CN114265288A - 一种全自动单面数字光刻方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种全自动单面数字光刻方法，应用于PCB板的全自动单面数字光刻装置中，所述装置包括第一平台及第二平台、光刻主体及传动组件；所述方法包括如下步骤：所述传动组件带动所述第一平台向靠近所述光刻主体的方向移动；所述光刻主体对所述第一平台上的待光刻线路板的待光刻表面进行数字光刻处理；在所述第一平台上的待光刻线路板进行数字光刻处理的同时所述传动组件带动所述第二平台向靠近所述光刻主体的方向移动；在所述第一平台上的进行数字光刻处理完毕后的光刻线路板进行出料后，所述光刻主体对所述第二平台上的待光刻线路板的待光刻表面进行数字光刻处理。本发明提供的全自动单面数字光刻方法，提高了光刻效率，提高了光刻的数字化程度。

Description

一种全自动单面数字光刻方法

【技术领域】

本发明涉及数字光刻技术领域，尤其涉及一种PCB板的全自动单面数字光刻方法。

【背景技术】

光刻技术是指在光照作用下，借助光致抗蚀剂(又名光刻胶)将掩膜版上的图形转移到基片上的技术。其主要过程通常为：首先紫外光通过掩膜版照射到附有一层光刻胶薄膜的基片表面，引起曝光区域的光刻胶发生化学反应，再通过显影技术溶解去除曝光区域或未曝光区域的光刻胶(前者称正性光刻胶，后者称负性光刻胶)，使掩膜版上的图形被复制到光刻胶薄膜上，最后利用刻蚀技术将图形转移到基片上。集成电路制造中，会使用光刻技术将电路图形传递到单晶表面或介质层上，以形成有效图形窗口或功能图形的线路板。

光刻装置在对线路板进行光刻时，通常在光刻装置的一侧进行上料，前一块线路板光刻完成后，需要等待下一块线路板上料，以实现下一块线路板进行光刻。现有的光刻装置的结构单一，进行线路板上料、光刻及线路板下料的时间不能重叠利用，光刻效率低下。

鉴于此，实有必要提供一种新型的全自动单面数字光刻方法以克服上述缺陷。

【发明内容】

本发明的目的是提供一种全自动单面数字光刻方法，光刻主体能够对两个平台上的待光刻线路板交替进行数字光刻处理，提高了光刻效率。

为了实现上述目的，本发明提供一种全自动单面数字光刻方法，应用于全自动单面数字光刻装置中，所述全自动单面数字光刻装置包括用于承载待光刻线路板的第一平台及第二平台、位于所述第一平台及所述第二平台之间的光刻主体及承载所述第一平台及所述第二平台的传动组件；所述全自动单面数字光刻方法包括如下步骤：所述传动组件带动所述第一平台向靠近所述光刻主体的方向移动；所述光刻主体对所述第一平台上的待光刻线路板的待光刻表面进行数字光刻处理；在所述第一平台上的待光刻线路板进行数字光刻处理的同时所述传动组件带动所述第二平台向靠近所述光刻主体的方向移动；在所述第一平台上的进行数字光刻处理完毕后的光刻线路板进行出料后，所述光刻主体对所述第二平台上的待光刻线路板的待光刻表面进行数字光刻处理。

在一个优选实施方式中，所述全自动单面数字光刻装置还包括第一拍板组件及第一进料搬运组件；所述传动组件带动所述第一平台向靠近所述光刻主体的方向移动的步骤之前，包括：所述第一拍板组件对所述待光刻线路板进行拍板；所述第一进料搬运组件将拍板后的待光刻线路板搬运至所述第一平台上。

在一个优选实施方式中，所述全自动单面数字光刻装置还包括第一汇流组件及第一出料搬运组件；所述光刻主体对所述第一平台上的待光刻线路板的待光刻表面进行数字光刻处理的步骤之后，还包括：当所述第一平台上的进行数字光刻处理完毕后，所述传动组件带动所述第一平台向远离所述光刻主体的方向移动；所述第一汇流组件对所述第一平台上的进行数字光刻处理完毕后的光刻线路板进行汇流；所述第一出料搬运组件将汇流后的光刻线路板搬运至出料口。

