CN113862611A - 一种抗强碱的蓝宝石玻璃面板表面的镀膜方法 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及一种抗强碱的蓝宝石玻璃面板表面的镀膜方法,属于玻璃面板表面处理技术领域。为了解决现有的易脱和不耐腐蚀的问题,提供一种抗强碱的蓝宝石玻璃面板表面的镀膜方法,该方法包括将蓝宝石玻璃面板放入镀膜机的真空镀膜腔室内,抽真空,以硅铝混合物为靶源进行镀膜处理形成硅铝镀膜层;打开SiO2的靶源进行镀膜处理使在硅铝镀膜层表面形成SiO2镀膜层;关闭SiO2靶源,进行离子源清洗,再在SiO2镀膜层的表面进行镀膜处理形成防指纹AF膜层,得到镀膜后的蓝宝石玻璃面板。本发明能有效提升层间结合力的特性,实现兼具高附着力和耐强碱的性能。
Description
技术领域
本发明涉及一种抗强碱的蓝宝石玻璃面板表面的镀膜方法,属于玻璃面板表面处理技术领域。
背景技术
手机面板、表盖等穿戴智能电子产品的面板基材传统的是采用玻璃材质制成,存在易摔、强度不好、易划伤等问题,而蓝宝石材质是传统玻璃材质的强度8倍以上,还具有不易划伤等优点,同时,随着电子产品的发展,消费者对于产品的要求也越来越高,而电子产品在使用过程中通常也是触膜屏与使用者的手等进行接触,会产生指纹或因使用者的手汗等具有一定的腐蚀性,因影响显示面板,目前通常也是通过对表面进行镀膜形成不同性能要求的镀层,如增透层、防***层、耐碱性等,但是,由于蓝宝石材质的表面膜层结合度不好,在对其表面进行镀膜层,存在不易结合的问题。如现有文献中也有报道采用蓝宝石作为显示面板使用,在表面进行镀膜提高其使用性能,如现有专利文献(公开号:CN106886064A)公开的一种蓝宝石玻璃盖板,通过在蓝宝石基材的表面镀设高低折射率的镀膜层,来提高对光线的反射率,具有增透的性能。又如现有专利文献(公开号:CN111910152A)公开的一种盖板表面疏水抗碱的镀膜方法,通过在透明盖板表面镀设二氧化硅以及在其表面镀防指纹AF膜层,再镀碱金属的氟化物形成相应的表面疏水的抗碱盖板,但是,其主要是针对一般的传统玻璃的表面镀膜处理,如PMMA材料或亚克力制成的盖板,对于采用蓝宝石材质是仍存在镀膜之间不易结合的缺陷。
发明内容
本发明针对以上现有技术中存在的问题,提供一种抗强碱的蓝宝石玻璃面板表面的镀膜方法,解决的问题是如何实现结合力好和耐强碱腐蚀的性能。
本发明的目的是通过以下技术方案得以实现的,一种抗强碱的蓝宝石玻璃面板表面的镀膜方法,该方法包括以下步骤:
A、将清洁后待镀膜的蓝宝石玻璃面板放入镀膜机的真空镀膜腔室内,抽真空后,以硅铝混合物为靶源进行镀膜处理使在蓝宝石玻璃面板的正面进行镀膜形成硅铝镀膜层;
B、关闭硅铝混合物靶源,再打开SiO2的靶源进行镀膜处理使在硅铝镀膜层的表面形成SiO2镀膜层;
C、关闭SiO2靶源,通过将通入的氩气转换成离子束,使离子束打到SiO2镀膜层的表面进行离子源清洗,再在SiO2镀膜层的表面进行镀膜处理形成防指纹AF膜层,得到相应的镀膜后的蓝宝石玻璃面板。
