CN113858463A - 一种太阳能级硅片用金刚石线切割机 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种太阳能级硅片用金刚石线切割机,包括切割箱,切割箱内设有切割腔,切割腔后壁上设有二个滑动槽,滑动槽内固定连接有导杆,导杆上滑动连接有电动滑轨;本发明通过过滤液压杆与挤压块间的配合,将硅材料切割时留下的碎屑通过冷却液进行冲洗,同时将碎屑进行过滤回收,避免碎屑掺杂在回收利用的冷却液中,引起设备使用寿命减短,利用密封板与阻尼液箱的配合,在线切割设备工作时,辅助其减振卸力,提高切割精度,还利用自吸泵与清洗喷头的配合,实时冲刷切割夹具,防止加工碎屑干扰切割,提高切割效率。
Description
技术领域
本发明涉及线切割机相关领域,具体为一种太阳能级硅片用金刚石线切割机。
背景技术
金刚石线切割机采用金刚石线单向循环或往复循环运动的方式 ,使金刚石线与被切割物件间形成相对的磨削运动,从而实现切割的目的,其切割原理与弓锯相仿,是加工硅片的重要工具。
而现有的金刚石线切割机在切割会产生振动,一定程度上影响了加工精度与效果,且对于切割硅材料而产生的碎屑没有妥善处理方式,容易引起堵塞以及设备损坏。
发明内容
本发明的目的是针对现有技术中存在的上述问题,提出了一种太阳能级硅片用金刚石线切割机,为了实现上述目的,本发明采用以下技术方案:
根据本发明的一种太阳能级硅片用金刚石线切割机,包括切割箱,所述切割箱内设有切割腔,所述切割腔后壁上设有二个滑动槽,所述滑动槽内固定连接有导杆,所述导杆上滑动连接有电动滑轨,所述电动滑轨前侧设有切割硅片的线切割机构,所述切割腔底壁上固定设有回收台,所述回收台内设有开口朝上的回收槽,所述回收槽底壁上固定设有过滤块,所述过滤块内设有开口朝上的过滤槽,所述过滤槽内设有过滤切割碎屑的过滤机构,所述切割腔左右内壁上位置对称设有二个固定架,所述固定架上设有缓冲槽,所述缓冲槽上下内壁间位置对称固定连接有二个缓冲弹簧,所述缓冲弹簧间设有能够减震的减震机构,所述切割腔顶壁上固定设有空气泵,所述空气泵左端面固定连接有送液管,所述送液管另一端固定连接有冷却喷头,所述冷却喷头固定设在所述切割腔后壁上,所述空气泵下端面固定连接有延伸至所述回收槽内的回收管。
优选的,所述线切割机构包括固定设在所述电动滑轨前端面的动力箱,所述动力箱内设有开口朝前的动力腔,所述动力箱前侧截面上密封有密封板,所述动力腔后壁上固定设有动力电机,所述动力电机前端面控制有贯穿所述密封板的动力轴,所述动力轴上固定连接有主动线轮,所述动力腔后壁上转动连接有贯穿所述密封板的从动轴,所述从动轴上固定连接有从动线轮,所述动力轴与所述从动轴通过带轮传动组件相互传动,所述主动线轮与从动线轮上缠绕有金刚石线,利用线切割机构对硅材料平稳切割,提高切割效率。
优选的,所述过滤机构包括固定设在所述过滤槽底壁上的过滤液压杆,所述过滤液压杆上端面固定连接有挤压块,所述挤压块上端面固定连接有夹持块,所述挤压块上设有左右位置对称的二个定位孔,所述过滤槽底壁上固定设有与所述定位孔位置对应的定位轴,利用过滤机构筛除加工碎屑,防止其干扰切割。
优选的,所述过滤块内左右位置对称设有二个与所述过滤槽连通的排出管,所述排出管内固定设有滤水膜,所述排出管下侧连通有回收管,所述回收管上固定设有手动阀,结构稳定。
优选的,所述减震机构包括固定连接在所述缓冲弹簧间的阻尼液箱,所述阻尼液箱内设有阻尼液腔,所述阻尼液腔内滑动连接有活塞块,所述活塞块上设有左右贯穿的滤孔,所述阻尼液箱左侧表面上设有与所述阻尼液腔连通的通孔,所述滤孔左端面固定连接有穿过所述通孔的活塞杆,所述活塞杆左端面固定连接有固定板,所述固定板间固定连接有所述密封板,利用减振机构实时减振,提高加工精度。
