CN113648806B - 一种半导体制程废气中氟化物的净化装置 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种半导体制程废气中氟化物的净化装置，其结构包括净化箱体，所述净化箱体的外部设置有报警器、密封盖板、进气管、排液阀、驱动电机和控制器，所述报警器固定连接在所述净化箱体上端的中间处，所述密封盖板密封连接在所述净化箱体正前方的上方，所述进气管固定连接在所述净化箱体右端的上方，所述排液阀固定连接在所述净化箱体右端的下方，所述驱动电机固定连接在所述净化箱体左端的上方。本发明实现了对净化装置内部反应物的量进行自动检测，并且报警提示，避免了净化装置内部反应物缺少操作人员及时发现和更换的现象，而且增加了反应物与废气的接触面积，防止反应物出现反应不充分的现象。

Description

一种半导体制程废气中氟化物的净化装置
技术领域
本发明涉及半导体生产技术领域，具体为一种半导体制程废气中氟化物的净化装置。
背景技术
根据专利201810747069.9可知，一种半导体制程废气中氟化物的净化装置，涉及净化装置技术领域。该半导体制程废气中氟化物的净化装置，包括机架，所述机架的左端通过废气管连通有废弃输出端，所述机架的顶端固定安装有火焰反应腔，所述火焰反应腔的内壁底端固定安装有空心管，所述空心管的顶部固定安装燃气反应装置，所述燃气反应装置包括燃气反应箱，所述火焰反应腔通过进气口连通有燃气输出端，所述燃气反应箱的外表面固定安装有火焰喷头。该半导体制程废气中氟化物的净化装置，把废气内的氟化物净化的更加彻底，更加高效，节约了净化时间，同时采用热能的循环利用节约能源，更加环保，使得把高温反应与水反应结合，节约反应时间和节约能源。
目前，现有的半导体制程废气中氟化物的净化装置还存在着一些不足的地方，例如；现有的半导体制程废气中氟化物的净化装置不能对其内部反应物的量进行自动检测，并且报警提示，净化装置内部反应物缺少操作人员不能及时发现和更换的现象，而且反应物与废气的接触面积比较小，反应物容易出现反应不充分的现象，操作人员处理反应生成物和更换反应物时的速度比较慢，提高了操作人员在处理反应生成物和更换反应物时的劳动强度，降低了净化装置拆装时的便捷性。
发明内容
本发明的目的在于提供一种半导体制程废气中氟化物的净化装置，解决了背景技术中所提出的问题。
为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种半导体制程废气中氟化物的净化装置，包括净化箱体，所述净化箱体的外部设置有报警器、密封盖板、进气管、排液阀、驱动电机和控制器，所述报警器固定连接在所述净化箱体上端的中间处，所述密封盖板密封连接在所述净化箱体正前方的上方，所述进气管固定连接在所述净化箱体右端的上方，所述排液阀固定连接在所述净化箱体右端的下方，所述驱动电机固定连接在所述净化箱体左端的上方，所述控制器固定连接在所述净化箱体正前方的下方；
所述净化箱体的内部设置有净化室和集水槽，所述净化室位于所述净化箱体内部的上方，所述集水槽位于所述净化箱体内部的下方，所述净化室通过电磁阀与所述集水槽相连接，所述净化室上设置有收集网框、轴承、风机、喷气管和氟化氢气体探测器，所述收集网框活动连接在所述净化室内部的底部，所述轴承固定连接在所述净化室的内部，所述风机固定连接在所述净化室内部的上方，所述喷气管密封连接在所述净化室内部的右上方，所述氟化氢气体探测器固定连接在所述净化室内部的左上方，所述轴承的内环处固定连接有网状滚筒，所述网状滚筒的中间通过螺栓固定连接有网状盖板，所述喷气管的右端通过电磁流量阀与所述进气管的左端相连接；
所述控制器通过导线电性连接有电磁开关，所述电磁开关通过导线分别与所述驱动电机和风机电性连接，所述报警器、电磁阀、电磁流量阀和氟化氢气体探测器分别通过导线与所述控制器电性连接。
作为本发明的一种优选实施方式，所述排液阀的左端穿过所述净化箱体的外部，并且与所述集水槽的右下方密封连接。
作为本发明的一种优选实施方式，所述驱动电机的输出端通过轴承与所述网状滚筒的左端固定连接，所述轴承对称设置在所述净化室的左右两侧。
作为本发明的一种优选实施方式，所述电磁阀的上端密封连接在所述净化室的底部，所述电磁阀的下端密封连接在所述集水槽的上端。
作为本发明的一种优选实施方式，所述电磁流量阀的左端密封连接在所述喷气管的右端，所述电磁流量阀的右端密封连接在所述进气管的左端。
作为本发明的一种优选实施方式，所述密封盖板的位置与所述净化室的位置相对应，并且与所述净化室的大小相吻合。
作为本发明的一种优选实施方式，所述喷气管的底部均匀设置有喷气孔。
与现有技术相比，本发明的有益效果如下：
