CN114047674A - 一种用于光刻机的压紧装置 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种用于光刻机的压紧装置，涉及光刻机技术领域，包括压边升降机构、水平位移机构、压边滚轮和滚轮定位机构，水平位移机构可带动压边升降机构水平位移，压边升降机构可带动水平位移机构和滚轮定位机构做升降运动；压边升降机构包括升降气缸和升降座，升降气缸可驱动升降座做升降运动；水平位移机构包括位移马达和位移丝杆，位移马达可驱动位移丝杆水平移动；滚轮定位机构包括滚轮定位支架和滚轮定位座。本发明压紧装置的压边升降机构和水平位移机构联动工作，使滚轮定位座和压边滚轮能够做升降、水平运动，压边滚轮能够将PCB在竖直方向压平，保证PCB的稳定性，从而能够保证光刻加工的质量。

Description

一种用于光刻机的压紧装置
技术领域
本发明涉及光刻机技术领域，具体是一种用于光刻机的压紧装置。
背景技术
光刻机称为掩膜对准曝光机，常用的光刻机是采用掩膜对准光刻，一般的光刻工艺要经历硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻胶、软烘、对准曝光、后烘、显影、硬烘、刻蚀等多道工序，高端的投影式光刻机可分为步进投影和扫描投影光刻机这两种，分辨率通常在七纳米至几微米之间。
PCB中文名称是印制电路板，又称为印刷线路板，是非常重要的电子部件，是电子元器件的支撑体，也是是电子元器件电气连接的载体。几乎每种电子设备，小到电子手表、计算器、遥控器，大到计算机、通信电子设备、机床、军用武器***，只要有集成电路等电子元件，为了使各个元件之间的电气互连，都要使用印制板，由于它是采用电子印刷术制作的，故被称为“印刷”电路板。
现有技术中，光刻机吸盘是光刻机的重要组成部分。吸盘的大小、平面度、吸附方式和吸附力大小等因素对PCB制版的实际生产制造有着重要影响。现有的光刻机吸盘吸附比较薄的PCB时，尚且能将PCB吸附平整，具有一定的稳定性。但是当PCB比较厚时，由于吸盘的吸附力不够，不足以使得PCB吸附平整，无法保证PCB的稳定性，PCB的位置容易发生松动偏移，从而不能保证光刻加工的质量。
发明内容
本发明的目的在于提供一种用于光刻机的压紧装置，具有压边滚轮能够将PCB在竖直方向压平，保证PCB的稳定性，能够保证光刻加工的质量的有益效果，以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：
一种用于光刻机的压紧装置，包括压边升降机构、水平位移机构、压边滚轮和滚轮定位机构，所述水平位移机构设于所述压边升降机构之间，并与所述压边升降机构连接，所述水平位移机构可带动压边升降机构水平位移，所述压边升降机构可带动所述水平位移机构做升降运动，所述压边滚轮与所述滚轮定位机构连接，所述滚轮定位机构设于所述压边升降机构底部，并与所述压边升降机构连接，所述压边升降机构可带动所述滚轮定位机构做升降运动；
所述压边升降机构包括升降气缸和升降座，所述升降气缸设于所述升降座顶侧，所述升降气缸与所述升降座连接，所述升降气缸可驱动所述升降座做升降运动；
所述水平位移机构包括位移马达和位移丝杆，所述位移丝杆设于所述位移马达输出端，并与位移马达连接，所述位移马达可驱动所述位移丝杆水平移动；
所述滚轮定位机构包括滚轮定位支架和滚轮定位座，所述压边滚轮连接于所述滚轮定位支架上，所述滚轮定位支架设于所述滚轮定位座上，并与所述滚轮定位座连接。
作为本发明再进一步的方案：所述压边升降机构设有两个，分别设于所述滚轮定位座的两端，并与所述滚轮定位座固定连接。
作为本发明再进一步的方案：所述压边升降机构还包括气缸固定块、升降滑轨和升降滑块，所述气缸固定块、升降滑轨、升降滑块依次设置、连接，所述气缸固定块底部与所述水平位移机构固定连接，所述升降气缸连接于所述气缸固定块的顶部，所述升降滑轨固定连接于所述气缸固定块侧面，所述升降滑块可滑动地连接于所述升降滑轨上，所述升降滑块与所述升降座固定连接。
