CN113685727A - 连接器插塞以及包括连接器插塞的气体供应装置 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及连接器插塞以及包括连接器插塞的气体供应装置，更加详细地，涉及能够简化容器更换过程而节省容器更换过程所需的时间和费用的连接器插塞以及包括其的气体供应装置。根据本发明的连接器插塞的特征在于，配备有：密封部件，结合在通过连接配管连接于气体需求处的气体供应装置的连接配管连接器而将所述连接配管与外部阻断，并且用于密封所述连接器插塞与所述连接配管连接器之间，并且根据本发明的气体供应装置包括所述插塞。

Description

连接器插塞以及包括连接器插塞的气体供应装置
技术领域
本发明涉及连接器插塞以及包括连接器插塞的气体供应装置，更加详细地，涉及能够简化容器更换过程而节省容器更换过程所需的时间和费用的连接器插塞以及包括其的气体供应装置。
背景技术
通常，对于向利用气体的装置(尤其，向诸如半导体设备等进行精细操作的气体需求处)供应气体的装置而言，要求适合各种目的的种类的气体满足预定的浓度和压力等。
为了有效地提供这样的气体，以高压状态保管许多种类的气体，尤其是，具有可燃性、毒性、腐蚀性等有害性质的气体在与人类隔离的独立空间被严格管理。
气体供应装置构成为包括：连接配管连接器，与连接在气体需求处的连接配管连接而与气体储存容器(以下，简称为“容器”)的阀连接器结合，所述气体供应装置连接容器与气体需求处而向气体需求处供应容器内部的气体。
如果容器中保管的气体被全部耗尽，则将所述连接配管连接器从连接的容器的阀连接器分离，之后更换容器，然后将所述连接配管连接器结合到更换后的容器的阀连接器而再次供应气体。
然而，在从与所述连接配管连接器连接的容器的阀连接器分离到更换后的容器的阀连接器结合到所述连接配管连接器的更换容器所需时间期间，所述连接配管暴露在外部，从而可能有气体从所述连接配管泄漏或者可能有异物进入所述连接配管。
为了防止这种现象，在所述容器更换所需时间期间，在将所述连接配管连接器结合到插塞而阻断所述连接配管向外部暴露，并且在所述连接配管连接器与所述阀连接器之间以及所述连接配管连接器与所述插塞之间分别安装了用于维持气密性的密封垫(gasket)。
据此，如果与所述连接配管连接器连接的容器的阀连接器被分离，则回收安装在所述连接配管连接器与所述阀连接器之间的密封垫，并安装用于密封所述连接配管连接器与所述插塞之间的新的密封垫，然后进行所述连接配管连接器与所述插塞的结合。
并且，如果所述插塞和所述连接配管连接器被分离，则回收安装在所述连接配管连接器与所述插塞之间的密封垫，安装用于密封所述连接配管连接器与更换后的容器的阀连接器之间的新的密封垫，然后进行所述连接配管连接器与更换后的容器的阀连接器的结合。
然而，由于每次更换容器时需要大量时间进行密封垫的更换，因此开始寻找通过简化密封垫更换过程而简化容器更换过程，从而不仅可以节省所需时间，还可以节省容器更换过程中所需的自动化工序的电力的方法。
并且，由于在执行密封垫更换操作时，所述连接配管以暴露在外部的状态被放置，因此开始寻找能够缩短密封垫更换过程且缩短更换时间而最小化所述连接配管暴露在外部的时间的方法。
并且，开始寻找可以减少密封垫的消耗量而降低容器更换过程所需的费用并提高经济性的方法。
作为关于半导体设备的气体供应装置的现有技术，公开有韩国授权专利第10-0242982号。
发明内容
本发明是为了解决上述诸般问题而想出的，更加详细地，其目的在于提供一种能够简化容器更换过程而节省容器更换过程所需的时间和费用的连接器插塞以及包括该连接器插塞的气体供应装置。
用于达到所述目的的本发明的连接器插塞，构成为配备有：密封部件，结合在通过连接配管连接于气体需求处的气体供应装置的连接配管连接器而将所述连接配管与外部阻断，并且用于密封所述连接器插塞与所述连接配管连接器之间。
并且，在形成连接器插塞的主体的插塞主体可以形成有密封部件***槽，所述密封部件可以***于所述密封部件***槽。
所述密封部件可以利用树脂材质构成，在此情形下，所述树脂材质可以利用聚氯三氟乙烯或者聚四氟乙烯构成。
