CN113799492A - 头部对齐装置及具有头部对齐装置的基板处理*** - Google Patents

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Abstract

本申请提供利用位置同步来确定基准位置，并且根据基准位置对齐多个头部模块的头部对齐装置及具有头部对齐装置的基板处理***。头部对齐装置包括：基准位置确定部，确定设置有多个喷墨头模块的头部传送器的第一基准位置；以及安装位置确定部，基于第一基准位置确定喷墨头模块的第二基准位置，以使喷墨头模块能够从当前位置移动到第二基准位置，其中基准位置确定部利用设置在与喷墨头模块相同的平面上的第一图像传感器和面对喷墨头模块设置的第二图像传感器来确定所述第一基准位置。

Description

头部对齐装置及具有头部对齐装置的基板处理***
技术领域
本发明涉及用于对齐头部模块的头部对齐装置及具有头部对齐装置的基板处理***。更详细地，涉及用于对齐喷墨头模块的头部对齐装置及具有头部对齐装置的基板处理***。
背景技术
当在透明基板上执行印刷工艺(例如，RGB图案化(RGB Patterning))以制造LCD面板、PDP面板、LED面板等显示装置时，可以使用具有喷墨头模块(Inkjet Head Module)的印刷工艺设备。
发明内容
印刷工艺设备可以具有多个喷墨头模块以进行大面积的印刷等。然而，一直以来，当进行用于对齐头部的头部设定时，在安装头部之后确认其位置，且当头部的安装位置不准确时，反复执行重新安装头部并确认位置的过程。
然而，进行这种头部设定时，可能发生以下问题。第一，完成操作可能需要很长的时间。第二，根据操作者的熟练程度，可能会发生安装精度的偏差，并且完成操作所需的时间可能会不同。第三，当设定多个头部时，可能会累积误差，因此可能会降低印刷工艺设备的品质，并且可能难以确保印刷工艺设备的性能。
本发明所要解决的技术问题为，提供利用位置同步来确定基准位置，并且根据基准位置对齐多个头部模块的头部对齐装置及具有头部对齐装置的基板处理***。
本发明的技术问题不限于上述技术问题，并且本领域的技术人员可以通过下面的记载清楚地理解未提及的其他技术问题。
根据旨在解决上述技术问题的本发明的头部对齐装置的一个方面，包括：基准位置确定部，确定设置有多个喷墨头模块的头部传送器的第一基准位置；以及安装位置确定部，基于第一基准位置确定喷墨头模块的第二基准位置，以使喷墨头模块能够从当前位置移动到第二基准位置，其中，基准位置确定部利用设置在与喷墨头模块相同的平面上的第一图像传感器和面对喷墨头模块设置的第二图像传感器来确定第一基准位置。
基准位置确定部可以基于第一图像传感器与第二图像传感器之间的位置同步来确定第一基准位置。
基准位置确定部可以利用表面附接有标记的结构物来确定第一基准位置。
第一图像传感器可以获取表面附接有标记的结构物的第一图像，且第二图像传感器可以获取结构物的第二图像，且基准位置确定部可以基于第一图像是否与第二图像相同来确定第一基准位置。
基准位置确定部可以通过比较第一图像上的标记的位置与第二图像上的标记的位置，来判断第一图像是否与第二图像相同。
如果第一图像与第二图像不相同，则基准位置确定部可以移动第一图像传感器以确定第一基准位置。
在同步第一图像传感器与第二图像传感器之间的位置时，结构物可以布置在第一图像传感器与第二图像传感器之间。
结构物可以是透明的材质。
安装位置确定部可以通过将第一基准值加到第一基准位置来确定第二基准位置。
安装位置确定部可以基于多个喷墨头模块中的任意一个喷墨头模块的第二基准位置确定另一个喷墨头模块的第二基准位置。
安装位置确定部可以通过将第二基准值加到任意一个喷墨头模块的第二基准位置，来确定另一个喷墨头模块的第二基准位置。
头部对齐装置还可以包括安装位置显示部，当喷墨头模块从当前位置移动到第二基准位置时，安装位置显示部可视地显示当前位置和第二基准位置。
安装位置显示部可以在一个屏幕上同时显示当前位置和第二基准位置。
根据旨在解决上述技术问题的本发明的头部对齐装置的另一方面，包括：基准位置确定部，确定设置有多个喷墨头模块的头部传送器的第一基准位置；以及安装位置确定部，基于第一基准位置确定喷墨头模块的第二基准位置，以使喷墨头模块能够从当前位置移动到第二基准位置，其中，基准位置确定部利用设置在与喷墨头模块相同的平面上的第一图像传感器和面对喷墨头模块设置的第二图像传感器来确定第一基准位置，其中，当第一图像传感器获取到布置在第一图像传感器与第二图像传感器之间的、表面附接有标记的结构物的第一图像，并且第二图像传感器获取到结构物的第二图像时，基准位置确定基于第一图像和第二图像上的标记的位置判断第一图像是否与第二图像相同，以确定第一基准位置。
