CN113906288A - 圆筒内表面检查装置 - Google Patents

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Abstract

与在检查探测器内利用光纤束对反射光进行传输的结构相比，能够增加传输的反射光的光量，并且简化检查探测器的构造。检查探测器(12)通过将由石英玻璃构成的圆筒状的中空的玻璃管(61)***于由不锈钢等构成的圆筒状的外装部件(62)而构成。玻璃管(61)将来自激光发光装置(16)的激光作为照射光(101)而经由中空区域传输至前端部。检查探测器(12)将照射光(101)经由玻璃管(61)的中空区域传输至前端部，利用设置于其前端部的反射镜(64)使照射光反射，由此将照射光(101)向检查对象物(80)的内表面照射，利用反射镜(64)使从检查对象物(80)的内表面反射的反射光(102)反射并经由玻璃管(61)的除了中空区域以外的区域而传输至光电变换部(17)。

Description

圆筒内表面检查装置
技术领域
本发明涉及用于检查圆筒状的被检查物的内表面的伤痕的有无等状态的圆筒内表面检查装置。
背景技术
汽车、电气产品等各种产品中存在使用圆筒状的部件、设置有圆筒状的孔的部件的结构。如果上述部件或部件的圆筒内表面附着有伤痕、异物或污垢等，则产品的性能、品质产生问题，因此提出了用于检查圆筒内表面的伤痕的有无等状态的各种检查方法、检查装置。
例如，为了检查汽车发动机的气缸、制动器主气缸等的内表面的伤痕的有无等，提出了从圆筒状的孔的外侧利用照相机等装置进行拍摄的检查方法、将在前端安装有光学元件等的筒状的检查探测器***于圆筒状的孔中，利用照相机、激光进行内表面的检查的检查方法等。
在上述各种检查方法中，为了能够高速地检查小径孔的内部表面，提出了如下方法，即，使激光向检查对象的孔的内表面照射，对其反射光的强度进行测定，由此对检查对象的孔的内表面的伤痕的有无等进行检查(例如参照专利文献1)。
该专利文献1中公开了以如下方式构成的表面检查装置，即，使激光通过旋转自由地安装于具有激光振荡器的主体部的旋转筒体内的光引导空间向被检查体表面照射，经由配置于旋转筒体内的多根光纤向主体部侧的判定处理装置传输来自被检查体表面的反射激光。关于该表面检查装置，通过检测反射激光的强度的变化而判定检查对象的圆筒内表面的伤痕等的有无。
专利文献1：日本特许第5265290号公报
发明内容
关于上述这样的当前的检查装置，形成为如下构造，即，利用由设置于作为检查探测器的旋转筒体内的多根光纤构成的光纤束，传输来自圆筒内表面的反射光并传输至光电二极管等光检测元件。
然而，光纤由芯体和包层构成，仅对由芯体部分接收到的反射光进行传输。另外，在筒状的旋转筒体内与用于使向检查对象面照射的照射光通过的光路不同地设置有用于传输反射光的光纤束的情况下，为了确保使照射光通过的光路而形成为中空构造，需要使用管状的加强部件。
其结果，相对于旋转筒体的剖面积的反射光的有效受光面积会减小。因此，传输的反射光的强度无论如何都会减弱，需要将用于检测反射光的强度的光电变换传感器等设为灵敏度较高的结构。
另外，因在旋转筒体内设置光纤束、管状的加强部件等，还产生检查探测器的构造变得复杂、制造耗费劳力、成本提升等问题。
并且，关于构成光纤束的多根光纤，在接收反射光的光纤产生偏差的情况下，因与光电变换传感器的位置关系而受光灵敏度会发生变化，从而有可能无法进行准确的检查。
本发明的目的在于提供一种圆筒内表面检查装置，与在检查探测器内利用光纤束使反射光传输的结构相比，能够增加传输的反射光的光量，并且能够简化检查探测器的构造。
本发明具有：激光发光装置，其产生用于向圆筒状的检查对象物的内表面照射的激光；