所述密封部件可以利用金属材质构成，在此情形下，所述金属材质可以利用镍材质构成。
本发明的气体供应装置，可以包括：连接配管连接器，用于将连接在气体需求处的连接配管连接到配备于容器的阀连接器，连接器插塞，配备有密封部件，该密封部件与所述连接配管连接器结合而将所述连接配管与外部阻断，并且用于密封所述连接器插塞与所述连接配管连接器之间。
并且，可以构成为包括：插塞移送机构，支撑所述连接器插塞的端部并移送；控制部，控制所述插塞移送机构，以在所述连接配管连接器和所述阀连接器未被紧固的状态下使所述插塞移送机构移送所述连接器插塞而结合到所述连接配管连接器。
并且，可以构成为包括：连接配管连接器移送***，支撑所述连接配管连接器并移送，其中，所述控制部可以构成为：控制所述连接配管连接器移送***而将所述连接配管连接器紧固到所述阀连接器或者从所述阀连接器分离，并且有机地控制所述插塞移送机构和所述连接配管连接器移送***，使得在所述连接配管连接器与所述阀连接器分离时将所述连接器插塞结合到所述连接配管连接器，并且在所述连接器插塞与所述连接配管连接器分离时将所述连接配管连接器结合到所述阀连接器。
并且，可以构成为包括：密封垫移送***，支撑用于密封所述连接配管连接器与所述阀连接器之间的密封垫并移送，其中，所述控制部可以构成为：控制所述密封垫移送***而将所述密封垫紧固到所述阀连接器或者从所述阀连接配管连接器分离，并且有机地控制所述连接配管连接器移送***和所述插塞移送机构以及所述密封垫移送***，使得在分离所述连接配管连接器与所述阀连接器之后，分离安装在所述连接配管连接器的所述密封垫，然后将所述连接器插塞结合到所述连接配管连接器，然后分离所述连接器插塞与所述连接配管连接器，然后将所述密封垫安装到所述连接配管连接器，然后将所述阀连接器结合到所述连接配管连接器。
通过根据本发明的连接器插塞以及包括该连接器插塞的气体供应装置，不仅可以简化容器更换过程而节省所需时间，还可以节省容器更换过程中所需的自动化工序的电力，并且节省对使用电力征收的费用。
并且，通过缩短密封垫更换过程并缩短更换时间而最小化所述连接配管暴露到外部的时间，从而可以防止气体从所述连接配管泄漏或者异物进入所述连接配管。
并且，可以减少密封垫的消耗量而降低容器更换过程中所需的费用，并提高经济性。
附图说明
图1是示出本发明的气体供应装置的立体图。
图2是示出本发明的气体供应装置中，在容器的阀部结合有固定块的状态的立体图。
图3是示出根据本发明的气体供应装置的下部模块的立体图。
图4是示出根据本发明的气体供应装置中的连接配管连接器移送机构的立体图。
图5是示出本发明的气体供应装置中的密封垫供应部的立体图。
图6是示出本发明的气体供应装置中的密封垫移送部的立体图。
图7是示出本发明的气体供应装置中的用于结合阀连接器和连接配管连接器的初始状态的平面图。
图8是示出本发明的气体供应装置中的插塞模块的立体图。
图9是示出根据本发明的连接器插塞的立体图。
图10是根据本发明的连接器插塞的剖面图。
符号说明
1：气体供应装置 2：上部模块
3：下部模块 4：阀开闭模块
10：容器 20：阀
30：阀连接器 31：盖体
50：手柄 211：上部板
311：上部壳体 312：第一侧面壳体
313：第二侧面壳体 314：下部壳体
315：内部壳体 320：盖体分离部
330：连接器紧固部 331：连接配管连接器
335：连接配管连接器移送机构 335-1：连接器卡接部件
335-2：卡接轴 335-3：引导轴
340：子模块移送机构 340a：第一移送机构
340b：第二移送机构 350：对准块
351：第二对准部 352：第二结合部
352a：凸起 360：插塞模块
361：连接器插塞 362：插塞支撑部件
363：插塞支撑壳体 364：插塞移送引导件
370：密封垫供应部 371a：密封垫
372：密封垫收纳部 373：密封垫收纳部移送机构
380：密封垫移送部 381：密封垫夹持器
382：密封垫夹持器操作机构 383：密封垫夹持器移送机构
384：第二密封垫夹持器移送机构 510、520、530：固定块
511：第一结合部 512：第一对准部
S：密封部件
具体实施方式
以下参照附图详细说明本发明。