通过在蓝宝石玻璃面板的表面先镀设一层硅铝混合的靶源进行镀膜,这样能使形成的镀膜层中混合含有硅和铝的成分,蓝宝石本身是以三氧化铝为主要成分,两个层间面之间相当于能够形成一定的界面相容性,这样能够使形成的硅铝镀膜层很好的附着的蓝宝石面板的表面,有效的实现提升层间结合力的特性,同时,由于采用的硅铝混合体系中含有硅成分,也能够使与外层的SiO2镀膜层(二氧化硅镀膜层)之间形成很好的层间的界面结合力,使采用酒精擦拭测试时膜层不会出现脱落的效果。另一方面,本发明在研究中发现如果在镀SiO2镀膜层后直接进行防指纹AF膜层的镀设,反而会影响防指纹AF膜层的性能和结合力问题,通过增加离子源清洗处理,使形成的离子束冲击到镀膜层的表面,能够改善SiO2镀膜层表面的能量分布和使后续AF膜层的镀膜过程中能增加反应气体的能量,且冲击过程中能避免前步镀膜过程中的物质残留在内部飘浮而吸附在SiO2镀膜层的表面或直接掺入到后续防指纹AF膜层,而影响到防指纹AF膜层的附着力,以及直接掺入到防指纹AF膜层内,破坏该防指纹AF膜层的连续性,改善膜层的硬度和抗强碱腐蚀的性能,实现兼具高附着力和耐强碱的性能,整体上能够有效避免采用酒精擦拭出现脱落的优点。上述的蓝宝石玻璃面板可以是智能产品如手机、平板电脑等电子产品的显示面可或手表的表盖等。
在上述抗强碱的蓝宝石玻璃面板表面的镀膜方法中,作为优选,步骤A中所述硅铝混合物含有以下质量百分数的成分:二氧化硅:92%~96%;三氧化铝:4.0%~8.0%。这里只需要含有少量的二氧化铝材料,在镀膜时就能够有效的实现与蓝宝石玻璃面板表面的界面的层间结合力,而含量高含量的二氧化硅材料则更能够保证其与外层的纯SiO2镀膜层的结合力,相当于通过该硅铝混合材料能够起到更有效的过渡结合的能力,通过相同材料之间的相互粘结性好的特性,实现有效的附着有蓝宝石玻璃面板的表面的性能。
在上述抗强碱的蓝宝石玻璃面板表面的镀膜方法中,作为优选,步骤C中所述离子源清洗的时间为5~7min。能够充分对膜层表面进行冲击活化表面能,更有利于实现膜层之间的结合力的效果。
在上述抗强碱的蓝宝石玻璃面板表面的镀膜方法中,作为优选,步骤C中所述离子源清洗结束后,关闭离子源停留3~5min后,再进行防指纹AF膜层的镀膜处理。
在上述抗强碱的蓝宝石玻璃面板表面的镀膜方法中,作为优选,步骤A中所述硅铝镀膜层的厚度为2~5nm。能够更有效的提升界面结合的性能。
在上述抗强碱的蓝宝石玻璃面板表面的镀膜方法中,作为优选,步骤C中所述防指纹AF膜层的镀膜处理采用氟化物的AF药剂进行蒸镀形成。由于本发明通过采用离子源清洗处理后,使后续形成的AF膜层具有高致密性和连续性,实现具有防指纹性能好的效果,且形成的连续的膜层及致密性的特性也实现具有较好的耐强碱的性能。这里的氟化物为含有氟素烷烃类材料;当然,这里的AF药剂也可以采用日本大金主剂和乙基全氟丁基醚的混合型氟聚合物,且两者的重量比为3~4:10~13。
在上述抗强碱的蓝宝石玻璃面板表面的镀膜方法中,作为优选,步骤A中所述硅铝镀膜层镀膜处理前先进行离子源清洗3~5min。能够使在镀膜前具有稳定的环境,有利于提升整体的镀膜效果。