根据旨在解决上述技术问题的本发明的基板处理***的一个方面，包括：基板支承部件，设置在基座上，并且支承待印刷的基板；门架单元，以能够移动的方式设置在基板支承部件上，并且设置有具有多个喷墨头模块的头部传送器，喷墨头模块向基板喷射液滴；以及头部对齐装置，对齐喷墨头模块，其中，头部对齐装置包括：基准位置确定部，确定头部传送器的第一基准位置；以及安装位置确定部，基于第一基准位置确定喷墨头模块的第二基准位置，以使喷墨头模块能够从当前位置移动到第二基准位置，其中，基准位置确定部利用设置在与喷墨头模块相同的平面上的第一图像传感器和面对喷墨头模块设置的第二图像传感器来确定第一基准位置。
其他实施例的具体事项包括在详细的说明及附图中。
附图说明
图1是示意性地示出基板处理***的内部结构的立体图。
图2是示意性地示出基板处理***的内部结构的平面图。
图3是示意性地示出根据本发明一实施例的头部对齐装置的内部构成的概念图。
图4是用于说明头部传送器的示例图。
图5是用于说明构成根据本发明一实施例的头部对齐装置的基准位置确定部的功能的示例图。
图6是用于说明第一图像传感器与第二图像传感器之间的位置同步方法的第一示例图。
图7是用于说明第一图像传感器与第二图像传感器之间的位置同步方法的第二示例图。
图8是按顺序呈现第一图像传感器与第二图像传感器之间的位置同步方法的流程图。
图9是用于说明第一图像传感器与第二图像传感器之间的位置同步方法的第三示例图。
图10是用于说明第一图像传感器与第二图像传感器之间的位置同步方法的第四示例图。
图11是用于说明根据本发明一实施例的头部对齐装置的安装位置确定部的功能的第一示例图。
图12是用于说明根据本发明一实施例的头部对齐装置的安装位置确定部的功能的第二示例图。
图13是用于说明根据本发明一实施例的头部对齐装置的移动控制部件的功能的第一示例图。
图14是用于说明根据本发明一实施例的头部对齐装置的安装位置显示部的功能的第一示例图。
附图标记的说明
100：印刷工艺设备 130：门架单元
300：头部对齐装置 310：基准位置确定部
320：安装位置确定部 330：安装位置显示部
410：头部传送器
420a、420b、...、420k、...、420n：喷墨头模块
440：第一图像传感器 450：第二图像传感器
460：结构物 470：标记
480：第一图像 490：第二图像
610：移动控制部件 620：监视器屏幕
630：基准位置 640：当前位置
具体实施方式
下面，将参照附图详细描述本发明的优选的实施例。本发明的优点和特征以及实现这些优点和特征的方法将通过参照下面与附图一起详细描述的实施例而变得清楚。然而，本发明并不限于以下所公开的实施例，而是能够以彼此不同的多种形态实现，本实施例只是为了使本发明的公开完整，并向本发明所属技术领域的普通技术人员完整地告知发明的范围而提供的，本发明仅由权利要求书的范围限定。在整个说明书中，相同的附图标记指代相同的构成要素。
元件或层被称为在另一个元件或层“上(on)”或“上方(on)”不仅包括其在另一个元件或层的正上方，而且还包括其他元件或层介于中间的情况。相反，元件被称为“直接”在“上”或“在正上方”表示没有其他元件或层介于中间的情况。
为了容易地描述如图所示的一个元件或构成要素与另一个元件或构成要素的相关关系，可以使用空间相对术语“下方(below)”、“下面(beneath)”、“下部(lower)”、“上方(above)”、“上部(upper)”等。应该理解的是，除了图中所示的方向之外，空间相对术语是还包括元件在使用或操作时的彼此不同的方向的术语。例如，当图中所示的元件被翻转时，被描述为在另一个元件的“下方(below)”或“下面(beneath)”的元件可以位于另一个元件的“上方(above)”。因此，示例性的术语“下方”可以包括下方和上方两种方向。元件也可以以另一个方向定向，由此空间相对术语可以根据定向进行解释。
虽然术语“第一”、“第二”等用于描述各种元件、构成要素和/或部分，但是这些元件、构成要素和/或部分显然不被这些术语所限制。这些术语仅用于区分一个元件、构成要素和/或部分与另一个元件、构成要素和/或部分。因此，以下提及的第一元件、第一构成要素或第一部分在本发明的技术思想之内显然也可以是第二元件、第二构成要素或第二部分。
