所示，支撑盘21还可以包括驱动导向器214，该驱动导向器214可以具有第二阻挡部2141和第二导向部2142，其中，第二阻挡部2141可以位于第二导向部2142的***并与第二导向部2142连接，且第二阻挡部2141可以与支撑盘21靠近安装板组件31的一侧接触，可以理解的是，该第二阻挡部2141能够阻挡驱动导向器214向远离安装板组件31的方向运动。该第二阻挡部2141可以为两个阻挡块，也可以为阻挡圈，因此，本公开对第二阻挡部2141的样式不做限定，只要能够阻挡驱动导向器214向远离安装板组件31的方向运动即可，这均在本公开的保护范围之内。
第二导向部2142可以具有导向槽2143，该导向槽2143靠近安装板组件31的一侧具有开口，且该第二导向部2142远离开口的一端能够穿过安装孔212，并与支撑盘21远离安装板组件31的一侧平齐。其中，该第二导向部2142可以与安装孔212过盈配合，但不限于此，本公开对第二导向部2142与安装孔212之间的配合方式不做限定，均在本公开的保护范围之内。支撑杆25的一端能够与该导向槽2143连接，从而实现与安装孔212的连接。其中，支撑杆25的一端能够与该导向槽2143固定连接，也可以与该导向槽2143过渡配合，只要能够使得支撑杆25带动支撑盘21运动即可，这均在本公开的保护范围之内。
除此之外，该驱动导向器214的数量可以与安装孔212的数量相同，即驱动导向器214的数量也可以与支撑杆25的数量相同。
在本公开的一个实施例中，如图11所示，对位组件还可以包括卡合圈215，该卡合圈215可以设置在支撑盘21远离安装板组件31的一侧上，且位于支撑板边缘位置，该卡合圈215的高度可以与电极板12夹紧环124的高度相同，以用于卡合电极板12，防止电极板12在运动过程中位置发生偏移。
进一步的，如图7所示，对位组件还可以还包括至少一个卡合板216，该卡合板216可以具有连接部和卡合部。其中，连接部可以位于支撑盘21远离安装板组件31的一侧，并与支撑盘21连接。同时，该连接部可以具有连接孔2161，该连接孔2161的中心可以与固定孔217的中心的正投影重合。
卡合部可以位于连接部靠近支撑盘21的中心的一侧，并与连接部连接，以用于卡合上述电极123。进一步的，该卡合部靠近支撑盘21的中心的一侧可以为弧形，可以通过弧形边缘的两个角对电极123进行卡合。但不限于此，该弧形可以与电极123的弧度相同，从而能够通过该弧形卡合部对电极123更好的进行卡合。
在本公开的一个实施例中，如图13和图16所示，安装板组件31可以包括第一安装板件23和第二安装板件24，其中第一安装板件23可以位于驱动组件靠近支撑盘21的一侧，第二安装板件24可以位于驱动组件远离支撑盘21的一侧。驱动杆组件26可以穿过第二安装板件24并与第一安装板件23固定连接，支撑杆25可以穿过第二安装板件24并与第一安装板件23连接。
进一步的，该第一安装板件23可以与第二安装板件24相同，且第一安装板件23可以与第二安装板件24的正投影重合。
在本公开的一个实施例中，如图13所示，支撑杆25可以具有杆部251和第三阻挡部252。杆部251的一端能够穿过第一安装板件23和第二安装板件24，并与导向槽2143连接。需要说明的是，支撑杆25与导向槽2143连接的一端的直径可以小于或等于导向槽2143的内径。
进一步的，为了保证支撑杆25具有更高的强度和更好的支撑力，支撑杆25其他部位的直径可以大于支撑杆25与导向槽2143连接的一端的直径。本公开对该直径的具体数值不做限定，可以根据据实际需要设置。
