CN1140925A - 超声波电动机 - Google Patents
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Abstract
本发明揭示一种超声波电动机，具有振动体3和移动体11，由支承构件7支承。支承构件呈圆形的下端支承于支承台10的锥状凹坑里，因而在加有侧压时电动机可以相对支承台倾斜，使振动体和移动体之间的接触保持稳定，其结果是电动机的旋转能够经常保持稳定，不受侧压力的影响。导线8被夹于金属弹性体1和支承构件之间压在弹性体上。其结果是，导线通过与弹性体的接触，不用钎焊也不用导电性树脂，电气连接于压电体上表面的公共电极上。
Description
本发明涉及利用压电陶瓷等压电体的反压电效应引起的振动进行驱动的超声波电动机的结构。
图22表示已有的超声波电动机的结构。振动体28由金属制的弹性体26和粘接在弹性体26上的扁平的环状压电体27构成。与振动体28接触着的移动体31由轴承34旋转自如地支承于支承台35上。包含振动吸收材料29的弹簧30将振动体28固定在旋转方向上，同时将它压在移动体31上。导线36向压电体27提供电压。图23表示压电体27的1面。在环的厚度方向上做成用于在圆周方向上发生6个波的弹性振动的极化(分极)a1至a5、b1至b5。记号+、-表示极化的极性。极化a1至a5和b1至b5因λ/4的间隔而处于空间上有90度相位差的位置上。5个分立电极A、B、C1、C2、D覆盖着压电体27的表面。阴影表示的分立电极A覆盖着极化a1至a5；而阴影表示的分立电极B覆盖着极化b1至b5。粘接在弹性体26上的压电体27的反面的整个面上由公共电极所覆盖，电极C2用导电性树脂(未图示)连接在该公共电极上。极化a1至a5由加于分立电极A和公共电极C2之间的电压V1＝V0sin(ωt)激发。极化b1至b5由加在分立电极B和公共电极C2之间的、与V1有90度时间相位差的电压V2＝V0cos(ωt)激发。分立电极C1和D用于其他用途，此处不加以说明。图6说明电动机的驱动。压电体27(图6中的2)由于所述电压V1、V2引起的反压电效应而振动，其结果是，在弹性体26(图6中的1)产生弹性振动。这时，弹性振动波的行进方向如箭头43所示，向右移动。弹性体26表面各点如图所示沿着椭圆而动。被压在弹性体26上的移动体31(图6中的11)受到这一椭圆运动的摩檫驱动朝着和箭头43相反的、箭头44的方向运动。图24是用于将驱动电路(未图示)的输出供电给分立电极A、B、C1和公共电极C2的，可挠性印刷板构成的导线装置36。导线装置36具备将公共电极和驱动电路加以连接的第1导线8和将分立电极与驱动电路加以连接的多条第2导线6。第1导线8被焊接于电极C2。多条第2导线6分别被焊接于分立电极A、B、C1上。如上所述，反面的公共电极通过未图示的导电性树脂从电极C2得到供电。但是，导电性树脂在严酷的环境下可靠性存在问题，如果第1导线8被直接焊接在反面的公共电极上的话，导电性树脂就可以省去。但是，焊接时的加热由于弹性体26具有高的热导率会使弹性体26整体温度升得很高，其结果将使弹性体26和压电体27之间的粘接劣化。本发明将提供不存在这样的问题的、第1导线8与公共电极的连接。而且，振动体28被支承于包含振动吸收材料29的弹簧30上，因此，振动体28和移动体31有时会发生同心问题。本发明将提供不存在这样的问题的、对振动体28的支承。
本发明的超声波电动机包含：移动体、以及具备金属制的弹性体和压电体的振动体。压电体上面的公共电极与弹性体成电气连接，压电体的上面被固定于弹性体的下面。
支承构件支承着电动机。支承构件的圆形的下端支承于支承台的锥状凹坑里，因此，在受到侧压力的情况下电动机能够相对于支承台倾斜，以使振动体和移动体之间的接触保持稳定。其结果是，电动机与侧压无关地经常保持旋转稳定。
导线通过与弹性体的接触，被夹在金属制的弹性体和支承构件之间、压在弹性体上，与压电体上面的公共电极成电气连接。其结果是，导线既不用焊接，也不用导电性树脂就与压电体的公共电极成电气连接，因焊接的高温或导电性树脂的不稳定引起的破坏得以防止。
图1表示本发明第1实施例的超声波电动机的结构。
图2表示径向上的1次振动位移。