此处，在指代方向时，将图1所示的X轴称作前后方向、Y轴称作左右方向、Z轴称作垂直方向。并且，水平方向包括由XY平面构成的所述左右方向和前后方向。并且，在区分前后方向时，将布置有容器10的一侧称作前方，布置有下部模块3的这一侧称作后方。并且，在以盖体分离部320和连接器紧固部330为基准区分左右方向时，将布置有盖体分离部320的这一侧定义为右侧，将布置有连接器紧固部330的这一侧定义为左侧。
参照图1至图3，本发明的气体供应装置1可以包括：上部模块2，包括设置为固定在从配备于容器10的上端的阀部朝上侧相隔的位置的上部板211；下部模块3，配备在所述上部模块2的下部，配备有盖体分离部320和连接器紧固部330，所述盖体分离部320分离覆盖阀连接器30(图2)的盖体31，所述连接器紧固部330用于将通过连接配管(未示出)连接到气体需求处的连接配管连接器331连接到所述阀连接器30；阀开闭模块4，用于开闭所述阀部的阀。
所述容器10作为用于储存供应至半导体装置等气体需求处的工艺气体并将其供应的构成，在容器10的上部配备有所述阀部。
所述阀部构成为包括：阀(未示出)，用于控制气体的供应；阀连接器30，配备在所述阀的一侧而紧固到所述下部模块3的连接器紧固部330；盖体31，覆盖所述阀连接器30；阀闸(valve shutter，未示出)开闭所述阀；手柄50，连接于所述阀闸的上部，随着旋转而使阀闸升降，从而对阀进行开闭。
在所述阀部结合有固定块510、520、530。在所述固定块510、520、530配备有第一对准部512。
所述固定块510、520、530可以利用围绕所述阀部的第一固定块510、第二固定块520以及第三固定块530构成。
如果通过所述第二固定块520和第三固定块530的结合而围绕所述阀部，则所述阀部中所述阀连接器30和盖体31相对于所述固定块520、530向侧方向突出而暴露，所述阀部中所述手柄50相对于所述固定块520、530向上方向突出而暴露。
所述第一固定块510构成为具有沿Y轴方向的长度的四角桶状，在所述Y轴方向的一侧面结合有所述第二固定块520，在X轴方向的一侧面配备有第一对准部512。
所述第一对准部512可以由在所述X轴方向的一侧面凹陷地形成的对准销***槽512构成。
所述下部模块3形成为在能够相对于上部模块2进行水平方向移送的同时，还能够进行垂直方向的升降移送。
所述第一对准部512构成为在下部模块3进行水平方向移送时，通过与配备在下部模块3的第二对准部351的结合而实现容器10的对准。
所述第二对准部351可以由从后述的下部模块3的对准块350沿作为与所述对准销***槽512相对向的方向的X轴方向突出而具有水平方向的长度的对准销351构成。
通过使所述对准销351被***所述对准销***槽512，从而实现所述容器10的对准。
虽然本实施例中示出了第一对准部512构成为对准销***槽，第二对准部351构成为对准销的情形，但也可以将第一对准部构成为对准销，将第二对准部构成为对准销***槽。
并且，虽然本实施例中示出了对准销被***到对准销***槽的情形，但并不限于此，也可以构成为第一对准部与第二对准部紧固或者结合的情形。将所述第一对准部和第二对准部被***、紧固、结合的方式统称为“结合”。
在所述第一固定块510，在与所述第一对准部512相邻的位置配备有第一结合部511，并且在所述下部模块3的对准块350配备有与所述第一结合部511实现结合的第二结合部352。
所述第一结合部511可以由所述第一固定块510中的与形成有所述第一对准部512的面相同的面沿X轴方向凹陷地形成的固定槽511构成。
所述第二结合部352可以由在与所述第二对准部351相邻的位置的对准块350向所述第一结合部511突出的固定块结合部件352构成。
在所述固定块结合部件352的外侧面配备有多个凸起352a，所述多个凸起352a通过配备在内部的弹簧(未示出)而被弹性支撑。在所述固定槽511的内部形成有使所述凸起352a***的凸起***槽(未示出)。如果所述固定块结合部件352***到所述固定槽511，则所述凸起352a被***到所述凸起***槽，从而可以防止所述固定块结合部件352从所述固定槽511脱离，进而使所述下部模块3维持结合在所述第一固定块510的状态。
