CN113858463A

CN113858463A - 一种太阳能级硅片用金刚石线切割机

Info

Publication number: CN113858463A
Application number: CN202111291284.0A
Authority: CN
Inventors: 燕飞
Original assignee: Individual
Current assignee: Individual
Priority date: 2021-11-03
Filing date: 2021-11-03
Publication date: 2021-12-31

Abstract

本发明公开了一种太阳能级硅片用金刚石线切割机，包括切割箱，切割箱内设有切割腔，切割腔后壁上设有二个滑动槽，滑动槽内固定连接有导杆，导杆上滑动连接有电动滑轨；本发明通过过滤液压杆与挤压块间的配合，将硅材料切割时留下的碎屑通过冷却液进行冲洗，同时将碎屑进行过滤回收，避免碎屑掺杂在回收利用的冷却液中，引起设备使用寿命减短，利用密封板与阻尼液箱的配合，在线切割设备工作时，辅助其减振卸力，提高切割精度，还利用自吸泵与清洗喷头的配合，实时冲刷切割夹具，防止加工碎屑干扰切割，提高切割效率。

Description

一种太阳能级硅片用金刚石线切割机

技术领域

本发明涉及线切割机相关领域，具体为一种太阳能级硅片用金刚石线切割机。

背景技术

金刚石线切割机采用金刚石线单向循环或往复循环运动的方式，使金刚石线与被切割物件间形成相对的磨削运动，从而实现切割的目的，其切割原理与弓锯相仿，是加工硅片的重要工具。

而现有的金刚石线切割机在切割会产生振动，一定程度上影响了加工精度与效果，且对于切割硅材料而产生的碎屑没有妥善处理方式，容易引起堵塞以及设备损坏。

发明内容

本发明的目的是针对现有技术中存在的上述问题，提出了一种太阳能级硅片用金刚石线切割机，为了实现上述目的，本发明采用以下技术方案：

根据本发明的一种太阳能级硅片用金刚石线切割机，包括切割箱，所述切割箱内设有切割腔，所述切割腔后壁上设有二个滑动槽，所述滑动槽内固定连接有导杆，所述导杆上滑动连接有电动滑轨，所述电动滑轨前侧设有切割硅片的线切割机构，所述切割腔底壁上固定设有回收台，所述回收台内设有开口朝上的回收槽，所述回收槽底壁上固定设有过滤块，所述过滤块内设有开口朝上的过滤槽，所述过滤槽内设有过滤切割碎屑的过滤机构，所述切割腔左右内壁上位置对称设有二个固定架，所述固定架上设有缓冲槽，所述缓冲槽上下内壁间位置对称固定连接有二个缓冲弹簧，所述缓冲弹簧间设有能够减震的减震机构，所述切割腔顶壁上固定设有空气泵，所述空气泵左端面固定连接有送液管，所述送液管另一端固定连接有冷却喷头，所述冷却喷头固定设在所述切割腔后壁上，所述空气泵下端面固定连接有延伸至所述回收槽内的回收管。

优选的，所述线切割机构包括固定设在所述电动滑轨前端面的动力箱，所述动力箱内设有开口朝前的动力腔，所述动力箱前侧截面上密封有密封板，所述动力腔后壁上固定设有动力电机，所述动力电机前端面控制有贯穿所述密封板的动力轴，所述动力轴上固定连接有主动线轮，所述动力腔后壁上转动连接有贯穿所述密封板的从动轴，所述从动轴上固定连接有从动线轮，所述动力轴与所述从动轴通过带轮传动组件相互传动，所述主动线轮与从动线轮上缠绕有金刚石线，利用线切割机构对硅材料平稳切割，提高切割效率。

优选的，所述过滤机构包括固定设在所述过滤槽底壁上的过滤液压杆，所述过滤液压杆上端面固定连接有挤压块，所述挤压块上端面固定连接有夹持块，所述挤压块上设有左右位置对称的二个定位孔，所述过滤槽底壁上固定设有与所述定位孔位置对应的定位轴，利用过滤机构筛除加工碎屑，防止其干扰切割。

