CN113710398A - 线放电加工装置 - Google Patents

Abstract

线放电加工装置(1)具有：被加工物保持件(50)，其将圆柱状的铸锭(30a、30b)在同一平面内并列地排列而保持；线电极(12)，其以与铸锭(30a、30b)各自相对的方式直线状地配置，并且在与铸锭(30a、30b)相对的位置处，对铸锭(30a、30b)进行线放电加工；以及一对加工液供给软管(20a、20b)，它们配置于沿线电极(12)的位置且隔着铸锭(30a、30b)而相对的位置，沿线电极(12)对铸锭(30a、30b)喷射加工液(70)，铸锭(30a、30b)为直径相同的大小，在将直径设为D的情况下，被加工物保持件(50)以2个铸锭(30a、30b)的圆柱轴(35a、35b)的间隔成为大于或等于1.2D且小于或等于2D的方式对铸锭(30a、30b)进行保持。

Description

线放电加工装置

技术领域

本发明涉及通过1根线对多个铸锭同时地进行线放电加工的线放电加工装置。

背景技术

作为线放电加工装置之一，存在将作为被加工物的铸锭并列地排列2个，通过1根线对2个铸锭同时地进行线放电加工的装置。在专利文献1中记载的线放电加工装置，使1根线电极在4个引导辊间卷绕而并列，由此形成多个线切断部分，向各个线切断部分单独地供电。该线放电加工装置一边向各线切断部分供给加工液，一边在各线切断部分和铸锭之间同时地放电，由此将2个铸锭同时地切断，并且将各铸锭一次切断为多片。

专利文献1：日本特开2015－47685号公报

发明内容

但是，在上述专利文献1的技术中，在2个铸锭的中心间的间隔过窄的情况下，供给至一个铸锭的加工液和供给至另一个铸锭的加工液碰撞，有时在各铸锭的加工槽内部发生加工液的滞留，妨碍切削屑的去除。另外，在2个铸锭的中心间的间隔过宽的情况下，有时加工中的线振动变大，切断加工的精度降低。

本发明就是鉴于上述情况而提出的，其目的在于，得到一种即使在将并列地配置的多个铸锭通过1根线同时地进行线放电加工的情况下，也能够抑制向相邻的铸锭供给的加工液彼此碰撞，并进行高精度的切断加工的线放电加工装置。

为了解决上述的课题，达到目的，本发明的线放电加工装置具有：保持部，其将圆柱状的第1被加工物及圆柱状的第2被加工物在同一平面内并列地排列而保持；以及线电极，其以与第1被加工物及第2被加工物各自相对的方式直线状地配置，并且在与第1被加工物及第2被加工物相对的位置处，对第1被加工物及第2被加工物进行线放电加工。另外，本发明的线放电加工装置具有一对加工液供给部，它们配置于沿线电极的位置且隔着第1被加工物及第2被加工物而相对的位置，沿线电极对第1被加工物及第2被加工物喷射加工液，第1被加工物及第2被加工物是直径相同的大小，在将直径设为D的情况下，保持部以第1被加工物的圆柱轴和第2被加工物的圆柱轴之间的间隔成为大于或等于1.2D且小于或等于2D的方式对第1被加工物及第2被加工物进行保持。

发明的效果

本发明所涉及的线放电加工装置具有下述效果，即，即使在将并列地配置的多个铸锭通过1根线同时地进行线放电加工的情况下，也能够抑制向相邻的铸锭供给的加工液彼此碰撞，并进行高精度的切断加工。

附图说明

图1是表示实施方式所涉及的线放电加工装置的结构的图。

图2是用于对由实施方式所涉及的线放电加工装置进行加工的铸锭的配置位置进行说明的图。

图3是用于对由实施方式所涉及的线放电加工装置进行加工的铸锭的加工槽进行说明的图。

图4是用于对从实施方式所涉及的线放电加工装置的喷嘴喷射的加工液的流动进行说明的图。

图5是用于对实施方式所涉及的线放电加工装置中的铸锭的配置位置的数值解析模型进行说明的图。

图6是用于说明针对实施方式所涉及的线放电加工装置的数值解析的解析结果的图。

图7是表示针对实施方式所涉及的线放电加工装置使用逻辑式而计算出线电极的振幅的情况下的计算结果的图。

具体实施方式

下面，基于附图对实施方式所涉及的线放电加工装置详细地进行说明。此外，本发明不受本实施方式限定。

实施方式.

