CN113652663A - 一种可调角度和位置的斜面行星工件架装置 - Google Patents
一种可调角度和位置的斜面行星工件架装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN113652663A CN113652663A CN202110902884.XA CN202110902884A CN113652663A CN 113652663 A CN113652663 A CN 113652663A CN 202110902884 A CN202110902884 A CN 202110902884A CN 113652663 A CN113652663 A CN 113652663A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- gear
- support
- planet
- workpiece
- shaft
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims abstract description 32
- 230000007547 defect Effects 0.000 abstract description 3
- 239000000969 carrier Substances 0.000 abstract description 2
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 5
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 5
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 4
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 230000003111 delayed effect Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/50—Substrate holders
- C23C14/505—Substrate holders for rotation of the substrates
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Gears, Cams (AREA)
Abstract
本发明公开了一种可调角度和位置的斜面行星工件架装置，解决现有技术行星类工件架通用性差的不足之处，其既能调节工件夹具的角度，也能调节夹具盘的圆周公转半径，能够尽可能保证工件架的通用性；包括电机、工转传动装置、工件支架、大齿轮、支架及行星工作体系，还包括齿轮I、轴I及齿轮II，所述轴I安装在支架上，齿轮I和齿轮II皆设置在轴I上，且齿轮II在轴I上沿轴向可远离或靠近齿轮II，齿轮I与大齿轮呈立式啮合，齿轮II传动配合行星工作体系。
Description
技术领域
本发明涉及真空镀膜设备技术领域，具体地说，是一种可调角度和位置的斜面行星工件架装置。
背景技术
在真空镀膜环境中，有些基片是球面型的，常规镀膜伞以及平面行星工件架等夹具不能满足此类镀膜要求，不能将膜料均匀分布在所镀基片上；遂推出可调节斜面行星工件架专用夹具针对此类镀膜环境，从而拓宽真空镀膜的应用范围。
目前这个行业中，多为平面行星工件架和不可调斜面行星工件架（如申请号为：201420847687.8此专利中的行星工件架），这个就限制了一套夹具的通用性，如果换一种镀膜产品，那与之对应的夹具甚至工件架也会面临更换的情况，这样对企业来说即投入了更多的资金也耽误了生产进度。
发明内容
本发明的目的在于设计一种可调角度和位置的斜面行星工件架装置，解决现有技术行星类工件架通用性差的不足之处，其既能调节工件夹具的角度，也能调节夹具盘的圆周公转半径，能够尽可能保证工件架的通用性。
本发明通过下述技术方案实现：一种可调角度和位置的斜面行星工件架装置，包括电机、工转传动装置、工件支架、大齿轮、支架及行星工作体系，还包括齿轮I、轴I及齿轮II，所述轴I安装在支架上，齿轮I和齿轮II皆设置在轴I上，且齿轮II在轴I上沿轴向可远离或靠近齿轮II，齿轮I与大齿轮呈立式啮合，齿轮II传动配合行星工作体系。
进一步的为更好地实现本发明，特别采用下述设置结构：所述电机传动配合工转传动装置，工转传动装置传动配合工件支架，大齿轮安装在工件支架上。
进一步的为更好地实现本发明，特别采用下述设置结构：所述支架安装在工件支架上，在轴I所对应的工件支架部位预留有活动空间。
进一步的为更好地实现本发明，特别采用下述设置结构：所述行星工作体系包括行星支架、齿轮III、轴II、转动支架、轴III、连接筒及工件盘，所述行星支架通过连杆和齿轮与齿轮II传动配合，所述齿轮III安装在行星支架上，所述工作盘设置在连接筒上，连接筒通过轴III配合在转动支架上，所述转动支架通过轴II配合在齿轮III上。