第三阻挡部252可以位于杆部251的***并与杆部251连接，且第三阻挡部252可以与第一安装板件23靠近支撑盘21的一侧接触，可以理解的是，该第三阻挡部252能够阻挡支撑杆25向远离支撑盘21的方向运动。该第三阻挡部252可以为两个阻挡块，也可以为阻挡圈，因此，本公开对第三阻挡部252的样式不做限定，只要能够阻挡支撑杆25向远离支撑盘21的方向运动即可，这均在本公开的保护范围之内。
在本公开的一个实施例中，如图14所示，驱动杆组件26可以具有驱动杆261和啮合器262。其中，驱动杆261的外周面可以具有第一螺纹，且驱动杆261的一端可以与第一安装板件23连接。例如，驱动杆261的一端可以通过螺钉与第一安装板件23连接，但不限于此，也可以通过其他方式连接，这均在本公开的保护范围之内。另外，本公开对第一螺纹的具体尺寸也不做限定，可以根据实际需要设定。
啮合器262可以具有啮合部2621。该啮合部2621可以穿过第二安装板件24，且啮合部2621的内表面可以具有与第一螺纹相匹配的第二螺纹，该啮合部2621能够与驱动杆261啮合。从而，当驱动杆261发生旋转时，驱动杆261能够与相对啮合部2621发生位移，从而能够带动第一安装板件23运动，以此带动支撑盘21运动。
进一步的，啮合部2621可以与第二安装板件24过盈配合，以防止驱动杆261在运动的过程中啮合部2621发生脱落。
为了更进一步的防止啮合部2621发生脱落，该啮合器262还可以具有第五阻挡部2622。第五阻挡部2622可以位于啮合部2621的***并与啮合部2621连接，且第五阻挡部2622可以与第二安装板件24远离支撑盘21的一侧接触，可以理解的是，该第五阻挡部2622能够阻挡啮合器262向靠近支撑盘21的方向运动。该第五阻挡部2622可以为两个阻挡块，也可以为阻挡圈，因此，本公开对第五阻挡部2622的样式不做限定，只要能够阻挡啮合器262向靠近支撑盘21的方向运动即可，这均在本公开的保护范围之内。
进一步的，驱动杆组件26还可以具有摇把263，该摇把263可以与驱动杆261未与第一安装板件23连接的一端连接。通过设置摇把263，能够使得操作人员转动驱动杆261时更加轻松。
需要说明的是，本公开提供的驱动组件还可以为其他形式，例如液压驱动、电力驱动等，可以根据实际需要设置，这均在本公开的保护范围之内。
在本公开的一个实施例中，驱动组件还可以包括至少一个导向杆组件27，该导向杆组件27可以穿过第二安装板件24并与第一安装板件23固定连接，以用于为第一安装板件23的运动提供导向，防止第一安装板件23的运动发生偏移，同时还能够使得第一安装板件23的运动平稳。
进一步的，如图15所示，该导向杆组件27可以具有导向杆271和滚柱导向器272。其中，导向杆271可以穿过滚柱导向器272并与第一安装板件23固定连接。即导向杆271的一端可以与第一安装板件23连接。例如，导向杆271的一端可以通过螺钉与第一安装板件23连接，但不限于此，也可以通过其他方式连接，这均在本公开的保护范围之内。
滚柱导向器272可以具有滚珠导向部2721，该滚珠导向部2721能够穿过第二安装板件24。举例而言，该滚珠导向部2721可以为滚柱轴承，其可以与第二安装板件24过盈连接，以防止导向杆271在运动的过程中，滚珠导向部2721脱落。但本公开对滚珠导向部2721的形式和连接方式不做限定，也可以为其他的形式和连接方式，这均在本公开的保护范围之内。
