CN113588719A - 一种振镜失效检测方法及装置 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种振镜失效检测方法及装置，在待测振镜振动过程中向待测振镜投射出光，获取待测振镜的反射光形成的图像；根据图像获得待测振镜的失效检测结果。与现有技术相比，本发明避免了由检测人员评判振镜是否失效，受检测人员的主观性影响小，并且能够提高检测效率。

Description

一种振镜失效检测方法及装置

技术领域

本发明涉及光学器件技术领域，特别是涉及一种振镜失效检测方法及装置。

背景技术

光机是数字光处理(Digital Light Processing，DLP)投影***中重要的部件之一。为了增加图像解析度，在光机***中使用振镜，通过镜片摆动使图像源的单一像素变为多个像素。

但是，检测振镜摆动效果是否正常以及振镜是否失效，就成为本技术领域需要解决的问题。现有技术中采用激光反射方法，将激光投射到振镜镜片上，经过反射投射到屏幕上，振镜不工作模式下，屏幕上显示一个激光点；在振镜正常工作模式下，会将一个激光点变成多个激光点，比如2个点(单轴)或者4个点(双轴)，根据在屏幕上形成的激光点排布情况来评判振镜的摆动工作情况。但是这种方法检测精度低，检测人员的主观性影响较大，也不适用于产线上使用以及批量检验。

发明内容

本发明的目的是提供一种振镜失效检测方法及装置，能够提高检测效率以及受检测人员的主观性影响小。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：

一种振镜失效检测方法，包括：

在待测振镜振动过程中向所述待测振镜投射出光，获取所述待测振镜的反射光形成的图像；

根据所述图像获得所述待测振镜的失效检测结果。

优选的，向所述待测振镜投射出光对应图像的像素单元包括第一部分和第二部分；

根据所述图像获得所述待测振镜的失效检测结果包括：根据所述图像的像素单元中第一部分像素与第二部分像素的相对位置，获得所述待测振镜的偏转率，根据所述待测振镜的偏转率获得所述待测振镜的失效检测结果，所述待测振镜的偏转率反映了所述待测振镜实际摆动情况相对于目标摆动情况的偏差大小。

优选的，向所述待测振镜投射出光对应图像的像素单元包括沿着第二轴向排列的第一部分和第二部分，第一部分为单像素，第二部分为双像素，第一轴向与第二轴向相互垂直；

根据所述图像获得所述待测振镜的失效检测结果具体包括：

根据所述图像的像素单元中单像素沿第一轴向的两个边缘位置以及双像素沿第一轴向的中点位置，获得所述待测振镜沿第一轴向的偏转率，所述待测振镜沿第一轴向的偏转率反映了所述待测振镜沿第一轴向的实际摆动情况相对于沿第一轴向的目标摆动情况的偏差大小。

优选的，所述待测振镜振动过程包括所述待测振镜分别沿第一轴向摆动和沿第二轴向摆动；

根据所述图像获得所述待测振镜的失效检测结果包括：

根据所述图像中对应所述待测振镜沿第一轴向摆动形成的像素单元，获得所述待测振镜沿第一轴向的偏转率，以及根据所述图像中对应所述待测振镜沿第二轴向摆动形成的像素单元，获得所述待测振镜沿第二轴向的偏转率，所述待测振镜沿第一轴向的偏转率反映了所述待测振镜沿第一轴向的实际摆动情况相对于沿第一轴向的目标摆动情况的偏差大小，所述待测振镜沿第二轴向的偏转率反映了所述待测振镜沿第二轴向的实际摆动情况相对于沿第二轴向的目标摆动情况的偏差大小；

将得到的所述待测振镜沿第一轴向的偏转率以及沿第二轴向的偏转率进行统计，得到第一偏转率统计结果；

根据得到的所述待测振镜沿第一轴向的偏转率、沿第二轴向的偏转率以及所述第一偏转率统计结果，获得所述待测振镜的失效检测结果。

优选的，所述待测振镜振动过程包括进行至少两次摆动；

根据所述图像获得所述待测振镜的失效检测结果包括：

根据所述图像中对应所述待测振镜各次摆动形成的像素单元，分别获得所述待测振镜各次摆动对应的偏转率，所述待测振镜的偏转率反映了所述待测振镜实际摆动情况相对于目标摆动情况的偏差大小；