本发明与现有技术相比，具有以下优点及有益效果：
本发明解决现有技术行星类工件架通用性差的不足之处，其既能调节工件夹具的角度，也能调节夹具盘的圆周公转半径，能够尽可能保证工件架的通用性。
本发明相较于传统的斜面行星工件架和平面行星工件架而言，其上所放置的工件盘通过添加两组锥齿轮副实现了角度可调整，同时连接筒因为轴上的可移动位置的齿轮实现了在工件支架径向可调节。
附图说明
图1为本发明结构示意图。
图2为本发明的仰视图。
图3为本发明连接筒内的锥齿轮组截面图。
其中，1-电机、2-工转传动装置、3-工件支架、4-大齿轮、5-齿轮I、6-轴I、7-齿轮II、8-支架、9-行星支架、10-齿轮III、11-轴II、12-转动支架、13-轴III、14-连接筒、15-工件盘。
具体实施方式
下面结合实施例对本发明作进一步地详细说明，但本发明的实施方式不限于此。
为使本发明实施方式的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施方式中的附图，对本发明实施方式中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施方式是本发明一部分实施方式，而不是全部的实施方式。基于本发明中的实施方式，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施方式，都属于本发明保护的范围。因此，以下对在附图中提供的本发明的实施方式的详细描述并非旨在限制要求保护的本发明的范围，而是仅仅表示本发明的选定实施方式。
在本发明的描述中，需要理解的是，术语等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的设备或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。
此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本发明的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。
在本发明中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“设置”、“布设”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体，具体通过什么手段不限于螺接、过盈配合、铆接、螺纹辅助连接等各种常规机械连接方式。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
在本发明中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
值得注意的是：在本申请中，某些需要应用到本领域的公知技术或常规技术手段时，申请人可能存在没有在文中具体的阐述该公知技术或/和常规技术手段是一种什么样的技术手段，但不能以文中没有具体公布该技术手段，而认为本申请不符合专利法第二十六条第三款的情况。
实施例1：
如图1~图3所示，一种可调角度和位置的斜面行星工件架装置，解决现有技术行星类工件架通用性差的不足之处，其既能调节工件夹具的角度，也能调节夹具盘的圆周公转半径，能够尽可能保证工件架的通用性，包括电机1、工转传动装置2、工件支架3、大齿轮4、支架8及行星工作体系，还包括齿轮I5、轴I6及齿轮II7，其中，支架8用于安装轴I6，通常采用两个支架8安装一条轴I6的方式，轴I6常规方式安装在支架8上，齿轮I5和齿轮II7皆设置在轴I6上，使得两个齿轮能够随州I6的转动而转动，且齿轮II7在轴I6上沿轴向可远离或靠近齿轮II7，即再使用时，可以根据不同的需要，进行齿轮II7在轴I6上所处位置的调节，齿轮I5与大齿轮4呈立式啮合，齿轮II7传动配合行星工作体系。
在应用时，当装配到位后，齿轮II7调节至合适的位置后，启动后，电机1将带动工转传动装置2后将扭矩传递到工件支架3上，因大齿轮4是固定在工件支架3上的，所以工件支架3转动后会带动轴Ⅰ6上的齿轮Ⅰ5，齿轮Ⅰ5将扭矩传递到轴I6后带动齿轮Ⅱ7旋转，后带动行星工作体系运转。
实施例2：
本实施例是在上述实施例的基础上进一步优化，与前述技术方案相同部分在此将不再赘述，如图1~图3所示，进一步的为更好地实现本发明，特别采用下述设置结构：所述电机1传动配合工转传动装置2，工转传动装置2传动配合工件支架3，大齿轮4安装在工件支架3上。
在使用时，当装配到位后，齿轮II7调节至合适的位置后，启动后，电机1将带动工转传动装置2后将扭矩传递到工件支架3上，因大齿轮4是固定在工件支架3上的，所以工件支架3转动后会带动轴Ⅰ6上的齿轮Ⅰ5，齿轮Ⅰ5将扭矩传递到轴I6后带动齿轮Ⅱ7旋转，后带动行星工作体系运转。
实施例3：