在一个优选实施方式中，所述全自动单面数字光刻装置还包括第二拍板组件及第二进料搬运组件；所述传动组件带动所述第二平台向靠近所述光刻主体的方向移动的步骤之前，包括：所述第二拍板组件对所述待光刻线路板进行拍板；所述第二进料搬运组件将拍板后的待光刻线路板搬运至所述第二平台上。

在一个优选实施方式中，所述全自动单面数字光刻装置还包括第二汇流组件及第二出料搬运组件；所述光刻主体对所述第二平台上的待光刻线路板的待光刻表面进行数字光刻处理的步骤之后，还包括：当所述第二平台上的进行数字光刻处理完毕后，所述传动组件带动所述第二平台向远离所述光刻主体的方向移动；所述第二汇流组件对所述第二平台上的进行数字光刻处理完毕后的光刻线路板进行汇流；所述第二出料搬运组件将汇流后的光刻线路板搬运至出料口。

在一个优选实施方式中，所述全自动单面数字光刻装置还包括第一分板组件、输送组件及第二分板组件；所述第一拍板组件对所述待光刻线路板进行拍板的步骤之前，还包括：所述第一分板组件将进料口的待光刻线路板分流为搬运至所述第一平台的第一线路板及搬运至所述第二平台的第二线路板；将所述第一线路板搬运至所述第一拍板组件；所述第二线路板经过所述输送组件搬运至所述第二分板组件。

在一个优选实施方式中，所述第二线路板经过所述输送组件搬运至所述第二分板组件的步骤之后，包括：将所述第二分板组件上的第二线路板搬运至第二拍板组件。

在一个优选实施方式中，所述全自动单面数字光刻装置还包括第一靶点相机；所述光刻主体对所述第一平台上的待光刻线路板的待光刻表面进行数字光刻处理的步骤之前，还包括：所述第一靶点相机对所述第一平台上的待光刻线路板的待光刻表面进行拍照以获取图像信息。

在一个优选实施方式中，所述全自动单面数字光刻装置还包括第二靶点相机；所述光刻主体对所述第二平台上的待光刻线路板的待光刻表面进行数字光刻处理的步骤之前，还包括：所述第二靶点相机对所述第二平台上的待光刻线路板的待光刻表面进行拍照以获取图像信息。

相比于现有技术，本发明提供的全自动单面数字光刻方法，传动组件能够带动所述第一平台向靠近所述光刻主体的方向移动以实现所述光刻主体对所述第一平台上的待光刻线路板的待光刻表面进行数字光刻处理，并在所述第一平台上的待光刻线路板进行数字光刻处理的同时所述传动组件带动所述第二平台向靠近所述光刻主体的方向移动，当所述第一平台上的进行数字光刻处理完毕后的光刻线路板进行出料后，所述光刻主体对所述第二平台上的待光刻线路板的待光刻表面进行数字光刻处理。也即，实现所述光刻主体对所述第一平台及所述第二平台上的待光刻线路板的待光刻表面交替进行数字光刻处理，实现了在其中一个平台进行数字光刻处理的期间内，另一个平台同时进行上料，总体上节省了时间，光刻主体对两个平台上的待光刻线路板交替进行数字光刻处理，提高了光刻效率。

为使发明的上述目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举本发明较佳实施例，并配合所附附图，作详细说明如下。

【附图说明】

为了更清楚地说明本发明实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本发明的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。

图1为本发明提供的全自动单面数字光刻方法的流程图；

图2为本发明提供的全自动单面数字光刻方法应用的装置的工位示意图。

【具体实施方式】

下面将结合本发明实施例中附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本发明实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。因此，以下对在附图中提供的本发明的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本发明的范围，而是仅仅表示本发明的选定实施例。基于本发明的实施例，本领域技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