优选的，所述过滤块内左右位置对称设有二个与所述过滤槽连通的排出管，所述排出管内固定设有滤水膜，所述排出管下侧连通有回收管，所述回收管上固定设有手动阀，结构稳定。

优选的，所述减震机构包括固定连接在所述缓冲弹簧间的阻尼液箱，所述阻尼液箱内设有阻尼液腔，所述阻尼液腔内滑动连接有活塞块，所述活塞块上设有左右贯穿的滤孔，所述阻尼液箱左侧表面上设有与所述阻尼液腔连通的通孔，所述滤孔左端面固定连接有穿过所述通孔的活塞杆，所述活塞杆左端面固定连接有固定板，所述固定板间固定连接有所述密封板，利用减振机构实时减振，提高加工精度。

优选的，所述切割腔左壁上固定连接有固定支架，所述固定支架内穿过清洗管，所述清洗管下截面上固定连接有自吸泵，所述清洗管右侧固定连接有清洗喷头，所述切割箱前端面固定设有玻璃板，提高回收冷却液的纯净度。

本发明的有益效果是：

本发明通过过滤液压杆与挤压块间的配合，将硅材料切割时留下的碎屑通过冷却液进行冲洗，同时将碎屑进行过滤回收，避免碎屑掺杂在回收利用的冷却液中，引起设备使用寿命减短；

本发明利用密封板与阻尼液箱的配合，在线切割设备工作时，辅助其减振卸力，提高切割精度；

本发明还利用自吸泵与清洗喷头的配合，实时冲刷切割夹具，防止加工碎屑干扰切割，提高切割效率。

附图说明

图1是本发明的外观示意图；

图2是本发明的一种太阳能级硅片用金刚石线切割机整体结构示意图；

图3是本发明图2中动力腔的结构图；

图4是本发明图2中过滤槽的结构图；

图5是本发明图2中阻尼液腔的结构图。

具体实施方式

在本发明的描述中，需要说明的是，术语“内”、“下”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该发明产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性，下面详尽说明该一种太阳能级硅片用金刚石线切割机的具体特征：

参照附图1-图5，根据本发明的实施例的一种太阳能级硅片用金刚石线切割机，包括切割箱11，所述切割箱11内设有切割腔12，所述切割腔12后壁上设有二个滑动槽13，所述滑动槽13内固定连接有导杆14，所述导杆14上滑动连接有电动滑轨15，所述电动滑轨15前侧设有切割硅片的线切割机构58，所述切割腔12底壁上固定设有回收台25，所述回收台25内设有开口朝上的回收槽26，所述回收槽26底壁上固定设有过滤块27，所述过滤块27内设有开口朝上的过滤槽28，所述过滤槽28内设有过滤切割碎屑的过滤机构59，所述切割腔12左右内壁上位置对称设有二个固定架38，所述固定架38上设有缓冲槽39，所述缓冲槽39上下内壁间位置对称固定连接有二个缓冲弹簧40，所述缓冲弹簧40间设有能够减震的减震机构60，所述切割腔12顶壁上固定设有空气泵48，所述空气泵48左端面固定连接有送液管49，所述送液管49另一端固定连接有冷却喷头50，所述冷却喷头50固定设在所述切割腔12后壁上，所述空气泵48下端面固定连接有延伸至所述回收槽26内的回收管52。

有益地，所述线切割机构58包括固定设在所述电动滑轨15前端面的动力箱16，所述动力箱16内设有开口朝前的动力腔17，所述动力箱16前侧截面上密封有密封板18，所述动力腔17后壁上固定设有动力电机19，所述动力电机19前端面控制有贯穿所述密封板18的动力轴20，所述动力轴20上固定连接有主动线轮21，所述动力腔17后壁上转动连接有贯穿所述密封板18的从动轴22，所述从动轴22上固定连接有从动线轮23，所述动力轴20与所述从动轴22通过带轮传动组件24相互传动，所述主动线轮21与从动线轮23上缠绕有金刚石线61，通过动力电机19驱动动力轴20转动，动力轴20带动主动线轮21转动，由于从动轴22通过带轮传动组件24与动力轴20摩擦传动，动力轴20带动从动轴22转动，从动轴22带动从动线轮23转动，主动线轮21与从动线轮23一起带动金刚石线61转动。

有益地，所述过滤机构59包括固定设在所述过滤槽28底壁上的过滤液压杆29，所述过滤液压杆29上端面固定连接有挤压块30，所述挤压块30上端面固定连接有夹持块31，所述挤压块30上设有左右位置对称的二个定位孔33，所述过滤槽28底壁上固定设有与所述定位孔33位置对应的定位轴32，通过过滤液压杆29带动挤压块30向下运动，挤压块30带动夹持块31向下运动。