在上述抗强碱的蓝宝石玻璃面板表面的镀膜方法中,作为优选,步骤B中所述SiO2镀膜层镀膜结束后,先在SiO2镀膜层表面镀设一层氧化镍镀膜层。作为进一步的优选,所述氧化镍镀膜层的厚度为1~2nm。
综上所述,与现有技术相比,本发明具有以下优点:
本发明能够使形成的硅铝镀膜层很好的附着的蓝宝石面板的表面,有效的实现提升层间结合力的特性,且能使形成的防指纹AF膜层具有连续性好,实现兼具高附着力和耐强碱的性能。
具体实施方式
下面通过具体实施例,对本发明的技术方案作进一步具体的说明,但是本发明并不限于这些实施例。
实施例1
将待加工的透明的蓝宝石玻璃面板(手表的表盖盖板)进行除污、除油后,再进行超声波清洗并干燥,得到清洁后的蓝宝石面板,将清洁后待镀膜的蓝宝石玻璃面板放入电子束蒸镀机(2050镀膜机)的真空镀膜腔室内,进行抽真空后,待真空值小于或等于2.0x10-5托,启动霍尔离子源(韩一2050机)进行等离子清洗,即打开电源,功率控制在5kw左右,通入氩气使生成等离子体形成等离子束,将等离子束打到蓝宝石玻璃面板表面进行离子源清洗8分钟,清洗结束后,关闭氩气和霍尔离子源机,等待3分钟后,再保持抽真空,使真空镀膜腔室内抽真空到小于或等于2.0x10-5托,待稳定后,控制温度在60℃~65℃,采用电子枪将硅铝镀膜层的靶源硅铝混合物进行蒸发后,使以纳米级分子形式沉积在蓝宝石玻璃面板的表面形成相应的纳米级的硅铝镀膜层,厚度控制在5nm,这里的靶源硅铝混合物中二氧化硅和三氧化铝的混合物,且二氧化硅的含量为96%,三氧化铝的含量为4.0%;相当于形成的硅铝镀膜层中两种成分的含量比例,沉积结束后;
关闭硅铝混合物靶源,保持通入氧气和氩气,再打开SiO2的靶源,进行镀膜处理使在硅铝镀膜层的表面形成SiO2镀膜层,膜层的厚度控制为16nm,沉积结束后,关闭SiO2靶源,以及关闭氧气通入,再启动霍尔离子源(韩一2050机)进行等离子清洗,即打开电源,功率控制在5kw左右,通入氩气使生成等离子体形成等离子束,将等离子束打到SiO2镀膜层表面进行离子源清洗3分钟,清洗结束后,关闭氩气和霍尔离子源机后,先停留3min后进行操作,继续保持抽真空到小于或等于2.0x10-5托,待稳定后,采用电阻蒸发的蒸镀方式将AF药剂蒸发沉积在SiO2镀膜层的表面形成相应的防指纹AF膜层,控制膜层的厚度为16nm,这里的AF药剂采用的材料为含有氟化物的AF药剂,氟化物为氟素烷烃类材料,这里的氟类烷烃类材料为以下重量份的成分组成1,1,1,2,3,3,3-七氟-2-(乙氧基二氟代甲基)-丙烷:1.0~1.5;1,1,2,2,3,3,4,4,4-九氟-1-乙氧基-己烷:1.2~1.8,结束后,关闭靶源,降温,排空后,取出,得到镀膜后的蓝宝石玻璃面板。
进行表面性能测试,结果表明,具有高耐强碱性能,且经过7000次/往返的橡皮摩擦,不脱落的效果,也表明具有较好的耐磨性能。
采用无纺布浸泡酒精后,对蓝宝石玻璃面板的镀膜层表面进行擦拭,结果表明镀膜层没有出现脱落或破损现象,说明具有较好的附着结合力的效果。
上述抗pH值耐强碱性能测试采用的碱性汗液采用以下条件如下:
a准备好汗液调试材料冰乙酸、氯化钠、无水磷酸氢二钠、氢氧化钠;
b分别取5g氯化钠(分析纯)和5g无水磷化氢二钠(分析纯)并加入到250ml的A烧杯中(烧杯中无水);
