CN113721425A - 一种晶圆匀胶显影装置 - Google Patents

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汪钢
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Abstract

本发明公开了一种晶圆匀胶显影装置，所述晶圆匀胶显影装置包括：固定板；晶圆匀胶显影单元，所述晶圆匀胶显影单元设于所述固定板；支架，所述支架设有至少一个安装开口；其中，所述固定板与所述支架滑动连接，所述晶圆匀胶显影单元能够随所述固定板从所述安装开口滑出或装入所述支架。本发明有效解决晶圆匀胶显影单元不便于更换和维修的问题。

Description

一种晶圆匀胶显影装置
技术领域
本发明涉及半导体行业晶圆领域，尤其涉及一种晶圆匀胶显影装置。
背景技术
目前，在光刻胶显影工艺中，光刻胶涂布至基板后进行曝光显影，形成线路。现有的晶圆匀胶显影装置为固定式结构，无法快速拆装，因此不便于观察观察单元内各部件情况，或清理、维修晶圆匀胶显影装置的内部结构。
发明内容
因此，本发明实施例提供一种晶圆匀胶显影装置，有效解决晶圆匀胶显影单元不便于更换和维修的问题。
本发明实施例提供的一种晶圆匀胶显影装置，所述晶圆匀胶显影装置，包括：固定板；晶圆匀胶显影单元，所述晶圆匀胶显影单元设于所述固定板；支架，所述支架设有至少一个安装开口；其中，所述固定板与所述支架滑动连接，所述晶圆匀胶显影单元能够随所述固定板从所述安装开口滑出或装入所述支架。
与现有技术相比，采用该技术方案后所达到的技术效果：所述晶圆匀胶显影单元安装于所述固定板上，便于清晰地观察各部件的情况；所述晶圆匀胶显影单元随所述固定板滑出或装入，便于技术人员进行模块化组装和更换，使得所述晶圆匀胶显影单元的管路***和排风***更加集中、简洁，便于维修。
在本发明的一个实施例中，所述支架包括两个侧支撑架和滑动组件，两个所述侧支撑架设于所述固定板相对的两侧，所述侧支撑架通过所述滑动组件与所述固定板连接。
采用该技术方案后所达到的技术效果：所述侧支撑架通过所述滑动组件实现对所述固定板的支撑作用，实现所述固定板的稳定滑动。
在本发明的一个实施例中，所述滑动组件包括：滑动连接的第一滑动件和第二滑动件；所述侧支撑架与所述第一滑动件连接；所述固定板与所述第二滑动件连接。
在本发明的一个实施例中，所述第一滑动件设有第一支撑部，所述第一支撑部位于所述第一滑动件远离所述第二滑动件的一侧；所述侧支撑架包括第一底梁，所述第一支撑部设于所述第一底梁上方。
采用该技术方案后所达到的技术效果：所述滑动组件、所述固定板和所述晶圆匀胶显影单元通过所述第一支撑部架设于相对的两个所述第一底梁上，从而合理分配重量，提高所述固定板的承重能力，相比所述滑动组件直接固定于所述第一底梁的侧面更加稳定；并且晶圆匀胶显影装置处于半悬挂状态，便于技术人员对所述晶圆匀胶显影装置进行操作。
在本发明的一个实施例中，所述第二滑动件设有第二支撑部，所述第二支撑部位于所述第二滑动件远离所述第一滑动件的一侧；所述固定板设于所述第二支撑部上方。
采用该技术方案后所达到的技术效果：所述第二滑动件对所述固定板起到支撑作用，将所述固定板和所述晶圆匀胶显影单元的重量分配至两侧，提高所述固定板和所述滑动组件的连接稳定性。
在本发明的一个实施例中，所述晶圆匀胶显影装置还包括：锁定组件，设于所述晶圆匀胶显影单元和所述侧支撑架之间；其中，所述锁定组件包括第一锁定件，所述第一锁定件连接所述晶圆匀胶显影单元或连接所述固定板，所述第一锁定件向所述侧支撑架延伸，能够阻碍所述固定板相对所述侧支撑架滑动。
采用该技术方案后所达到的技术效果：在所述晶圆匀胶显影单元装入所述支架时，所述第一锁定件向所述侧支撑架延伸直到部分重合，能够起到限位的作用，防止所述晶圆匀胶显影单元滑出所述安装开口；并且，所述第一锁定件对所述晶圆匀胶显影单元起到定位的作用，使所述晶圆匀胶显影单元能够高精度复位至目标位置，并提高所述晶圆匀胶显影单元的精度，节省手动复位的时间。