检查探测器，其由管状部件、圆筒状的外装部件以及反射部件构成，所述管状部件将来自所述激光发光装置的激光作为照射光而经由中空区域进行传输，由透明材料形成，所述外装部件在内部对所述管状部件进行收容，所述反射部件设置于所述外装部件的前端部，所述检查探测器将所述照射光经由所述管状部件的中空区域传输至前端部，利用设置于该前端部的所述反射部件使所述照射光反射，由此将所述照射光向检查对象物的内表面照射，利用所述反射部件使从检查对象物的内表面反射的反射光反射并经由所述管状部件的除了中空区域以外的区域进行传输；
旋转装置，其使所述检查探测器旋转；
光电变换部，其将从与所述检查探测器的前端部相反侧的所述管状部件的端面射出的反射光变换为电信号；以及
移动装置，其使由所述激光发光装置、所述检查探测器、所述旋转装置以及所述光电变换部构成的主体部移动。
根据本发明的圆筒内表面检查装置，检查探测器由管状部件、外装部件以及反射部件构成，因此与将多根光纤集束而构成的当前的检查探测器相比，能够简化检查探测器的构造。另外，根据本发明的圆筒内表面检查装置，形成为在管状部件的整个端面接收反射光的构造，因此与利用多根光纤接收反射光的情况相比，受光面积增大，能够增加传输的反射光的光量。
另外，关于本发明的其他圆筒内表面检查装置，所述光电变换部由如下基板状部件构成，即，设置有用于使来自所述激光发光装置的激光通过的孔，在该孔的周围安装有光电变换传感器，该光电变换传感器配置为处于接近与所述检查探测器的前端部相反侧的所述玻璃管的端面的位置。
另外，关于本发明的其他圆筒内表面检查装置，可以在所述玻璃管的中空区域设置用于将来自所述激光发光装置的激光传输至所述检查探测器的前端部的光纤。
并且，关于本发明的其他圆筒内表面检查装置，所述管状部件可以由圆筒状的玻璃管构成，该玻璃管由石英玻璃构成。
发明的效果
根据本发明，能够获得能提供如下圆筒内表面检查装置的效果，即，与在检查探测器内利用光纤束对反射光进行传输的结构相比，能够增加传输的反射光的光量，并且能够简化检查探测器的构造。
附图说明
图1是用于对本发明的一个实施方式的圆筒内表面检查装置10的概略结构进行说明的斜视图。
图2是表示从横向观察本发明的一个实施方式的圆筒内表面检查装置10的情况下的外观的图。
图3是用于对图2所示的主体部11的结构的详情进行说明的图。
图4是用于对在高速旋转的状态下利用升降装置14使检查探测器12在检查对象物80的孔内上下移动的情形进行说明的图。
图5是表示在检查对象物80的检查对象面没有伤痕等异常的情况下的反射光/散射光的情形的图(图5(A))、以及表示存在伤痕等异常的情况下的反射光/散射光的情形的图(图5(B))。
图6是用于对图2、图3等中示出的检查探测器12的构造进行说明的图。
图7是检查探测器12以及光电变换部17的剖面图。
图8是用于对图7所示的开孔基板71的构造进行说明的斜视图。
图9是用于对不利用小型的光电变换传感器72构成的情况下的光电变换部的一个例子即光电变换部117的结构进行说明的图。
图10是用于对利用图7所示的检查探测器12传输反射光102的情形进行说明的图。
图11是表示利用除了圆柱状的玻璃管61以外的玻璃管构成的检查探测器12A的结构的图。
图12是表示利用光纤构成的检查探测器112的图。
图13是用于对利用本发明的一个实施方式的检查探测器12的情况下和利用当前构造的检查探测器112的情况下传输的反射光102的光量的差异程度如何进行说明的图。
图14是表示在玻璃管61的中空区域设置光纤这样的构造的检查探测器12B的图。
图15是图14所示的构造的检查探测器12B的剖面图。
具体实施方式
接下来，参照附图对本发明的实施方式详细进行说明。
图1是用于对本发明的一个实施方式的圆筒内表面检查装置10的概略结构进行说明的斜视图。