本说明书中使用的术语是为了说明实施例，并不是为了限制本发明。在本说明书中，除非在句中特别提及，单数形式也包括复数形式。说明书中使用的“包括(comprises)”和/或“包含(comprising)”不排除除了所提及的构成要素、步骤、操作和/或元件之外存在或增加一个以上的其他构成要素、步骤、操作和/或元件。
如果没有其他定义，则在本说明书中使用的所有术语(包括技术和科学术语)可以以本发明所属领域的普通技术人员能够共同理解的含义使用。此外，除非明确地特别定义，否则通常使用的词典中定义的用语不被理想化地或过度地解释。
以下，参照附图详细说明本发明的实施例，在参照附图说明时，与附图标记无关地，相同或对应的构成要素被赋予相同的参照标号，并省略对其的重复说明。
本发明涉及用于对齐基板处理***(例如，印刷工艺设备)所具有的多个头部模块的头部对齐装置及具有头部对齐装置的基板处理***。
根据本发明的头部对齐装置可以利用位置同步来确定基准位置，并且可以根据此基准位置确定多个头部模块的安装位置及间隔，以对齐多个头部模块。
根据本发明，可以提高每个头部模块的安装精度，因此可以确保印刷工艺设备的品质和性能。此外，可以缩短对齐多个头部模块所花费的时间。
以下，将参照附图等详细说明本发明。首先，对具有头部对齐装置的基板处理***进行说明。
图1是示意性地示出基板处理***的内部结构的立体图，且图2是示意性地示出基板处理***的内部结构的平面图。
基板处理***用于处理基板。这种基板处理***例如可以实现为利用喷墨头模块(Inkjet Head Module)将液滴(Droplet)喷射到基板上的印刷工艺设备。下面，以基板处理***为印刷工艺设备的情况为例进行说明。
根据图1和图2，印刷工艺设备100可以构成为包括基座110、基板支承单元120、门架单元130、门架移动单元140、喷墨头模块150、头部移动单元160、液滴喷射量测量单元170和喷嘴检查单元180。
基座110用于构成印刷工艺设备100的主体。基座110可以设置为具有一定厚度的长方体形状。此外，基座110的上表面上可以设置有基板支承单元120。
基板支承单元120用于支承基板S。这种基板支承单元120可以具有放置有基板S的支承板121。
支承板121用于安装基板S。这种支承板121可以是四边形形状的平板。此外，旋转驱动部件122可以连接到支承板121的下表面。
旋转驱动部件122用于旋转支承板121。为此，旋转驱动部件122可以实现为旋转电机。旋转驱动部件122可以利用沿垂直于支承板121的方向形成的旋转中心轴来旋转支承板121。
如果支承板121通过旋转驱动部件122旋转，则基板S也可以随着支承板121旋转。例如，当形成于待涂布液滴的基板S上的壳的长边方向朝向第二方向20时，旋转驱动部件122可以旋转基板S，以使壳的长边方向朝向第一方向10。
直线驱动部件123用于直线移动支承板121和旋转驱动部件122。这种直线驱动部件123可以沿第一方向10直线移动支承板121和旋转驱动部件122。
直线驱动部件123可以包括滑动件124和引导部件125。在这种情况下，旋转驱动部件122可以设置在滑动件124的上表面上。
引导部件125可以在基座110的上表面的中心部以第一方向10为长度方向延伸。在滑动件124中可嵌入有直线电机(未图示)，且滑动件124可以通过直线电机随着引导部件125沿第一方向10直线移动。
门架单元(Gantry Unit)130用于支承多个喷墨头模块150。这种门架单元130可以设置在支承板121移动路径的上方。
门架单元130可以从基座110的上表面向上方间隔开。此外，门架单元130可以布置成其长度方向朝向第二方向20。
门架移动单元140用于沿第一方向10直线移动门架单元130。这种门架移动单元140可以包括第一移动单元141和第二移动单元142。
第一移动单元141可以设置在门架单元130的一端，且第二移动单元142可以设置在门架单元130的另一端。在这种情况下，第一移动单元141可以沿着设置在基座110的一侧的第一导轨211滑动，且第二移动单元142可以沿着设置在基座110的另一侧的第二导轨212滑动，以沿第一方向10直线移动门架单元130。
喷墨头模块150用于将诸如墨水等的液滴喷射到基板S上。这种喷墨头模块150可以设置在门架单元130的侧面上，以由门架单元130支承。
喷墨头模块150可以通过头部移动单元160沿门架单元130的长度方向，即第二方向20直线移动，也可以沿第三方向30直线移动。此外，喷墨头模块150可以相对于头部移动单元160以平行于第三方向30的轴为中心旋转。
多个喷墨头模块150可以设置在门架单元130上。例如，喷墨头模块150可以设置为第一头部单元151、第二头部单元152、第三头部单元153等三个。例如，多个喷墨头模块150可以沿第二方向20并排成一列而结合到门架单元130。