在本发明的一个实施例中，所述锁定组件还包括第二锁定件，所述第二锁定件连接所述侧支撑架，所述第二锁定件与所述第一锁定件在所述固定板的滑动方向上部分重叠，所述第二锁定件与所述第一锁定件可拆卸连接。
采用该技术方案后所达到的技术效果：所述第二锁定件和所述第一锁定件相互重叠，从而阻碍所述固定板滑动，将所述固定板定位至指定位置；所述第二锁定件和所述第一锁定件相互连接，使得所述固定板和所述晶圆匀胶显影单元始终能够回到所述目标位置，从而提高精度；根据所述第二锁定件的安装位置或厚度，可以改变所述固定板的所述目标位置。
在本发明的一个实施例中，在所述固定板的滑动方向上，所述第一锁定件与所述侧支撑架部分重叠，所述第一锁定件与所述侧支撑架可拆卸连接。
采用该技术方案后所达到的技术效果：所述固定板通过所述侧支撑架实现定位，使得所述固定板能够回到所述目标位置；同时减少零件，无需设置额外的定位件，因此能够提高装配效率。
在本发明的一个实施例中，所述晶圆匀胶显影装置还包括定位组件，所述定位组件包括相互配合的第一定位块和第二定位块；其中，所述第一定位块连接所述固定板远离所述安装开口的一侧，所述第二定位块连接所述支架。
采用该技术方案后所达到的技术效果：所述定位组件能够对所述固定板远离所述安装开口的一侧进行定位，从而进一步确定所述固定板的所述目标位置，提高所述晶圆匀胶显影装置的精度。
在本发明的一个实施例中，所述定位组件还包括：销轴，所述销轴的轴线与所述固定板的滑动方向平行；其中，所述销轴固定于所述第一定位块和所述第二定位块的其中一个上，并与所述第一定位块和所述第二定位块的另一个插接，或通过紧固件锁定。
采用该技术方案后所达到的技术效果：所述第一定位块和所述第二定位块配合后实现所述固定块滑动方向的定位，所述销轴实现能够避免所述固定板向左右方向偏移；所述紧固件锁紧所述第一定位块和所述第二定位块，能够将所述固定板进一步锁定至所述目标位置，提高所述所述晶圆匀胶显影装置的精度。
综上所述，本申请上述各个实施例可以具有如下一个或多个优点或有益效果：i)所述晶圆匀胶显影单元随所述固定板在所述支架上滑动，能够滑出所述安装开口，便于观察所述晶圆匀胶显影单元的情况，同时便于对所述晶圆匀胶显影单元进行拆装、清理或维修；ii)所述第一支撑部和所述第二支撑部能够将所述固定板和所述晶圆匀胶显影单元稳定安装于所述支架上，使所述晶圆匀胶显影单元运行时更加稳定；iii)所述锁定组件和所述定位组件能够确定所述固定板的所述目标位置，从而实现所述晶圆匀胶显影单元的高精度复位。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本发明实施例提供的一种晶圆匀胶显影装置的结构示意图。
图2为图1中I区域的放大图。
图3为图1中支架的结构示意图。
图4为图1中滑动组件的结构示意图。
图5为图2中支架和锁定组件的连接示意图。
图6为图5中II区域的放大图。
图7为图1中晶圆匀胶显影装置另一视角的结构示意图。
图8为图7中定位组件的***图。
图9为图8中定位组件另一视角的***图。
图10为图1中晶圆匀胶显影装置又一视角的结构示意图。
主要元件符号说明：
100为晶圆匀胶显影装置；110为晶圆匀胶显影单元；111为排风组件；120为固定板；130为支架；131为安装开口；132为侧支撑架；132a为第一底梁；133为顶梁；134为第二底梁；135为竖梁；140为滑动组件；141为第一滑动件；142为第二滑动件；143为第一支撑部；143a为横向支撑板；143b为竖向支撑板；144为第二支撑部；150为锁定组件；151为第一锁定件；152为第二锁定件；160为定位组件；161为第一定位块；162为第二定位块；163为销轴；164为第一定位面；165为第二定位面；166为销孔；167为轴套。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
参见图1，其为本发明实施例提供一种晶圆匀胶显影装置100，包括：固定板120、晶圆匀胶显影单元110和支架130。其中，晶圆匀胶显影单元110设于固定板120；支架130设有至少一个安装开口131，用于安装晶圆匀胶显影单元110。