本实施方式的圆筒内表面检查装置10例如是用于对检查对象物80之类的圆筒状的物体的内表面(或内侧表面)的状态进行检查的装置。关于圆筒内表面检查装置10，在进行检查对象物80的内表面的状态的检查时，将检查探测器12***于检查对象物80的检查对象的孔。而且，该检查探测器12高速旋转且上下移动，由此扫描检查对象物80的整个内表面而进行检查。
此外，个人计算机等终端装置20与本实施方式的圆筒内表面检查装置10连接，进行圆筒内表面检查装置10的动作的控制、检查结果的显示等处理。这里，终端装置20是对圆筒内表面检查装置10进行控制的装置的一个例子，可以通过无线线路将智能手机、平板终端等各种装置与圆筒内表面检查装置10连接，进行圆筒内表面检查装置10的动作控制、检查结果的显示等处理。并且，还可以使进行圆筒内表面检查装置10的动作控制的控制部、显示检查结果的显示部等与圆筒内表面检查装置10构成为一体。
接下来，图2中示出了从横向观察本实施方式的圆筒内表面检查装置10的情况下的外观。如图2所示，本实施方式的圆筒内表面检查装置10由主体部11、检查探测器12、臂13、升降装置14、支柱15以及基座19构成。
支柱15垂直地支撑于基座19上。而且，在该支柱15配备有升降装置14，该升降装置14构成为沿着支柱15在上下方向上移动。而且，从升降装置14沿水平方向设置有臂13，在该臂13的前端安装有主体部11。
而且，在主体部11安装有在进行检查时高速旋转的检查探测器12。检查探测器12以大于或等于1000rpm、例如2000～4000rmp的高速而旋转。
此外，在检查探测器12的前端设置有用于射出激光的开口部，构成为该激光作为照射光而扫描检查对象物80的内表面。
另外，在终端装置20构成有控制部21、处理部22、显示部23。控制部21对圆筒内表面检查装置10的升降装置14、主体部11的动作进行控制。从主体部11输出的反射光的强度信号输入至处理部22，该处理部22进行判定检查对象物80的内表面是否存在伤痕等的判定处理。显示部23对处理部22的判定结果进行显示。
此外，处理部22监控来自检查对象物80的内表面的反射光的强度的增减，例如，在反射光的强度以大于或等于预先设定的值的值而增加或减小的情况下，判定为在检查对象物80的内表面附着有伤痕或异物等。这里，处理部22并不是监控反射光的受光强度的值本身，还以检查中的受光强度的连续性等为判定基准而进行有无伤痕等的判定。
接下来，参照图3对图2所示的主体部11的结构详细进行说明。
如图3所示，除了检查探测器12以外，主体部11还具有激光发光装置16、光电变换部17以及中空电机18。
激光发光装置16产生用于向圆筒状的检查对象物的内表面照射的激光。
中空电机18是旋转轴为中空构造的电机，且是通过将检查探测器12***于该中空部分而使检查探测器12旋转的旋转装置。此外，在本实施方式中，利用通过中空电机18使检查探测器12旋转的构造进行说明，但旋转装置并不限定于这种构造，也可以采用如下结构的旋转装置，即，利用电机使带轮旋转，将该带轮的旋转力传递至检查探测器12而使检查探测器12旋转。
光电变换部17将从检查探测器12的前端部的相反侧的端面射出的反射光变换为电信号。表示利用该光电变换部17变换后的反射光的强度的电信号传送至终端装置20的处理部22。
而且，由激光发光装置16、检查探测器12、中空电机18以及光电变换部17构成的主体部11形成为如下结构，即，通过臂13而与升降装置14连接，通过升降装置14而上下移动。
此外，在本实施方式中，对利用升降装置14使主体部11上下移动而进行检查的情况下的结构进行说明，但也可以将臂13、升降装置14、支柱15等置换为机械臂而构成。另外，在检查对象的孔处于水平方向的情况下，有时以横卧的状态而使用装置，在这种情况下，使主体部11沿水平方向移动。即，升降装置14只要作为使主体部11移动的移动装置而起作用即可。