图1是表示实施方式所涉及的线放电加工装置的结构的图。在图1中，纸面内的横向为X方向，纸面内的上方向为Z方向，相对于纸面的近端方向为Y方向。Z方向是与铅垂方向相反的方向，XY平面为水平面。图2是用于对由实施方式所涉及的线放电加工装置进行加工的铸锭的配置位置进行说明的图。在图2中，示出了从Y方向观察铸锭30a、30b的情况下的铸锭30a、30b的剖视图。

线放电加工装置1是通过1根线将多个铸锭同时地进行线放电加工的装置。在本实施方式中，对线放电加工装置1通过1根线将2个铸锭30a、30b同时地进行线放电加工的情况进行说明。

在将圆柱状的铸锭30a、30b的直径设为D的情况下，线放电加工装置1在以2个铸锭30a、30b的与线电极12垂直的切线Ta、Tb间的距离Xd成为大于或等于0.2D且小于或等于1D的间隔的方式配置了铸锭30a、30b的状态下进行切断加工。切线Ta是铸锭30a的与线电极12垂直的切线之中的与铸锭30b接近侧的铅垂方向的切线，切线Tb是铸锭30b的与线电极12垂直的切线之中的与铸锭30a接近侧的铅垂方向的切线。即，铸锭30a、30b之间的最短的距离Xd(X方向的距离)成为大于或等于0.2D且小于或等于1D的间隔。换言之，线放电加工装置1的铸锭30a、30b所具有的圆的中心之中的Y坐标相同的中心的间隔为大于或等于1.2D且小于或等于2D的间隔。该情况下的铸锭30a的圆和铸锭30b的圆是同一XZ平面内的圆。即，铸锭30a的圆柱轴35a和铸锭30b的圆柱轴35b之间的间隔成为大于或等于1.2D且小于或等于2D。圆柱轴35a是将圆柱状的铸锭30a的上表面的中心及底面的中心穿过的轴，圆柱轴35b是将圆柱状的铸锭30b的上表面的中心及底面的中心穿过的轴。即，圆柱轴35a是与铸锭30a的母线平行的轴(在铸锭30a的高度方向延伸的轴)，圆柱轴35b是与铸锭30b的母线平行的轴(在铸锭30b的高度方向延伸的轴)。由此，如后面所述，抑制从铸锭30a、30b的两侧供给的加工液70的喷流71a、71b的碰撞，防止在铸锭30a、30b的加工槽内部发生加工液70的滞流，并且维持切断加工的精度。

线放电加工装置1具有抽出用线轴11、线电极12、卷挂引导辊13a、13b、13c、13d、卷绕用线轴14、定位引导辊15a、15b、供电件17a、17b、喷嘴19a、19b、加工液供给软管20a、20b、加工台40、被加工物保持件50及加工槽60。

在线放电加工装置1中，在加工槽60内的加工台40上配置对铸锭30a、30b进行保持的被加工物保持件50，在加工槽60内充满加工液70。线放电加工装置1的例子是多线放电加工装置。

抽出用线轴11、线电极12、卷挂引导辊13a、13b、13c、13d、卷绕用线轴14及定位引导辊15a、15b由在Y方向延伸的圆柱状的部件构成。抽出用线轴11将线电极12抽出，卷挂引导辊13a～13d被线电极12卷绕，卷绕用线轴14卷绕线电极12。定位引导辊15a、15b进行线电极12的定位。

在本实施方式中的线放电加工装置1，从抽出用线轴11抽出的1根线电极12依次在多个卷挂引导辊13a、13d、13c、13b间多次隔着微小的间隔进行卷绕。换言之，在卷挂引导辊13a～13d各自依次卷绕有1根线电极12，线电极12配置为与线电极12的轴线方向(X方向)平行地排列。线电极12之中的将铸锭30a、30b进行切断的部分(与铸锭30a、30b相对的部分)为线切断部。

即，线电极12形成多个线切断部。多个线切断部彼此分离而并列地设置，且分别与铸锭30a、30b相对。该线电极12卷绕而形成的线切断部的间隔成为铸锭30a、30b的加工宽度，即，被切断的加工物(从铸锭30a、30b切断出的薄板)的厚度。如上所述，线电极12以与铸锭30a、30b各自相对的方式直线状地配置，并且在与铸锭30a、30b相对的位置处，对铸锭30a、30b进行线放电加工。