优选的,所述切割腔左壁上固定连接有固定支架,所述固定支架内穿过清洗管,所述清洗管下截面上固定连接有自吸泵,所述清洗管右侧固定连接有清洗喷头,所述切割箱前端面固定设有玻璃板,提高回收冷却液的纯净度。
本发明的有益效果是:
本发明通过过滤液压杆与挤压块间的配合,将硅材料切割时留下的碎屑通过冷却液进行冲洗,同时将碎屑进行过滤回收,避免碎屑掺杂在回收利用的冷却液中,引起设备使用寿命减短;
本发明利用密封板与阻尼液箱的配合,在线切割设备工作时,辅助其减振卸力,提高切割精度;
本发明还利用自吸泵与清洗喷头的配合,实时冲刷切割夹具,防止加工碎屑干扰切割,提高切割效率。
附图说明
图1是本发明的外观示意图;
图2是本发明的一种太阳能级硅片用金刚石线切割机整体结构示意图;
图3是本发明图2中动力腔的结构图;
图4是本发明图2中过滤槽的结构图;
图5是本发明图2中阻尼液腔的结构图。
具体实施方式
在本发明的描述中,需要说明的是,术语“内”、“下”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,或者是该发明产品使用时惯常摆放的方位或位置关系,仅是为了便于描述本发明和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本发明的限制。此外,术语“第一”、“第二”等仅用于区分描述,而不能理解为指示或暗示相对重要性,下面详尽说明该一种太阳能级硅片用金刚石线切割机的具体特征:
参照附图1-图5,根据本发明的实施例的一种太阳能级硅片用金刚石线切割机,包括切割箱11,所述切割箱11内设有切割腔12,所述切割腔12后壁上设有二个滑动槽13,所述滑动槽13内固定连接有导杆14,所述导杆14上滑动连接有电动滑轨15,所述电动滑轨15前侧设有切割硅片的线切割机构58,所述切割腔12底壁上固定设有回收台25,所述回收台25内设有开口朝上的回收槽26,所述回收槽26底壁上固定设有过滤块27,所述过滤块27内设有开口朝上的过滤槽28,所述过滤槽28内设有过滤切割碎屑的过滤机构59,所述切割腔12左右内壁上位置对称设有二个固定架38,所述固定架38上设有缓冲槽39,所述缓冲槽39上下内壁间位置对称固定连接有二个缓冲弹簧40,所述缓冲弹簧40间设有能够减震的减震机构60,所述切割腔12顶壁上固定设有空气泵48,所述空气泵48左端面固定连接有送液管49,所述送液管49另一端固定连接有冷却喷头50,所述冷却喷头50固定设在所述切割腔12后壁上,所述空气泵48下端面固定连接有延伸至所述回收槽26内的回收管52。
有益地,所述线切割机构58包括固定设在所述电动滑轨15前端面的动力箱16,所述动力箱16内设有开口朝前的动力腔17,所述动力箱16前侧截面上密封有密封板18,所述动力腔17后壁上固定设有动力电机19,所述动力电机19前端面控制有贯穿所述密封板18的动力轴20,所述动力轴20上固定连接有主动线轮21,所述动力腔17后壁上转动连接有贯穿所述密封板18的从动轴22,所述从动轴22上固定连接有从动线轮23,所述动力轴20与所述从动轴22通过带轮传动组件24相互传动,所述主动线轮21与从动线轮23上缠绕有金刚石线61,通过动力电机19驱动动力轴20转动,动力轴20带动主动线轮21转动,由于从动轴22通过带轮传动组件24与动力轴20摩擦传动,动力轴20带动从动轴22转动,从动轴22带动从动线轮23转动,主动线轮21与从动线轮23一起带动金刚石线61转动。
有益地,所述过滤机构59包括固定设在所述过滤槽28底壁上的过滤液压杆29,所述过滤液压杆29上端面固定连接有挤压块30,所述挤压块30上端面固定连接有夹持块31,所述挤压块30上设有左右位置对称的二个定位孔33,所述过滤槽28底壁上固定设有与所述定位孔33位置对应的定位轴32,通过过滤液压杆29带动挤压块30向下运动,挤压块30带动夹持块31向下运动。