将得到的所述待测振镜各次摆动对应的偏转率进行统计分析，获得第二偏转率统计结果；

根据得到的所述待测振镜各次摆动对应的偏转率以及所述第二偏转率统计结果，获得所述待测振镜的失效检测结果。

优选的，向所述待测振镜投射出光对应图像的像素单元包括至少三种颜色部分；

根据所述图像获得所述待测振镜的失效检测结果包括：

根据所述图像的像素单元中每一种颜色部分获得所述待测振镜的偏转率，所述待测振镜的偏转率反映了所述待测振镜实际摆动情况相对于目标摆动情况的偏差大小；

将所述图像的像素单元中各种颜色部分对应得到的偏转率进行统计，得到第三偏转率统计结果；

根据所述图像的像素单元中各种颜色部分对应得到的偏转率以及所述第三偏转率统计结果，获得所述待测振镜的失效检测结果。

优选的，所述待测振镜进行至少两次振动过程，根据所述待测振镜每一次振动过程后获得的所述图像，得到所述待测振镜的偏转率，所述待测振镜的偏转率反映了所述待测振镜实际摆动情况相对于目标摆动情况的偏差大小；

获得所述待测振镜的失效检测结果包括：将所述待测振镜各次振动过程对应获得的偏转率进行统计分析，根据得到的第四偏转率统计结果，获得所述待测振镜的失效检测结果。

优选的，将所述待测振镜各次振动过程对应获得的偏转率进行统计分析包括：计算所述待测振镜前后两次振动过程获得的偏转率的差量。

一种振镜失效检测装置，包括光源装置和控制装置，所述光源装置用于向所述待测振镜投射出光，所述控制装置与所述待测振镜、所述光源装置分别相连，用于控制所述待测振镜振动以及根据获得图像得到所述待测振镜的失效检测结果，其中所述图像为在所述待测振镜振动过程中向所述待测振镜投射出光，所述待测振镜的反射光形成的图像。

优选的，所述待测振镜与所述光源装置耦合安装以使得所述待测振镜与所述光源装置相对位置固定。

由上述技术方案可知，本发明所提供的一种振镜失效检测方法，在待测振镜振动过程中向待测振镜投射出光，获取待测振镜的反射光形成的图像，根据图像获得待测振镜的失效检测结果。与现有技术相比，本发明的振镜失效检测方法避免了由检测人员评判振镜是否失效，受检测人员的主观性影响小，并且能够提高检测效率。

本发明提供的一种振镜失效检测装置，能够达到上述有益效果。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明实施例提供的一种振镜失效检测方法的流程图；

图2(a)为本发明一具体实例中所得图像的一种像素单元示意图；

图2(b)为本发明一具体实例中所得图像的又一种像素单元示意图；

图3为本发明一实施例中根据所得图像获得待测振镜的失效检测结果的方法流程图；

图4为本发明又一实施例中根据所得图像获得待测振镜的失效检测结果的方法流程图；

图5为本发明又一实施例中根据所得图像获得待测振镜的失效检测结果的方法流程图；

图6为本发明又一具体实例中所得图像的局部示意图；

图7为本发明实施例提供的一种振镜失效检测装置的示意图。

具体实施方式

为了使本技术领域的人员更好地理解本发明中的技术方案，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都应当属于本发明保护的范围。

请参考图1，图1为本实施例提供的一种振镜失效检测方法的流程图，如图所示，所述方法包括以下步骤：

S100：在待测振镜振动过程中向所述待测振镜投射出光，获取所述待测振镜的反射光形成的图像。

控制待测振镜振动，在待测振镜振动过程中向待测振镜投射出光，待测振镜将照射到自身的光反射出，反射光投射出形成图像。

S101：根据所述图像获得所述待测振镜的失效检测结果。根据由待测振镜反射光形成的图像，获得待测振镜的失效检测结果。

与现有技术相比，本实施例的振镜失效检测方法避免了由检测人员评判振镜是否失效，受检测人员的主观性影响小，并且能够提高检测效率。

下面对本振镜失效检测方法中根据所成图像获得振镜失效检测结果的方法进行详细说明。

可选的，向待测振镜投射出光对应图像的像素单元包括第一部分和第二部分，相应的，根据图像获得待测振镜的失效检测结果包括：根据所述图像的像素单元中第一部分像素与第二部分像素的相对位置，获得所述待测振镜的偏转率，根据所述待测振镜的偏转率获得所述待测振镜的失效检测结果，所述待测振镜的偏转率反映了所述待测振镜实际摆动情况相对于目标摆动情况的偏差大小。

投射光经过待测振镜镜片反射后进行成像，待测振镜的摆动情况会影响所成图像的成像效果。若待测振镜摆动情况正常，则所得图像中像素单元的成像效果与目标成像效果一致；若待测振镜摆动异常，则所得图像中像素单元的成像结果与目标成像效果存在偏差。

本实施例方法中，向待测振镜投射的光对应图像的像素单元分为第一部分和第二部分，根据在所得图像中像素单元第一部分像素和第二部分像素的相对位置，以所得图像中像素单元第一部分像素和第二部分像素的相对位置，表征振镜实际摆动情况相对于目标摆动情况的偏差即振镜的偏转率。根据获得的待测振镜偏转率能够评判待测振镜摆动是否失效以及失效情况。