图3表示第1实施例的超声波电动机的压电体的极化和电极。
图4表示用可挠性印刷配线形成的导线装置的例子。
图5表示第1实施例的超声波电动机的装配情况。
图6说明超声波电动机的动作。
图7表示本发明第2实施例的超声波电动机的结构。
图8说明超声波电动机的转矩。
图9表示本发明第3实施例的超声波电动机的结构。
图10表示本发明第4实施例的超声波电动机的结构。
图11表示本发明第5实施例的超声波电动机的结构。
图12表示本发明第6实施例的超声波电动机的结构。
图13表示本发明第7实施例的超声波电动机的结构。
图14表示本发明第8实施例的超声波电动机的结构。
图15表示本发明第9实施例的超声波电动机的结构。
图16表示本发明第10实施例的超声波电动机的结构。
图17表示第10实施例的超声波电动机的压电体的极化和电极。
图18表示本发明第11实施例的超声波电动机的结构。
图19表示支承台的凹坑的两个例子。
图20表示支承构件和支承台的例子。
图21表示压电体的极化和电极的其他例子。
图22表示已有的超声波电动机的结构。
图23表示压电体的极化和电极的已有的例子。
图24表示用可挠性印刷配线形成的导线装置的例子。
第1实施例
图1表示本发明的第1实施例。振动体3具备：铁、不锈钢、铜、黄铜、铝等金属制的弹性体1和压电陶瓷、压电高分子等压电体2。弹性体1的上面具有用于给予移动体11以驱动力的突起5；下面具有汽缸状的轮毂(boss)4。压电体2的上面固定于弹性体1的下面。具有中间的台阶部15和呈圆形的下端的支承构件7，其上端固定于弹性体1，其呈圆形的下端支承于支承台10的锥状凹坑中。导线装置9使压电体2和驱动电路16成电气连接。压电体2具有完全被公共电极覆盖的上表面和被多个分立电极覆盖的下表面。压电体2的上面被固定于弹性体1的下面，以使上述公共电极与金属制的弹性体1成电气连接。图3(a)表示压电体2下面的极化，记号+、-表示极化的极性。图3(b)表示覆盖压电体下面的多个分立电极。在图3(a)中，(41)表示用分立电极41覆盖的区域，(42)表示用分立电极42覆盖的区域。在(41)内的多个极化由加在分立电极41和公共电极(未示于图3)之间的交流电压V1激励，在(42)内的多个极化由加在分立电极42和公共电极之间的，与V1有90度的时间相位差的交流电压V2激励。S1、S2是用压电效应检测振动体3的振动用的传感器电极。图4是印刷配线形成的导线装置9的例子。导线装置9具备连接公共电极和驱动电路的第1导线8和连接分立电极和驱动电路的多条第2导线6。第1导线8一端具有环状部分。如图1所示，各第2导线6的一端分别连接于压电体2下面的分立电极。如图5所示，第1导线8的环状部分被夹于轮毂4和支承构件7的台阶部15之间、压在弹性体1上，以使第1导线8通过与金属制的弹性体1的接触，与压电体2的上表面的公共电极成电气连接。导线6、8的另一端连接于驱动电路16。固定于移动体11的轴13由轴承12支承、能够旋转自如。弹簧14将轴13向下压，以此将移动体11压在弹性体1的突起5上。移动体11由聚四氟乙烯(polytetra fluoro ethy-lene)，聚缩醛(polyacetal)，聚亚苯基硫醚(PPS)，聚醚砜(PES)，聚醚醚酮(PEEK)等树脂、或上述树脂和碳纤维、石墨、玻璃纤维的复合材料、或上述树脂被覆金属、或上述复合材料被覆金属等构成。和已有技术相同，在图3的电极41、42加上有90度时间相位差、接近振动体3的共振频率的频率的交流电压V1、V2。如图2、6所示在振动体3上，径向发生一次以上、圆周方向发生3个波以上的弹性振动的进行波，压在振动体3上的移动体11在上述行进波的驱动下移动。如上所述，第1导线8通过与弹性体1的接触连接于压电体2的公共电极，因而，在本实施例，连接公共电极和第1导线不使用导电性树脂。从而也就不发生由于导电性树脂剥离引起的导通不良或移动引起的电路短路等破坏。再者，如上所述，第1导线8和压电体2的公共电极是无钎焊连接的，因此，就不存在弹性体1和压电体2的粘接被钎焊的高温破坏的问题。轮毂4对于压电体2在弹性体1上面的定位是有效的。轮毂4还防止由于支承构件7压入弹性体1的中心孔时弹性体1变形引起的、粘接剂流入弹性体1的中心孔的情况发生。这对于得到大输出超声波电动机所需的、弹性体1与移动体11的均匀接触是有效的。