有益地,所述过滤块27内左右位置对称设有二个与所述过滤槽28连通的排出管34,所述排出管34内固定设有滤水膜36,所述排出管34下侧连通有回收管35,所述回收管35上固定设有手动阀37,在挤压块30的挤压作用下,混合了加工碎屑的冷却液通过滤水膜36过滤排至回收槽26,并把加工碎屑筛除在回收管35内。
有益地,所述减震机构60包括固定连接在所述缓冲弹簧40间的阻尼液箱41,所述阻尼液箱41内设有阻尼液腔42,所述阻尼液腔42内滑动连接有活塞块43,所述活塞块43上设有左右贯穿的滤孔44,所述阻尼液箱41左侧表面上设有与所述阻尼液腔42连通的通孔47,所述滤孔44左端面固定连接有穿过所述通孔47的活塞杆45,所述活塞杆45左端面固定连接有固定板46,所述固定板46间固定连接有所述密封板18,通过固定板46带动活塞杆45左右往复振动,活塞杆45带动活塞块43左右振动,由于阻尼液腔42内充斥着阻尼液,通过滤孔44排挤阻尼液以缓冲振动,合理地进行卸力,同时密封板18产生的垂直方向的振动通过缓冲弹簧40进行缓冲卸力。
有益地,所述切割腔12左壁上固定连接有固定支架53,所述固定支架53内穿过清洗管54,所述清洗管54下截面上固定连接有自吸泵55,所述清洗管54右侧固定连接有清洗喷头56,所述切割箱11前端面固定设有玻璃板57,通过自吸泵55通过清洗管54将回收槽26内的冷却液输送至清洗喷头56内,并通过清洗喷头56进行冲洗定位孔33上表面的碎屑。
本发明的一种太阳能级硅片用金刚石线切割机,其工作流程如下:
工作人员预先在加液漏斗51内加入足量的冷却液,并且将待切割的太阳能级硅片放置在夹持块31上并夹紧,启动动力电机19,动力电机19驱动动力轴20转动,动力轴20带动主动线轮21转动,由于从动轴22通过带轮传动组件24与动力轴20摩擦传动,动力轴20带动从动轴22转动,从动轴22带动从动线轮23转动,主动线轮21与从动线轮23一起带动金刚石线61转动,同时,启动电动滑轨15,电动滑轨15在导杆14上缓缓向下运动,直至金刚石线61贴在切割的太阳能级硅片的表面上,并进行切割作业;
与此同时,启动空气泵48,空气泵48通过送液管49向冷却喷头50输送冷却液,在金刚石线61切割切割的太阳能级硅片时,冷却液充当介质以及冲刷切割下来的碎屑的作用,切割至一定深度后,夹持块31以及挤压块30上表面残留着大量的加工碎屑且冷却液在过滤槽28内累积一定深度,启动过滤液压杆29,过滤液压杆29带动挤压块30向下运动,挤压块30带动夹持块31向下运动直至过滤槽28内的冷却液浸没夹持块31表面,同时,在挤压块30的挤压作用下,混合了加工碎屑的冷却液通过滤水膜36过滤排至回收槽26,并把加工碎屑筛除在回收管35内,此时,空气泵48可通过回收管52抽取回收槽26内经过过滤的冷却液重复使用,同时启动自吸泵55,自吸泵55通过清洗管54将回收槽26内的冷却液输送至清洗喷头56内,并通过清洗喷头56进行冲洗定位孔33上表面的碎屑,也避免回收槽26内掺杂碎屑;
当金刚石线61切割太阳能级硅片而产生振动时,密封板18将振动传导至固定板46,固定板46带动活塞杆45左右往复振动,活塞杆45带动活塞块43左右振动,由于阻尼液腔42内充斥着阻尼液,通过滤孔44排挤阻尼液以缓冲振动,合理地进行卸力,同时密封板18产生的垂直方向的振动通过缓冲弹簧40进行缓冲卸力,保证切割的精度。
本领域的技术人员可以明确,在不脱离本发明的总体精神以及构思的情形下,可以做出对于以上实施例的各种变型。其均落入本发明的保护范围之内。本发明的保护方案以本发明所附的权利要求书为准。
Claims (6)