1、本发明通过报警器、排液阀、驱动电机、控制器、电磁阀、轴承、风机、喷气管、氟化氢气体探测器、网状滚筒、网状盖板、电磁流量阀、电磁开关和喷气孔的结合，有效的实现了对净化装置内部反应物的量进行自动检测，并且报警提示，避免了净化装置内部反应物缺少操作人员及时发现和更换的现象，而且增加了反应物与废气的接触面积，防止反应物出现反应不充分的现象。
2、本发明通过密封盖板、收集网框、网状滚筒和网状盖板的结合，有效的加快了操作人员处理反应生成物和更换反应物时的速度，降低了操作人员在处理反应生成物和更换反应物时的劳动强度，提高了净化装置拆装时的便捷性。
附图说明
通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本发明的其它特征、目的和优点将会变得更明显：
图1为本发明一种半导体制程废气中氟化物的净化装置的结构示意图；
图2为本发明一种半导体制程废气中氟化物的净化装置的剖视图；
图3为本发明一种半导体制程废气中氟化物的净化装置的喷气管结构示意图；
图4为本发明一种半导体制程废气中氟化物的净化装置的控制流程图。
图中：净化箱体1、报警器2、密封盖板3、进气管4、排液阀5、驱动电机6、控制器7、净化室8、集水槽9、电磁阀10、收集网框11、轴承12、风机13、喷气管14、氟化氢气体探测器15、网状滚筒16、网状盖板17、电磁流量阀18、电磁开关19、喷气孔20。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。
在本发明的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。
请参阅图1-图4，本发明提供一种技术方案：一种半导体制程废气中氟化物的净化装置，包括净化箱体1，净化箱体1的外部设置有报警器2、密封盖板3、进气管4、排液阀5、驱动电机6和控制器7，报警器2固定连接在净化箱体1上端的中间处，密封盖板3密封连接在净化箱体1正前方的上方，进气管4固定连接在净化箱体1右端的上方，排液阀5固定连接在净化箱体1右端的下方，驱动电机6固定连接在净化箱体1左端的上方，控制器7固定连接在净化箱体1正前方的下方；
净化箱体1的内部设置有净化室8和集水槽9，净化室8位于净化箱体1内部的上方，集水槽9位于净化箱体1内部的下方，净化室8通过电磁阀10与集水槽9相连接，净化室8上设置有收集网框11、轴承12、风机13、喷气管14和氟化氢气体探测器15，收集网框11活动连接在净化室8内部的底部，轴承12固定连接在净化室8的内部，风机13固定连接在净化室8内部的上方，喷气管14密封连接在净化室8内部的右上方，氟化氢气体探测器15固定连接在净化室8内部的左上方，轴承12的内环处固定连接有网状滚筒16，网状滚筒16的中间通过螺栓固定连接有网状盖板17，喷气管14的右端通过电磁流量阀18与进气管4的左端相连接；
控制器7通过导线电性连接有电磁开关19，电磁开关19通过导线分别与驱动电机6和风机13电性连接，报警器2、电磁阀10、电磁流量阀18和氟化氢气体探测器15分别通过导线与控制器7电性连接。
本发明中，当净化装置使用的时候，首先将氢氧化钙放入到网状滚筒16的内部，然后再将网状盖板17密封在网状滚筒16的外部，再将密封盖板3密封在净化箱体1的外部，接着再由控制器7控制电磁流量阀18打开，并且控制电磁阀10闭合，这时含有氟化氢的废气从进气管4进入到电磁流量阀18的内部，再由电磁流量阀18将气体输送到喷气管14的内部，再由喷气管14将气体从喷气孔20喷入到净化室8的内部，再由驱动电机6通过轴承12带动网状滚筒16进行转动，这时氟化氢气体会与网状滚筒16内部的氢氧化钙进行反应，风机13运作，以至于对净化时内部的气体进行混合，在此过程中氟化氢气体探测器15会对净化室8内部的氟化氢气体量进行检测，当氟化氢气体量大于氟化氢气体探测器15的检测范围时，控制器7会控制报警器2进行报警，同时控制电磁流量阀18闭合，排液阀5打开，这时反应产生的水会通过电磁阀10进入到集水槽9的内部，多余的气体也会进入到集水槽9内部与水反应，操作人员再将密封盖板3打开，并且将网状盖板17打开，再将网状滚筒16内部的反应沉淀物放入到收集网框11的内部，然后再将收集网框11从密封盖板11处移出净化室8的内部，并且添加新的氢氧化钙。
在一个可选的实施例中，排液阀5的左端穿过净化箱体1的外部，并且与集水槽9的右下方密封连接。
需要说明的是，方便让排液阀5对集水槽9内部收集的水进行排放。
在一个可选的实施例中，驱动电机6的输出端通过轴承12与网状滚筒16的左端固定连接，轴承12对称设置在净化室8的左右两侧。
需要说明的是，方便让驱动电机6通过轴承12带动网状滚筒16进行转动。
在一个可选的实施例中，电磁阀10的上端密封连接在净化室8的底部，电磁阀10的下端密封连接在集水槽9的上端。