另外，如图3所示，形成为如下结构，即，利用激光发光装置16生成的激光作为照射光101而从光电变换部17通过，从检查探测器12内的中空区域通过并到达检查探测器12的前端部为止，在该前端部反射而使得方向发生变化，向检查对象物80的内表面照射。而且，形成为如下结构，即，在检查对象物80的内表面反射的反射光102在检查探测器12内传输并到达光电变换部17。后文中对该检查探测器12、光电变换部17的详细构造进行叙述。
接下来，参照图4、图5对利用本实施方式的圆筒内表面检查装置10进行检查对象物80的内表面的检查时的情形进行说明。
在进行检查对象物80的内表面的检查的情况下，如图4所示，检查探测器12在高速旋转的状态下，通过升降装置14而在检查对象物80的孔内上下移动。因此，来自检查探测器12的照射光101对检查对象物80的整个内表面进行扫描。
接下来，图5(A)、图5(B)中分别示出了在检查对象物80的内表面、即检查对象面没有伤痕等异常的情况下的反射光/散射光的情形、以及存在伤痕等异常的情况下的反射光/散射光的情形。
参照图5(A)可知，在检查对象物80的检查对象面没有伤痕等异常的情况下，照射光101在照射点均匀地反射或散射。与此相对，参照图5(B)可知，在检查对象物80的检查对象面存在伤痕等异常的情况下，照射光101在照射点并未均匀地反射或散射，而是向特定的方向反射或散射。
即，在使得照射光101对检查对象物80的检查对象面进行扫描的情况下，在存在伤痕等异常的部位处反射光的强度发生变化。因此，处理部22检测出该变化而判定为在检查对象物80的检查对象面存在某种异常。
接下来，对图2、图3等中示出的检查探测器12的构造进行说明。
本实施方式的检查探测器12如图6所示，通过将由石英玻璃(二氧化硅玻璃)构成的圆筒状的中空的玻璃管61***于由不锈钢等构成的圆筒状的外装部件62而构成。
这里，石英玻璃是指几乎不含有杂质、且由成分大致为100％的SiO2(二氧化硅)构成的玻璃。与通常的玻璃相比，该石英玻璃具有透明度极高、透光率非常高的特性。另外，与通常的玻璃相比，石英玻璃还具有耐热性、耐药性优异的特性。
玻璃管61由具有这种特性的石英玻璃构成，从而与由通常的玻璃构成的玻璃管相比，反射光102的传输率较高。
此外，在外装部件62的前端部设置有用于射出照射光101、且使得反射光102射入的开口部63。
接下来，图7中示出了这种构造的检查探测器12以及光电变换部17的剖面图。此外，图7是用于对装置结构的概略结构进行说明的图，因此缩短省略示出纵向的尺寸。
玻璃管61将来自激光发光装置16的激光作为照射光101而经由中空区域传输至前端部。如图6中说明的那样，外装部件62在内部对玻璃管61进行收容。此外，玻璃管61通过粘接于外装部件62而固定于外装部件62，在利用中空电机18使外装部件62高速旋转的情况下，玻璃管61随着该旋转而高速旋转。
另外，作为反射部件的反射镜64以相对于水平方向倾斜45度的方式安装于外装部件62的前端部。因此，反射镜64对从玻璃管61的中空区域通过的照射光101进行反射而使其行进方向变化90度。因此，照射光101从开口部63射出而向检查对象物80的内表面照射。
这里，对反射镜64的设置角度设为45度而使照射光101的行进方向变化90度的情况进行说明，但有时也根据检查对象面而将反射镜64的设置角度设为除了45度以外的角度，使照射光101的行进方向向除了90度以外的方向变化。
并且，在检查对象物80的内表面反射的反射光102射入至该开口部63而由反射镜64反射，行进方向变化90度。而且，行进方向变化90度的反射光102经由玻璃管61的除了中空区域以外的区域、即由石英玻璃构成的区域而传输至光电变换部17。
通过形成为这种结构，检查探测器12将照射光101经由玻璃管61的中空区域而传输至前端部，通过设置于该前端部的反射镜64使其反射，由此使得照射光101向检查对象物80的内表面照射，利用反射镜64使从检查对象物80的内表面反射的反射光102反射，经由玻璃管61的除了中空区域以外的区域而传输至光电变换部17。
