CN113953611A - 一种靶材背板的辅助焊接工件及利用其的焊接方法 - Google Patents
一种靶材背板的辅助焊接工件及利用其的焊接方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN113953611A CN113953611A CN202111392095.2A CN202111392095A CN113953611A CN 113953611 A CN113953611 A CN 113953611A CN 202111392095 A CN202111392095 A CN 202111392095A CN 113953611 A CN113953611 A CN 113953611A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- auxiliary
- cover plate
- plate
- welding
- base
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000003466 welding Methods 0.000 title claims abstract description 133
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 44
- 238000003825 pressing Methods 0.000 claims abstract description 30
- 238000005219 brazing Methods 0.000 claims abstract description 29
- 230000006835 compression Effects 0.000 claims description 25
- 238000007906 compression Methods 0.000 claims description 25
- 238000005476 soldering Methods 0.000 claims description 25
- 239000013077 target material Substances 0.000 claims description 12
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 7
- CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N Acetone Chemical compound CC(C)=O CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 229910001209 Low-carbon steel Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims description 3
- 239000012459 cleaning agent Substances 0.000 claims description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 10
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 13
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 12
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 8
- 239000000498 cooling water Substances 0.000 description 8
- 238000003756 stirring Methods 0.000 description 8
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 6
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 5
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 5
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 4
- 239000000945 filler Substances 0.000 description 3