本实施例中，对向待测振镜投射出图像的像素单元第一部分像素、第二部分像素的像素数量或者排布方式不进行限定，只要能实现根据所得图像的像素单元第一部分像素和第二部分像素的相对位置表征振镜的偏转率即可。

另外本实施例中，对所得图像中像素单元第一部分像素和第二部分像素的相对位置的具体表示方式不进行限定，只要所表示的像素单元第一部分像素和第二部分像素的相对位置能够反映振镜实际摆动情况相对于目标摆动情况的偏差大小即可。在实际应用中，可以根据能使计算两部分像素相对位置的计算过程简单以及能较准确地反映振镜实际摆动情况相对于目标摆动情况的偏差，来确定像素单元两部分各自的像素数量、像素排布方式，以及两部分像素相对位置的具体表示方式。

示例性的请参考图2(a)，图2(a)为一具体实例中所得图像的一种像素单元示意图，如图所示图像像素单元的第一部分为单像素，第二部分为双像素，具体以单像素的两个边缘位置以及双像素的中点位置来表示第一部分像素和第二部分像素的相对位置，来表征振镜的偏转率。

因此，本实施例的振镜失效检测方法根据所得图像的像素单元成像情况，获得振镜实际摆动情况相对于目标摆动情况的偏差大小，评判振镜是否失效以及失效情况，实现了在像素级检测振镜的失效情况，对振镜的失效情况检测结果更精确。

可选的，向待测振镜投射出光对应图像的像素单元包括沿着第二轴向排列的第一部分和第二部分，第一部分为单像素，第二部分为双像素，第一轴向与第二轴向相互垂直。

相应的，根据所得图像获得待测振镜的失效检测结果具体包括：

根据所述图像的像素单元中单像素沿第一轴向的两个边缘位置以及双像素沿第一轴向的中点位置，获得所述待测振镜沿第一轴向的偏转率，所述待测振镜沿第一轴向的偏转率反映了所述待测振镜沿第一轴向的实际摆动情况相对于沿第一轴向的目标摆动情况的偏差大小。

示例性的请参考图2(a)，如图所示，所得图像的像素单元包括沿着y轴排列的第一部分和第二部分，第一部分为单像素，第二部分为双像素。根据单像素沿x轴的边缘位置x1和x2以及双像素的中点位置xf，获得表征两部分像素相对位置的参量，表征待测振镜沿x轴的偏转率。

同理的请参考图2(b)，图2(b)为一具体实例中所得图像的又一种像素单元示意图，如图所示，所得图像的像素单元包括沿着x轴排列的第一部分和第二部分，第一部分为单像素，第二部分为双像素。根据单像素沿y轴的边缘位置y1和y2以及双像素的中点位置yf，获得表征两部分像素相对位置的参量，表征待测振镜沿y轴的偏转率。

可选的，振镜沿x轴的偏转率计算式可表示为：

振镜沿y轴的偏转率计算式可表示为：

本具体实例中以单像素和双像素来计算和表征振镜的偏转率，计算方法简单，有助于提高检测效率。

进一步可选的，待测振镜振动过程包括所述待测振镜分别沿第一轴向摆动和沿第二轴向摆动，获得待测振镜进行振动过程后所投射形成的图像，在所得图像中包括待测振镜沿第一轴向摆动对应形成的像素单元以及待测振镜沿第二轴向摆动对应形成的像素单元。

相应的请参考图3，图3为一实施例中根据所得图像获得待测振镜的失效检测结果的方法流程图，根据所述图像获得待测振镜的失效检测结果包括以下步骤：

S200：根据所述图像中对应所述待测振镜沿第一轴向摆动形成的像素单元，获得所述待测振镜沿第一轴向的偏转率，以及根据所述图像中对应所述待测振镜沿第二轴向摆动形成的像素单元，获得所述待测振镜沿第二轴向的偏转率。

待测振镜沿第一轴向的偏转率反映了待测振镜沿第一轴向的实际摆动情况相对于沿第一轴向的目标摆动情况的偏差大小，待测振镜沿第二轴向的偏转率反映了待测振镜沿第二轴向的实际摆动情况相对于沿第二轴向的目标摆动情况的偏差大小。

其中，根据所得图像的像素单元得到待测振镜沿第一轴向的偏转率以及沿第二轴向的偏转率的具体方法，均可参考上面描述获得偏转率的实施方式。

S201：将得到的所述待测振镜沿第一轴向的偏转率以及沿第二轴向的偏转率进行统计，得到第一偏转率统计结果。

本实施例中，对待测振镜沿第一轴向的偏转率以及沿第二轴向的偏转率进行统计的具体统计方法不进行限定，比如可以是统计待测振镜沿第一轴向的偏转率和沿第二轴向的偏转率的平均值，或者是将待测振镜沿第一轴向的偏转率和沿第二轴向的偏转率做其它的线性运算或者非线性运算。