为了更进一步的防止滚柱导向部发生脱落，该滚柱导向部还可以具有第四阻挡部2722。第四阻挡部2722可以位于滚柱导向部的***并与滚柱导向部连接，且第四阻挡部2722可以与第二安装板件24靠近支撑盘21的一侧接触，可以理解的是，该第四阻挡部2722能够阻挡滚柱导向器272向远离支撑盘21的方向运动。该第四阻挡部2722可以为两个阻挡块，也可以为阻挡圈，因此，本公开对第四阻挡部2722的样式不做限定，只要能够阻挡滚柱导向器272向远离支撑盘21的方向运动即可，这均在本公开的保护范围之内。
在本公开的一个实施例中，如图18所示，支撑组件可以包括至少一个加固杆29，每个加固杆29可以连接两个支撑座28。通过设置加固杆29，能够使得该支撑组件更加稳定，并且可以显著提高支撑组件的支撑能力。
进一步的，如图19至20所示，该支撑组件还可以具有支撑脚30，该支撑脚30可以设置在支撑座28远离安装组件的一端。通过设置支撑脚30能够提高该支撑组件的环境适应性，以用于在各种地面上调整支撑组件的水平度，并能够调整支撑组件的高度，以满足工作需要。
在本公开的一个实施例中，支撑盘21的材质可以为铁氟龙，因为氟树脂的材质硬度低，从而在支撑盘21与电极板12接触的过程中，不会对电极板12造成损伤。
另外，支撑杆25的杆部251和导向杆271的材质也可以为铁氟龙，因为氟树脂的摩擦系数低，从而使得支撑杆25和导向杆271的运动更加平顺、容易。
但是本公开对支撑盘21、支撑杆25的杆部251和导向杆271的材质不做限定，也可以为其他材料，这均在本公开的保护范围之内。
下面通过一个具体的实施例来进一步说明该半导体设备电极板的安装治具2。
如图1至图20所示，在半导体设备的固定盘11上可以具有四个定位螺钉111和两个固定螺钉112，电极板12上可以具有四个定位螺孔121和两个固定螺孔122。其中，四个定位螺钉111和两个固定螺钉112相同，四个定位螺孔121和两个固定螺孔122相同。
上述支撑盘21可以具有四个定位孔211、两个固定孔217和四个安装孔212。其中，四个定位孔211和两个固定孔217可以均匀设置在支撑盘21上，即相邻两个孔之间的夹角可以为60°。四个安装孔212可以两两一组相对设置。其中。四个定位孔211的直径与四个定位螺孔121的直径相同，两个固定孔217的直径大于两个固定螺孔122的直径。另外，在每个定位孔211中均可以设置有一个卡环导向器213，在每个安装孔212中均可以设置有一个驱动导向器214。
进一步的，卡合圈215可以设置在支撑盘21上，并设置在支撑盘21的边缘、同时，该支撑盘21的高度可以大于或等于夹紧环124的高度。并且，卡合圈215的内壁可以与夹紧环124的外壁相接触。上述卡合板216可以具有两个，可以分别设置在两个固定孔217的位置，且连接孔2161的直径可以大于固定螺钉112的直径。
该半导体设备电极板的安装治具2的驱动组件可以具有第一安装板件23、第二安装板件24、四个支撑杆25、驱动杆组件26和四个导向杆组件27。其中，第一安装板件23可以具有相互交叉设置的第一安装板231和第二安装板232，第二安装板件24可以具有相互交叉设置的第三安装板和第四安装板。第一安装板231和第二安装板232与第三安装板和第四安装板的正投影重合。通过设置相互交叉设置的第一安装板231和第二安装板232以及相互交叉设置的第三安装板和第四安装板，能够提高安装板组件31的支撑力。
进一步的，驱动杆261可以通过螺钉与第一安装板231和第二安装板232的交叉处连接，啮合器262的啮合部2621可以穿过与第三安装板和第四安装板的交叉处，并与驱动杆261啮合。