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 3
- 239000000047 product Substances 0.000 description 3
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 2
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 2
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 2
- 238000005477 sputtering target Methods 0.000 description 2
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 239000012043 crude product Substances 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 238000005488 sandblasting Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 238000005478 sputtering type Methods 0.000 description 1
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 1
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K1/00—Soldering, e.g. brazing, or unsoldering
- B23K1/0008—Soldering, e.g. brazing, or unsoldering specially adapted for particular articles or work
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K1/00—Soldering, e.g. brazing, or unsoldering
- B23K1/008—Soldering within a furnace
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K1/00—Soldering, e.g. brazing, or unsoldering
- B23K1/20—Preliminary treatment of work or areas to be soldered, e.g. in respect of a galvanic coating
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K3/00—Tools, devices, or special appurtenances for soldering, e.g. brazing, or unsoldering, not specially adapted for particular methods
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K3/00—Tools, devices, or special appurtenances for soldering, e.g. brazing, or unsoldering, not specially adapted for particular methods
- B23K3/08—Auxiliary devices therefor
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Butt Welding And Welding Of Specific Article (AREA)
Abstract
本发明提供了一种靶材背板的辅助焊接工件及利用其的焊接方法，所述辅助焊接工件包括辅助底座和辅助盖板，辅助底座上开设用于放置靶材背板的放置槽，辅助盖板正对放置槽，且通过至少两个固定螺栓与所述辅助底座相连；在所述辅助盖板的中部区域、对应所述放置槽的上方开设至少两个压紧螺纹孔，将压紧螺栓通过所述压紧螺纹孔可拆卸地固定在所述辅助盖板上，压紧所述背板盖板，并通过真空钎焊的方法得到靶材背板；该辅助焊接工件通过调整螺栓保证背板在焊接时受力均匀，减少焊接后的变形，可用于不同厚度背板焊接，可根据背板形状加工放置槽，应用灵活；该焊接方法能够提高一次性焊接通过率，提高背板生产稳定性，降低生产成本。