请一并参阅图1及图2，本发明提供一种全自动单面数字光刻方法，应用于全自动单面数字光刻装置中，具体的，所述全自动单面数字光刻装置包括用于承载待光刻线路板的第一平台及第二平台、位于所述第一平台及所述第二平台之间的光刻主体及承载所述第一平台及所述第二平台的传动组件。所述全自动单面数字光刻方法包括如下步骤：

步骤S10：所述传动组件带动所述第一平台向靠近所述光刻主体的方向移动。

步骤S20：所述光刻主体对所述第一平台上的待光刻线路板的待光刻表面进行数字光刻处理。

步骤S30：在所述第一平台上的待光刻线路板进行数字光刻处理的同时所述传动组件带动所述第二平台向靠近所述光刻主体的方向移动。

步骤S40：在所述第一平台上的进行数字光刻处理完毕后的光刻线路板进行出料后，所述光刻主体对所述第二平台上的待光刻线路板的待光刻表面进行数字光刻处理。

可以理解地，全自动单面数字光刻方法用于对待光刻线路板进行数字光刻处理，所述第一平台及所述第二平台均用于承载待光刻线路板，所述待光刻线路板包括一待光刻表面。在进行数字光刻处理时，所述传动组件能够带动所述第一平台及其上的待光刻线路板向靠近所述光刻主体的方向移动，以实现所述光刻主体对所述第一平台上的待光刻线路板的待光刻表面进行数字光刻处理，而在第一平台上的待光刻线路板进行数字光刻的过程中，同时，传动组件能够带动所述第二平台及其上的待光刻线路板向靠近所述光刻主体的方向移动，当第一平台上的待光刻线路板数字光刻完成后，第一平台上进行数字光刻处理后的光刻线路板出料，而第二平台及其上的待光刻线路板移动至光刻主体的下方，以实现所述光刻主体对所述第二平台上的待光刻线路板的待光刻表面进行数字光刻处理，如此，实现对所述第一平台及所述第二平台上的待光刻线路板的待光刻表面交替进行数字光刻处理，完成两个平台上的待光刻线路板的单面光刻。也即，对第一平台上的待光刻线路板进行数字光刻处理的同时，第二平台上的待光刻线路板进行上料，而对第二平台上的待光刻线路板进行数字光刻处理的同时，第一平台上的待光刻线路板进行上料，实现了在其中一个平台进行数字光刻处理的期间内，另一个平台同时进行上料，总体上节省了时间，光刻主体对两个平台上的待光刻线路板交替进行数字光刻处理，提高了光刻效率。

因此，本发明提供的全自动单面数字光刻方法，传动组件能够带动所述第一平台向靠近所述光刻主体的方向移动以实现所述光刻主体对所述第一平台上的待光刻线路板的待光刻表面进行数字光刻处理，并在所述第一平台上的待光刻线路板进行数字光刻处理的同时所述传动组件带动所述第二平台向靠近所述光刻主体的方向移动，当所述第一平台上的进行数字光刻处理完毕后的光刻线路板进行出料后，所述光刻主体对所述第二平台上的待光刻线路板的待光刻表面进行数字光刻处理。也即，实现所述光刻主体对所述第一平台及所述第二平台上的待光刻线路板的待光刻表面交替进行数字光刻处理，实现了在其中一个平台进行数字光刻处理的期间内，另一个平台同时进行上料，总体上节省了时间，光刻主体对两个平台上的待光刻线路板交替进行数字光刻处理，提高了光刻效率。

进一步地，所述全自动单面数字光刻装置还包括第一拍板组件及第一进料搬运组件。所述传动组件带动所述第一平台向靠近所述光刻主体的方向移动的步骤之前，包括：

所述第一拍板组件对所述待光刻线路板进行拍板。

所述第一进料搬运组件将拍板后的待光刻线路板搬运至所述第一平台上。

可以理解地，第一拍板组件可以设置于所述第一平台的远离所述光刻主体的一侧，在所述第一进料搬运组件将待光刻线路板搬运至第一平台上之前，待光刻线路板先被放置于第一拍板组件上，第一拍板组件进行拍板，能够摆正待光刻线路板的位置，提高待光刻线路板的位置精度，进而提高光刻精度。