线放电加工装置1在充满加工液70的加工槽60中浸渍线电极12、卷挂引导辊13c、13d、卷绕用线轴14、定位引导辊15a、15b、供电件17a、17b、喷嘴19a、19b、加工液供给软管20a、20b、加工台40、被加工物保持件50、铸锭30a、30b的状态下，使线切断部以预先确定的间隔分离而与铸锭30a、30b相对地配置，对线切断部和铸锭30a、30b之间施加电压。而且，线放电加工装置1对铸锭30a、30b进行相对于线切断部向切断方向的加工进给，由此通过线切断部对铸锭30a、30b进行放电切断。即，线放电加工装置1具有使线电极12和由被加工物保持件50保持的铸锭30a、30b相对地加工进给的驱动机构(未图示)。由此，铸锭30a、30b分别被同时加工为多片薄板。

作为被加工物的铸锭30a、30b是直径为相同大小的柱状，在本实施方式中为圆柱状。铸锭30a、30b以Y方向成为轴向的方式，由加工槽60内的被加工物保持件50并列地排列而保持。铸锭30a、30b是要被切割为多个薄板的材料。铸锭30a、30b例如可以是成为溅射目标的钨、钼等金属，也可以是作为各种构造部件使用的多晶碳化硅等陶瓷。另外，铸锭30a、30b可以是成为半导体器件晶片的单晶硅，也可以是单晶碳化硅、氮化镓等半导体材料，也可以是成为太阳电池晶片的单晶硅、多晶硅等太阳能电池材料。

在图1中，示出了将1根线电极12卷绕于多个卷挂引导辊13a、13b、13c、13d的情况，但并不限定于该情况。即，如果能够通过将1根线电极12折回而形成多个线切断部，则关于其具体的结构并不特别受到限定。此外，线切断部也可以在铸锭30a、30b各为1个部位。

在本实施方式中，多个卷挂引导辊13a、13b、13c、13d成为圆柱状，各自以朝向与各轴线延伸的方向(X方向)垂直的Y方向彼此成为平行的方式分离而配置。在本实施方式中，配置有4个卷挂引导辊13a～13d，但卷挂引导辊13a～13d的个数也可以为2个、3个或者大于或等于5个。在下面的说明中，在将4个卷挂引导辊13a～13d进行区分的情况下，分别称为“第1卷挂引导辊13a”、“第2卷挂引导辊13b”、“第3卷挂引导辊13c”、“第4卷挂引导辊13d”。

第1卷挂引导辊13a及第2卷挂引导辊13b设置于比第3卷挂引导辊13c及第4卷挂引导辊13d更高的位置。另外，第3卷挂引导辊13c及第4卷挂引导辊13d在比铸锭30a、30b的位置高、比第1卷挂引导辊13a及第2卷挂引导辊13b低的位置排列而设置。

从抽出用线轴11抽出的线电极12在第1至第4卷挂引导辊13a～13d间卷绕预先确定的次数后，卷绕于卷绕用线轴14。

如图1所示，线电极12是第3卷挂引导辊13c和第4卷挂引导辊13d之间的线部R作为线切断部，能够与铸锭30a、30b相对地配置。在线放电加工装置1中，使铸锭30a、30b隔开微小间隔与线切断部相对，进行放电加工。

在线切断部和第3卷挂引导辊13c之间及线切断部和第4卷挂引导辊13d之间，分别配置有用于对线电极12的振动进行抑制的多个定位引导辊15a、15b。在下面的说明中，在对2个定位引导辊15a、15b进行区分的情况下，分别称为“第1定位引导辊15a”、“第2定位引导辊15b”。

第1定位引导辊15a设置于线切断部和第3卷挂引导辊13c之间。第1定位引导辊15a以第1定位引导辊15a的轴向与第3卷挂引导辊13c的轴向成为平行的方式，从第3卷挂引导辊13c分离而配置。

第2定位引导辊15b设置于线切断部和第4卷挂引导辊13d之间。第2定位引导辊15b以第2定位引导辊15b的轴向与第4卷挂引导辊13d的轴向成为平行的方式，从第4卷挂引导辊13d分离而配置。

如上所述，线电极12以与抽出用线轴11、卷挂引导辊13a、卷挂引导辊13d、供电件17b、定位引导辊15b、定位引导辊15a、供电件17a、卷挂引导辊13c、卷挂引导辊13b、卷绕用线轴14依次接触的方式卷绕于卷挂引导辊13a～13d。