c用量筒取100ml的纯水(PH7.0)并倒入烧杯中;
d用离子搅拌机搅拌溶液使固体充分溶解,肉眼看不见明显颗粒物;
e用吸管小心的向混合溶剂中滴入氢氧化钠溶液(95ml的纯水,5g氢氧化钠(分析纯)调配)使其pH值达到9.5或继续调至10.5;将混合溶液倒50ml进入B烧杯中,B烧杯溶液即为所需碱性汗液。
以下实施例中的抗pH值耐强碱性能测试采用相同的碱性汗液进行测试。
实施例2
将待加工的透明的蓝宝石玻璃面板(手表的表盖盖板)进行除污、除油后,再进行超声波清洗并干燥,得到清洁后的蓝宝石面板,将清洁后待镀膜的蓝宝石玻璃面板放入电子束蒸镀机(2050镀膜机)的真空镀膜腔室内,进行抽真空后,待真空值小于或等于2.0x10-5托,启动离子源进行等离子清洗,即打开电源,功率控制在5kw左右,通入氩气使生成等离子体,进行离子源清洗10分钟,清洗结束后,关闭氩气,等待5分钟后,再保持抽真空,将真空镀膜腔室内抽真空到小于或等于2.0x10-5托,待稳定后,控制温度在60℃~65℃,采用电子枪将硅铝镀膜层的靶源硅铝混合物进行蒸发后,使以纳米级分子形式沉积在蓝宝石玻璃面板的表面形成相应的纳米级的硅铝镀膜层,厚度控制在2nm,这里的靶源硅铝混合物中二氧化硅和三氧化铝的混合物,且二氧化硅的含量为92%,三氧化铝的含量为8.0%;相当于形成的硅铝镀膜层中两种成分的含量比例,沉积结束后;
关闭硅铝混合物靶源,保持通入氧气和氩气,再打开SiO2的靶源,进行镀膜处理使在硅铝镀膜层的表面形成SiO2镀膜层,膜层的厚度控制为18nm,沉积结束后,关闭SiO2靶源,以及关闭氧气通入,再通入氩气使生成等离子体,进行离子源清洗7min后,结束后,关闭离子源后,先停留3min后进行操作,继续保持抽真空到小于或等于2.0x10-5托,待稳定后,采用电阻蒸发的蒸镀方式将AF药剂蒸发沉积在SiO2镀膜层的表面形成相应的防指纹AF膜层,控制膜层的厚度为20nm,这里的AF药剂采用的材料为含有氟化物的AF药剂,AF药剂为日本大金主剂和乙基全氟丁基醚的混合型氟聚合物,且两者的重量比为3~4;10~13,结束后,关闭靶源,降温,排空后,取出,得到镀膜后的蓝宝石玻璃面板。
进行表面性能测试,结果表明,具有高抗pH值9.5时的耐强碱性能,且经过7000次/往返的橡皮摩擦,不脱落的效果,也表明具有较好的耐磨性能。
采用无纺布浸泡酒精后,对蓝宝石玻璃面板的镀膜层表面进行擦拭,结果表明镀膜层没有出现脱落或破损现象,说明具有较好的附着结合力的效果。
实施例3
将待加工的透明的蓝宝石玻璃面板(手表的表盖盖板)进行除污、除油后,再进行超声波清洗并干燥,得到清洁后的蓝宝石面板,将清洁后待镀膜的蓝宝石玻璃面板放入电子束蒸镀机(2050镀膜机)的真空镀膜腔室内,进行抽真空后,待真空值小于或等于2.0X10-5托,启动离子源进行等离子清洗,即打开电源,功率控制在5kw左右,通入氩气使生成等离子体,进行离子源清洗10分钟,清洗结束后,关闭氩气,等待5分钟后,再进行抽真空,将真空镀膜腔室内抽真空到小于或等于2.0X10-5托,待稳定后,控制温度在60℃~65℃,采用电子枪将硅铝镀膜层的靶源硅铝混合物进行蒸发后,使以纳米级分子形式沉积在蓝宝石玻璃面板的表面形成相应的纳米级的硅铝镀膜层,厚度控制在4nm,这里的靶源硅铝混合物中二氧化硅和三氧化铝的混合物,且二氧化硅的含量为95%,三氧化铝的含量为5.0%;相当于形成的硅铝镀膜层中两种成分的含量比例,沉积结束后;