进一步地，所述全自动单面数字光刻装置还包括第一汇流组件及第一出料搬运组件。所述光刻主体对所述第一平台上的待光刻线路板的待光刻表面进行数字光刻处理的步骤之后，还包括：

当所述第一平台上的进行数字光刻处理完毕后，所述传动组件带动所述第一平台向远离所述光刻主体的方向移动。

所述第一汇流组件对所述第一平台上的进行数字光刻处理完毕后的光刻线路板进行汇流。

所述第一出料搬运组件将汇流后的光刻线路板搬运至出料口。

可以理解地，光刻主体对所述第一平台上的待光刻线路板进行数字光刻处理后，传动组件能够带动所述第一平台向远离所述光刻主体的方向移动，以实现进行数字光刻处理后的光刻线路板的出料，例如，所述第一平台上的进行数字光刻处理后的光刻线路板移动至第一汇流组件上，第一汇流组件上的光刻线路板可以通过第一出料搬运组件进行输送至出料口，提高了光刻的自动化程度。

进一步地，所述全自动单面数字光刻装置还包括第二拍板组件及第二进料搬运组件。所述传动组件带动所述第二平台向靠近所述光刻主体的方向移动的步骤之前，包括：

所述第二拍板组件对所述待光刻线路板进行拍板。

所述第二进料搬运组件将拍板后的待光刻线路板搬运至所述第二平台上。

可以理解地，第二拍板组件可以设置于所述第二平台的远离所述光刻主体的一侧，在所述第二进料搬运组件将待光刻线路板搬运至第二平台上之前，待光刻线路板先被放置于第二拍板组件上，第二拍板组件进行拍板，能够摆正待光刻线路板的位置，提高待光刻线路板的位置精度，进而提高光刻精度。

进一步地，所述全自动单面数字光刻装置还包括第二汇流组件及第二出料搬运组件。所述光刻主体对所述第二平台上的待光刻线路板的待光刻表面进行数字光刻处理的步骤之后，还包括：

当所述第二平台上的进行数字光刻处理完毕后，所述传动组件带动所述第二平台向远离所述光刻主体的方向移动。

所述第二汇流组件对所述第二平台上的进行数字光刻处理完毕后的光刻线路板进行汇流。

所述第二出料搬运组件将汇流后的光刻线路板搬运至出料口。

可以理解地，光刻主体对所述第二平台上的待光刻线路板进行数字光刻处理后，传动组件能够带动所述第二平台向远离所述光刻主体的方向移动，以实现进行数字光刻处理后的光刻线路板的出料，例如，所述第二平台上的进行数字光刻处理后的光刻线路板移动至第二汇流组件上，第二汇流组件上的光刻线路板可以通过第二出料搬运组件进行输送至出料口，提高了光刻的自动化程度。

进一步地，所述全自动单面数字光刻装置还包括第一分板组件、输送组件及第二分板组件。所述第一拍板组件对所述待光刻线路板进行拍板的步骤之前，还包括：

所述第一分板组件将进料口的待光刻线路板分流为搬运至所述第一平台的第一线路板及搬运至所述第二平台的第二线路板。

将所述第一线路板搬运至所述第一拍板组件。

所述第二线路板经过所述输送组件搬运至所述第二分板组件。

可以理解地，所述输送组件可以位于所述第一平台、所述第二平台及所述光刻主体的一侧，所述输送组件的靠近所述第一平台的一端设置有第一分板组件，所述输送组件的靠近所述第二平台的一端设置有第二分板组件。第一分板组件用于将搬运至第一平台及第二平台的待光刻线路板分流，在进行数字光刻处理时，所述第一进料搬运组件能够将部分待光刻线路板搬运至第一平台上，且剩余部分待光刻线路板经过输送组件运送至第二分板组件上。