Description
技术领域
本发明属于溅射靶材制备领域，具体涉及一种靶材背板的辅助焊接工件及利用其的焊接方法。
背景技术
半导体溅射用的靶材工作时会产生大量的热量，为了降低靶材工作时产品的温度，需要在靶材背板位置通流动冷却水。通常冷却背板根据溅射机台类型分为两种：有冷却水道背板和无冷却水道背板。
溅射靶材的冷却是溅射过程的重要影响因素，有冷却水道的背板通常采用焊接方式加工水道结构，但若结构设计不合理、焊料选用错误、焊接工艺不合适等都会产生焊接缺陷、产品变形，进而导致水道发生漏水损坏设备。
CN112045309A公开了一种靶材用水路背板的制备方法，包括以下步骤：(1)在铜背板主体上加工T型槽，T型槽包括由上至下排列的盖板槽和水槽；(2)在盖板槽上放置盖板，得到待焊接水路铜背板；(3)将焊接工件固定在刚性工装上；(4)在待焊接水路铜背板的上方设置激光器；(5)先对待焊接水路铜背板进行点焊；(6)进行一次焊接；(7)进行二次焊接：将焊针逐渐旋转入接缝，使焦点位于铜背板主体和盖板之间的接缝处，然后同时开启搅拌摩擦头和激光器，并同时向焊接方向同步按相同的进给量进给搅拌摩擦头和焦点。该方法焊接步骤复杂，易出现漏水状况。
CN112410740A公开了一种靶材冷却背板及其制备方法，所述靶材冷却背板的基座将进水口和出水口的法兰连接件采用一体型设计作为所述基座的一部分，并相应地将基座中的冷却水道与进出水口之间改成斜水道，有效防止了进出水口处的泄漏问题；该方法所述制备方法将所述靶材冷却背板的盖板厚度增至4.5-5mm，并在基座的冷却水道的内表面进行喷砂处理，然后采用真空钎焊将所述盖板和所述基座进行焊接得到靶材冷却背板粗品，随后依靠等高的凸台的支撑和固定进行机加工得到所述靶材冷却背板。该方法得到的靶材冷却背板处理步骤复杂，容易出现背板盖板不平整的状况。
目前已有的有水道铜背板加工后水道周围材料焊接结合率差，导致水道易出现漏水情况，且水道结构焊接工艺不稳定导致焊接成功率低，造成严重的成本浪费。
因此，需要开发一种新的靶材背板的焊接工艺，使得背板表面平整且不易漏水，同时具备较高的生产效率。
发明内容
本发明的目的在于提供一种靶材背板的辅助焊接工件及利用其的焊接方法，所述辅助焊接工件包括辅助底座和辅助盖板，所述辅助底座上开设用于放置靶材背板的放置槽，所述辅助盖板正对所述放置槽，在所述辅助底座的边缘位置上与所述辅助盖板的边缘位置上分别开设至少两个固定螺纹孔，通过至少两个固定螺栓与所述辅助底座相连接；可以减少焊接后的变形，也可以重复使用，提高一次性焊接通过率，提高背板生产稳定性，降低生产成本。
为达到此发明目的，本发明采用以下技术方案：
本发明的目的之一在于提供一种靶材背板的辅助焊接工件，所述辅助焊接工件包括辅助底座和辅助盖板，所述辅助底座上开设用于放置靶材背板的放置槽，所述辅助盖板正对所述放置槽，在所述辅助底座的边缘位置上与所述辅助盖板的边缘位置上分别开设至少两个固定螺纹孔，通过至少两个固定螺栓与所述辅助底座相连接。
本发明所述辅助焊接工件采用辅助底座和辅助盖板固定靶材背板，可以减少焊接后的变形，也可以重复使用，提高一次性焊接通过率，提高背板生产稳定性，降低生产成本。
值得说明的是，所述辅助底座的边缘位置是指放置槽外周区域，辅助底座上的固定螺纹孔与辅助盖板上的固定螺纹孔是相对应设置的。
作为本发明优选的技术方案，所述辅助底座和所述辅助盖板的形状尺寸均相同。
优选地，所述辅助底座的材料包括低碳钢。
优选地，所述辅助底座的平面度＜0.1mm，例如可以是0.01mm，0.02mm，0.03mm，0.04mm，0.05mm，0.06mm，0.07mm，0.08mm，0.09mm，0.099mm等，但并不仅限于所列举的数值，上述数值范围内其他未列举的数值同样适用。
优选地，所述辅助盖板的材料包括低碳钢。
优选地，所述辅助盖板的平面度＜0.1mm，例如可以是0.01mm，0.02mm，0.03mm，0.04mm，0.05mm，0.06mm，0.07mm，0.08mm，0.09mm，0.099mm等，但并不仅限于所列举的数值，上述数值范围内其他未列举的数值同样适用。
作为本发明优选的技术方案，所述放置槽的深度小于所述靶材背板的厚度。
作为本发明优选的技术方案，在所述辅助盖板的中部区域开设至少两个压紧螺纹孔。
优选地，所述压紧螺纹孔的开设区域对应所述放置槽的上方。
作为本发明优选的技术方案，所述辅助焊接工件还包括压紧螺栓。
优选地，所述压紧螺栓通过所述压紧螺纹孔可拆卸地固定在所述辅助盖板上。
本发明的目的之二在于提供一种采用上述目的之一所述辅助焊接工件的焊接方法，所述焊接方法包括如下步骤：