在本实施例中，固定板120与支架130滑动连接，晶圆匀胶显影单元110能够随固定板120从安装开口131滑出或装入支架130，从而便于对晶圆匀胶显影单元110进行模块化安装，便于晶圆匀胶显影单元110的更换、维修和清理。其中，晶圆匀胶显影单元110安装于固定板120上方，从而便于观察晶圆匀胶显影单元110的状况。
优选的，安装开口131可以位于任意一个侧面，即固定板120和晶圆匀胶显影单元110从任意一个侧面滑出；安装开口131也可以位于相对的两个侧面，即固定板120和晶圆匀胶单元可以从相对的两个侧面滑出。
在一个具体的实施例中，参见图3，支架130例如包括两个侧支撑架132，两个侧支撑架132之间通过多个横梁连接，两个侧支撑架132设于固定板120相对的两侧。举例来说，所述横梁例如包括两个顶梁133和至少一个第二底梁134，两个顶梁133连接两个侧支撑架132顶部，第二底梁134连接两个侧支撑架132的底部。其中，支架130相对第二底梁134的一侧为安装开口131。
在一个具体的实施例中，参见图2和4，支架130例如还包括：滑动组件140，侧支撑架132通过滑动组件140与固定板120连接，即固定板120的两侧均连接一个滑动组件140。其中，滑动组件140例如包括：相互滑动连接的第一滑动件141和第二滑动件142，侧支撑架132与第一滑动件141固定，固定板120与所述第二滑动件142固定。
优选的，第一滑动件141的长度与侧支撑架132匹配，第二滑动件142的长度与固定板120匹配，使得固定板120能够具有最大的滑动范围；并且，固定板120滑出安装开口131的过程中，始终能够获得侧支撑架132的支撑，使得固定板120的滑动更加稳定；固定板120滑出安装开口131后，固定板120和晶圆匀胶显影单元110处于半悬挂状态，使得技术人员在固定板120的上侧或下侧具有足够的空间对固定板120上的各种紧固件进行拆卸，从而便于晶圆匀胶显影单元110的更换和维修。
当然，第一滑动件141和第二滑动件142中的任意一个，也可以是多段式滑块。举例来说，第一滑动件141包括多个滑块，当固定板120位于支架130内时，第二滑动件142与所有滑块处于配合状态，当固定板120滑出安装开口131时，第二滑动件142与远离安装开口131的部分滑块脱离，通过靠近安装开口131的部分滑块实现支撑。
在一个具体的实施例中，结合图5，第一滑动件141设有第一支撑部143和第一滑动件141本体，第一支撑部143位于所述第一滑动件141本体远离第二滑动件142的一侧；侧支撑架132包括第一底梁132a，第一支撑部143设于第一底梁132a上方。
优选的，第一支撑部143包括横向支撑板143a和竖向支撑板143b，横向支撑板143a和竖向支撑板143b垂直连接。其中，横向支撑板143a设置于第一底梁132a上方，横向支撑板143a设有多个孔通过螺栓连接第一底梁132a，多个孔呈直线均匀排布；竖向支撑板143b连接横向支撑板143a朝向所述第一滑动件141本体的一侧同样可以通过多个螺钉与所述第一滑动件141本体连接。
进一步的，固定板120两侧通过两个第一支撑部143的横向支撑板143a固定于第一底梁132a，从而将晶圆匀胶显影单元110的重量分散至两侧，提高晶圆匀胶显影装置100的稳定性。
优选的，第二滑动件142设有第二支撑部144和第二滑动件142本体，第二支撑部144位于所述第二滑动件142本体远离第一滑动件141的一侧。其中，第二支撑部144例如通过多个螺钉固定于第二支撑部144朝向固定板120的一侧。
进一步的，第二支撑部144的顶面为支撑面，固定板120设于第二支撑部144上方，与所述支撑面相对固定。举例来说，所述支撑面上可设置销、螺纹孔或齿条等结构，从而连接第二支撑部144和固定板120，使第二滑动件142和固定板120能够同步滑动。当然，也可以提高所述支撑面的粗糙度，使得固定板120放置于第二滑动件142后能够随第二滑动件142滑动。
优选的，第一支撑部143和第二支撑部144也可以是多个，沿滑动组件140的长度方向均匀设置，每个第一支撑部143或第二支撑部144上设置1～2个孔用于固定，相比单个第一支撑部143或第二支撑部144上设置多个孔，无需考虑多个孔的间距，因此便于第一支撑部143或第二支撑部144的加工。