进一步地，所述第二线路板经过所述输送组件搬运至所述第二分板组件的步骤之后，包括：

将所述第二分板组件上的第二线路板搬运至所述第二拍板组件。

可以理解地，剩余部分待光刻线路板经过输送组件运送至第二分板组件上之后，再搬运至所述第二拍板组件上，第二拍板组件进行拍板后，再由所述第二进料搬运组件将待光刻线路板搬运至第二平台上。

本实施方式中，所述全自动单面数字光刻装置还包括第一靶点相机。所述光刻主体对所述第一平台上的待光刻线路板的待光刻表面进行数字光刻处理的步骤之前，还包括：

所述第一靶点相机对所述第一平台上的待光刻线路板的待光刻表面进行拍照以获取图像信息。

可以理解地，第一靶点相机可以设置于光刻主体的靠近第一平台的一侧，且第一靶点相机位于第一平台的上方，第一靶点相机能够对第一平台上的待光刻线路板进行拍照，以获取待光刻线路板的图像信息，使得光刻主体能够根据该图像信息对线路板进行数字光刻处理。通过设置靶点相机，能够在待光刻线路板进行数字光刻处理之前，对待光刻线路板进行拍照，以获取待光刻线路板的图像信息，以实现待光刻线路板的靶点定位，进而提高光刻的精度。

本实施方式中，所述全自动单面数字光刻装置还包括第二靶点相机。所述光刻主体对所述第二平台上的待光刻线路板的待光刻表面进行数字光刻处理的步骤之前，还包括：

所述第二靶点相机对所述第二平台上的待光刻线路板的待光刻表面进行拍照以获取图像信息。

可以理解地，第二靶点相机可以设置于光刻主体的靠近第二平台的一侧，且第二靶点相机位于第二平台的上方，第二靶点相机能够对第二平台上的待光刻线路板进行拍照，以获取待光刻线路板的图像信息，使得光刻主体能够根据该图像信息对线路板进行数字光刻处理。通过设置靶点相机，能够在待光刻线路板进行数字光刻处理之前，对待光刻线路板进行拍照，以获取待光刻线路板的图像信息，以实现待光刻线路板的靶点定位，进而提高光刻的精度。

综上，本发明提供的全自动单面数字光刻方法，传动组件能够带动所述第一平台向靠近所述光刻主体的方向移动以实现所述光刻主体对所述第一平台上的待光刻线路板的待光刻表面进行数字光刻处理，并在所述第一平台上的待光刻线路板进行数字光刻处理的同时所述传动组件带动所述第二平台向靠近所述光刻主体的方向移动，当所述第一平台上的进行数字光刻处理完毕后的光刻线路板进行出料后，所述光刻主体对所述第二平台上的待光刻线路板的待光刻表面进行数字光刻处理。也即，实现所述光刻主体对所述第一平台及所述第二平台上的待光刻线路板的待光刻表面交替进行数字光刻处理，实现了在其中一个平台进行数字光刻处理的期间内，另一个平台同时进行上料，总体上节省了时间，光刻主体对两个平台上的待光刻线路板交替进行数字光刻处理，提高了光刻效率。

以上所述仅为本发明的实施方式，并非因此限制本发明的专利范围，凡是利用本发明说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其他相关的技术领域，均同理包括在本发明的专利保护范围内。

Claims (9)

1.一种全自动单面数字光刻方法，应用于全自动单面数字光刻装置中，其特征在于，所述全自动单面数字光刻装置包括用于承载待光刻线路板的第一平台及第二平台、位于所述第一平台及所述第二平台之间的光刻主体及承载所述第一平台及所述第二平台的传动组件；所述全自动单面数字光刻方法包括如下步骤：