轮毂4也可以换成汽缸形状用圆形配置的多个突起构成。支承构件7由呈圆形的下端支承于支承台10的锥状凹坑中，因此电动机在被加侧压力时，支承构件7相对支承台10倾斜，使振动体3和移动体11之间稳定地保持接触。其结果是，电动机的旋转能够经常保持稳定而不受侧压力的影响。支承构件7由金属、树脂或镀金属的树脂等构成。支承台10的锥状凹坑在多数情况下为圆锥形。但是只要支承构件7的呈圆形的端部至少有3点受到支承，其他形状，例如图19所示的多面锥体也行。还有，如图20所示，支承构件7的椭圆状下端和支承台10的椭圆状凹坑的组合也可以。在这种情况下反向转矩引起的支承构件7的旋转受到椭圆的阻止。图21表示压电体2的极化和电极的其他例子。压电体2被极化为8极，分立电极43和44交互配置于极化上。在分立电极43上加以交流电压V1，在分立电极44上加以与V1有90度时间相位差的交流电压V2。图21的压电体2全部面积都得到有效的使用，因此，能够提高驱动效率。而且负荷分布被交互配置的2相电极平均化，因此，即使在轴倾斜的时候也能够稳定动作。
第2实施例
图7表示本发明的第2实施例。本实施例的突起物5被定位于，对于为得到被给定的电动机尺寸和所希望的输出转矩而加在振动体和移动体之间的规定的加压力，能够得到最大的电动机输出的位置。电动机的输出是输出转矩和转速的积。输出转矩由振动体和移动体之间所加的压力、振动体和移动体之间的摩檫系数、以及有实效的驱动半径的积确定。旋转速度与振动体的振动位移成正比。从而，电动机的输出是振动体对抗压力维持振动所必要的振动发生力和振动位移的积。本实施例的突起5，如图8所示被定位于，对于规定的输入功率和规定的压力，在半径方向上维持1次振动所需要的振动发生力的分布和振动位移的分布的积为最大的位置。
第3实施例
图9表示本发明的第3实施例。与第2实施例相比，本实施例中，弹性体1不带轮毂4。第1导线8压入压电体2内侧的孔内。弹性体1形状单纯因而振动阻力小，其结果是，低电力消耗的超声波电动机得以实现。
第4实施例
图10表示本发明的第4实施例。在本实施例中，第1导线8的连接不同于第2实施例。第1导线8的一端用钎焊或其他方法连接于支承构件7，使第1导线8通过导电材料制造的支承构件7和金属制造的弹性体1连接于压电体2上面的公共电极。第1导线8的一端没有像第2实施例那样被夹在支承构件7和弹性体1之间，所以由第1导线8的厚度不均匀引起的支承构件7和弹性体1之间的倾斜得以消除。由于第1导线8的一端没有被钎焊在弹性体1上，弹性体1和压电体2的粘接不受钎焊高温的破坏。再者，在支承台10具有导电性的情况下，也可以将第1导线8的一端连接于支承台10，以便通过支承台10、支承构件7、弹性体1连接于压电体2上面的公共电极上。
第5实施例
图11表示本发明的第5实施例。与第4实施例相比，本实施例弹性体1不具有轮毂4。由于弹性体1形状单纯，所以振动阻力小，其结果是，能够得到电力消耗小的超声波电动机。
第6实施例
图12表示本发明的第6实施例。与第2实施例相比，本实施例中，在压电体2的下面和支承构件7之间***减震部件17。减震部件17用例如毛毡等绝缘性纤维做成。支承构件7如图所示，为了支承减震部件17，具有和压电体2大致相同的面积。减震部件17吸收由于加在压电体2上的2相驱动电压的不平衡和振动体与移动体的接触面的机械精度问题引起的振动，以便实现更稳定地驱动电动机。
第7实施例
图13表示本发明的第7实施例。本实施例中，第1导线8的连接不同于第6实施例。第1导线8的一端用钎焊或其他方法连接于支承构件7，以使第1导线8通过导电材料制造的支承构件7和金属制造的弹性体1连接于压电体2上面的公共电极上。第1导线8的一端由于没有像第6实施例那样被夹在支承构件7和弹性体1之间，因此由第1导线8的厚度不均匀引起的支承构件7和弹性体1之间的倾斜得以消除。又，第1导线8的一端由于没有被钎焊在弹性体1上，弹性体1和压电体2的粘接不会受到钎焊高温的破坏。再者，在支承台10具有导电性的情况下，也可以将第1导线8的一端连接于支承台10，以便通过支承台10、支承构件7和弹性体1连接于压电体2上面的公共电极上。
第8实施例