(1)将焊片、背板底板与背板盖板进行组装后，放入辅助底座的放置槽中，使得所述背板底板与所述辅助底座相接触，将辅助盖板放置在所述背板盖板的上方，通过至少两个固定螺栓与所述辅助底座相连接并压紧所述背板盖板，得到待焊组件；
(2)将步骤(1)所述待焊组件进行真空钎焊，解除所述辅助盖板与所述辅助底座，得到靶材背板。
钎焊(SolderingandBrazing)是指低于焊件熔点的钎料和焊件同时加热到钎料熔化温度后，利用液态钎料填充固态工件的缝隙使金属连接的焊接方法；真空钎焊不仅节省大量价格昂贵的金属钎剂，而且又不需要复杂的焊剂清洗工序，降低了生产成本，同时真空钎焊钎料的湿润性和流动性良好，提高了产品的成品率，获得坚固的清洁的工作面。
本发明中，将焊片、背板底板与背板盖板进行组装时，焊片置于背板底板与背板盖板之间，背板底板上有冷却水道的一侧与焊片相接触，背板盖板上有连接触点的一侧与焊片相接触。
作为本发明优选的技术方案，在步骤(1)之前，将所述焊片、所述背板底板和所述背板盖板进行清洗。
优选地，所述清洗采用的清洗剂包括丙酮。
优选地，步骤(1)所述焊片的材料包括AgCu28。
优选地，步骤(1)所述焊片的厚度为0.06-0.12mm，例如可以是0.06mm，0.065mm，0.07mm，0.075mm，0.08mm，0.085mm，0.09mm，0.095mm，0.1mm，0.0105mm，0.011mm，0.0115mm，0.012mm等，但并不仅限于所列举的数值，上述数值范围内其他未列举的数值同样适用。
作为本发明优选的技术方案，步骤(1)所述压紧背板盖板的方式还包括：在所述辅助盖板的中部区域、对应所述放置槽的上方开设至少两个压紧螺纹孔，将压紧螺栓通过所述压紧螺纹孔可拆卸地固定在所述辅助盖板上，并压紧所述背板盖板。
作为本发明优选的技术方案，步骤(2)所述真空钎焊的真空度小于10-2Pa，例如可以是1×10-3Pa，2×10-3Pa，3×10-3Pa，4×10-3Pa，5×10-3Pa，6×10-3Pa，7×10-3Pa，8×10- 3Pa，9×10-3Pa等，但并不仅限于所列举的数值，上述数值范围内其他未列举的数值同样适用。
优选地，步骤(2)所述真空钎焊的温度为800-850℃，例如可以是800℃，805℃，810℃，815℃，820℃，825℃，830℃，835℃，840℃，845℃，850℃等，但并不仅限于所列举的数值，上述数值范围内其他未列举的数值同样适用。
优选地，步骤(2)所述真空钎焊的时间为30-60min，例如可以是30min，33min，35min，37min，40min，42min，45min，48min，50min，52min，55min，58min，60min等，但并不仅限于所列举的数值，上述数值范围内其他未列举的数值同样适用。
作为本发明优选的技术方案，所述焊接方法包括如下步骤：
(1)将厚度为0.06-0.12mm的AgCu28焊片、背板底板与背板盖板进行组装后，放入辅助底座的放置槽中，使得所述背板底板与所述辅助底座相接触，将辅助盖板放置在所述背板盖板的上方，通过至少两个固定螺栓与所述辅助底座相连接；所述辅助焊接工件还包括压紧螺栓，在辅助盖板的中部区域、对应放置槽的上方开设至少两个压紧螺纹孔，压紧螺栓通过压紧螺纹孔可拆卸地固定在所述辅助盖板上，并压紧所述背板盖板，得到待焊组件；
(2)将步骤(1)所述待焊组件在真空度小于10-2Pa、温度800-850℃的条件下进行真空钎焊30-60min，解除所述辅助盖板与所述辅助底座，得到靶材背板。
本发明所述的数值范围不仅包括上述例举的点值，还包括没有例举出的上述数值范围之间的任意的点值，限于篇幅及出于简明的考虑，本发明不再穷尽列举所述范围包括的具体点值。
相对于现有技术，本发明具有以下有益效果：
(1)本发明所述靶材背板的辅助焊接工件通过调整螺栓保证背板在焊接时受力均匀，还能减少焊接后的变形；
(2)本发明所述靶材背板的辅助焊接工件可用于不用同厚度背板焊接，可以重复使用；
(3)本发明所述靶材背板的辅助焊接工件可以根据背板形状加工放置槽，应用灵活；
(4)本发明所述靶材背板的焊接方法能够提高一次性焊接通过率，提高背板生产稳定性，降低生产成本。
附图说明
图1为本发明所述辅助焊接工件中辅助盖板的结构示意图；
图2为本发明所述辅助焊接工件中辅助底座的结构示意图；
图3为采用本发明所述辅助焊接工件固定靶材背板的示意图；
其中，1-辅助盖板；2-辅助底座；3-放置槽；4-固定螺栓；5-固定螺纹孔；6-压紧螺纹孔；7-压紧螺栓；8-靶材背板。
具体实施方式