本实施例是在上述任一实施例的基础上进一步优化，与前述技术方案相同部分在此将不再赘述，如图1~图3所示，进一步的为更好地实现本发明，特别采用下述设置结构：所述支架8安装在工件支架3上，在轴I6所对应的工件支架3部位预留有活动空间。
作为优选的设置方案，将支架8采用过盈配合或焊接或螺接或螺纹件辅助配合的方式安装在工件支架3上，并将轴I6采用两个支架8配一条轴I6的方式进行安装，并在工件支架3上，轴I6所对应的部位预留活动空间，使得当齿轮II7移位时，行星工作体系亦可在活动空间区域做相应的移位。
实施例4：
本实施例是在上述任一实施例的基础上进一步优化，与前述技术方案相同部分在此将不再赘述，如图1~图3所示，进一步的为更好地实现本发明，特别采用下述设置结构：所述行星工作体系包括行星支架9、齿轮III10、轴II11、转动支架12、轴III13、连接筒14及工件盘15，所述行星支架9通过连杆和齿轮与齿轮II7传动配合，所述齿轮III10安装在行星支架9上，所述工作盘15设置在连接筒14上，连接筒14通过轴III13配合在转动支架12上，所述转动支架12通过轴II11配合在齿轮III10上。
作为优选的设置方案，行星工作体系主要由行星支架9、齿轮III10、轴II11、转动支架12、轴III13、连接筒14及工件盘15组成，其中，行星支架9通过连杆和齿轮与齿轮II7传动配合，齿轮与齿轮II7呈90°啮合传动，齿轮III10安装在行星支架9上，行星支架9连接在工件支架3上，工作盘15设置在连接筒14上，连接筒14通过轴III13配合在转动支架12上，所述转动支架12通过轴II11配合在齿轮III10上。
本发明在使用时，工件盘15的径向调节为：齿轮Ⅱ7可以在轴Ⅰ6上滑动到所需位置，后通过安装在齿轮Ⅱ7的平端紧定螺钉进行夹紧固定位置；与之配合的行星支架9等部分可通过拧松与工件支架3连接的螺钉后进行相应径向的滑动使其齿轮与齿轮Ⅱ7配合后将螺钉拧紧后固定，从而实现其上的工件盘15的径向调节。
其工件盘15的角度调节为：通过调节行星支架9上的内六角螺钉的进给量来调整转动支架的转动角度，调整到所需角度后通过转动支架12上的螺钉和行星支架9夹紧。
当径向和角度调节到位后，启动后，电机1带动工转传动装置2后将扭矩传递到工件支架3上，因大齿轮4是固定在工件支架3上的，所以工件支架3转动后会带动轴Ⅰ6上的齿轮Ⅰ5，齿轮Ⅰ5将扭矩传递到轴I6后带动齿轮Ⅱ7旋转，后带动齿轮Ⅲ10转动，然后通过行星支架9内部的锥齿轮组将扭矩传递到固定在连接筒14上的工件盘15上，从而实现工件盘15的自转；因工件盘15是通过轴III13固定在转动支架12上的，转动支架12和行星支架9固定在一起，所以工件支架3转动时会带动工件盘15绕着圆周旋转，从而实现工件盘15的公转。
以上所述，仅是本发明的较佳实施例，并非对本发明做任何形式上的限制，凡是依据本发明的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化，均在本发明的保护范围之内。
Claims (4)
1.一种可调角度和位置的斜面行星工件架装置，包括电机（1）、工转传动装置（2）、工件支架（3）、大齿轮（4）、支架（8）及行星工作体系，其特征在于：还包括齿轮I（5）、轴I（6）及齿轮II（7），所述轴I（6）安装在支架（8）上，齿轮I（5）和齿轮II（7）皆设置在轴I（6）上，且齿轮II（7）在轴I（6）上沿轴向可远离或靠近齿轮II（7），齿轮I（5）与大齿轮（4）呈立式啮合，齿轮II（7）传动配合行星工作体系。
2.根据权利要求1所述的一种可调角度和位置的斜面行星工件架装置，其特征在于：所述电机（1）传动配合工转传动装置（2），工转传动装置（2）传动配合工件支架（3），大齿轮（4）安装在工件支架（3）上。
3.根据权利要求1或2所述的一种可调角度和位置的斜面行星工件架装置，其特征在于：所述支架（8）安装在工件支架（3）上，在轴I（6）所对应的工件支架（3）部位预留有活动空间。
4.根据权利要求1或2所述的一种可调角度和位置的斜面行星工件架装置，其特征在于：所述行星工作体系包括行星支架（9）、齿轮III（10）、轴II（11）、转动支架（12）、轴III（13）、连接筒（14）及工件盘（15），所述行星支架（9）通过连杆和齿轮与齿轮II（7）传动配合，所述齿轮III（10）安装在行星支架（9）上，所述工作盘（15）设置在连接筒（14）上，连接筒（14）通过轴III（13）配合在转动支架（12）上，所述转动支架（12）通过轴II（11）配合在齿轮III（10）上。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202110902884.XA CN113652663A (zh) | 2021-08-06 | 2021-08-06 | 一种可调角度和位置的斜面行星工件架装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202110902884.XA CN113652663A (zh) | 2021-08-06 | 2021-08-06 | 一种可调角度和位置的斜面行星工件架装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN113652663A true CN113652663A (zh) | 2021-11-16 |