关闭硅铝混合物靶源,保持通入氧气和氩气,再打开SiO2的靶源,进行镀膜处理使在硅铝镀膜层的表面形成SiO2镀膜层,膜层的厚度控制为17nm,沉积结束后,关闭SiO2靶源,以及关闭氧气通入,再通入氩气使生成等离子体,进行离子源清洗6min后,结束后,关闭离子源后,先停留3min后进行操作,继续保持抽真空到小于或等于2.0x10-5托,待稳定后,采用电阻蒸发的蒸镀方式将AF药剂蒸发沉积在SiO2镀膜层的表面形成相应的防指纹AF膜层,控制膜层的厚度为18nm,这里的AF药剂采用的材料为含有氟化物的AF药剂,AF药剂为日本大金主剂和乙基全氟丁基醚的混合型氟聚合物,且两者的重量比为3~4;10~13,结束后,关闭靶源,降温,排空后,取出,得到镀膜后的蓝宝石玻璃面板。
进行表面性能测试,结果表明,具有高抗pH值9.5时的耐强碱性能,且经过7000次/往返的橡皮摩擦,不脱落的效果,也表明具有较好的耐磨性能。
采用无纺布浸泡酒精后,对蓝宝石玻璃面板的镀膜层表面进行擦拭,结果表明镀膜层没有出现脱落或破损现象,说明具有较好的附着结合力的效果。
实施例4
将待加工的透明的蓝宝石玻璃面板(手表的表盖盖板)进行除污、除油后,将蓝宝石玻璃面板先浸泡在酸性浸泡液中进行处理20分钟,这里的浸泡液包括以下成分的质量百分数:
盐酸:22%~25%;磷酸:11%~12%;醋酸:4%~6%;氯化钠:1%~2%,余量为纯水;浸泡目的在于能一定程度上活化表面能,及使表面具有表面粗糙度,更好的提升其与硅铝镀镀膜层的附着能力;
浸泡结束后,先用清水冲冼至中性,然后进行超声波清洗并干燥,得到清洁后的蓝宝石面板,将清洁后待镀膜的蓝宝石玻璃面板放入电子束蒸镀机(2050镀膜机)的真空镀膜腔室内,进行抽真空后,待真空值小于或等于2.0x10-5托,启动离子源进行等离子清洗,即打开电源,功率控制在5kw左右,通入氩气使生成等离子体,进行离子源清洗9分钟,清洗结束后,关闭氩气,等待4分钟后,再保持进行抽真空,将真空镀膜腔室内抽真空到小于或等于2.0x10-5托,待稳定后,控制温度在60℃~65℃,采用电子枪将硅铝镀膜层的靶源硅铝混合物进行蒸发后,使以纳米级分子形式沉积在蓝宝石玻璃面板的表面形成相应的纳米级的硅铝镀膜层,厚度控制在3nm,这里的靶源硅铝混合物中二氧化硅和三氧化铝的混合物,且二氧化硅的含量为93%,三氧化铝的含量为7.0%;相当于形成的硅铝镀膜层中两种成分的含量比例,沉积结束后;