下面通过具体实施方式来进一步说明本发明的技术方案。本领域技术人员应该明了，所述实施例仅仅是帮助理解本发明，不应视为对本发明的具体限制。
如图1-图3所示，本发明所述辅助焊接工件包括辅助底座2和辅助盖板1，所述辅助底座2上开设用于放置靶材背板8的放置槽3，所述辅助盖板1正对所述放置槽3，在所述辅助底座2的边缘位置上与所述辅助盖板1的边缘位置上分别开设至少两个固定螺纹孔5，通过至少两个固定螺栓4与所述辅助底座2相连接；在所述辅助盖板1的中部区域开设至少两个压紧螺纹孔6，所述压紧螺纹孔6的开设区域对应所述放置槽3的上方；所述辅助焊接工件还包括压紧螺栓7，所述压紧螺栓7通过所述压紧螺纹孔6可拆卸地固定在所述辅助盖板1上；
本发明所述焊接方法包括如下步骤：
(1)将AgCu28焊片、背板底板与背板盖板进行组装后，放入辅助底座2的放置槽3中，使得所述背板底板与所述辅助底座2相接触，将辅助盖板1放置在所述背板盖板的上方，通过至少两个固定螺栓4与所述辅助底座2相连接；所述辅助焊接工件还包括压紧螺栓7，在辅助盖板1的中部区域、对应放置槽3的上方开设至少两个压紧螺纹孔6，压紧螺栓7通过压紧螺纹孔6可拆卸地固定在所述辅助盖板1上，并压紧所述背板盖板，得到待焊组件；
(2)将步骤(1)所述待焊组件进行真空钎焊后，解除所述辅助盖板1与所述辅助底座2，得到靶材背板8。
实施例1
本实施例提供了一种靶材背板的辅助焊接工件及利用其的焊接方法，所述焊接方法包括如下步骤：
(1)将厚度为0.1mm的AgCu28焊片、背板底板与背板盖板进行组装后，放入辅助底座的放置槽中，使得所述背板底板与所述辅助底座相接触，将辅助盖板放置在所述背板盖板的上方，通过四个固定螺栓与所述辅助底座相连接；所述辅助焊接工件还包括压紧螺栓，在辅助盖板的中部区域、对应放置槽的上方开设四个压紧螺纹孔，压紧螺栓通过压紧螺纹孔可拆卸地固定在所述辅助盖板上，并压紧所述背板盖板，得到待焊组件；
(2)将步骤(1)所述待焊组件在真空度1×10-3Pa、温度830℃的条件下进行真空钎焊30min，解除所述辅助盖板与所述辅助底座，得到靶材背板。
实施例2
本实施例提供了一种靶材背板的辅助焊接工件及利用其的焊接方法，所述焊接方法包括如下步骤：
(1)将厚度为0.06mm的AgCu28焊片、背板底板与背板盖板进行组装后，放入辅助底座的放置槽中，使得所述背板底板与所述辅助底座相接触，将辅助盖板放置在所述背板盖板的上方，通过两个固定螺栓与所述辅助底座相连接；所述辅助焊接工件还包括压紧螺栓，在辅助盖板的中部区域、对应放置槽的上方开设两个压紧螺纹孔，压紧螺栓通过压紧螺纹孔可拆卸地固定在所述辅助盖板上，并压紧所述背板盖板，得到待焊组件；
(2)将步骤(1)所述待焊组件在真空度9.9×10-3Pa、温度850℃的条件下进行真空钎焊45min，解除所述辅助盖板与所述辅助底座，得到靶材背板。
实施例3
本实施例提供了一种靶材背板的辅助焊接工件及利用其的焊接方法，所述焊接方法包括如下步骤：
(1)将厚度为0.12mm的AgCu28焊片、背板底板与背板盖板进行组装后，放入辅助底座的放置槽中，使得所述背板底板与所述辅助底座相接触，将辅助盖板放置在所述背板盖板的上方，通过四个固定螺栓与所述辅助底座相连接；所述辅助焊接工件还包括压紧螺栓，在辅助盖板的中部区域、对应放置槽的上方开设四个压紧螺纹孔，压紧螺栓通过压紧螺纹孔可拆卸地固定在所述辅助盖板上，并压紧所述背板盖板，得到待焊组件；
(2)将步骤(1)所述待焊组件在真空度5×10-3Pa、温度800℃的条件下进行真空钎焊60min，解除所述辅助盖板与所述辅助底座，得到靶材背板。
实施例4
本实施例提供了一种靶材背板的辅助焊接工件及利用其的焊接方法，所述焊接方法包括如下步骤：
(1)将厚度为0.1mm的AgCu28焊片、背板底板与背板盖板进行组装后，放入辅助底座的放置槽中，使得所述背板底板与所述辅助底座相接触，将辅助盖板放置在所述背板盖板的上方，通过四个固定螺栓与所述辅助底座相连接并压紧所述背板盖板，得到待焊组件；
(2)将步骤(1)所述待焊组件在真空度1×10-3Pa、温度830℃的条件下进行真空钎焊30min，解除所述辅助盖板与所述辅助底座，得到靶材背板。
实施例5
本实施例提供了一种靶材背板的辅助焊接工件及利用其的焊接方法，所述焊接方法包括如下步骤：
(1)将厚度为0.06mm的AgCu28焊片、背板底板与背板盖板进行组装后，放入辅助底座的放置槽中，使得所述背板底板与所述辅助底座相接触，将辅助盖板放置在所述背板盖板的上方，通过两个固定螺栓与所述辅助底座相连接并压紧所述背板盖板，得到待焊组件；
(2)将步骤(1)所述待焊组件在真空度9.9×10-3Pa、温度850℃的条件下进行真空钎焊45min，解除所述辅助盖板与所述辅助底座，得到靶材背板。