1.一种太阳能级硅片用金刚石线切割机,包括切割箱(11),其特征在于:所述切割箱(11)内设有切割腔(12),所述切割腔(12)后壁上设有二个滑动槽(13),所述滑动槽(13)内固定连接有导杆(14),所述导杆(14)上滑动连接有电动滑轨(15),所述电动滑轨(15)前侧设有切割硅片的线切割机构(58),所述切割腔(12)底壁上固定设有回收台(25),所述回收台(25)内设有开口朝上的回收槽(26),所述回收槽(26)底壁上固定设有过滤块(27),所述过滤块(27)内设有开口朝上的过滤槽(28),所述过滤槽(28)内设有过滤切割碎屑的过滤机构(59),所述切割腔(12)左右内壁上位置对称设有二个固定架(38),所述固定架(38)上设有缓冲槽(39),所述缓冲槽(39)上下内壁间位置对称固定连接有二个缓冲弹簧(40),所述缓冲弹簧(40)间设有能够减震的减震机构(60),所述切割腔(12)顶壁上固定设有空气泵(48),所述空气泵(48)左端面固定连接有送液管(49),所述送液管(49)另一端固定连接有冷却喷头(50),所述冷却喷头(50)固定设在切割腔(12)后壁上,所述空气泵(48)下端面固定连接有延伸至所述回收槽(26)内的回收管(52)。
2.根据权利要求1所述的一种太阳能级硅片用金刚石线切割机,其特征在于:所述线切割机构(58)包括固定设在所述电动滑轨(15)前端面的动力箱(16),所述动力箱(16)内设有开口朝前的动力腔(17),所述动力箱(16)前侧截面上密封有密封板(18),所述动力腔(17)后壁上固定设有动力电机(19),所述动力电机(19)前端面控制有贯穿所述密封板(18)的动力轴(20),所述动力轴(20)上固定连接有主动线轮(21),所述动力腔(17)后壁上转动连接有贯穿所述密封板(18)的从动轴(22),所述从动轴(22)上固定连接有从动线轮(23),所述动力轴(20)与所述从动轴(22)通过带轮传动组件(24)相互传动,所述主动线轮(21)与从动线轮(23)上缠绕有金刚石线(61)。
3.根据权利要求1所述的一种太阳能级硅片用金刚石线切割机,其特征在于:所述过滤机构(59)包括固定设在所述过滤槽(28)底壁上的过滤液压杆(29),所述过滤液压杆(29)上端面固定连接有挤压块(30),所述挤压块(30)上端面固定连接有夹持块(31),所述挤压块(30)上设有左右位置对称的二个定位孔(33),所述过滤槽(28)底壁上固定设有与所述定位孔(33)位置对应的定位轴(32)。
4.根据权利要求3所述的一种太阳能级硅片用金刚石线切割机,其特征在于:所述过滤块(27)内左右位置对称设有二个与所述过滤槽(28)连通的排出管(34),所述排出管(34)内固定设有滤水膜(36),所述排出管(34)下侧连通有回收管(35),所述回收管(35)上固定设有手动阀(37)。
5.根据权利要求2所述的一种太阳能级硅片用金刚石线切割机,其特征在于:所述减震机构(60)包括固定连接在所述缓冲弹簧(40)间的阻尼液箱(41),所述阻尼液箱(41)内设有阻尼液腔(42),所述阻尼液腔(42)内滑动连接有活塞块(43),所述活塞块(43)上设有左右贯穿的滤孔(44),所述阻尼液箱(41)左侧表面上设有与所述阻尼液腔(42)连通的通孔(47),所述滤孔(44)左端面固定连接有穿过所述通孔(47)的活塞杆(45),所述活塞杆(45)左端面固定连接有固定板(46),所述固定板(46)间固定连接有所述密封板(18)。
6.根据权利要求1所述的一种太阳能级硅片用金刚石线切割机,其特征在于:所述切割腔(12)左壁上固定连接有固定支架(53),所述固定支架(53)内穿过清洗管(54),所述清洗管(54)下截面上固定连接有自吸泵(55),所述清洗管(54)右侧固定连接有清洗喷头(56),所述切割箱(11)前端面固定设有玻璃板(57)。
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