关闭硅铝混合物靶源,保持通入氧气和氩气,再打开SiO2的靶源,进行镀膜处理使在硅铝镀膜层的表面形成SiO2镀膜层,膜层的厚度控制为16nm,沉积结束后,关闭SiO2靶源,以及关闭氧气通入,再通入氩气使生成等离子体,进行离子源清洗5min后,结束后,关闭离子源后,先停留5min后进行操作,继续抽真空到小于或等于2.0x10-5托,待稳定后,采用电阻蒸发的蒸镀方式将AF药剂蒸发沉积在SiO2镀膜层的表面形成相应的防指纹AF膜层,控制膜层的厚度为18nm,这里的AF药剂采用的材料为含有氟化物的AF药剂,AF药剂为日本大金主剂和乙基全氟丁基醚的混合型氟聚合物,且两者的重量比为3~4;10~13,结束后,关闭靶源,降温,排空后,取出,得到镀膜后的蓝宝石玻璃面板。
进行表面性能测试,结果表明,具有高抗pH值9.5时的耐强碱性能,且经过8000次/往返的橡皮摩擦,不脱落的效果,也表明具有较好的耐磨性能。
采用无纺布浸泡酒精后,对蓝宝石玻璃面板的镀膜层表面进行擦拭,结果表明镀膜层没有出现脱落或破损现象,说明具有较好的附着结合力的效果。
实施例5
将待加工的透明的蓝宝石玻璃面板(手表的表盖盖板)进行除污、除油后,再进行超声波清洗并干燥,得到清洁后的蓝宝石面板,将清洁后待镀膜的蓝宝石玻璃面板放入电子束蒸镀机(2050镀膜机)的真空镀膜腔室内,进行抽真空后,待真空值小于或等于2.0x10-5托,启动离子源进行等离子清洗,即打开电源,功率控制在5kw左右,通入氩气使生成等离子体,进行离子源清洗8分钟,清洗结束后,关闭氩气,等待3分钟后,再进行抽真空,将真空镀膜腔室内抽真空到小于或等于2.0x10-5托,待稳定后,控制温度在60℃~65℃,采用电子枪将硅铝镀膜层的靶源硅铝混合物进行蒸发后,使以纳米级分子形式沉积在蓝宝石玻璃面板的表面形成相应的纳米级的硅铝镀膜层,厚度控制在5nm,这里的靶源硅铝混合物中二氧化硅和三氧化铝的混合物,且二氧化硅的含量为96%,三氧化铝的含量为4.0%;相当于形成的硅铝镀膜层中两种成分的含量比例,沉积结束后;
关闭硅铝混合物靶源,保持通入氧气和氩气,再打开SiO2的靶源,进行镀膜处理使在硅铝镀膜层的表面形成SiO2镀膜层,膜层的厚度控制为16nm,沉积结束后,关闭SiO2靶源;再打开氧化镍靶源,保持氧气和氩气通入,采用电子枪将氧化镍靶源进行蒸发,在SiO2镀膜层的表面沉积形成NiO镀膜层,厚度控制在2nm,结束后,关闭相应的靶源,以及关闭氧气通入,再通入氩气使生成等离子体,进行离子源清洗5min后,结束后,关闭离子源后,先停留3min后进行操作,继续保持抽真空到小于或等于2.0x10-5托,待稳定后,采用电阻蒸发的蒸镀方式将AF药剂蒸发沉积在二氧化硅镀膜层的表面形成相应的防指纹AF膜层,控制膜层的厚度为16nm,这里的AF药剂采用的材料为含有氟化物的AF药剂,AF药剂为日本大金主剂和乙基全氟丁基醚的混合型氟聚合物,且两者的重量比为3~4;10~13,结束后,关闭靶源,降温,排空后,取出,得到镀膜后的蓝宝石玻璃面板。
进行表面性能测试,结果表明,具有高抗pH值耐强碱性能,且经过8500次/往返的橡皮摩擦,不脱落的效果,也表明具有较好的耐磨性能。
采用无纺布浸泡酒精后,对蓝宝石玻璃面板的镀膜层表面进行擦拭,结果表明镀膜层没有出现脱落或破损现象,说明具有较好的附着结合力的效果。
比较例1
本比较例为了说明在蓝宝石玻璃面板表面先镀硅铝混合镀膜层对膜层整体结合力的影响,不进行该层镀膜,并对性能进行测试。