四个导向杆组件27中的导向杆271分别与第一安装板231的两端和第二安装板232的两端固定连接。四个导向杆组件27中的滚柱导向部分别穿过第三安装板的两端和第四安装板的两端。并且，导向杆271可以穿过相对应的滚柱导向器272。
四个支撑杆25分别位于四个导向杆组件27和驱动杆组件26之间。可以理解的是四个支撑杆25的一端分别穿过第一安装板231和第二安装板232，并与导向槽2143连接，且支撑杆25位于导向杆组件27和驱动杆组件26之间，四个支撑杆25的另一端穿过第三安装板和第四安装板。
进一步的，支撑组件具有四个支撑座28，四个支撑座28上均设置有安装槽281，且四个支撑杆25的另一端分别位于安装槽281内。即：四个支撑座28可以呈四边形分布。同时，支撑组件还可以具有四个支撑脚30，四个支撑脚30可以分别设置在支撑座28远离支撑盘21的一侧。
除此之外，支撑组件还可以具有六个加固杆29，每两个支撑座28之间均用一个加固杆29连接，从而显著提高了该支撑座28的承载力。
当操作人员需要安装电极板12时，只需要将电极板12上的定位螺孔121与支撑盘21上的定位孔211对齐，随即操作驱动组件，即可将电极板12抬升至到与固定盘11的连接位置，此时已经完成了电极板12与固定盘11的对位操作。此时，操作人员可以先用螺母通过固定螺孔122将电极板12与固定螺钉112相连。再操作驱动组件使支撑盘21远离固定好的电极板12。待支撑盘21远离电极板12后，用螺母通过四个定位螺孔121将电极板12与固定盘11上的定位螺钉111相连，从而完成电极板12的安装。
需要说明的是，上述仅仅仅是通过一个具体的示例来说明本申请半导体设备电极板12的半导体设备电极板的安装治具2，其可以根据实际情况做出相应的调整，这均在本公开的保护范围之内。
从而，本申请的半导体设备电极板的安装治具2，可以实现仅需一个操作人员即可完成电极板12的安装工作，从而节省了大量的人力资源，并提高了工作的效率。同时还能够实现精准对位，进而提高了电极板12安装的成功率。并且，使用该安装治具2，还能够防止手动安装时可能产生的碰撞而造成电极板12破损的问题，从而能够降低电极板12的安装成本。
本领域技术人员在考虑说明书及实践这里公开的发明后，将容易想到本公开的其它实施方案。本公开旨在涵盖本公开的任何变型、用途或者适应性变化，这些变型、用途或者适应性变化遵循本公开的一般性原理并包括本公开未公开的本技术领域中的公知常识或惯用技术手段。说明书和实施例仅被视为示例性的，本公开的真正范围和精神由所附的权利要求指出。

Claims (10)

1.一种半导体设备电极板的安装治具，其特征在于，所述半导体设备具有固定盘，且所述固定盘上具有至少两个定位螺钉和至少两个固定螺钉，所述电极板上具有至少两个定位螺孔和至少两个固定螺孔，所述半导体设备电极板的安装治具，包括：
对位组件，包括支撑盘和至少两个导向轴，所述支撑盘具有至少两个定位孔、至少两个固定孔和至少两个安装孔，所述导向轴能够穿过所述定位孔和所述定位螺孔，且所述导向轴的一端具有定位槽，所述定位槽能够与所述定位螺钉连接，所述固定螺钉能够穿过所述固定螺孔和所述固定孔；
驱动组件，包括安装板组件、至少两个支撑杆、驱动杆组件，所述支撑杆与所述安装板组件连接，且所述支撑杆的一端与所述安装孔连接，所述驱动杆组件与所述安装板组件连接；
支撑组件，包括至少两个支撑座，所述支撑座具有安装槽，所述支撑杆的另一端位于所述安装槽内。