图14表示本发明的第8实施例。与第7实施例相比，本实施例弹性体1不具有轮毂4。弹性体1形状单纯因而振动阻力小，其结果是，能够实现耗电少的超声波电动机。
第9实施例
图15表示本发明的第9实施例。与第2实施例相比，本实施例弹性体1的厚度在内圆的边缘部减少。以此减少弹性体1和支承构件7的结合部对振动的抑制，因而其结果是，能够实现低电耗的超声波电动机。
第10实施例
图16表示本发明的第10实施例。与第3实施例相比，本实施例的压电体2的内径小。而且支承构件7具有导电性。第1导线8的一端被夹在压电体2和支承构件7之间，通过支承构件7和弹性体1连接于压电体2上面的公共电极。图17表示本实施例的压电体的极化和电极。
第11实施例
图18表示本发明的第11实施例。第2实施例的整个超声波电动机被设置于壳体23中。轴承20、21支承轴13。弹簧14压住轴13的呈圆形的端部，以此将移动体11压在弹性体1上的突起5上。
Claims (14)
1.一种超声波电动机，其特征在于，包含：
具备弹性体和压电体的振动体，所述弹性体是金属制造的、具有上表面和下表面，该上表面有多个突起；所述压电体具有上表面和下表面，该下表面具有多个分立电极，该上表面具有公共电极，且所述压电体的上面固定于弹性体的下面，使公共电极与弹性体电气连接；该振动体是因压电体的反压电效应而振动的，
受振动体的振动驱动，相对于振动体移动的移动体，
将移动体压在弹性体上的多个突起上的加压装置，
具有上端、呈圆形的下端、和在中间的至少一个平面部分的支承构件，支承构件的上端固定于振动体，呈圆形的下端从振动体向下方突出，
具有锥状凹坑的支承台，该支承台以所述凹坑支承支承构件的下端，
驱动超声波电动机的驱动电路，
第1导线，该第1导线的一端被夹在弹性体的下面与支承构件的平面部分之间，通过与弹性体的接触与压电体的公共电极电气连接，第1导线的另一端连接于驱动电路，
以及多条第2导线，各第2导线的一端分别连接于压电体的分立电极；各第2导线的另一端分别连接于驱动电路
2.根据权利要求1所述的超声波电动机，其特征在于，
所述弹性体的下表面中心部具有台阶状***的轮毂部；
第1导线的一端，被夹在弹性体的轮毂部和支承构件的平面部分之间，被压在弹性体的轮毂部上，通过和弹性体的接触，电气连接于压电体的公共电极上。
3.根据权利要求1所述的超声波电动机，其特征在于，所述支承构件用树脂构成。
4.根据权利要求1所述的超声波电动机，其特征在于，所述支承构件用镀金属的树脂构成。
5.根据权利要求1所述的超声波电动机，其特征在于，支承构件用金属构成。
6.根据权利要求2所述的超声波电动机，其特征在于，轮毂部为圆筒形。
7.根据权利要求2所述的超声波电动机，其特征在于，轮毂部由配置成圆形的多个突起构成。
8.根据权利要求1所述的超声波电动机，其特征在于，还具备覆盖压电体下表面的绝缘性减震薄片。
9.根据权利要求8所述的超声波电动机，其特征在于，绝缘性减震薄片用毛毡构成。
10.一种超声波电动机，其特征在于，包含：
具备弹性体和压电体的振动体，所述弹性体是金属制造的，具有上表面和下表面，弹性体的上表面具有多个突起；所述压电体具有上表面和下表面，在压电体的下表面具有多个分立电极，上表面具有公共电极，压电体的上表面被固定于弹性体的下表面，使公共电极与弹性体电气连接；振动体因压电体的反压电效应而振动，
受振动体振动的驱动相对于振动体移动的移动体，
将移动体压在弹性体上的多个突起上的加压装置，
具有上端和呈圆形的下端的支承构件，该支承构件具有导电性，支承构件上端被固定于振动体上，呈圆形的下端从振动体向下方突出，
具有锥状凹坑的支承台，该支承台以所述凹坑支承支承构件的下端，
驱动超声波电动机的驱动电路，
第1导线，该第1导线的一端连接于支承构件，从而通过支承构件和弹性体电气连接于压电体的公共电极上，第1导线的另一端连接于驱动电路，
以及多条第2导线，各第2导线的一端分别连接于压电体的分立电极，各第2导线的另一端分别连接于驱动电路。
11.根据权利要求10所述的超声波电动机，其特征在于，还具备覆盖压电体下表面的绝缘性减震薄片。
12.根据权利要求11所述的超声波电动机，其特征在于，所述绝缘性减震薄片由毛毡构成。
13.根据权利要求1所述的超声波电动机，其特征在于，弹性体上表面的多个突起定位于振动体的振动位移的分布与振动体的振动发生力的分布的积为最大的位置。