作为本发明再进一步的方案：所述滚轮定位座设于所述升降座之间，所述滚轮定位座端部与所述升降座固定连接。
作为本发明再进一步的方案：所述水平位移机构还包括马达定位座、位移组件、位移板和马达驱动座，所述马达定位座、位移组件、位移板从上至下依次设置、连接，所述位移马达固定于所述马达定位座上；所述位移组件包括位移固定座、位移滑轨和位移滑块，所述位移固定座固定于所述马达定位座底侧，所述位移滑轨固定于所述位移固定座底侧，所述位移滑块可滑动地连接于所述位移滑轨上，所述位移板固定于所述位移滑块底侧，所述马达驱动座固定于所述位移丝杆一端，并与所述位移板顶部固定连接。
作为本发明再进一步的方案：所述位移组件设有两个，两个位移组件均固定地设于所述位移板上。
作为本发明再进一步的方案：所述位移板设于所述气缸固定块之间，所述位移板的端部与所述气缸固定块固定连接。
作为本发明再进一步的方案：所述滚轮定位支架设有两个，均与所述滚轮定位座固定连接，每个滚轮定位支架上连接有两个压边滚轮。
作为本发明再进一步的方案：所述滚轮定位座上设有支架容纳槽和滚轮让位孔，所述滚轮定位支架安装于所述支架容纳槽内，所述压边滚轮顶部设于所述滚轮让位孔内。
与现有技术相比，本发明的有益效果是：
本发明压紧装置的压边升降机构的升降气缸可驱动升降座进行升降，进而带动滚轮定位座和压边滚轮做升降运动，从而压边滚轮能够在竖直方向能够将PCB压平；根据PCB的大小可调整压边滚轮的位置，具体如下，水平位移机构的位移马达可驱动位移丝杆水平移动，位移丝杆带动马达驱动座水平移动，马达驱动座带动位移板水平移动，位移板带动气缸固定块和升降座水平移动，进而带动滚轮定位座和压边滚轮沿水平方向位移，从而调整压边滚轮的位置，以适应不同大小的PCB；本发明压紧装置的压边升降机构和水平位移机构联动工作，使滚轮定位座和压边滚轮能够做升降、水平运动，压边滚轮能够将PCB在竖直方向压平，保证PCB的稳定性，从而能够保证光刻加工的质量。
附图说明
图1为本发明压紧装置的结构示意图。
图2为本发明压紧装置的立体图。
图3为本发明压紧装置的***图。
图4为本发明压紧装置的另一方向的***图。
图中标识：
1、压边升降机构；2、水平位移机构；3、压边滚轮；4、滚轮定位机构；
11、升降气缸；12、升降座；13、气缸固定块；14、升降滑轨；15、升降滑块；
21、位移马达；22、位移丝杆；23、马达定位座；24、位移组件；25、位移板；26、马达驱动座；27、位移固定座；28、位移滑轨；29、位移滑块；
41、滚轮定位支架；42、滚轮定位座；43、支架容纳槽；44、滚轮让位孔。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
请参阅附图1～4，本发明实施例中，一种用于光刻机的压紧装置，请参阅附图1和2，包括压边升降机构1、水平位移机构2、压边滚轮3和滚轮定位机构4，水平位移机构2设于压边升降机构1之间，并与压边升降机构1固定连接，水平位移机构2可带动压边升降机构1水平位移，压边升降机构1可带动水平位移机构2做升降运动，压边滚轮3设于滚轮定位机构4上，并与滚轮定位机构4固定连接，滚轮定位机构4设于压边升降机构1底部，并与压边升降机构1固定连接，压边升降机构1可带动滚轮定位机构4做升降运动；
请参阅附图1，压边升降机构1包括升降气缸11和升降座12，升降气缸11设于升降座12顶侧，升降气缸11与升降座12连接，升降气缸11可驱动升降座12做升降运动；
请参阅附图1，水平位移机构2包括位移马达21和位移丝杆22，位移丝杆22设于位移马达21输出端，并与位移马达21连接，位移马达21可驱动位移丝杆22水平移动；