在从所述固定槽511拉出所述固定块结合部件352的情形下，如果供应空气(air)而使所述凸起352a克服所述弹簧的弹性力并从固定块结合部件352的表面向内侧移动，则所述凸起352a脱离所述凸起***槽。因此，所述固定块结合部件352能够脱离固定槽511。
在所述上部模块2可以配备有移送引导件(未示出)，以能够分别向X轴、Y轴以及Z轴方向移送所述下部模块3。如果操作人员用手抓住所述下部模块3并对其沿轴方向施加力，则下部模块3可以向X轴、Y轴以及Z轴中的某一个方向被移送。并且，可以通过这种下部模块3的移送而实现第一对准部512和第二对准部351的结合，通过这种结合可以实现容器10的对准。
在所述下部模块3配备有多个壳体311、312、313、314、盖体分离部320；连接器紧固部330、子模块移送机构340、对准块350、插塞模块360、密封垫供应部370以及密封垫移送部380。
所述多个壳体311、312、313、314构成为包括：上部壳体311，在所述下部模块3的上部配备为板状；第一侧面壳体312、第二侧面壳体313，分别结合在所述上部壳体311的Y轴方向两侧；下部壳体314，从所述上部壳体311向下侧相隔，两侧与所述第一侧面壳体312和第二侧面壳体313结合。
所述上部壳体311和第一侧面壳体312、第二侧面壳体313以及下部壳体314配备为围绕所述下部模块3的前后方以外的上部和下部以及两侧部。
所述盖体分离部320从所述阀连接器30分离覆盖阀连接器30的盖体31，其中所述阀连接器30配备于所述阀部。
所述盖体分离部320形成有槽，以使所述盖体31被***到内部，如果在所述盖体31被***到所述盖体分离部320的槽的状态下驱动旋转机构(未示出)而旋转所述盖体分离部320，则所述盖体31从所述阀连接器30分离。与此相反地，可以驱动所述旋转机构将从所述盖体分离部320分离的盖体31结合到所述阀连接器30。
所述连接器紧固部330包括：连接配管连接器331，连接到气体需求处；连接配管连接器壳体332(图4)，围绕所述连接配管连接器331的外侧。所述连接器紧固部330配备为能够将所述连接配管连接器331连接到所述阀连接器30。如果在所述连接器紧固部330和阀连接器30连接的状态下旋转手柄50而开放阀，则容器10内部的气体通过阀连接器30和连接配管连接器331供应至气体需求处。所述连接配管连接器331和连接配管连接器壳体332通过所述旋转机构的驱动而一起旋转。
所述子模块移送机构340将所述盖体分离部320和连接器紧固部330一体地向左右方向(Y轴方向)和前后方向(X轴方向)移送。所述子模块移送机构340可以构成为包括：第一移送机构340a，用于将所述盖体分离部320和连接器紧固部330一体地向前后方向移送；第二移送机构340b，用于将所述盖体分离部320和连接器紧固部330一体地向左右方向移送。
所述第一移送机构340a可以利用用于沿前后方向进行移送的移送引导件和用于通过供应空气(air)而施加移送力的气缸构成。并且，所述第二移送机构340b可以利用用于沿左右方向进行移送的移送引导件和用于通过供应空气(air)而施加移送力的气缸构成。
所述旋转机构旋转所述盖体分离部320和连接器紧固部330。所述旋转机构包括产生旋转力的马达和减速器，并且包括用于将所述旋转力传递至所述盖体分离部320和连接器紧固部330的旋转传递部件。
所述旋转传递部件将所述旋转力分别传递到盖体分离部320和连接器紧固部330，如果驱动所述马达，则所述盖体分离部320和连接器紧固部330将同时旋转。与此不同地，所述旋转机构还可以构成为配备有两个马达，并且利用所述两个马达使所述盖体分离部320和连接器紧固部330分别旋转。
可以配备有前方和后方被开放，并且围绕左右和上下的内部壳体315，以能够设置所述盖体分离部320和连接器紧固部330。所述内部壳体315能够与下部壳体314的上部结合。
所述对准块350以从所述内部壳体315的前方端部突出的方式结合，并且构成为大致的多面体形状。在所述对准块350的前方表面以向所述阀部突出的形状形成有作为第二对准部351的对准销351，在所述对准销351的侧部以向所述阀部突出的形状形成有作为所述第二结合部352的固定块结合部件352。