Family
ID=78478600
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202110902884.XA Pending CN113652663A (zh) | 2021-08-06 | 2021-08-06 | 一种可调角度和位置的斜面行星工件架装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN113652663A (zh) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN114318239A (zh) * | 2021-12-30 | 2022-04-12 | 中国科学院西安光学精密机械研究所 | 一种光学斜蒸镀膜用多角度可调镀膜工件架 |
| CN114752911A (zh) * | 2022-04-22 | 2022-07-15 | 捷捷微电(南通)科技有限公司 | 行星式穹顶安装架和真空镀膜机 |
| CN117721421A (zh) * | 2024-02-07 | 2024-03-19 | 成都国泰真空设备有限公司 | 消除低温下成膜分光曲线分层现象的装置及方法 |
Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0258764A1 (de) * | 1986-09-04 | 1988-03-09 | Siemens Aktiengesellschaft | Antriebsanordnung bei einem Industrieroboter |
| US5106346A (en) * | 1990-08-14 | 1992-04-21 | Leybold Aktiengesellschaft | Planetary gear system with a set of gears, particularly for devices for coating substrates |
| DE4312552A1 (de) * | 1993-04-17 | 1994-10-20 | Leybold Ag | Substrataufnahme |
| CN111676461A (zh) * | 2020-06-28 | 2020-09-18 | 布勒莱宝光学设备（北京）有限公司 | 一种多级行星旋转镀膜机构 |
| CN112877668A (zh) * | 2021-01-13 | 2021-06-01 | 湘潭大学 | 一种大面积可变半径曲面薄膜基片架 |
| CN216141610U (zh) * | 2021-08-06 | 2022-03-29 | 成都国泰真空设备有限公司 | 一种可调角度和位置的斜面行星工件架装置 |
-
2021
- 2021-08-06 CN CN202110902884.XA patent/CN113652663A/zh active Pending
Patent Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0258764A1 (de) * | 1986-09-04 | 1988-03-09 | Siemens Aktiengesellschaft | Antriebsanordnung bei einem Industrieroboter |
| US5106346A (en) * | 1990-08-14 | 1992-04-21 | Leybold Aktiengesellschaft | Planetary gear system with a set of gears, particularly for devices for coating substrates |
| DE4312552A1 (de) * | 1993-04-17 | 1994-10-20 | Leybold Ag | Substrataufnahme |
| CN111676461A (zh) * | 2020-06-28 | 2020-09-18 | 布勒莱宝光学设备（北京）有限公司 | 一种多级行星旋转镀膜机构 |
| CN112877668A (zh) * | 2021-01-13 | 2021-06-01 | 湘潭大学 | 一种大面积可变半径曲面薄膜基片架 |