喷墨头模块150可以构成为包括喷射液滴的多个喷嘴(未示出)和形成有多个喷嘴的喷嘴板(未示出)。例如，在喷墨头模块150中可以设置有128个喷嘴或256个喷嘴。
在喷墨头模块150中可以设置有与多个喷嘴的数量对应的压电元件。通过对施加到压电元件的电压的控制，可以各自独立地调节多个喷嘴的液滴喷射量。
头部移动单元160用于直线移动喷墨头模块150。这种头部移动单元160可以与喷墨头模块150的数量对应地设置在印刷工艺设备100内部。例如，当喷墨头部模块150设置为第一头部单元151、第二头部单元152、第三头部单元153等三个时，头部移动单元160也可以设置为三个。
此外，头部移动单元160也可以设置为单个，且在这种情况下，喷墨头模块150可以同时一起移动，而不是单独移动。
液滴喷射量测量单元170用于测量喷墨头模块150的液滴喷射量。这种液滴喷射量测量单元170可以布置在基座110上的基板支承单元120的一侧。
液滴喷射量测量单元170可以针对每个喷墨头模块150测量从全部喷嘴喷射的液滴量。通过喷墨头模块150的液滴喷射量的测量，可以宏观地确认喷墨头模块150的全部喷嘴是否有异常。即，如果喷墨头模块150的液滴喷射量超出基准值，则可以得知喷墨头模块150中的至少一个有异常。
喷墨头模块150可以通过门架移动单元140和头部移动单元160沿第一方向10和第二方向20移动，以位于液滴喷射量测量单元170的上方。头部移动单元160可以沿第三方向30移动喷墨头模块150，以调节喷墨头模块150与液滴喷射量测量单元170之间的上下方向的距离。
喷嘴检查单元180用于确认设置在喷墨头模块150中的单个喷嘴是否有异常。例如，这种喷嘴检查单元180可以通过光学检查来确认单个喷嘴是否有异常。
当在液滴喷射量测量单元170中宏观地确认喷嘴是否有异常的结果为，非特定喷嘴有异常时，喷嘴检查单元180可以在确认单个喷嘴是否有异常的同时对喷嘴进行全数检查。
喷嘴检查单元180可以布置在基座110上的基板支承单元120的一侧。喷墨头模块150可以通过门架移动单元140和头部移动单元160沿第一方向10和第二方向20移动，并位于喷嘴检查单元180的上部。头部移动单元160可以沿第三方向30移动喷墨头模块150，以调节喷墨头模块150与喷嘴检查单元180之间的上下方向的距离。
此外，印刷工艺设备100还可以包括液滴供应装置190。
液滴供应装置190可以设置在门架单元130的上部和侧部。这种液滴供应装置190可以包括液滴供应模块191和压力调节模块192。
液滴供应模块191用于将墨水等液体供应到喷墨头模块150。这种液滴供应模块191可以从储存液体的储存罐(未示出)接收液体，然后可以将液体供应到喷墨头模块150。
压力调节模块192用于调节液滴供应模块191的压力。这种压力调节模块192可以通过向液滴供应模块191提供正压或负压来调节液滴供应模块191的压力。
此外，液滴供应模块191和压力调节模块192可以连接到门架单元130。
接下来，对头部对齐装置进行说明。
图3是示意性地示出根据本发明一实施例的头部对齐装置的内部构成的概念图。
根据图3，头部对齐装置300可以构成为包括基准位置确定部310、安装位置确定部320、安装位置显示部330、电源部340和主控制部350。
头部对齐装置300用于对齐多个喷墨头模块。这种头部对齐装置300可以与图像传感器(Image Sensor)联动以对齐多个喷墨头模块。
头部对齐装置300可以实现为搭载具有演算功能和控制功能的处理器的装置，以执行上述功能。例如，头部对齐装置300可以实现为PC或服务器等。
电源部340具有向构成头部对齐装置300的每个构成要素供电的功能。而且，主控制部350具有对构成头部对齐装置300的每个构成要素的整体运转进行控制的功能。
如图4所示，由头部对齐装置300对齐的多个喷墨头模块420a、420b、…、420n可以设置在头部传送器410上。图4是用于说明头部传送器的示例图。下面，参照图4进行说明。
头部传送器410用于支承多个喷墨头模块420a、420b、…、420n。这种头部传送器410可以以安装有多个喷墨头模块420a、420b、…、420n的状态设置在门架单元130的底面(即，面对基板S的表面)。
每个喷墨头模块420a、420b、…、420n可以具有多个喷嘴以喷射液滴。每个喷墨头模块420a、420b、…、420n可以安装在头部传送器410上，以使喷嘴面向向下的方向(即，负的第三方向30)。