在一个具体的实施例中，参见图5-6，晶圆匀胶显影装置100例如还包括：锁定组件150，设于晶圆匀胶显影单元110和侧支撑架132之间，在固定板120滑入支架130内时，锁定组件150能够锁定固定板120或晶圆匀胶显影单元110，使晶圆匀胶显影单元110能够精确位于目标位置，从而提高晶圆匀胶显影单元110的精度。
一方面，锁定组件150例如包括第一锁定件151，第一锁定件151连接晶圆匀胶显影单元110或连接固定板120。举例来说，第一锁定件151通过螺纹孔安装于固定板120，并向侧支撑架132延伸，当固定板120滑入支架130时，第一锁定件151与侧支撑架132上任意一个远离安装开口131的侧面贴合，从而阻碍固定板120相对侧支撑架132滑动，实现定位作用。
进一步的，在固定板120的滑动方向上，第一锁定件151与侧支撑架132部分重叠，并且第一锁定件151与侧支撑架132可拆卸连接。例如第一锁定件151与侧支撑架132采用螺栓连接，从而进一步固定第一锁定件151与侧支撑架132，使晶圆匀胶显影单元110稳定处于所述目标位置。
其中，在第一锁定件151和侧支撑架132配合的情况下，第一锁定件151采用不同厚度，可以使固定板120定位于滑动组件140上的不同位置，从而改变晶圆匀胶显影单元110的所述目标位置。
另一方面，在第一锁定件151的基础上，锁定组件150例如还包括第二锁定件152，第二锁定件152连接侧支撑架132。举例来说，侧支撑架132包括竖梁135，竖梁135竖直连接第一底梁132a。其中，第二锁定件152连接竖梁135远离安装开口131的一侧，并向晶圆匀胶显影单元110延伸。
进一步的，第二锁定件152与第一锁定件151在固定板120的滑动方向上部分重叠，例如第一锁定件151位于第二锁定件152朝向安装开口131的一侧，从而阻碍固定板120向远离安装开口131的方向滑动。
再进一步，第二锁定件152与第一锁定件151可拆卸连接。举例来说，第二锁定件152和第一锁定件151上设有匹配的孔，通过螺栓稳定连接第一锁定件151和第二锁定件152，能够进一步提高晶圆匀胶显影单元110在滑动组件140上的位置精度。
在一个具体的实施例中，参见图7-9，晶圆匀胶显影装置100例如还包括定位组件160，其中，定位组件160包括相互配合的第一定位块161和第二定位块162，第一定位块161连接固定板120远离所述安装开口131的一侧，所述第二定位块162连接支架130。定位组件160用于对固定板120的滑动方向或垂直固定板120滑动的方向进行定位。
举例来说，第一定位块161连接于固定板120下方，第二定位块162连接第二底梁134朝向安装开口131的一侧。其中，定位组件160可以沿第二底梁134的长度方向均匀设置多个，例如2个、3个等，避免只有一个定位组件160的情况下，固定板120倾斜。
优选的，第一定位块161设有背对安装开口131的第一定位面164，第二定位块162设有朝向安装开口131的第二定位面165，第一定位面164和第二定位面165配合后能够进一步实现定位板运动方向上的定位。在定位组件160的数量为多个的基础上，所有第一定位面164共面，所有第二定位面165共面，此时所有第一定位块161沿固定板120运动方向的厚度相同，所有第二定位块162沿固定板120运动方向的厚度相同，从而便于加工。
优选的，定位组件160例如还包括：销轴163，销轴163的轴线与固定板120的滑动方向平行，用于实现固定板120垂直其运动方向上的定位效果。其中，销轴163固定于第一定位块161和第二定位块162的其中一个上，并与第一定位块161和第二定位块162的另一个插接，或通过紧固件锁定。
举例来说，第一定位块161的第一定位面164上设有销孔166，第二定位块162的第二定位面165上设有销轴163，第一定位面164和第二定位面165配合时，销孔166与销轴163配合。其中，第二定位块嵌有轴套167，通过轴套167固定销轴163。
优选的，销轴163朝向轴套167的一端具有倒圆角，轴套167内的孔朝向销轴163的一端也具有倒圆角，销轴163装入轴套167的过程中通过两个倒圆角起到导向作用，提高安装效率。