实施例6
本实施例提供了一种靶材背板的辅助焊接工件及利用其的焊接方法，所述焊接方法包括如下步骤：
(1)将厚度为0.12mm的AgCu28焊片、背板底板与背板盖板进行组装后，放入辅助底座的放置槽中，使得所述背板底板与所述辅助底座相接触，将辅助盖板放置在所述背板盖板的上方，通过四个固定螺栓与所述辅助底座相连接并压紧所述背板盖板，得到待焊组件；
(2)将步骤(1)所述待焊组件在真空度5×10-3Pa、温度800℃的条件下进行真空钎焊60min，解除所述辅助盖板与所述辅助底座，得到靶材背板。
对比例1
本对比例提供了一种靶材背板的辅助焊接工件及利用其的焊接方法，参照实施例1所述的焊接方法，区别仅在于：未采用辅助焊接工件；所述焊接方法包括如下步骤：
(1)将厚度为0.1mm的AgCu28焊片、背板底板与背板盖板进行组装，得到待焊组件；
(2)将步骤(1)所述待焊组件在真空度1×10-3Pa、温度830℃的条件下进行真空钎焊30min，解除所述辅助盖板与所述辅助底座，得到靶材背板。
对比例2
本对比例提供了一种靶材背板的焊接方法，所述焊接方法包括如下步骤：
(1)点焊：在背板底板和背板盖板之间的接缝均匀选取点焊位置，然后将搅拌摩擦头的焊针伸入接缝，通过焊针的高速旋转，使背板底板和背板盖板进行焊接固定；
(2)搅拌摩擦焊：调节搅拌摩擦头的转速为600r/min，并使搅拌摩擦头边旋转，边沿接缝向焊接方向移动，从而使背板底板和背板盖板紧密融合，得到靶材背板。
将上述实施例与对比例所得靶材背板进行一次性焊接通过率测试，测试的具体步骤如下：
将N个靶材背板通入冷却水，观察漏水情况，如果有n个靶材背板出现漏水，则一次性焊接通过率＝(1-n/N)×100％。
将上述实施例与对比例一次性焊接通过率的测试结果列于表1。
表1
| 项目 | 一次性焊接通过率/％ |
| 实施例1 | 99.9％ |
| 实施例2 | 99.7％ |
| 实施例3 | 99.8％ |
| 实施例4 | 99.4％ |
| 实施例5 | 99.1％ |
| 实施例6 | 99.3％ |
| 对比例1 | 91.8％ |
| 对比例2 | 86.4％ |
由表1可以得出以下几点：
(1)由实施例1-6可以看出，采用本发明所述靶材背板的辅助焊接工件及焊接方法制备靶材背板时，一次性焊接通过率高，达到99％以上；
(2)将实施例1与对比例1进行对比，可以发现，由于对比例1未采用本发明所述的辅助焊接工件，导致焊片与背板底板与背板盖板之间存在空隙，真空钎焊是无法将三者紧密的焊接在一起，进而导致一次性焊接通过率降低至91.8％；
(3)将实施例1与对比例2进行对比，可以发现，对比例2既未采用本发明所述的辅助焊接工件，也未进行真空钎焊，而是采用点焊与搅拌摩擦焊相结合的方式进行焊接，容易出现漏水情况，一次性焊接通过率低，往往需要二次补焊，费工费时。
申请人声明，以上所述仅为本发明的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，所属技术领域的技术人员应该明了，任何属于本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，均落在本发明的保护范围和公开范围之内。
Claims (10)
1.一种靶材背板的辅助焊接工件，其特征在于，所述辅助焊接工件包括辅助底座和辅助盖板，所述辅助底座上开设用于放置靶材背板的放置槽，所述辅助盖板正对所述放置槽，在所述辅助底座的边缘位置上与所述辅助盖板的边缘位置上分别开设至少两个固定螺纹孔，通过至少两个固定螺栓将所述辅助盖板与所述辅助底座相连接。
2.根据权利要求1所述的靶材背板的辅助焊接工件，其特征在于，所述辅助底座和所述辅助盖板的形状尺寸均相同；
优选地，所述辅助底座的材料包括低碳钢；
优选地，所述辅助底座的平面度＜0.1mm；
优选地，所述辅助盖板的材料包括低碳钢；
优选地，所述辅助盖板的平面度＜0.1mm。
3.根据权利要求1或2所述的靶材背板的辅助焊接工件，其特征在于，所述放置槽的深度小于所述靶材背板的厚度。
4.根据权利要求1-3任一项所述的靶材背板的辅助焊接工件，其特征在于，在所述辅助盖板的中部区域开设至少两个压紧螺纹孔；
优选地，所述压紧螺纹孔的开设区域对应所述放置槽的上方。
5.根据权利要求4所述的靶材背板的辅助焊接工件，其特征在于，所述辅助焊接工件还包括压紧螺栓；
优选地，所述压紧螺栓通过所述压紧螺纹孔可拆卸地固定在所述辅助盖板上。
6.一种采用权利要求1-5任一项所述辅助焊接工件的焊接方法，其特征在于，所述焊接方法包括如下步骤：