多个喷墨头模块420a、420b、…、420n可以使相邻的喷墨头模块不并排布置(例如，以Z字形布置)。然而，本实施例不限于此。多个喷墨头模块420a、420b、…、420n也可以使相邻的喷墨头模块并排布置。
多个喷墨头模块420a、420b、…、420n可以设置成两列。然而，本实施例不限于此。多个喷墨头模块420a、420b、…、420n可以布置成一列，或者可以布置成三列以上。
基准位置确定部310具有确定基准位置的功能。这种基准位置确定部310可以利用图像传感器来确定基准位置。例如，如图5所示，基准位置确定部310可以利用两个图像传感器440、450，即，第一图像传感器440和第二图像传感器450来确定基准位置。
在本实施例中，可以在确定安装在头部传送器410上的喷墨头模块420a、420b、…、420n的位置之前确定头部传送器410的位置。基准位置确定部310可以将基准位置确定为头部传送器410的位置。
图5是用于说明构成根据本发明一实施例的头部对齐装置的基准位置确定部的功能的示例图。下面，参照图5进行说明。
当使用第一图像传感器440和第二图像传感器450来确定基准位置时，基准位置确定部310可以基于第一图像传感器440与第二图像传感器450之间的位置同步来确定基准位置。
图6是用于说明第一图像传感器与第二图像传感器之间的位置同步方法的第一示例图。下面，参照图6进行说明。
第一图像传感器440可以布置在第一侧(平行于头部传送器410的一侧)。此时，第一图像传感器440可以设置成固定在头部传送器410的侧面或底面。
第二图像传感器450可以布置在第二侧(面对头部传送器410的一侧)。第二图像传感器450可以布置成面对第一图像传感器440。例如，第一图像传感器440可以布置成面向基板S，且第二图像传感器450可以布置成面向门架单元130。
结构物460是透明的材质，并且可以布置在第一图像传感器440与第二图像传感器450之间。例如，结构物460可以是透明玻璃基板。
标记(Mark)470可以附接在结构物460上。标记470可以附接在结构物460的一个表面上，或者附接在结构物460的两个表面上。当附接在结构物460的两个表面上时，标记470可以附接在相对应的位置。
当从正面观看和从背面观看时，标记470可以具有相同的形状。例如，如图7所示，标记470可以具有十字架形状。然而，本实施例不限于此。标记470可以具有多边形形状、圆形状、椭圆形状等各种形状。图7是用于说明第一图像传感器与第二图像传感器之间的位置同步方法的第二示例图。
接下来，对第一图像传感器440与第二图像传感器450之间的位置同步方法进行说明。图8是按顺序呈现第一图像传感器与第二图像传感器之间的位置同步方法的流程图。下面，参照图8进行说明。
首先，固定结构物460的位置(S510)。
然后，通过利用第二图像传感器450拍摄结构物460上的标记470来获取与标记470相关的第二图像(S520)。
然后，通过利用第一图像传感器440拍摄结构物460上的标记470来获取与标记470相关的第一图像(S530)。
然后，基准位置确定部310通过比较第一图像与第二图像，来判断第一图像是否与第二图像相同(S540)。
基准位置确定部310可以基于图像上的标记470的位置是否相同来判断第一图像是否与第二图像相同。例如，如图9所示，如果第一图像480上的标记470的位置与第二图像490上的标记470的位置相同，则基准位置确定部310可以判断第一图像480与第二图像490相同，且如图10所示，如果第一图像480上的标记470的位置与第二图像490上的标记470的位置不相同，则基准位置确定部310可以判断第一图像480与第二图像490不相同。图9是用于说明第一图像传感器与第二图像传感器之间的位置同步方法的第三例示图，且图10是用于说明第一图像传感器与第二图像传感器之间的位置同步方法的第四例示图。
如果判断第一图像与第二图像相同，则基准位置确定部310认为第一图像传感器440与第二图像传感器450之间的位置同步，并将头部传送器410的位置确定为基准位置(S550)。
相反，如果判断第一图像与第二图像不相同，则基准位置确定部310认为第一图像传感器440与第二图像传感器450之间的位置不同步，并移动第一图像传感器440(S560)。此时，固定有第一图像传感器440的头部传送器410显然也一起移动。
基准位置确定部310反复执行步骤S530、步骤S540和步骤S560，直到第一图像传感器440与第二图像传感器450之间的位置同步。
再次参照图3进行说明。