请参阅附图1，滚轮定位机构4包括滚轮定位支架41和滚轮定位座42，压边滚轮3连接于滚轮定位支架41上，滚轮定位支架41设于滚轮定位座42上，并与滚轮定位座42连接。请参阅附图1和3，本发明压紧装置的压边升降机构1的升降气缸11可驱动升降座12进行升降，进而带动滚轮定位座42和压边滚轮3做升降运动，从而压边滚轮3能够在竖直方向能够将PCB压平；水平位移机构2的位移马达21可驱动位移丝杆22水平移动，位移丝杆22带动马达驱动座26水平移动，马达驱动座26带动位移板25水平移动，位移板25带动气缸固定块13和升降座12水平移动，进而带动滚轮定位座42和压边滚轮3沿水平方向位移，从而调整压边滚轮3的位置，以适应不同大小的PCB；本发明压紧装置的压边升降机构1和水平位移机构2联动工作，使滚轮定位座42和压边滚轮3能够做升降、水平运动，压边滚轮3能够将PCB在竖直方向压平，保证PCB的稳定性，从而能够保证光刻加工的质量。
本发明中一个较佳的实施例，请参阅附图3和4，压边升降机构1设有两个，分别设于滚轮定位座42的两端，并与滚轮定位座42固定连接；进一步地，压边升降机构1还包括气缸固定块13、升降滑轨14和升降滑块15，气缸固定块13、升降滑轨14、升降滑块15依次设置、连接，气缸固定块13底部与水平位移机构2固定连接，升降气缸11连接于气缸固定块13的顶部，升降滑轨14固定连接于气缸固定块13侧面，升降滑块15可滑动地连接于升降滑轨14上，升降滑块15与升降座12固定连接；进一步地，滚轮定位座42设于升降座12之间，滚轮定位座42端部与升降座12固定连接；升降气缸11驱动升降座12和升降滑块15沿升降滑轨14做升降运动，升降座12带动与其固定连接的滚轮定位座42做升降运动，进而带动固定在滚轮定位座42上的压边滚轮3做升降运动。
本发明中一个较佳的实施例，请参阅附图3和4，水平位移机构2还包括马达定位座23、位移组件24、位移板25和马达驱动座26，马达定位座23、位移组件24、位移板25从上至下依次设置、连接，位移马达21固定于马达定位座23上；位移组件24包括位移固定座27、位移滑轨28和位移滑块29，位移固定座27固定于马达定位座23底侧，位移滑轨28固定于位移固定座27底侧，位移滑块29可滑动地连接于位移滑轨28上，位移板25固定于位移滑块29底侧，马达驱动座26固定于位移丝杆22一端，并与位移板25顶部固定连接；进一步地，位移组件24设有两个，两个位移组件24均固定地设于位移板25上，两个位移组件24使得位移板25的移动更加稳定，提高了水平位移的稳定性；进一步地，位移板25设于气缸固定块13之间，位移板25的端部与气缸固定块13固定连接。水平位移机构2的位移马达21可驱动位移丝杆22水平移动，位移丝杆22带动马达驱动座26水平移动，马达驱动座26带动位移板25水平移动，位移板25带动与其固定连接的气缸固定块13水平移动，气缸固定块13带动升降气缸11和升降座12水平移动，进而带动滚轮定位座42和压边滚轮3水平移动，从而调整压边滚轮3的位置，以适应不同大小的PCB。
本发明中一个较佳的实施例，请参阅附图2，滚轮定位支架41设有两个，均与滚轮定位座42固定连接，每个滚轮定位支架41上连接有两个压边滚轮3；进一步地，滚轮定位座42上设有支架容纳槽43和滚轮让位孔44，滚轮定位支架41安装于支架容纳槽43内，压边滚轮3顶部设于滚轮让位孔44内；通过压边滚轮3的升降、水平运动，压边滚轮3能够将PCB在竖直方向和水平方向压平，保证PCB的稳定性，从而能够保证光刻加工的质量。
本发明的工作过程如下：请参阅附图1和3，升降气缸11驱动升降座12和升降滑块15沿升降滑轨14做升降运动，升降座12带动与其固定连接的滚轮定位座42做升降运动，进而带动固定在滚轮定位座42上的压边滚轮3做升降运动，从而压边滚轮3能够在竖直方向能够将PCB压平；水平位移机构2的位移马达21可驱动位移丝杆22水平移动，位移丝杆22带动马达驱动座26水平移动，马达驱动座26带动位移板25水平移动，位移板25带动与其固定连接的气缸固定块13水平移动，气缸固定块13带动升降气缸11和升降座12水平移动，进而带动滚轮定位座42和压边滚轮3水平移动，从而调整压边滚轮3的位置，以适应不同大小的PCB；压边升降机构1和水平位移机构2联动工作，使滚轮定位座42和压边滚轮3能够做升降、水平运动，压边滚轮3能够将PCB在竖直方向压平，保证PCB的稳定性，从而能够保证光刻加工的质量。