将待加工的透明的蓝宝石玻璃面板(手表的表盖盖板)进行除污、除油后,再进行超声波清洗并干燥,得到清洁后的蓝宝石面板,将清洁后待镀膜的蓝宝石玻璃面板放入电子束蒸镀机(2050镀膜机)的真空镀膜腔室内,进行抽真空后,待真空值小于或等于2.0x10-5托,启动离子源进行等离子清洗,即打开电源,功率控制在5kw左右,通入氩气使生成等离子体,进行离子源清洗10分钟,清洗结束后,关闭氩气,等待5分钟后,再进行抽真空,将真空镀膜腔室内抽真空到小于或等于2.0X10-5托,待稳定后,控制温度在60℃~65℃,再打开SiO2的靶源,进行镀膜处理使在蓝宝石玻璃面板的表面形成SiO2镀膜层,膜层的厚度控制为18nm,沉积结束后,关闭SiO2靶源,以及关闭氧气通入,再通入氩气使生成等离子体,进行离子源清洗7min后,结束后,关闭离子源后,先停留3min后进行操作,继续保持抽真空到小于或等于2.0X10-5托,待稳定后,采用电阻蒸发的蒸镀方式将AF药剂蒸发沉积在SiO2镀膜层的表面形成相应的防指纹AF膜层,控制膜层的厚度为20nm,这里的AF药剂采用的材料为含有氟化物的AF药剂,AF药剂为日本大金主剂和乙基全氟丁基醚的混合型氟聚合物,且两者的重量比为3~4;10~13,结束后,关闭靶源,降温,排空后,取出,得到镀膜后的蓝宝石玻璃面板。
进行表面性能测试,结果表明,具有高抗pH值9.5时的耐强碱性能,且经过7000次/往返的橡皮摩擦,有出现局部的脱落的效果,也表明不进行硅铝混合的镀膜层的处理,耐磨性明显下降。
采用无纺布浸泡酒精后,对蓝宝石玻璃面板的镀膜层表面进行擦拭,结果表明镀膜层整体出现局部脱落和破损现象,说明附着力受到较大的影响,也表明本发明能够有效的提升在蓝宝石玻璃表面的镀膜层的结合力。
比较例2
本比较例为了说明在蓝宝石玻璃面板表面二氧化硅镀膜层之后进行离子源清洗对结合力的影响,不进行该步的离子源清洗,并对性能进行测试。
将待加工的透明的蓝宝石玻璃面板(手表的表盖盖板)进行除污、除油后,再进行超声波清洗并干燥,得到清洁后的蓝宝石面板,将清洁后待镀膜的蓝宝石玻璃面板放入电子束蒸镀机(2050镀膜机)的真空镀膜腔室内,进行抽真空后,待真空值小于或等于2.0x10-5托,启动离子源进行等离子清洗,即打开电源,功率控制在5kw左右,通入氩气使生成等离子体,进行离子源清洗10分钟,清洗结束后,关闭氩气,等待5分钟后,再进行抽真空,将真空镀膜腔室内抽真空到小于或等于2.0x10-5托,待稳定后,控制温度在60℃~65℃,采用电子枪将硅铝镀膜层的靶源硅铝混合物进行蒸发后,使以纳米级分子形式沉积在蓝宝石玻璃面板的表面形成相应的纳米级的硅铝镀膜层,厚度控制在2nm,这里的靶源硅铝混合物中二氧化硅和三氧化铝的混合物,且二氧化硅的含量为92%,三氧化铝的含量为8.0%;相当于形成的硅铝镀膜层中两种成分的含量比例,沉积结束后;
关闭硅铝混合物靶源,再打开SiO2的靶源,进行镀膜处理使在硅铝镀膜层的表面形成SiO2镀膜层,膜层的厚度控制为18nm,沉积结束后,关闭SiO2靶源,继续保持抽真空状态,待稳定后,采用电阻蒸发的蒸镀方式将AF药剂蒸发沉积在SiO2镀膜层的表面形成相应的防指纹AF膜层,控制膜层的厚度为20nm,这里的AF药剂采用的材料为含有氟化物的AF药剂,AF药剂为日本大金主剂和乙基全氟丁基醚的混合型氟聚合物,且两者的重量比为3~4;10~13,结束后,关闭靶源,降温,排空后,取出,得到镀膜后的蓝宝石玻璃面板。