参照图4说明连接配管连接器移送机构335。
所述盖体分离部320和连接器紧固部330可以通过第一移送机构340a实现向前方和后方的直线移送。虽然也可以构成为驱动所述第一移送机构340a而将连接配管连接器331结合到所述阀连接器30，但由于通过所述第一移送机构340a的驱动，包括分离部320和连接器紧固部330而用于使盖体分离部320和连接器紧固部330旋转的整个构成部件会一同被移送，因此由于其重量，在将连接配管连接器331结合到阀连接器30时可能产生冲击。
为了防止这种问题，可以构成为与第一移送机构340a独立地配备了连接配管连接器移送机构335，从而在将连接配管连接器331结合到阀连接器30的情形下，不驱动第一移送机构340a，而是驱动连接配管连接器移送机构335，以仅使连接配管连接器331沿前后方向移送。
所述连接配管连接器移送机构335可以包括：连接器卡接部件335-1，下部的一部分被***到形成在连接配管连接器331的端部的槽(未示出)，从而实现与连接配管连接器331的卡接；卡接轴335-2，卡接到所述连接器卡接部件335-1的上部并配备为能够被沿前后方向直线移送；驱动部(未示出)，提供驱动力以使所述卡接轴335-2能够被沿前后方向直线移送；引导轴335-3，在所述卡接轴335-2被直线移送的情形下起到引导功能。
在所述阀连接器30和连接配管连接器331彼此相邻地布置的状态下，如果驱动所述连接配管连接器移送机构335的驱动部，则所述卡接轴335-2、被卡接在所述卡接轴335-2的连接器卡接部件335-1、卡接在所述连接器卡接部件335-1的连接器331被一体地移送到后方，从而使连接配管连接器331结合到阀连接器30。
在此情形下，连接配管连接器331可以在结合到阀连接器30时通过旋转机构的驱动而同时实现旋转。并且，由于所述盖体分离部320、用于旋转盖体分离部320和连接器紧固部330的构成部件不与所述连接配管连接器331一起被移送，因此在连接配管连接器331与阀连接器30结合时可以最小化冲击。
此外，将移送所述连接配管连接器331的所述子模块移送机构340以及所述连接配管连接器移送机构335统称为连接配管连接器移送***340、335。
参照图3和图5说明密封垫供应部370。
所述密封垫供应部370是为了供应在更换容器10时用于安装到连接配管连接器331与阀连接器30之间的新的密封垫(gasket)的部件，包括：收纳部372，收纳多个密封垫371a；密封垫收纳部移送机构373，用于沿前后方向移送所述密封垫收纳部372。
所述密封垫收纳部移送机构373可以构成为包括：移送引导件，引导沿前后方向的移送；驱动部，提供驱动力以能够随着所述移送引导件而被移送。
在所述密封垫收纳部372以竖立的状态配备有多个密封垫371a，构成为在后述的密封垫夹持器381夹持位于一侧边沿的密封垫后使其能够通过作为形成在密封垫收纳部372的开口部的密封垫排出部372a脱离。
参照图6和图7说明密封垫移送部380。
所述密封垫移送部380构成为包括：密封垫夹持器381，为了夹持密封垫而利用一对密封垫夹持器部件381a、381b构成；密封垫夹持器操作机构382，用于使所述一对密封垫夹持器部件381a、381b以彼此靠近或者彼此远离的方式操作；密封垫夹持器移送机构383、384，用于将所述密封垫夹持器381和密封垫夹持器操作机构382一体地移送。
所述密封垫夹持器移送机构383、384构成为包括：第一密封垫夹持器移送机构383，用于将所述密封垫夹持器381和密封垫夹持器操作机构382一体地沿前后方向移送；以及第二密封垫夹持器移送机构384，用于将所述密封垫夹持器381和密封垫夹持器操作机构382以及第一密封垫夹持器移送机构383一体地沿左右方向移送。
所述第一密封垫夹持器移送机构383和第二密封垫夹持器移送机构384可以利用用于在前后方向和左右方向上引导移送的移送引导件和提供驱动力以能够随着所述移送引导件被移送的驱动部构成。
并且，配备有用于分离并回收安装在阀连接器30与连接配管连接器331之间的密封垫的密封垫回收部390。