需要说明的是，方便让电磁阀10将净化室8内部的水排放到集水槽9的内部。
在一个可选的实施例中，电磁流量阀18的左端密封连接在喷气管14的右端，电磁流量阀18的右端密封连接在进气管4的左端。
需要说明的是，方便让电磁流量阀18对通气的量进行检测和控制。
在一个可选的实施例中，密封盖板3的位置与净化室8的位置相对应，并且与净化室8的大小相吻合。
需要说明的是，方便让密封盖板3与净化室8进行拆装。
在一个可选的实施例中，喷气管14的底部均匀设置有喷气孔20。
需要说明的是，方便让喷气管14内部的气体从喷气孔20喷出。
以上显示和描述了本发明的基本原理和主要特征和本发明的优点，对于本领域技术人员而言，显然本发明不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本发明的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本发明。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本发明的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本发明内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。
此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。

Claims (7)

1.一种半导体制程废气中氟化物的净化装置，包括净化箱体(1)，其特征在于：所述净化箱体(1)的外部设置有报警器(2)、密封盖板(3)、进气管(4)、排液阀(5)、驱动电机(6)和控制器(7)，所述报警器(2)固定连接在所述净化箱体(1)上端的中间处，所述密封盖板(3)密封连接在所述净化箱体(1)正前方的上方，所述进气管(4)固定连接在所述净化箱体(1)右端的上方，所述排液阀(5)固定连接在所述净化箱体(1)右端的下方，所述驱动电机(6)固定连接在所述净化箱体(1)左端的上方，所述控制器(7)固定连接在所述净化箱体(1)正前方的下方；
所述净化箱体(1)的内部设置有净化室(8)和集水槽(9)，所述净化室(8)位于所述净化箱体(1)内部的上方，所述集水槽(9)位于所述净化箱体(1)内部的下方，所述净化室(8)通过电磁阀(10)与所述集水槽(9)相连接，所述净化室(8)上设置有收集网框(11)、轴承(12)、风机(13)、喷气管(14)和氟化氢气体探测器(15)，所述收集网框(11)活动连接在所述净化室(8)内部的底部，所述轴承(12)固定连接在所述净化室(8)的内部，所述风机(13)固定连接在所述净化室(8)内部的上方，所述喷气管(14)密封连接在所述净化室(8)内部的右上方，所述氟化氢气体探测器(15)固定连接在所述净化室(8)内部的左上方，所述轴承(12)的内环处固定连接有网状滚筒(16)，所述网状滚筒(16)的中间通过螺栓固定连接有网状盖板(17)，所述喷气管(14)的右端通过电磁流量阀(18)与所述进气管(4)的左端相连接；
所述控制器(7)通过导线电性连接有电磁开关(19)，所述电磁开关(19)通过导线分别与所述驱动电机(6)和风机(13)电性连接，所述报警器(2)、电磁阀(10)、电磁流量阀(18)和氟化氢气体探测器(15)分别通过导线与所述控制器(7)电性连接。
2.根据权利要求1所述的一种半导体制程废气中氟化物的净化装置，其特征在于：所述排液阀(5)的左端穿过所述净化箱体(1)的外部，并且与所述集水槽(9)的右下方密封连接。
3.根据权利要求1所述的一种半导体制程废气中氟化物的净化装置，其特征在于：所述驱动电机(6)的输出端通过轴承(12)与所述网状滚筒(16)的左端固定连接，所述轴承(12)对称设置在所述净化室(8)的左右两侧。
4.根据权利要求1所述的一种半导体制程废气中氟化物的净化装置，其特征在于：所述电磁阀(10)的上端密封连接在所述净化室(8)的底部，所述电磁阀(10)的下端密封连接在所述集水槽(9)的上端。
5.根据权利要求1所述的一种半导体制程废气中氟化物的净化装置，其特征在于：所述电磁流量阀(18)的左端密封连接在所述喷气管(14)的右端，所述电磁流量阀(18)的右端密封连接在所述进气管(4)的左端。
6.根据权利要求1所述的一种半导体制程废气中氟化物的净化装置，其特征在于：所述密封盖板(3)的位置与所述净化室(8)的位置相对应，并且与所述净化室(8)的大小相吻合。
7.根据权利要求1所述的一种半导体制程废气中氟化物的净化装置，其特征在于：所述喷气管(14)的底部均匀设置有喷气孔(20)。
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