安装位置确定部320具有确定安装位置的功能。如果通过基准位置确定部310确定了头部传送器410的位置，则也需要确定设置在头部传送器410上的每个喷墨头模块420a、420b、…、420n的位置。安装位置确定部320可以将安装位置确定为喷墨头模块420a、420b、…、420n的基准位置。
安装位置确定部320可以基于绝对间隔确定每个喷墨头模块420a、420b、…、420n的位置。如图11所示，当第一图像传感器440与多个喷墨头模块420a、420b、…、420n一起设置在头部传送器410内部时，第一图像传感器440可以设置成从位于最近距离处的第一喷墨头模块420a间隔开构件设计加工值k。此时，这个构件设计加工值k可以成为绝对间隔。图11是用于说明构成根据本发明一实施例的头部对齐装置的安装位置确定部的功能的第一示例图。
如果在第一图像传感器440与第二图像传感器450之间实现位置同步，则可以确定第二图像传感器450的位置。如图12所示，安装位置确定部320可以将第二图像传感器450从当前位置移动绝对间隔(即，构件设计加工值k)。此时，安装位置确定部320可以沿多个喷墨头模块420a、420b、…、420n的排列方向移动第二图像传感器450。图12是用于说明构成根据本发明一实施例的头部对齐装置的安装位置确定部的功能的第二示例图。
此外，第二喷墨头模块420b可以与第一喷墨头模块420a相邻地设置。此时，第二喷墨头模块420b也可以设置成从第一喷墨头模块420a间隔开基准值。在这里，虽然基准值可以是构件设计加工值k，但也可以是由制造者预先确定的值。在本实施例中，多个喷墨头模块420a、420b、…、420n可以设置成使相邻的两个喷墨头模块彼此间隔开基准值。如果确定了前一个喷墨头模块(例如，第一喷墨头模块420a)的基准位置，则安装位置确定部320可以将第二图像传感器450沿多个喷墨头模块420a、420b、…、420n的排列方向移动基准值，从而确定后一个喷墨头模块(例如，第二喷墨头模块420b)的基准位置。
此外，第二喷墨头模块420b可以不以距第一喷墨头模块420a的距离(例如，构件设计加工值k)为基准确定基准位置，而是也可以像第一喷墨头模块420a一样以距头部传送器410的距离(例如，相当于构件设计加工值k的两倍的值)为基准确定基准位置。
再次参照图3进行说明。
安装位置显示部330具有显示安装位置的功能。如果确定了每个喷墨头模块420a、420b、…、420n的基准位置，则需要将每个喷墨头模块420a、420b、…、420n从当前位置移动到基准位置。在本实施例中，如果通过安装位置确定部320确定了每个喷墨头模块420a、420b、…、420n的基准位置，则可以利用移动控制部件(例如，计量器、电机等)将每个喷墨头模块420a、420b、…、420n从当前位置移动到基准位置。
当利用移动控制部件将喷墨头模块420a、420b、…、420n从当前位置移动到基准位置时，安装位置显示部330可以将此情况显示到监视器屏幕上等。
如图13所示，移动控制部件610可以设置在每个喷墨头模块420a、420b、…、420k、…、420n处。可以利用这种移动控制部件610将每个喷墨头模块420a、420b、…、420k、…、420n移动到指定的位置。
移动控制部件610可以在每个喷墨头模块420a、420b、…、420k、…、420n的一侧被固定的状态下移动其另一侧，以将每个喷墨头模块420a、420b、…、420k、…、420n移动到指定的位置。然而，本实施例不限于此。移动控制部件610也可以移动每个喷墨头模块420a、420b、…、420k、…、420n的两侧，以将每个喷墨头模块420a、420b、…、420k、…、420n移动到指定的位置。
在本实施例中，当将每个喷墨头模块420a、420b、…、420k、…、420n移动到指定的位置时，可以将喷墨头模块420a、420b、…、420k、…、420n中的特定的喷嘴移动到指定的位置。图13是用于说明构成根据本发明一实施例的头部对齐装置的移动控制部件的功能的第一示例图。
如图14所示，当利用移动控制部件610时，安装位置显示部330可以在监视器屏幕620上同时可视地显示每个喷墨头模块420a、420b、…、420k、…、420n的当前位置640和由安装位置确定部320确定的基准位置630。图14是用于说明构成根据本发明一实施例的头部对齐装置的安装位置显示部的功能的第一示例图。
安装位置显示部330可以同时可视地提供每个喷墨头模块420a、420b、…、420k、…、420n的基准位置630和当前位置640，从而可作为操作者的操作指南，并且还可以实现每个喷墨头模块420a、420b、…、420k、…、420n准确地安装在设备所需的位置的效果。此外，通过可视地显示基准位置630，可以计算并提供确保设备性能所需的头部之间的间隔，或者通过将安装过经品质验证的现有头部的位置显示在操作屏幕上，可以对头部的安装及更换操作提供便利性。这种技术可以被提供为在设置有多个头部的喷墨设备中维持设备品质的技术。