供电件17a配置于第3卷挂引导辊13c和第1定位引导辊15a之间，供电件17b配置于第4卷挂引导辊13d和第2定位引导辊15b之间。

线电极12之中的第3卷挂引导辊13c和第1定位引导辊15a之间的部分以及第4卷挂引导辊13d和第2定位引导辊15b之间的部分，成为被施加用于进行放电加工的加工用电压而被供给电流的供电线部。

对线电极12的供电线部从未图示的加工用电源经由供电件17a、17b施加用于进行放电加工的脉冲状的加工用电压(高频脉冲电力)，被供给电流。由此，对线切断部和铸锭30a、30b之间施加加工用电压。

供电件17a、17b与由线电极12构成的线切断部的根数相应地设置。多个供电件17a、17b各自绝缘，在铸锭30a、30b的两侧整列配置，构成供电件单元。

在第3卷挂引导辊13c和第1定位引导辊15a之间配置的供电件为供电件17a，由在Y方向排列的供电件17a构成的供电件组为第1供电件单元。另外，在第4卷挂引导辊13d和第2定位引导辊15b之间配置的供电件为供电件17b，由在Y方向排列的供电件17b构成的供电件组为第2供电件单元。

线放电加工装置1构成为能够通过各供电件17a、17b对各线切断部独立地施加电压。能够对并列的线切断部独立地施加电压的多个加工用电源单元与线放电加工装置1的未图示的控制装置连接。加工用电源单元按照控制装置的指示，经由对应的供电件17a、17b对相对应的线切断部施加电压。本实施方式的线放电加工装置1中的电压的施加极性与现有的线放电加工装置同样地，根据需要能够适当反转。

线电极12之中的第1定位引导辊15a和第2定位引导辊15b之间的线部R的一部分成为线切断部。一对喷嘴19a、19b是沿直线状的线部R对铸锭30a、30b喷射加工液70的加工液供给部。喷嘴19a配置于第1定位引导辊15a和铸锭30a之间，喷嘴19b配置于第2定位引导辊15b和铸锭30b之间。

另外，在喷嘴19a连接有加工液供给软管20a，在喷嘴19b连接有加工液供给软管20b。喷嘴19a通过沿线部R对铸锭30a喷射加工液70而将铸锭30a的加工屑去除，喷嘴19b通过沿线部R对铸锭30b喷射加工液70而将铸锭30b的加工屑去除。喷嘴19a、19b由电绝缘材料制作，或被实施铝阳极化处理等电绝缘处理，以使得与线电极12接触而不会短路。

从加工液供给软管20a、20b流入至喷嘴19a、19b的内部的加工液70在线部R的位置处喷出至喷嘴19a、19b的外部。在从喷嘴19a、19b将加工液70喷出的方向存在进行线放电加工的加工槽，加工液70侵入至加工槽内部。供给至加工槽内部的加工液70一边将加工槽内部的加工屑去除，一边向铸锭30a、30b之间的空间放出。

铸锭30a、30b以轴向成为Y方向的方式由被加工物保持件50保持。即，作为保持部的被加工物保持件50将铸锭30a、30b在同一平面内并列地排列而保持。此时，在将铸锭30a、30b的直径设为直径D的情况下，被加工物保持件50在铸锭30a、30b间设置2个铸锭30a、30b的与线电极12垂直的切线Ta、Tb间的距离Xd成为大于或等于0.2D且小于或等于1D的间隔而对铸锭30a、30b进行固定。

另外，铸锭30a、30b由未图示的位置控制装置对位置进行控制，以使得与在第1至第4卷挂引导辊13a～13d间卷绕的线电极12隔开微小间隙。通过该控制，维持适当的放电间隙长度。

图3是用于对由实施方式所涉及的线放电加工装置进行加工的铸锭的加工槽进行说明的图。图4是用于对从实施方式所涉及的线放电加工装置的喷嘴喷射的加工液的流动进行说明的图。在图3中，纸面内的横向为X方向，纸面内的下方向为Y方向，相对于纸面的近端方向为Z方向。纸面的远端方向为铅垂方向，XY平面为水平面。通过放电加工，在铸锭30a、30b形成比图3所示的线部R的直径D宽几μm～几十μm左右的加工槽C。