14.根据权利要求10所述的超声波电动机，其特征在于，弹性体上表面的多个突起定位于振动体的振动位移的分布与振动体的振动发生力的分布的积为最大的位置。
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|---|---|---|---|---|
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| CN101449454B (zh) * | 2006-11-08 | 2011-08-17 | 佳能株式会社 | 振动型致动器 |
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| CN108832837A (zh) * | 2018-08-06 | 2018-11-16 | 深圳市三阶微控实业有限公司 | 一种步进超声波电机及其控制方法 |
Families Citing this family (16)
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|---|---|---|---|---|
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| JP2001518280A (ja) * | 1997-03-21 | 2001-10-09 | ザ ペンステート リサーチ ファウンデーション | 超音波モータ |
| DE29722319U1 (de) * | 1997-12-17 | 1998-04-16 | Cera Handels Gmbh | Piezoelektrischer Motor |
| CA2332158C (en) * | 2000-03-07 | 2004-09-14 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Ultrasonic probe |
| SE517535C2 (sv) * | 2000-12-21 | 2002-06-18 | Skf Ab | Rullningslager |
| US6664711B2 (en) * | 2001-08-23 | 2003-12-16 | Delphi Technologies, Inc. | Harmonic motor |
| EP1877677B1 (en) * | 2005-04-29 | 2012-02-01 | BWI Company Limited S.A. | Harmonic drive linear actuator |
| US20060283289A1 (en) * | 2005-06-16 | 2006-12-21 | Baudendistel Thomas A | Harmonic drive motor with flex-spline interlock |
| CH698913B1 (fr) * | 2006-05-26 | 2009-12-15 | Hader Sa | Outil dynamométrique à usage médical. |
| KR100768890B1 (ko) * | 2006-06-12 | 2007-10-19 | (주)피에조테크놀리지 | 소형 초음파 리니어 액추에이터의 지지 구조체 |
| JP5433991B2 (ja) * | 2008-06-24 | 2014-03-05 | 株式会社ニコン | 振動アクチュエータ、レンズ鏡筒及びカメラ |
| KR101067316B1 (ko) * | 2009-06-22 | 2011-09-23 | 주식회사 아이노바 | 돔 형상의 선형 압전 모터 |
| CN102035427B (zh) * | 2009-09-25 | 2014-04-23 | 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 | 致动器、相机模组及便携式电子装置 |