优选的，第一定位块161远离第二定位块162的一侧设有沉孔，所述沉孔与销孔166连通了相应的，销轴163的端部设有螺纹孔，所述螺纹孔与所述沉孔同轴，使得销轴163***销孔166后，可以通过螺栓在第二定位块162远离第二定位块162的一侧锁定所述沉孔和所述螺纹孔，使固定板120稳定处于所述目标位置。
在另一个具体的实施例中，销轴163也可以位于第一定位块161，销孔166位于第二定位块162，此处不再赘述。
在一个具体的实施例中，参见图10，侧支撑架132中间形成开口；晶圆匀胶显影单元110设有排风组件111，排风组件111的排风口例如朝向任意一个侧支撑架132的所述开口，便于所述排风口与外部排风***(图中未示出)连接。
其中，晶圆匀胶显影装置100需要操作时，先断开排风组件111与所述外部排风***的连接，解除锁定组件150和定位组件160的连接，将固定板120缓慢抽出，对晶圆匀胶显影单元110进行操作，结束后缓慢推入固定板120，重新固定锁定组件150和定位组件160，连接排风组件111与所述外部排风***，最后确认晶圆匀胶显影单元110的复位。
最后应说明的是：以上实施例仅用以说明本发明的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的精神和范围。

Claims (10)

1.一种晶圆匀胶显影装置，其特征在于，包括：
固定板；
晶圆匀胶显影单元，所述晶圆匀胶显影单元设于所述固定板；
支架，所述支架设有至少一个安装开口；
其中，所述固定板与所述支架滑动连接，所述晶圆匀胶显影单元能够随所述固定板从所述安装开口滑出或装入所述支架。
2.根据权利要求1所述的晶圆匀胶显影装置，其特征在于，所述支架包括两个侧支撑架和滑动组件，两个所述侧支撑架设于所述固定板相对的两侧，所述侧支撑架通过所述滑动组件与所述固定板连接。
3.根据权利要求2所述的晶圆匀胶显影装置，其特征在于，所述滑动组件包括：滑动连接的第一滑动件和第二滑动件；
所述侧支撑架与所述第一滑动件连接；
所述固定板与所述第二滑动件连接。
4.根据权利要求3所述的晶圆匀胶显影装置，其特征在于，所述第一滑动件设有第一支撑部，所述第一支撑部位于所述第一滑动件远离所述第二滑动件的一侧；
所述侧支撑架包括第一底梁，所述第一支撑部设于所述第一底梁上方。
5.根据权利要求3所述的晶圆匀胶显影装置，其特征在于，所述第二滑动件设有第二支撑部，所述第二支撑部位于所述第二滑动件远离所述第一滑动件的一侧；
所述固定板设于所述第二支撑部上方。
6.根据权利要求2所述的晶圆匀胶显影装置，其特征在于，所述晶圆匀胶显影装置还包括：锁定组件，设于所述晶圆匀胶显影单元和所述侧支撑架之间；
其中，所述锁定组件包括第一锁定件，所述第一锁定件连接所述晶圆匀胶显影单元或连接所述固定板，所述第一锁定件向所述侧支撑架延伸，能够阻碍所述固定板相对所述侧支撑架滑动。
7.根据权利要求6所述的晶圆匀胶显影装置，其特征在于，所述锁定组件还包括第二锁定件，所述第二锁定件连接所述侧支撑架，所述第二锁定件与所述第一锁定件在所述固定板的滑动方向上部分重叠，所述第二锁定件与所述第一锁定件可拆卸连接。
8.根据权利要求6所述的晶圆匀胶显影装置，其特征在于，在所述固定板的滑动方向上，所述第一锁定件与所述侧支撑架部分重叠，所述第一锁定件与所述侧支撑架可拆卸连接。
9.根据权利要求1-8任一项所述的晶圆匀胶显影装置，其特征在于，所述晶圆匀胶显影装置还包括定位组件，所述定位组件包括相互配合的第一定位块和第二定位块；
其中，所述第一定位块连接所述固定板远离所述安装开口的一侧，所述第二定位块连接所述支架。
10.根据权利要求9所述的晶圆匀胶显影装置，其特征在于，所述定位组件还包括：销轴，所述销轴的轴线与所述固定板的滑动方向平行；
其中，所述销轴固定于所述第一定位块和所述第二定位块的其中一个上，并与所述第一定位块和所述第二定位块的另一个插接，或通过紧固件锁定。
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