2.根据权利要求1所述的半导体设备电极板的安装治具，其特征在于，所述支撑盘还包括：
卡环导向器，具有第一阻挡部和第一导向部，所述第一阻挡部位于所述第一导向部的***并与所述第一导向部连接，且所述第一阻挡部与所述支撑盘靠近所述安装板组件的一侧接触，
所述第一导向部的一端穿过所述定位孔，且所述第一导向部具有通孔，所述导向轴能够穿过所述通孔。
3.根据权利要求1所述的半导体设备电极板的安装治具，其特征在于，所述支撑盘还包括：
驱动导向器，具有第二阻挡部和第二导向部，所述第二阻挡部位于所述第二导向部的***并与所述第二导向部连接，且所述第二阻挡部与所述支撑盘靠近所述安装板组件的一侧接触，
所述第二导向部具有导向槽，所述导向槽靠近所述安装板组件的一侧具有开口，且所述第二导向部远离所述开口的一端穿过所述安装孔并与所述支撑盘远离所述安装板组件的一侧平齐。
4.根据权利要求3所述的半导体设备电极板的安装治具，其特征在于，所述安装板组件包括第一安装板件和第二安装板件，
所述第一安装板件位于所述驱动组件靠近所述支撑盘的一侧，所述第二安装板件位于所述驱动组件远离所述支撑盘的一侧，
所述驱动杆组件穿过所述第二安装板件并与所述第一安装板件固定连接，所述支撑杆穿过所述第二安装板件并与所述第一安装板件连接。
5.根据权利要求4所述的半导体设备电极板的安装治具，其特征在于，所述支撑杆具有杆部和第三阻挡部，
所述杆部的一端穿过所述第一安装板件和第二安装板件，并与所述导向槽连接，所述第三阻挡部位于所述杆部***并与所述杆部连接，且所述第三阻挡部与所述第一安装板件靠近所述支撑盘的一侧接触。
6.根据权利要求4所述的半导体设备电极板的安装治具，其特征在于，所述驱动组件还包括：
至少一个导向杆组件，所述导向杆组件穿过所述第二安装板件并与所述第一安装板件固定连接。
7.根据权利要求6所述的半导体设备电极板的安装治具，其特征在于，所述导向杆组件具有导向杆和滚珠导向器，
所述导向杆穿过所述滚珠导向器并与所述第一安装板固定连接，
所述滚珠导向器具有滚珠导向部和第四阻挡部，所述滚珠导向部穿过所述第二安装板件，
所述第四阻挡部位于所述滚珠导向部的***，并与所述滚珠导向部连接，且所述第四阻挡部与所述第二安装板件靠近所述支撑盘的一侧接触。
8.根据权利要求4所述的半导体设备电极板的安装治具，其特征在于，所述驱动杆组件具有驱动杆和啮合器，
所述驱动杆的外周面具有第一螺纹，且所述驱动杆的一端与所述第一安装板件连接，
所述啮合器具有啮合部和第五阻挡部，所述啮合部穿过所述第二安装板件，且所述啮合部内表面具有与所述第一螺纹匹配的第二螺纹，所述啮合部与所述驱动杆啮合，
所述第五阻挡部位于所述啮合部的***，并与所述啮合部连接，且所述第五阻挡部与所述第二安装板件远离所述支撑盘的一侧接触。
9.根据权利要求1所述的半导体设备电极板的安装治具，其特征在于，所述支撑组件还包括：
至少一个加固杆，每个所述加固杆连接两个所述支撑座。
10.根据权利要求1所述的半导体设备电极板的安装治具，其特征在于，所述电极板包括电极和夹紧环，所述电极安装于所述夹紧环上，所述对位组件还包括：
至少一个卡合板，所述卡合板具有连接部和卡合部，
所述连接部位于所述支撑盘远离所述安装板组件的一侧，并与所述支撑盘连接，且所述连接部具有连接孔，所述连接孔与所述固定孔的正投影重合，
所述卡合部位于所述连接部靠近所述支撑盘的中心的一侧，并与所述连接部连接，以用于卡合所述电极。
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