根据如上所述的结构，如图4所示，从在铸锭30a、30b的两侧设置的喷嘴19a、19b同时地喷射出加工液70的喷流71a、71b，喷流71a、71b沿直线状的线部R而经过加工槽C的内部，从加工槽C的内部沿线部R喷出。在这里，如果加工液70的喷流71a、71b彼此在处于与喷嘴19a、19b同轴上的碰撞点P处碰撞，则在碰撞点P附近形成如喷流71a、71b向碰撞点P的周围扩散这样的流动。在该情况下，2个铸锭30a、30b以与线电极12垂直的切线Ta、Tb间的距离Xd成为Xd≥0.2D的方式分离而被固定，因此能够抑制在碰撞点P附近发生的、与加工液70的滞留相伴的在加工槽C的内部流过的加工液70的喷流71a、71b的流速的降低。由此，能够抑制加工槽C的内部的加工液70的喷流71a、71b的滞留。因此，朝向铸锭30a、30b的加工槽C喷射的加工液70的喷流71a、71b的势头在加工槽C的内部被维持，因此喷射出的加工液70的喷流71a、71b在维持充分的流速的状态下能够将加工槽C的内部的加工屑去除。另外，2个铸锭30a、30b的与线电极12垂直的切线Ta、Tb间的距离Xd以Xd≤1D被固定，因此能够抑制加工中的线振动的振幅增大，保持切断加工的精度。

接下来，对作为2个铸锭30a、30b的与线电极12垂直的切线Ta、Tb间的距离Xd而设置大于或等于0.2D且小于或等于1D的间隔的原因进行说明。制作切断后的板厚为板厚3mm且直径50mm的铸锭3维模型和切断后的板厚为板厚3mm且直径100mm的铸锭3维模型，使用2个铸锭3维模型，通过数值解析对由铸锭的设置间隔引起的加工槽内部的加工液流动的变化进行了调查。

图5是用于对实施方式所涉及的线放电加工装置中的铸锭的配置位置的数值解析模型进行说明的图。在图5中，示出了从Y方向观察铸锭30a、30b的情况下的铸锭模型。下面，关于对铸锭模型的配置位置进行解析的数值解析模型的概要及铸锭30a、30b的配置位置的边界条件进行说明。

第1铸锭模型是前述的板厚3mm、直径50mm的铸锭3D模型，第2铸锭模型是前述的板厚3mm、直径100mm的铸锭3D模型。

加工液70设为水，在紊流模型使用标准k-ε模型。从喷嘴19a、19b喷出的加工液70的流量设为在直径50mm的铸锭中为10L/min、在直径100mm的铸锭中为20L/min。在解析中将加工槽宽度设为0.15mm，对切断加工以80％进行的状况进行模拟，因此在第1铸锭模型(铸锭30a、30b为直径50mm的情况下的铸锭3D模型)中，将加工槽深度F设为40mm，在第2铸锭模型(铸锭30a、30b为直径100mm的情况下的铸锭3D模型)中，将加工槽深度F设为80mm。通过这些第1铸锭模型及第2铸锭模型，对使铸锭30a、30b的设置间隔即与线电极12垂直的切线Ta、Tb间的距离Xd变化时的加工槽内部的加工液流动的变化进行了验证。

此外，在图5中，将对加工液70的流速进行测定的位置通过位置90示出。在下面的说明中，有时将直径50mm的情况下的铸锭30a、30b称为第1铸锭组，将直径100mm的情况下的铸锭30a、30b称为第2铸锭组。

图6是用于说明针对实施方式所涉及的线放电加工装置的数值解析的解析结果的图。在图5中，将与线电极12垂直的切线Ta、Tb间的距离Xd通过铸锭30a、30b的直径D进行归一化的值Z设为横轴，将加工槽出口附近(位置90)的流速设为纵轴，对值Z和流速的关系进行了绘制。在图6中，圆形状的标记41示出了第1铸锭组的值Z和流速的关系，四边形状的标记42示出了第2铸锭组的值Z和流速的关系。另外，在图6中，将第1铸锭组的流速的最大值通过最大值51表示，将第2铸锭组的流速的最大值通过最大值52表示。另外，在图6中，将第1铸锭组的流速的最大值的70％的值通过值61表示，将第2铸锭组的流速的最大值的70％的值通过值62表示。