以上参照图3至图14说明了根据本发明一实施例的头部对齐装置300。当在印刷工艺设备中对齐多个头部模块时，头部对齐装置300可以确定基准位置，并由此自动计算每个头部模块的安装位置，并在监视器上可视地显示该位置。
头部对齐装置300可对两个摄像机进行位置同步并确定为基准位置，且可根据基准位置以软件方式(SW)计算设备所需的头部模块的安装间隔并确定每个头部模块的安装位置，且可在操作监视器屏幕上显示(经计算的)安装位置，以使头部模块安装在确保性能所需的位置。
当确定基准位置时，可以将安装在头部模块上的摄像机和安装在设备下部的摄像机同步到竖直方向上的相同位置处，并且可将相应的位置确定为基准位置。此外，当确定头部模块的安装位置时，两个摄像机可以从经同步的基准位置移动到安装所需的位置，并在操作者的监视器屏幕上显示相应的位置。
通过执行上述功能，头部对齐装置300可以通过两个经同步的摄像机来确定基准位置。此外，头部对齐装置300可以通过根据基准位置确定头部模块的安装位置来调节单个头部模块的位置。此外，通过头部对齐装置300，可以在进行头部模块的安装操作的同时，通过监视器实时地确认头部模块的安装情况。此外，头部对齐装置300可以根据基准位置以软件方式自动计算头部模块的安装位置，从而将头部模块安装在确保性能所需的位置上。
此外，即使在安装多个头部模块的情况下，头部模块之间的间隔也可以设置成绝对间隔，从而使头部模块安装在从基准位置起的绝对位置处，并且即使在更换及重新安装头部模块的情况下，也可以将头部模块安装在相同的位置。
以上参照附图对本发明的实施例进行了说明，但本发明所属技术领域的普通技术人员应当理解，本发明在不改变其技术思想或必要特征的情况下，能够以其他具体形态实施。因此，应理解为上述实施例在所有方面都是示例性的，而不是限制性的。

Claims (20)

1.头部对齐装置，包括：
基准位置确定部，确定设置有多个喷墨头模块的头部传送器的第一基准位置；以及
安装位置确定部，基于所述第一基准位置确定所述喷墨头模块的第二基准位置，以使所述喷墨头模块能够从当前位置移动到所述第二基准位置，
其中，所述基准位置确定部利用设置在与所述喷墨头模块相同的平面上的第一图像传感器和面对所述喷墨头模块设置的第二图像传感器来确定所述第一基准位置。
2.根据权利要求1所述的头部对齐装置，其中，
所述基准位置确定部基于所述第一图像传感器与所述第二图像传感器之间的位置同步来确定所述第一基准位置。
3.根据权利要求1所述的头部对齐装置，其中，
所述基准位置确定部利用表面附接有标记的结构物来确定所述第一基准位置。
4.根据权利要求1所述的头部对齐装置，其中，
所述第一图像传感器获取表面附接有标记的结构物的第一图像，
所述第二图像传感器获取所述结构物的第二图像，以及
所述基准位置确定部基于所述第一图像是否与所述第二图像相同来确定所述第一基准位置。
5.根据权利要求4所述的头部对齐装置，其中，
所述基准位置确定部通过比较所述第一图像上的所述标记的位置与所述第二图像上的所述标记的位置，来判断所述第一图像是否与所述第二图像相同。
6.根据权利要求5所述的头部对齐装置，其中，
如果所述第一图像与所述第二图像不相同，则所述基准位置确定部移动所述第一图像传感器以确定所述第一基准位置。
7.根据权利要求3所述的头部对齐装置，其中，
在同步所述第一图像传感器与所述第二图像传感器之间的位置时，所述结构物布置在所述第一图像传感器与所述第二图像传感器之间。
8.根据权利要求3所述的头部对齐装置，其中，
所述结构物是透明的材质。
9.根据权利要求1所述的头部对齐装置，其中，
所述安装位置确定部通过将第一基准值加到所述第一基准位置来确定所述第二基准位置。
10.根据权利要求1所述的头部对齐装置，其中，
所述安装位置确定部基于所述多个喷墨头模块中的任意一个喷墨头模块的第二基准位置确定另一个喷墨头模块的第二基准位置。
11.根据权利要求10所述的头部对齐装置，其中，
所述安装位置确定部通过将第二基准值加到所述任意一个喷墨头模块的第二基准位置，来确定所述另一个喷墨头模块的第二基准位置。
12.根据权利要求1所述的头部对齐装置，还包括：
安装位置显示部，当所述喷墨头模块从所述当前位置移动到所述第二基准位置时，所述安装位置显示部可视地显示所述当前位置和所述第二基准位置。