进行表面性能测试,结果表明,具有高抗pH值9.5时的耐强碱性能能保持,但经过7000次/往返的橡皮摩擦,AF膜层出现局部脱落或破损的缺陷,也表明具有较好的耐磨性能。
采用无纺布浸泡酒精后,对蓝宝石玻璃面板的镀膜层表面进行擦拭,结果表明AF膜层同样出现局部脱落或破损现象,说明附着结合力明显下降的效果。
本发明中所描述的具体实施例仅是对本发明精神作举例说明。本发明所属技术领域的技术人员可以对所描述的具体实施例做各种各样的修改或补充或采用类似的方式替代,但并不会偏离本发明的精神或者超越所附权利要求书所定义的范围。
尽管对本发明已作出了详细的说明并引证了一些具体实施例,但是对本领域熟练技术人员来说,只要不离开本发明的精神和范围可作各种变化或修正是显然的。
Claims (9)
1.一种抗强碱的蓝宝石玻璃面板表面的镀膜方法,其特征在于,该方法包括以下步骤:
A、将清洁后待镀膜的蓝宝石玻璃面板放入镀膜机的真空镀膜腔室内,抽真空后,以硅铝混合物为靶源进行镀膜处理使在蓝宝石玻璃面板的正面进行镀膜形成硅铝镀膜层;
B、关闭硅铝混合物靶源,再打开SiO2的靶源进行镀膜处理使在硅铝镀膜层的表面形成SiO2镀膜层;
C、关闭SiO2靶源,通过将通入的氩气转换成离子束,使离子束打到SiO2镀膜层的表面进行离子源清洗,再在SiO2镀膜层的表面进行镀膜处理形成防指纹AF膜层,得到相应的镀膜后的蓝宝石玻璃面板。
2.根据权利要求1所述抗强碱的蓝宝石玻璃面板表面的镀膜方法,其特征在于,步骤A中所述硅铝混合物含有以下质量百分数的成分:二氧化硅:92%~96%;三氧化铝:4.0%~8.0%。
3.根据权利要求1所述抗强碱的蓝宝石玻璃面板表面的镀膜方法,其特征在于,步骤C中所述离子源清洗的时间为5~7min。
4.根据权利要求3所述抗强碱的蓝宝石玻璃面板表面的镀膜方法,其特征在于,步骤C中所述离子源清洗结束后,关闭离子源停留3~5min后,再进行防指纹AF膜层的镀膜处理。
5.根据权利要求1-4任意一项所述抗强碱的蓝宝石玻璃面板表面的镀膜方法,其特征在于,步骤A中所述硅铝镀膜层的厚度为2~5nm。
6.根据权利要求1-4任意一项所述抗强碱的蓝宝石玻璃面板表面的镀膜方法,其特征在于,步骤C中所述防指纹AF膜层的镀膜处理采用氟化物的AF药剂进行蒸镀形成。
7.根据权利要求1-4任意一项所述抗强碱的蓝宝石玻璃面板表面的镀膜方法,其特征在于,步骤A中所述硅铝镀膜层镀膜处理前先进行离子源清洗3~5min。
8.根据权利要求1-4任意一项所述抗强碱的蓝宝石玻璃面板表面的镀膜方法,其特征在于,步骤B中所述SiO2镀膜层镀膜结束后,先在SiO2镀膜层表面镀设一层氧化镍镀膜层。
9.根据权利要求8所述抗强碱的蓝宝石玻璃面板表面的镀膜方法,其特征在于,所述氧化镍镀膜层的厚度为1~2nm。
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