(1)将焊片、背板底板与背板盖板进行组装后，放入辅助底座的放置槽中，使得所述背板底板与所述辅助底座相接触，将辅助盖板放置在所述背板盖板的上方，通过至少两个固定螺栓与所述辅助底座相连接并压紧所述背板盖板，得到待焊组件；
(2)将步骤(1)所述待焊组件进行真空钎焊，解除所述辅助盖板与所述辅助底座，得到靶材背板。
7.根据权利要求6所述的焊接方法，其特征在于，在步骤(1)之前，将所述焊片、所述背板底板和所述背板盖板进行清洗；
优选地，所述清洗采用的清洗剂包括丙酮；
优选地，步骤(1)所述焊片的材料包括AgCu28；
优选地，步骤(1)所述焊片的厚度为0.06-0.12mm。
8.根据权利要求6或7所述的焊接方法，其特征在于，步骤(1)所述压紧背板盖板的方式还包括：在所述辅助盖板的中部区域、对应所述放置槽的上方开设至少两个压紧螺纹孔，将压紧螺栓通过所述压紧螺纹孔可拆卸地固定在所述辅助盖板上，并压紧所述背板盖板。
9.根据权利要求6-8任一项所述的焊接方法，其特征在于，步骤(2)所述真空钎焊的真空度小于10-2Pa；
优选地，步骤(2)所述真空钎焊的温度为800-850℃；
优选地，步骤(2)所述真空钎焊的时间为30-60min。
10.根据权利要求6-9任一项所述的焊接方法，其特征在于，所述焊接方法包括如下步骤：
(1)将厚度为0.06-0.12mm的AgCu28焊片、背板底板与背板盖板进行组装后，放入辅助底座的放置槽中，使得所述背板底板与所述辅助底座相接触，将辅助盖板放置在所述背板盖板的上方，通过至少两个固定螺栓与所述辅助底座相连接；所述辅助焊接工件还包括压紧螺栓，在辅助盖板的中部区域、对应放置槽的上方开设至少两个压紧螺纹孔，压紧螺栓通过压紧螺纹孔可拆卸地固定在所述辅助盖板上，并压紧所述背板盖板，得到待焊组件；
(2)将步骤(1)所述待焊组件在真空度小于10-2Pa、温度800-850℃的条件下进行真空钎焊30-60min，解除所述辅助盖板与所述辅助底座，得到靶材背板。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202111392095.2A CN113953611A (zh) | 2021-11-23 | 2021-11-23 | 一种靶材背板的辅助焊接工件及利用其的焊接方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202111392095.2A CN113953611A (zh) | 2021-11-23 | 2021-11-23 | 一种靶材背板的辅助焊接工件及利用其的焊接方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN113953611A true CN113953611A (zh) | 2022-01-21 |
Family
ID=79471576
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202111392095.2A Pending CN113953611A (zh) | 2021-11-23 | 2021-11-23 | 一种靶材背板的辅助焊接工件及利用其的焊接方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN113953611A (zh) |
Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN101875142A (zh) * | 2010-03-11 | 2010-11-03 | 常州苏晶电子材料有限公司 | 使用真空夹具的炉内钎焊方法 |
| CN104551309A (zh) * | 2013-10-14 | 2015-04-29 | 宁波江丰电子材料股份有限公司 | 靶材焊接夹具和靶材焊接方法 |
| CN108067701A (zh) * | 2017-12-13 | 2018-05-25 | 北京华航无线电测量研究所 | 一种耐压气密冷板真空钎焊通用工装 |
| CN207735805U (zh) * | 2017-12-16 | 2018-08-17 | 上海孚育科技有限公司 | 一种医用超声探头的辅助焊接工装 |
| CN110587064A (zh) * | 2019-09-30 | 2019-12-20 | 北京无线电测量研究所 | 一种mcm共晶钎焊工装及共晶钎焊工艺 |
| KR20200079722A (ko) * | 2018-12-26 | 2020-07-06 | (주)유성엔코리아 | 청정실용 철강바닥의 제조방법 및 이에 의한 철강바닥 |
-
2021