13.根据权利要求12所述的头部对齐装置，其中，
所述安装位置显示部在一个屏幕上同时显示所述当前位置和所述第二基准位置。
14.头部对齐装置，包括：
基准位置确定部，确定设置有多个喷墨头模块的头部传送器的第一基准位置；以及
安装位置确定部，基于所述第一基准位置确定所述喷墨头模块的第二基准位置，以使所述喷墨头模块能够从当前位置移动到所述第二基准位置，
其中，所述基准位置确定部利用设置在与所述喷墨头模块相同的平面上的第一图像传感器和面对所述喷墨头模块设置的第二图像传感器来确定所述第一基准位置，
其中，当所述第一图像传感器获取到布置在所述第一图像传感器与所述第二图像传感器之间的、表面附接有标记的结构物的第一图像，并且所述第二图像传感器获取到所述结构物的第二图像时，所述基准位置确定部基于所述第一图像和所述第二图像上的所述标记的位置判断所述第一图像是否与所述第二图像相同，以确定所述第一基准位置。
15.基板处理***，包括：
基座；
基板支承部件，设置在所述基座上，并且支承待印刷的基板；
门架单元，以能够移动的方式设置在所述基板支承部件上，并且设置有具有多个喷墨头模块的头部传送器，所述喷墨头模块向所述基板喷射液滴；以及
头部对齐装置，对齐所述喷墨头模块，
其中，所述头部对齐装置包括：
基准位置确定部，确定所述头部传送器的第一基准位置；以及
安装位置确定部，基于所述第一基准位置确定所述喷墨头模块的第二基准位置，以使所述喷墨头模块能够从当前位置移动到所述第二基准位置，
其中，所述基准位置确定部利用设置在与所述喷墨头模块相同的平面上的第一图像传感器和面对所述喷墨头模块设置的第二图像传感器来确定所述第一基准位置。
16.根据权利要求15所述的基板处理***，其中，
所述基准位置确定部基于所述第一图像传感器与所述第二图像传感器之间的位置同步来确定所述第一基准位置。
17.根据权利要求15所述的基板处理***，其中，
所述第一图像传感器获取表面附接有标记的结构物的第一图像，
所述第二图像传感器获取所述结构物的第二图像，以及
所述基准位置确定部通过比较所述第一图像上的所述标记的位置与所述第二图像上的所述标记的位置，来判断所述第一图像是否与所述第二图像相同，并且基于所述第一图像是否与所述第二图像相同来确定所述第一基准位置。
18.根据权利要求15所述的基板处理***，其中，
所述安装位置确定部通过将第一基准值加到所述第一基准位置来确定所述第二基准位置。
19.根据权利要求15所述的基板处理***，其中，
所述安装位置确定部基于所述多个喷墨头模块中的任意一个喷墨头模块的第二基准位置确定另一个喷墨头模块的第二基准位置。
20.根据权利要求15所述的基板处理***，其中，
所述头部对齐装置还包括安装位置显示部，当所述喷墨头模块从所述当前位置移动到所述第二基准位置时，所述安装位置显示部可视地显示所述当前位置和所述第二基准位置。
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Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6213580B1 (en) * 1998-02-25 2001-04-10 Xerox Corporation Apparatus and method for automatically aligning print heads
KR100717271B1 (ko) * 2005-11-07 2007-05-15 삼성전자주식회사 얼라인 장치 및 그 방법
JP5423019B2 (ja) * 2008-07-04 2014-02-19 株式会社リコー 液体吐出ヘッドユニット及び画像形成装置
KR101020854B1 (ko) 2008-10-28 2011-03-09 삼성전기주식회사 잉크젯 헤드 정렬방법
KR101065977B1 (ko) * 2008-12-18 2011-09-19 삼성에스디아이 주식회사 잉크 젯 프린터 헤드 정렬 방법 및 그 장치
EP3196023B1 (en) * 2014-09-19 2022-03-16 Konica Minolta, Inc. Inkjet head, inkjet head module, and inkjet printer
KR102012378B1 (ko) * 2017-12-28 2019-08-20 주식회사 에스에프에이 인쇄 헤드 조립체, 인쇄 장치 및 인쇄 헤드 정렬 방법

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