而且，光电变换部17由如下作为基板状部件的开孔基板71构成，即，设置有用于使得来自激光发光装置16的激光通过的孔，在该孔的周围安装有光电变换传感器72，光电变换传感器配置为处于接近与所述检查探测器的前端部相反侧的所述玻璃管的端面的位置。
接下来，参照图8的斜视图对图7所示的开孔基板71的构造进行说明。
关于开孔基板71，如图8所示，激光通过孔73设置于中心，在该激光通过孔73的左右分别安装有光电变换传感器72。该光电变换传感器72构成为由光电二极管或CMOS传感器构成的小型的受光元件即芯片部件。而且，光电变换传感器72构成为芯片部件而安装于激光通过孔73的附近的表面。
而且，作为光电变换传感器72而使用这种小型部件，从而能够将光电变换传感器72配置为接近玻璃管61的端面。从玻璃管61的端面射出的反射光扩散，因此如果玻璃管61的端面与光电变换传感器72之间的距离增大，则由光电变换传感器72接收的反射光的光量减少。因此，优选光电变换传感器72配置为尽量接近玻璃管61的端面。
例如，在光电变换传感器72的受光角度设为120度、且来自玻璃管61的端面的反射光102的出射角度设为120度的情况下，将光电变换传感器72配置于距玻璃管61的端面的距离小于或等于1mm、优选为0.6mm左右的位置。
在不使用这种小型的光电变换传感器72而要接收从玻璃管61的端面射出的反射光的情况下，光电变换部17的构造变得复杂。
作为光电变换部117，图9中示出了不使用小型的光电变换传感器72而构成的情况下的光电变换部的一个例子。
图9所示的光电变换部117由开孔镜74、聚光透镜75以及光电变换传感器76构成。关于该光电变换部117，光电变换传感器76构成为较大的部件，从而在利用开孔镜74对从玻璃管61射出的反射光进行反射之后，利用聚光透镜75进行聚光之后利用光电变换传感器76进行受光。
使用这样的并非小型的光电变换传感器76的光电变换部117形成为如上结构，从而部件数量增多，尺寸也增大。因此，不利于装置的小型化，另外，制造成本也会提升。
与此相对，本实施方式的圆筒内表面检查装置10的光电变换部17仅由图8所示的开孔基板71构成，因此还不需要聚光透镜之类的光学部件而能够实现小型化。
接下来，参照图10对利用图7所示的检查探测器12传输反射光102的情形进行说明。
参照图10可知，从检查探测器12的一端射入的反射光102在检查探测器12内的玻璃管61的除了中空区域以外的区域、即由石英玻璃构成的区域内传输。此外，图10中示出了以直线状对射入至玻璃管61内的反射光102进行传输的情况，但实际上反复在玻璃管61内表面反射并在玻璃管61内扩散传输，因此在从玻璃管61的相反侧的端面射出时在面包圈状的端面均匀地射出。即，受光灵敏度不会因光电变换传感器72和玻璃管61的位置关系而受到影响。
另外，玻璃管61的端面越是平面(镜面)，则光电变换传感器72的受光量相应地越增加。而且，通过将玻璃管61的端面设为磨砂玻璃(粗糙面)而能够使得散射光的偏差进一步平均化。但是，将玻璃管61的端面设为磨砂玻璃会使得光电变换传感器72的受光量减少。
例如，在对某个恒定的反射光102进行传输的情况下，在通过将玻璃管61的两端的端面设为磨砂玻璃而使得光电变换传感器72的受光量变为0.3mW的情况下，通过将两端的端面设为镜面而能够使得受光量增加至0.8mW。
此外，关于本实施方式的检查探测器12，对使用具有中空区域的圆柱状的玻璃管61的情况下的结构进行了说明，但玻璃管61并不限定于圆柱状的结构。