所述传动组件带动所述第一平台向靠近所述光刻主体的方向移动；

所述光刻主体对所述第一平台上的待光刻线路板的待光刻表面进行数字光刻处理；

在所述第一平台上的待光刻线路板进行数字光刻处理的同时所述传动组件带动所述第二平台向靠近所述光刻主体的方向移动；

在所述第一平台上的进行数字光刻处理完毕后的光刻线路板进行出料后，所述光刻主体对所述第二平台上的待光刻线路板的待光刻表面进行数字光刻处理。

2.如权利要求1所述的全自动单面数字光刻方法，其特征在于，所述全自动单面数字光刻装置还包括第一拍板组件及第一进料搬运组件；所述传动组件带动所述第一平台向靠近所述光刻主体的方向移动的步骤之前，包括：

所述第一拍板组件对所述待光刻线路板进行拍板；

所述第一进料搬运组件将拍板后的待光刻线路板搬运至所述第一平台上。

3.如权利要求1所述的全自动单面数字光刻方法，其特征在于，所述全自动单面数字光刻装置还包括第一汇流组件及第一出料搬运组件；所述光刻主体对所述第一平台上的待光刻线路板的待光刻表面进行数字光刻处理的步骤之后，还包括：

当所述第一平台上的进行数字光刻处理完毕后，所述传动组件带动所述第一平台向远离所述光刻主体的方向移动；

所述第一汇流组件对所述第一平台上的进行数字光刻处理完毕后的光刻线路板进行汇流；

所述第一出料搬运组件将汇流后的光刻线路板搬运至出料口。

4.如权利要求1所述的全自动单面数字光刻方法，其特征在于，所述全自动单面数字光刻装置还包括第二拍板组件及第二进料搬运组件；所述传动组件带动所述第二平台向靠近所述光刻主体的方向移动的步骤之前，包括：

所述第二拍板组件对所述待光刻线路板进行拍板；

所述第二进料搬运组件将拍板后的待光刻线路板搬运至所述第二平台上。

5.如权利要求1所述的全自动单面数字光刻方法，其特征在于，所述全自动单面数字光刻装置还包括第二汇流组件及第二出料搬运组件；所述光刻主体对所述第二平台上的待光刻线路板的待光刻表面进行数字光刻处理的步骤之后，还包括：

当所述第二平台上的进行数字光刻处理完毕后，所述传动组件带动所述第二平台向远离所述光刻主体的方向移动；

所述第二汇流组件对所述第二平台上的进行数字光刻处理完毕后的光刻线路板进行汇流；

所述第二出料搬运组件将汇流后的光刻线路板搬运至出料口。

6.如权利要求2或4所述的全自动单面数字光刻方法，其特征在于，所述全自动单面数字光刻装置还包括第一分板组件、输送组件及第二分板组件；所述第一拍板组件对所述待光刻线路板进行拍板的步骤之前，还包括：

所述第一分板组件将进料口的待光刻线路板分流为搬运至所述第一平台的第一线路板及搬运至所述第二平台的第二线路板；

将所述第一线路板搬运至所述第一拍板组件；

所述第二线路板经过所述输送组件搬运至所述第二分板组件。

7.如权利要求6所述的全自动单面数字光刻方法，其特征在于，所述第二线路板经过所述输送组件搬运至所述第二分板组件的步骤之后，包括：

将所述第二分板组件上的第二线路板搬运至第二拍板组件。

8.如权利要求1所述的全自动单面数字光刻方法，其特征在于，所述全自动单面数字光刻装置还包括第一靶点相机；所述光刻主体对所述第一平台上的待光刻线路板的待光刻表面进行数字光刻处理的步骤之前，还包括：

所述第一靶点相机对所述第一平台上的待光刻线路板的待光刻表面进行拍照以获取图像信息。

9.如权利要求1所述的全自动单面数字光刻方法，其特征在于，所述全自动单面数字光刻装置还包括第二靶点相机；所述光刻主体对所述第二平台上的待光刻线路板的待光刻表面进行数字光刻处理的步骤之前，还包括：

所述第二靶点相机对所述第二平台上的待光刻线路板的待光刻表面进行拍照以获取图像信息。

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