此外，将移送所述密封垫371a的所述密封垫收纳部移送机构373以及所述密封垫夹持器移送机构383、384统称为密封垫移送***373、383、384。
参照图3和图8说明插塞模块360。
所述插塞模块360包括：连接器插塞361，结合在连接器紧固部330，以防止在阀连接器30和连接配管连接器331没有被紧固的状态下气体从连接配管连接器331泄露或者异物进入连接配管连接器331内部；插塞支撑部件362，用于支撑所述插塞361的端部；插塞支撑壳体363，所述插塞支撑部件362被结合而支撑；插塞移送机构364、365，用于将所述连接器插塞361和插塞支撑部件362以及插塞支撑壳体363一体地向前后方向移送。
所述插塞移送机构364、365构成为包括：插塞移送引导件364，起到引导件功能；以及插塞移送驱动部365，提供用于将所述连接器插塞361、插塞支撑部件362以及插塞支撑壳体363一体地沿前后方向移送的驱动力。
此外，在本发明的气体供应装置配备有控制部(未示出)，所述控制部构成为有机地控制所述子模块移送机构340、旋转机构、连接配管连接器移送机构335、密封垫收纳部移送机构373、密封垫夹持器移送机构383、384以及所述插塞移送机构364、365等用于驱动本发明的气体供应装置的模块。
参照图3、图8、图9、图10说明连接器插塞361和利用其的容器更换过程。
图9是示出所述连接器插塞361的立体图，图10是将图9所示的连接器插塞361沿水平方向截取的剖面图。
根据本发明，所述连接器插塞361为了密封连接器插塞361与所述连接配管连接器331之间的空间而在连接器插塞361与所述连接配管连接器331之间的接触部配备有密封部件S。
所述密封部件S构成为一侧在与所述连接配管连接器331接触的所述连接器插塞361的接触面成型，另一侧在与所述连接器插塞接触的所述连接配管连接器331的接触面成型，从而密封(sealing)与所述连接配管连接器331之间的空间。
所述连接器插塞361包括通过所述插塞支撑部件362支撑的插塞主体，并且形成有从所述插塞主体的后方端部沿连接器插塞361的长度方向凹陷地形成的密封部件***槽。
所述密封部件***槽可以构成为形成在与所述连接配管连接器331接触的一侧的插塞主体，并且使所述密封部件S被***所述密封部件***槽。如果所述密封部件S被***所述密封部件***槽，则在所述密封部件S中，与所述连接配管连接器331接触的一侧端部配备为从所述密封部件***槽的入口朝向所述连接配管连接器331而向外侧(后方)突出，并且在所述突出的部分的端部与所述连接配管连接器331接触而维持气密性。
所述插塞主体可以利用金属材质构成。
并且，所述密封部件S通过配备为具有较高的弹性、恢复性、耐热性、耐化学性、耐腐蚀性等性质的材质，从而替代现有技术中用于密封连接配管连接器和连接器插塞之间而安装的密封垫的作用。
例如，所述密封部件S可以利用树脂材质构成。并且，在所述树脂材质中，可以实现为聚氯三氟乙烯(PCTFE：Polychlorotrifluoroethylene)。并且，在所述树脂材质中，可以实现为聚四氟乙烯(PFTE：Poly tetra fluoroethylene)。所述PCTFE和PTFE的耐药性和机械特性优异。
并且，所述密封部件S可以利用镍构成或者利用其他金属材质构成。
所述密封部件S可以是以在现有技术中的连接器插塞成型的方式制造的，本发明的连接器插塞361可以是在现有技术中的连接器插塞贴附所述密封部件S而再加工的。
接下来说明利用所述连接器插塞361的容器更换过程。
在目前连接的容器中保管的气体被全部消耗的情形下，所述控制部通过所述连接配管连接器移送***340、335移送所述连接配管连接器331而将其从目前连接的容器的阀连接器分离，然后通过所述密封垫夹持器移送机构383、384移送安装在所述连接部件连接器331的废密封垫而回收至所述密封垫回收部390，然后通过所述插塞移送机构364、365移送所述连接器插塞361并结合到所述连接配管连接器331。
此后，如果目前的容器被更换为新容器，则所述控制部通过所述插塞移送机构364、365移送所述连接器插塞361而从所述连接配管连接器331分离，之后通过所述密封垫收纳部移送机构373移送收纳在所述密封垫收纳部372的新密封垫而安装到所述连接配管连接器331，然后通过所述连接配管连接器移送***340、335移送所述连接配管连接器331并将其结合至更换后的新容器的阀连接器。