有益地，所述过滤块27内左右位置对称设有二个与所述过滤槽28连通的排出管34，所述排出管34内固定设有滤水膜36，所述排出管34下侧连通有回收管35，所述回收管35上固定设有手动阀37，在挤压块30的挤压作用下，混合了加工碎屑的冷却液通过滤水膜36过滤排至回收槽26，并把加工碎屑筛除在回收管35内。

有益地，所述减震机构60包括固定连接在所述缓冲弹簧40间的阻尼液箱41，所述阻尼液箱41内设有阻尼液腔42，所述阻尼液腔42内滑动连接有活塞块43，所述活塞块43上设有左右贯穿的滤孔44，所述阻尼液箱41左侧表面上设有与所述阻尼液腔42连通的通孔47，所述滤孔44左端面固定连接有穿过所述通孔47的活塞杆45，所述活塞杆45左端面固定连接有固定板46，所述固定板46间固定连接有所述密封板18，通过固定板46带动活塞杆45左右往复振动，活塞杆45带动活塞块43左右振动，由于阻尼液腔42内充斥着阻尼液，通过滤孔44排挤阻尼液以缓冲振动，合理地进行卸力，同时密封板18产生的垂直方向的振动通过缓冲弹簧40进行缓冲卸力。

有益地，所述切割腔12左壁上固定连接有固定支架53，所述固定支架53内穿过清洗管54，所述清洗管54下截面上固定连接有自吸泵55，所述清洗管54右侧固定连接有清洗喷头56，所述切割箱11前端面固定设有玻璃板57，通过自吸泵55通过清洗管54将回收槽26内的冷却液输送至清洗喷头56内，并通过清洗喷头56进行冲洗定位孔33上表面的碎屑。

本发明的一种太阳能级硅片用金刚石线切割机，其工作流程如下：

工作人员预先在加液漏斗51内加入足量的冷却液，并且将待切割的太阳能级硅片放置在夹持块31上并夹紧，启动动力电机19，动力电机19驱动动力轴20转动，动力轴20带动主动线轮21转动，由于从动轴22通过带轮传动组件24与动力轴20摩擦传动，动力轴20带动从动轴22转动，从动轴22带动从动线轮23转动，主动线轮21与从动线轮23一起带动金刚石线61转动，同时，启动电动滑轨15，电动滑轨15在导杆14上缓缓向下运动，直至金刚石线61贴在切割的太阳能级硅片的表面上，并进行切割作业；

与此同时，启动空气泵48，空气泵48通过送液管49向冷却喷头50输送冷却液，在金刚石线61切割切割的太阳能级硅片时，冷却液充当介质以及冲刷切割下来的碎屑的作用，切割至一定深度后，夹持块31以及挤压块30上表面残留着大量的加工碎屑且冷却液在过滤槽28内累积一定深度，启动过滤液压杆29，过滤液压杆29带动挤压块30向下运动，挤压块30带动夹持块31向下运动直至过滤槽28内的冷却液浸没夹持块31表面，同时，在挤压块30的挤压作用下，混合了加工碎屑的冷却液通过滤水膜36过滤排至回收槽26，并把加工碎屑筛除在回收管35内，此时，空气泵48可通过回收管52抽取回收槽26内经过过滤的冷却液重复使用，同时启动自吸泵55，自吸泵55通过清洗管54将回收槽26内的冷却液输送至清洗喷头56内，并通过清洗喷头56进行冲洗定位孔33上表面的碎屑，也避免回收槽26内掺杂碎屑；

当金刚石线61切割太阳能级硅片而产生振动时，密封板18将振动传导至固定板46，固定板46带动活塞杆45左右往复振动，活塞杆45带动活塞块43左右振动，由于阻尼液腔42内充斥着阻尼液，通过滤孔44排挤阻尼液以缓冲振动，合理地进行卸力，同时密封板18产生的垂直方向的振动通过缓冲弹簧40进行缓冲卸力，保证切割的精度。

本领域的技术人员可以明确，在不脱离本发明的总体精神以及构思的情形下，可以做出对于以上实施例的各种变型。其均落入本发明的保护范围之内。本发明的保护方案以本发明所附的权利要求书为准。