图11中示出了利用除了圆柱状的玻璃管61以外的玻璃管构成的检查探测器的一个例子即检查探测器12A的结构。关于图11所示的检查探测器12A，形成为6棱柱状的玻璃管61A收容于外装部件62的结构。此外，为了使接收扩散光102的受光面积实现最大化，在采用本实施方式中使用的圆柱状的玻璃管61的情况下最有利。
接下来，对本实施方式的圆筒内表面检查装置10中使用玻璃管61构成检查探测器12的效果进行说明。
首先，为了进行比较，图12中示出了如上述说明的专利文献1所示那样利用光纤构成的检查探测器112。
图12所示的检查探测器112形成为如下结构，即，在外装部件62中设置有例如由铝制的管等构成的内侧加强部件91，在该内侧加强部件91与外装部件62之间设置有多根光纤92。
而且，光纤92分别由芯体93和包层94构成，并且构成为芯体93和包层94的折射率不同，从而射入至芯体93内的光在芯体93和包层94的边界部分大部分发生全反射而在芯体93内传输。即，在光纤92中，为了对光进行传输而使用芯体93部分。
这样，关于对图12所示的光纤92进行集束而构成的当前构造的检查探测器112，为了确保照射光101通过的区域而需要内侧加强部件91，并且能够将接收到的反射光102传输至另一端的受光区域仅为光纤92的芯体93部分，因此能够有效地接收反射光102的受光面积与本实施方式的检查探测器12相比而变窄。
对图10所示的本实施方式的检查探测器12和利用图12所示的光纤92的光纤束的检查探测器112进行比较可知，图10中的玻璃管61的剖面积变为图12中的多根光纤92的芯体93部分的剖面积的合计值的几倍的面积。
此外，本实施方式中的玻璃管61的外径为3mm，内径为1mm，外装部件62的外径为5mm，内径为3mm。
这里，难以计算出当前构造的检查探测器112的光纤92的芯体93区域的剖面积的合计值，因此难以计算出本实施方式的检查探测器12的受光面积与当前构造的检查探测器112的受光面积之差。然而，关于当前构造的检查探测器112，即使在省略内侧加强部件91等而简单地计算的情况下，本实施方式的检查探测器12的受光面积相对于当前构造的检查探测器112的受光面积也至少达到大于或等于4倍的面积。
此外，与由芯体93和包层94构成的光纤92相比，仅由石英玻璃构成的玻璃管61的传输率较低。
然而，本实施方式的检查探测器12的受光面积远大于如上述的当前构造的检查探测器112的受光面积，因此传输至光电变换部17的反射光102的光量与利用当前构造的检查探测器112的情况相比而增多。
参照图13，对利用本发明的检查探测器12的情况下和利用当前构造的检查探测器112的情况下传输的反射光102的光量的差异程度如何进行说明。
这里，假定本实施方式的检查探测器12的反射光102的受光面积设为100、且当前构造的检查探测器112的受光面积设为其4分之1的25而进行说明。另外，假定本实施方式的检查探测器12的传输率设为80％、且当前构造的检查探测器112的传输率设为98％而进行说明。
关于本实施方式的检查探测器12，在以100的光量而接收反射光102的情况下，传输率为80％，因此以80的光量传输至光电变换部17。
与此相对，关于当前构造的检查探测器112，无法仅以25的光量接收反射光102，因此即使传输率为98％，传输至光电变换部17的反射光102的光量也为24.5。
即，参照图13，对于使用光纤92的当前构造的检查探测器112，即使提高了传输率，本实施方式的检查探测器12的受光面积也压倒性地增大，因此本实施方式的检查探测器12的传输至光电变换部17的光量增多。
其结果，对于本实施方式的圆筒内表面检查装置10中使用的光电变换传感器72要求的灵敏度也无需那么高。其结果，对于光电变换传感器72还可以使用芯片部件之类的小型部件。
并且，如图6中说明的那样，仅将玻璃管61***固定于外装部件62便能够制作本实施方式的检查探测器12。与此相对，关于当前构造的检查探测器112，如图12所示，需要将光纤92的光纤束***于外装部件62内、且将内装加强部件91***并以能够高速旋转的方式将它们固定。