| JP6516438B2 (ja) * | 2013-12-20 | 2019-05-22 | キヤノン株式会社 | 振動子の駆動装置とその駆動方法、レンズ駆動装置、振動装置、及び撮像装置 |
| US10419653B2 (en) * | 2015-06-19 | 2019-09-17 | Canon Kabushiki Kaisha | Vibration drive device capable of generating click feeling and image pickup apparatus |
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|---|---|---|---|---|
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| JPH0710188B2 (ja) * | 1986-09-03 | 1995-02-01 | キヤノン株式会社 | 振動波モ−タ |
| JPH0241677A (ja) * | 1988-07-29 | 1990-02-09 | Aisin Seiki Co Ltd | 超音波モータ |
| US5066884A (en) * | 1989-02-10 | 1991-11-19 | Nikon Corporation | Ultrasonic motor having high drive efficiency |
| US5247220A (en) * | 1989-10-20 | 1993-09-21 | Seiko Epson Corporation | Ultrasonic motor |
| JPH03261384A (ja) * | 1990-03-12 | 1991-11-21 | Nissan Motor Co Ltd | 超音波モーター |
| JPH0421371A (ja) * | 1990-05-15 | 1992-01-24 | Canon Inc | 振動波モータ |
| FR2701340B1 (fr) * | 1993-02-05 | 1995-03-24 | Imra Europe Sa | Procédé de réalisation d'un circuit de distribution de signaux électriques, circuit de distribution obtenu et moteur piézoélectrique comportant un tel circuit. |
| JPH06269183A (ja) * | 1993-03-12 | 1994-09-22 | Nikon Corp | 超音波モータ |
| JPH06338344A (ja) * | 1993-05-31 | 1994-12-06 | Sanyo Electric Co Ltd | 密閉形ニッケル・金属水素化物アルカリ蓄電池 |
-
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Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN100566115C (zh) * | 2004-06-09 | 2009-12-02 | 佳能株式会社 | 振动波驱动设备和振动器 |
| CN101542890B (zh) * | 2006-04-17 | 2012-07-18 | 伊诺瓦有限公司 | 压电线性马达 |
| CN101449454B (zh) * | 2006-11-08 | 2011-08-17 | 佳能株式会社 | 振动型致动器 |
| CN108832837A (zh) * | 2018-08-06 | 2018-11-16 | 深圳市三阶微控实业有限公司 | 一种步进超声波电机及其控制方法 |
| CN108832837B (zh) * | 2018-08-06 | 2024-03-19 | 深圳市三阶微控实业有限公司 | 一种步进超声波电机及其控制方法 |
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