即，根据本发明的利用连接器插塞361的容器更换过程与现有技术相比，通过省略在结合所述连接器插塞361与所述连接配管连接器331之前和之后安装和分离用于密封连接器插塞和连接配管连接器之间的密封垫的过程，从而缩短了密封垫更换过程，进而简化了容器更换过程。
如上所述，通过根据本发明的连接器插塞361以及包括连接器插塞361的气体供应装置1，不仅可以简化容器更换过程而节省所需时间，还可以节省容器更换过程所需的自动化工序的电力，并且节省对使用电力征收的费用。
并且，通过缩短更换密封垫371a的更换过程，缩短更换时间而最小化连接配管暴露到外部的时间，从而可以防止气体从连接配管泄漏或者异物进入连接配管的情形。
并且，可以降低所述密封垫371a的消耗量，从而降低容器更换过程所需的费用，并且提高经济性。
如前所述，虽然以优选实施例为例详细说明了本发明，但本发明并不限于前述的实施例，可以在权利要求书和发明的详细说明以及附图的范围内进行多种变形而实施，并且这些也属于本发明。

Claims (11)

1.一种连接器插塞，配备有：
密封部件，结合在通过连接配管连接于气体需求处的气体供应装置的连接配管连接器而将所述连接配管与外部阻断，并且用于密封所述连接器插塞与所述连接配管连接器之间。
2.如权利要求1所述的连接器插塞，其特征在于，
在形成连接器插塞的主体的插塞主体形成有密封部件***槽，
所述密封部件***于所述密封部件***槽。
3.如权利要求1所述的连接器插塞，其特征在于，
所述密封部件利用树脂材质构成。
4.如权利要求3所述的连接器插塞，其特征在于，
所述密封部件利用所述树脂材质中的聚氯三氟乙烯或者聚四氟乙烯构成。
5.如权利要求1所述的连接器插塞，其特征在于，
所述密封部件利用金属材质构成。
6.如权利要求5所述的连接器插塞，其特征在于，
所述密封部件利用镍材质构成。
7.一种气体供应装置，包括：
连接配管连接器，用于将连接在气体需求处的连接配管连接到配备于容器的阀连接器，
连接器插塞，配备有密封部件，该密封部件与所述连接配管连接器结合而将所述连接配管与外部阻断，并且用于密封所述连接器插塞与所述连接配管连接器之间。
8.如权利要求7所述的气体供应装置，其特征在于，包括：
插塞移送机构，支撑所述连接器插塞的端部并移送；
控制部，控制所述插塞移送机构，以在所述连接配管连接器和所述阀连接器未被紧固的状态下使所述插塞移送机构移送所述连接器插塞而结合到所述连接配管连接器。
9.如权利要求8所述的气体供应装置，其特征在于，还包括：
连接配管连接器移送***，支撑所述连接配管连接器并移送，
其中，所述控制部构成为：控制所述连接配管连接器移送***而将所述连接配管连接器紧固到所述阀连接器或者从所述阀连接器分离，并且有机地控制所述插塞移送机构和所述连接配管连接器移送***，使得在所述连接配管连接器与所述阀连接器分离时将所述连接器插塞结合到所述连接配管连接器，并且在所述连接器插塞与所述连接配管连接器分离时将所述连接配管连接器结合到所述阀连接器。
10.如权利要求9所述的气体供应装置，其特征在于，还包括：
密封垫移送***，支撑用于密封所述连接配管连接器与所述阀连接器之间的密封垫并移送，
其中，所述控制部构成为：控制所述密封垫移送***而将所述密封垫紧固到所述阀连接器或者从所述阀连接配管连接器分离，并且有机地控制所述连接配管连接器移送***和所述插塞移送机构以及所述密封垫移送***，使得在分离所述连接配管连接器与所述阀连接器之后，分离安装在所述连接配管连接器的所述密封垫，然后将所述连接器插塞结合到所述连接配管连接器，然后分离所述连接器插塞与所述连接配管连接器，然后将所述密封垫安装到所述连接配管连接器，然后将所述阀连接器结合到所述连接配管连接器。
11.如权利要求7所述的气体供应装置，其特征在于，
在形成连接器插塞的主体的插塞主体形成有密封部件***槽，
所述密封部件***于所述密封部件***槽。
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