这样，本实施方式的检查探测器12与当前构造的检查探测器112相比，构造得到简化，其结果，与当前构造的检查探测器112相比，制造工序数减少，制造成本也变得便宜。
此外，关于上述说明的本实施方式的圆筒内表面检查装置10，使来自激光发光装置16的激光从检查探测器12内的玻璃管61的中空区域通过并到达前端部的反射镜64。
还可以取代上述构造，形成为在玻璃管61的中空区域设置用于将来自激光发光装置16的激光传输至检查探测器12的前端部的光纤的构造。
作为检查探测器12B，图14中示出了上述构造的检查探测器的一个例子。
关于图14所示的检查探测器12B，在玻璃管61的中空区域内设置有光纤65，并设置有用于使得从该光纤65射出的照射光101汇聚的聚光透镜66。利用聚光透镜66汇聚的照射光101由反射镜64反射并从开口部63通过而向检查对象物80照射。
图15中示出了图14所示的构造的检查探测器12B的剖面图。参照图15可知，检查探测器12B形成为在玻璃管61的中心的中空区域内收容有光纤65的构造。
此外，在上述实施方式中，对利用玻璃管61构成检查探测器12的情况进行了说明，但也可以利用由丙烯酸树脂等透明度较高的透明材料形成的管状部件而构成检查探测器。
标号的说明
10 圆筒内表面检查装置
11 主体部
12、12A、12B 检查探测器
13 臂
14 升降装置
15 支柱
16 激光发光装置
17 光电变换部
18 中空电机
19 基座
20 终端装置
21 控制部
22 处理部
23 显示部
61、61A 玻璃管
62 外装部件
63 开口部
64 反射镜
65 光纤
66 聚光透镜
71 开孔基板
72 光电变换传感器
73 激光通过孔
74 开孔镜
75 聚光透镜
76 光电变换传感器
80 检查对象物
91 内侧加强部件
92 光纤
93 芯体
94 包层
101 照射光
102 反射光
112 检查探测器
117 光电变换部

Claims (4)

1.一种圆筒内表面检查装置，其中，
所述圆筒内表面检查装置具有：
激光发光装置，其产生用于向圆筒状的检查对象物的内表面照射的激光；
检查探测器，其由管状部件、圆筒状的外装部件以及反射部件构成，所述管状部件将来自所述激光发光装置的激光作为照射光而经由中空区域进行传输，由透明材料形成，所述外装部件在内部对所述管状部件进行收容，所述反射部件设置于所述外装部件的前端部，所述检查探测器将所述照射光经由所述管状部件的中空区域传输至前端部，利用设置于该前端部的所述反射部件使所述照射光反射，由此将所述照射光向检查对象物的内表面照射，并利用所述反射部件使从检查对象物的内表面反射的反射光反射而经由所述管状部件的除了中空区域以外的区域进行传输；
旋转装置，其使所述检查探测器旋转；
光电变换部，其将从与所述检查探测器的前端部相反侧的所述管状部件的端面射出的反射光变换为电信号；以及
移动装置，其使由所述激光发光装置、所述检查探测器、所述旋转装置以及所述光电变换部构成的主体部移动。
2.根据权利要求1所述的圆筒内表面检查装置，其中，
所述光电变换部由如下基板状部件构成，即，设置有用于使来自所述激光发光装置的激光通过的孔，在该孔的周围安装有光电变换传感器，该光电变换传感器配置为处于接近与所述检查探测器的前端部相反侧的所述管状部件的端面的位置。
3.根据权利要求1所述的圆筒内表面检查装置，其中，
在所述管状部件的中空区域设置有用于将来自所述激光发光装置的激光传输至所述检查探测器的前端部的光纤。
4.根据权利要求1所述的圆筒内表面检查装置，其中，
所述管状部件是由石英玻璃构成的圆筒状的玻璃管。
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