- 2021-11-23 CN CN202111392095.2A patent/CN113953611A/zh active Pending
Patent Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN101875142A (zh) * | 2010-03-11 | 2010-11-03 | 常州苏晶电子材料有限公司 | 使用真空夹具的炉内钎焊方法 |
| CN104551309A (zh) * | 2013-10-14 | 2015-04-29 | 宁波江丰电子材料股份有限公司 | 靶材焊接夹具和靶材焊接方法 |
| CN108067701A (zh) * | 2017-12-13 | 2018-05-25 | 北京华航无线电测量研究所 | 一种耐压气密冷板真空钎焊通用工装 |
| CN207735805U (zh) * | 2017-12-16 | 2018-08-17 | 上海孚育科技有限公司 | 一种医用超声探头的辅助焊接工装 |
| KR20200079722A (ko) * | 2018-12-26 | 2020-07-06 | (주)유성엔코리아 | 청정실용 철강바닥의 제조방법 및 이에 의한 철강바닥 |
| CN110587064A (zh) * | 2019-09-30 | 2019-12-20 | 北京无线电测量研究所 | 一种mcm共晶钎焊工装及共晶钎焊工艺 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN105414763B (zh) | 一种板式换热器超声同轴辅助激光焊接方法 | |
| JP3818084B2 (ja) | 冷却板とその製造方法及びスパッタリングターゲットとその製造方法 | |
| CN105772927B (zh) | 一种afa3g燃料组件上管座电子束焊接方法 | |
| CN112045309B (zh) | 一种靶材用水路背板的制备方法 | |
| CN108031944A (zh) | 一种降低叶片组件焊接变形的扇形夹具及方法 | |
| CN112338452B (zh) | 一种喷射液体地试装置的加工方法 | |
| CN113953611A (zh) | 一种靶材背板的辅助焊接工件及利用其的焊接方法 | |
| CN106513981A (zh) | 一种搅拌摩擦焊专用垫板和使用该垫板的焊接方法 | |
| CN110303264A (zh) | 冷却水道的制作方法及冷却水道 | |
| CN108890132A (zh) | 一种激光圆弧摆动的点焊方法 | |
| JP2001219281A (ja) | 真空形成体の製造方法及びその装置 | |
| CN112570876A (zh) | 一种gh4141镍基高温合金真空电子束焊接方法 | |
| CN111421221A (zh) | 一种搅拌摩擦对接焊装置及其加工方法 | |
| CN116000496A (zh) | 一种大厚度合金真空电子束焊接接头及方法 | |
| CN112846508B (zh) | 一种膜盒的激光加工方法和焊接工装 | |
| CN112427799B (zh) | 一种大尺寸高厚度铝合金面板的搅拌摩擦焊制造方法 | |
| CN112247333B (zh) | 一种波导电子束焊接工装 | |
| CN109332891B (zh) | 一种内冷镶圈的激光焊接方法 | |
| CN108127245B (zh) | 一种摩擦搅拌焊用夹持装置 | |
| CN110355529A (zh) | 一种dtro膜片焊接工艺 | |
| CN111360400A (zh) | 一种汽车铝铸散热器焊接方法 | |
| CN218016344U (zh) | 一种均温导热板焊接装置 | |
| CN204565296U (zh) | 金刚石圆锯片 | |
| CN212793451U (zh) | 一种可调节限位的电阻焊焊接设备 | |
| CN221047548U (zh) | 超声-激光同步复合连续缝焊设备 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| RJ01 | Rejection of invention patent application after publication | ||
| RJ01 | Rejection of invention patent application after publication |
Application publication date: 20220121 |