| CN216141610U (zh) * | 2021-08-06 | 2022-03-29 | 成都国泰真空设备有限公司 | 一种可调角度和位置的斜面行星工件架装置 |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN114318239A (zh) * | 2021-12-30 | 2022-04-12 | 中国科学院西安光学精密机械研究所 | 一种光学斜蒸镀膜用多角度可调镀膜工件架 |
| CN114318239B (zh) * | 2021-12-30 | 2022-10-04 | 中国科学院西安光学精密机械研究所 | 一种光学斜蒸镀膜用多角度可调镀膜工件架 |
| CN114752911A (zh) * | 2022-04-22 | 2022-07-15 | 捷捷微电(南通)科技有限公司 | 行星式穹顶安装架和真空镀膜机 |
| CN114752911B (zh) * | 2022-04-22 | 2024-04-05 | 捷捷微电(南通)科技有限公司 | 行星式穹顶安装架和真空镀膜机 |
| CN117721421A (zh) * | 2024-02-07 | 2024-03-19 | 成都国泰真空设备有限公司 | 消除低温下成膜分光曲线分层现象的装置及方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN113652663A (zh) | 一种可调角度和位置的斜面行星工件架装置 | |
| CN216141610U (zh) | 一种可调角度和位置的斜面行星工件架装置 | |
| CN108032078B (zh) | 一种航空发动机低压涡轮轴-盘组件的装配装置 | |
| CN108356622A (zh) | 一种安装于铣床主轴的可变径内孔磨削装置及加工方法 | |
| CN103878786B (zh) | 一种机器人的具有三自由度的腕部 | |
| CN109249335B (zh) | 一种汽车轴类零件装配工装 | |
| CN209444793U (zh) | 一种齿轮啮合调隙机构 | |
| CN209998978U (zh) | 一种行星抛光装置 | |
| CN212834006U (zh) | 一种蒸发镀膜用回转工装 | |
| CN213946372U (zh) | 一种行星齿轮加工用的多角度调节工装 | |
| CN215942228U (zh) | 一种三爪自定心机构 | |
| CN212894954U (zh) | 一种多级行星旋转镀膜机构 | |
| CN214517997U (zh) | 一种用于齿顶面打磨的夹持机构 | |
| CN209887051U (zh) | 偏心螺栓锁止装置 | |
| CN210475661U (zh) | 一种便携式表面精加工设备 | |
| CN204346641U (zh) | 一种纯机械式高速主轴在线动平衡头 | |
| CN209998944U (zh) | 一种单传动行星抛光装置 | |
| CN221089081U (zh) | 一种多轴可调型机械臂 | |
| CN112877668A (zh) | 一种大面积可变半径曲面薄膜基片架 | |
| CN220740810U (zh) | 一种轮毂加工定位结构 | |
| CN219004631U (zh) | 一种齿轮传动的卡盘安装机架 | |
| CN109458452A (zh) | 一种齿轮啮合调隙机构 | |
| CN208316498U (zh) | 旋转组件和旋转装置 | |
| CN220547870U (zh) | 一种螺母紧固机 | |
| CN205184710U (zh) | 旋转工装装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| TA01 | Transfer of patent application right |
Effective date of registration: 20220110 Address after: 618 Kelin West Road, Chengdu cross strait science and Technology Industrial Development Park, Wenjiang District, Chengdu, Sichuan 610000 Applicant after: CHENGDU GUOTAI VACUUM EQUIPMENT CO.,LTD. Address before: 618 Kelin West Road, Chengdu cross strait science and Technology Industrial Development Park, Wenjiang District, Chengdu, Sichuan 610000 Applicant before: Sichuan Jincheng Guotai Vacuum Equipment Co.,Ltd. |
|
| TA01 | Transfer of patent application right |