如图6所示，可知与铸锭的直径D的大小无关，与线电极12垂直的切线Ta、Tb间的距离Xd越宽，则加工槽出口附近(位置90)的流速变得越大。在这里，在将与线电极12垂直的切线Ta、Tb间的距离Xd通过直径D进行归一化的值Z为大于或等于五分之一时，可知加工槽出口附近的流速成为最大流速的70％以上的大小。因此，线放电加工装置1将2个铸锭30a、30b的与线电极12垂直的切线Ta、Tb间的距离Xd设为大于或等于0.2D而进行线放电加工。

在这里，在铸锭的放电加工时，已知在线部R作用有静电引力q。另外，由于该静电引力q而在线部R发生振动。由该静电引力q引起的线部R的振动对切断加工的精度造成影响。由此，减小该线部R的振动变得重要。线部R的振幅δ作为由外力作用的弦进行近似，由此已知线部R上的最大位移能够通过下面的式(1)进行估算。

δ＝(qh²)/8T···(1)

式(1)中的T为线部R的张力，h为线部R的长度，q为线部R所承受的静电引力。例如，在铸锭的直径D＝100mm、张力T＝10N、静电引力q＝0.01N/m的条件下对铸锭进行放电加工的情况下，使与线电极12垂直的切线Ta、Tb间的距离Xd变化为0～3D为止时的振幅δ通过式(1)而成为图7所示。图7是表示针对实施方式所涉及的线放电加工装置使用逻辑式对线电极12的振幅进行计算的情况下的计算结果的图。铸锭的线放电加工中的振幅δ需要被抑制为小于或等于20μm，因此，根据图7，可知需要将与线电极12垂直的切线Ta、Tb间的距离Xd抑制为小于或等于1D。

此外，在本实施方式中，对线放电加工装置1为多线放电加工装置的情况进行了说明，但线放电加工装置1也可以是通过1根线电极12对铸锭30a、30b进行1个1个部位的加工的线放电加工装置。

如上所述，在本实施方式中，相对于铸锭30a、30b的直径D，作为与线电极12垂直的切线Ta、Tb间的距离Xd而隔开大于或等于0.2D且小于或等于1D的间隔进行切断加工，因此能够抑制从铸锭30a、30b的两侧供给的加工液70的碰撞。即，即使在将并列地配置的铸锭30a、30b通过1根线电极12同时地进行线放电加工的情况下，也能够抑制向相邻的铸锭30a、30b供给的加工液70彼此碰撞。而且，由于能够抑制加工液70彼此碰撞，因此能够将加工屑去除而不在加工槽内部滞留。

以上的实施方式所示的结构，表示本发明的内容的一个例子，也能够与其他公知技术进行组合，在不脱离本发明的主旨的范围，也能够对结构的一部分进行省略、变更。

标号的说明

1线放电加工装置，11抽出用线轴，12线电极，13a～13d卷挂引导辊，14卷绕用线轴，15a、15b定位引导辊，17a、17b供电件，19a、19b喷嘴，20a、20b加工液供给软管，30a、30b铸锭，35a、35b圆柱轴，40加工台，50被加工物保持件，60加工槽，70加工液，71a、71b喷流，C加工槽，F加工槽深度，P碰撞点，R线部，Xd距离。

Claims (2)

1.一种线放电加工装置，其特征在于，具有：

保持部，其将圆柱状的第1被加工物及圆柱状的第2被加工物在同一平面内并列地排列而保持；

线电极，其以与所述第1被加工物及所述第2被加工物各自相对的方式直线状地配置，并且在与所述第1被加工物及所述第2被加工物相对的位置处，对所述第1被加工物及所述第2被加工物进行线放电加工；以及

一对加工液供给部，它们配置于沿着所述线电极的位置且隔着所述第1被加工物及所述第2被加工物而相对的位置，沿所述线电极对所述第1被加工物及所述第2被加工物喷射加工液，

所述第1被加工物及所述第2被加工物是直径相同的大小，

在将所述直径设为D的情况下，所述保持部以所述第1被加工物的圆柱轴和所述第2被加工物的圆柱轴之间的间隔成为大于或等于1.2D且小于或等于2D的方式，对所述第1被加工物及所述第2被加工物进行保持。

2.根据权利要求1所述的线放电加工装置，其特征在于，

所述线电极之中的进行所述线放电加工的部位即线切断部，相对于所述第1被加工物及所述第2被加工物分别是多个部位，所述线电极进行多线放电加工。

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