Claims

1.一种太阳能级硅片用金刚石线切割机，包括切割箱（11），其特征在于：所述切割箱（11）内设有切割腔（12），所述切割腔（12）后壁上设有二个滑动槽（13），所述滑动槽（13）内固定连接有导杆（14），所述导杆（14）上滑动连接有电动滑轨（15），所述电动滑轨（15）前侧设有切割硅片的线切割机构（58），所述切割腔（12）底壁上固定设有回收台（25），所述回收台（25）内设有开口朝上的回收槽（26），所述回收槽（26）底壁上固定设有过滤块（27），所述过滤块（27）内设有开口朝上的过滤槽（28），所述过滤槽（28）内设有过滤切割碎屑的过滤机构（59），所述切割腔（12）左右内壁上位置对称设有二个固定架（38），所述固定架（38）上设有缓冲槽（39），所述缓冲槽（39）上下内壁间位置对称固定连接有二个缓冲弹簧（40），所述缓冲弹簧（40）间设有能够减震的减震机构（60），所述切割腔（12）顶壁上固定设有空气泵（48），所述空气泵（48）左端面固定连接有送液管（49），所述送液管（49）另一端固定连接有冷却喷头（50），所述冷却喷头（50）固定设在切割腔（12）后壁上，所述空气泵（48）下端面固定连接有延伸至所述回收槽（26）内的回收管（52）。

2.根据权利要求1所述的一种太阳能级硅片用金刚石线切割机，其特征在于：所述线切割机构（58）包括固定设在所述电动滑轨（15）前端面的动力箱（16），所述动力箱（16）内设有开口朝前的动力腔（17），所述动力箱（16）前侧截面上密封有密封板（18），所述动力腔（17）后壁上固定设有动力电机（19），所述动力电机（19）前端面控制有贯穿所述密封板（18）的动力轴（20），所述动力轴（20）上固定连接有主动线轮（21），所述动力腔（17）后壁上转动连接有贯穿所述密封板（18）的从动轴（22），所述从动轴（22）上固定连接有从动线轮（23），所述动力轴（20）与所述从动轴（22）通过带轮传动组件（24）相互传动，所述主动线轮（21）与从动线轮（23）上缠绕有金刚石线（61）。

3.根据权利要求1所述的一种太阳能级硅片用金刚石线切割机，其特征在于：所述过滤机构（59）包括固定设在所述过滤槽（28）底壁上的过滤液压杆（29），所述过滤液压杆（29）上端面固定连接有挤压块（30），所述挤压块（30）上端面固定连接有夹持块（31），所述挤压块（30）上设有左右位置对称的二个定位孔（33），所述过滤槽（28）底壁上固定设有与所述定位孔（33）位置对应的定位轴（32）。

4.根据权利要求3所述的一种太阳能级硅片用金刚石线切割机，其特征在于：所述过滤块（27）内左右位置对称设有二个与所述过滤槽（28）连通的排出管（34），所述排出管（34）内固定设有滤水膜（36），所述排出管（34）下侧连通有回收管（35），所述回收管（35）上固定设有手动阀（37）。

5.根据权利要求2所述的一种太阳能级硅片用金刚石线切割机，其特征在于：所述减震机构（60）包括固定连接在所述缓冲弹簧（40）间的阻尼液箱（41），所述阻尼液箱（41）内设有阻尼液腔（42），所述阻尼液腔（42）内滑动连接有活塞块（43），所述活塞块（43）上设有左右贯穿的滤孔（44），所述阻尼液箱（41）左侧表面上设有与所述阻尼液腔（42）连通的通孔（47），所述滤孔（44）左端面固定连接有穿过所述通孔（47）的活塞杆（45），所述活塞杆（45）左端面固定连接有固定板（46），所述固定板（46）间固定连接有所述密封板（18）。

6.根据权利要求1所述的一种太阳能级硅片用金刚石线切割机，其特征在于：所述切割腔（12）左壁上固定连接有固定支架（53），所述固定支架（53）内穿过清洗管（54），所述清洗管（54）下截面上固定连接有自吸泵（55），所述清洗管（54）右侧固定连接有清洗喷头（56），所述切割箱（11）前端面固定设有玻璃板（57）。