本发明压紧装置的压边升降机构1和水平位移机构2联动工作，使滚轮定位座42和压边滚轮3能够做升降、水平运动，压边滚轮3能够将PCB在竖直方向压平，保证PCB的稳定性，从而能够保证光刻加工的质量。
尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换，凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (9)

1.一种用于光刻机的压紧装置，其特征在于，包括压边升降机构、水平位移机构、压边滚轮和滚轮定位机构，所述水平位移机构设于所述压边升降机构之间，并与所述压边升降机构连接，所述水平位移机构可带动压边升降机构水平位移，所述压边升降机构可带动所述水平位移机构做升降运动，所述压边滚轮与所述滚轮定位机构连接，所述滚轮定位机构设于所述压边升降机构底部，并与所述压边升降机构连接，所述压边升降机构可带动所述滚轮定位机构做升降运动；
所述压边升降机构包括升降气缸和升降座，所述升降气缸设于所述升降座顶侧，所述升降气缸与所述升降座连接，所述升降气缸可驱动所述升降座做升降运动；
所述水平位移机构包括位移马达和位移丝杆，所述位移丝杆设于所述位移马达输出端，并与位移马达连接，所述位移马达可驱动所述位移丝杆水平移动；
所述滚轮定位机构包括滚轮定位支架和滚轮定位座，所述压边滚轮连接于所述滚轮定位支架上，所述滚轮定位支架设于所述滚轮定位座上，并与所述滚轮定位座连接。
2.根据权利要求1所述的一种用于光刻机的压紧装置，其特征在于，所述压边升降机构设有两个，分别设于所述滚轮定位座的两端，并与所述滚轮定位座固定连接。
3.根据权利要求1所述的一种用于光刻机的压紧装置，其特征在于，所述压边升降机构还包括气缸固定块、升降滑轨和升降滑块，所述气缸固定块、升降滑轨、升降滑块依次设置、连接，所述气缸固定块底部与所述水平位移机构固定连接，所述升降气缸连接于所述气缸固定块的顶部，所述升降滑轨固定连接于所述气缸固定块侧面，所述升降滑块可滑动地连接于所述升降滑轨上，所述升降滑块与所述升降座固定连接。
4.根据权利要求1所述的一种用于光刻机的压紧装置，其特征在于，所述滚轮定位座设于所述升降座之间，所述滚轮定位座端部与所述升降座固定连接。
5.根据权利要求1所述的一种用于光刻机的压紧装置，其特征在于，所述水平位移机构还包括马达定位座、位移组件、位移板和马达驱动座，所述马达定位座、位移组件、位移板从上至下依次设置、连接，所述位移马达固定于所述马达定位座上；所述位移组件包括位移固定座、位移滑轨和位移滑块，所述位移固定座固定于所述马达定位座底侧，所述位移滑轨固定于所述位移固定座底侧，所述位移滑块可滑动地连接于所述位移滑轨上，所述位移板固定于所述位移滑块底侧，所述马达驱动座固定于所述位移丝杆一端，并与所述位移板顶部固定连接。
6.根据权利要求1所述的一种用于光刻机的压紧装置，其特征在于，所述位移组件设有两个，两个位移组件均固定地设于所述位移板上。
7.根据权利要求1所述的一种用于光刻机的压紧装置，其特征在于，所述位移板设于所述气缸固定块之间，所述位移板的端部与所述气缸固定块固定连接。
8.根据权利要求1所述的一种用于光刻机的压紧装置，其特征在于，所述滚轮定位支架设有两个，均与所述滚轮定位座固定连接，每个滚轮定位支架上连接有两个压边滚轮。
9.根据权利要求1所述的一种用于光刻机的压紧装置，其特征在于，所述滚轮定位座上设有支架容纳槽和滚轮让位孔，所述滚轮定位支架安装于所述支架容纳槽内，所述压边滚轮顶部设于所述滚轮让位孔内。
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