S202：根据得到的所述待测振镜沿第一轴向的偏转率、沿第二轴向的偏转率以及所述第一偏转率统计结果，获得所述待测振镜的失效检测结果。

可选的，可针对待测振镜沿第一轴向的偏转率、沿第二轴向的偏转率以及第一偏转率统计结果分别设置相应条件，根据各项计算结果是否满足相应条件来判断待测振镜是否失效以及失效情况。可选的，可以是若待测振镜沿第一轴向的偏转率、沿第二轴向的偏转率以及第一偏转率统计结果中的至少一项不满足相应条件，则判定待测振镜失效。

因此，本实施例的振镜失效检测方法实现了在像素级检测振镜的失效情况，实现了较精确地检测振镜的失效情况。并且对应振镜沿不同轴向摆动，能够分别判定振镜沿各个轴向的摆动是否失效以及失效情况。

进一步可选的，所述待测振镜振动过程包括进行至少两次摆动，获取得到待测振镜进行振动过程后所投射形成的图像，在所得图像中包括待测振镜各次摆动对应形成的像素单元。

相应的请参考图4，图4为又一实施例中根据所得图像获得待测振镜的失效检测结果的方法流程图，如图所示，根据所述图像获得待测振镜的失效检测结果包括以下步骤：

S300：根据所述图像中对应所述待测振镜各次摆动形成的像素单元，分别获得所述待测振镜各次摆动对应的偏转率。

待测振镜的偏转率反映了待测振镜实际摆动情况相对于目标摆动情况的偏差大小。本步骤中根据所得图像的像素单元得到待测振镜一次摆动对应的偏转率的具体方法，可参考上面描述的实施方式。

S301：将得到的所述待测振镜各次摆动对应的偏转率进行统计分析，获得第二偏转率统计结果。

本实施例中，对待测振镜各次摆动对应的偏转率进行统计的具体统计方法不进行限定。比如可以是统计待测振镜各次摆动的偏转率的平均值，或者是将待测振镜各次摆动的偏转率进行其它种类的统计处理。

S302：根据得到的所述待测振镜各次摆动对应的偏转率以及所述第二偏转率统计结果，获得所述待测振镜的失效检测结果。

可选的，可针对待测振镜各次摆动的偏转率分别设置相应的条件，根据各项是否满足相应条件来判断待测振镜是否失效以及失效情况，可以判断待测振镜对应一次摆动的摆动方向或/和摆动角度是否准确。可选的，可以是若待测振镜各次摆动对应的偏转率以及第二偏转率统计结果中的至少一项不满足相应条件，则判定待测振镜失效。

需要说明的是，待测振镜的各次摆动可以包括待测振镜向同一方向的以不同角度进行的各次摆动，或者可以包括待测振镜向不同方向的各次摆动。

因此，本实施例的振镜失效检测方法实现了在像素级检测振镜的失效情况，实现了较精确地检测振镜的失效情况。并且对应振镜振动过程的各次摆动，能够分别判定振镜各次摆动是否失效、各次摆动的失效情况。

进一步可选的，向待测振镜投射出光对应图像的像素单元包括至少三种颜色部分，在待测振镜振动过程后所投射形成的图像中，像素单元相应包括至少三种颜色部分。

相应的请参考图5，图5为又一实施例中根据所得图像获得待测振镜的失效检测结果的方法流程图，如图所示，根据所述图像获得待测振镜的失效检测结果包括以下步骤：

S400：根据所述图像的像素单元中每一种颜色部分获得所述待测振镜的偏转率，所述待测振镜的偏转率反映了所述待测振镜实际摆动情况相对于目标摆动情况的偏差大小。

优选的，像素单元包括的至少三种颜色部分包括对应三原色的三种颜色部分，比如投射出光对应图像的像素单元至少包括红色部分、绿色部分和蓝色部分。

其中，根据所得图像的像素单元中每一种颜色部分得到待测振镜的偏转率的具体方法，均可参考上面描述获得偏转率的具体实施方式。

S401：将所述图像的像素单元中各种颜色部分对应得到的偏转率进行统计，得到第三偏转率统计结果。

本实施例中，对各种颜色部分对应得到的待测振镜偏转率进行统计的具体统计方法不进行限定，比如可以是统计各种颜色部分对应的待测振镜偏转率的平均值，或者是将各种颜色部分对应的待测振镜偏转率做其它的线性运算或者非线性运算。

S402：根据所述图像的像素单元中各种颜色部分对应得到的偏转率以及所述第三偏转率统计结果，获得所述待测振镜的失效检测结果。

可选的，可针对各种颜色部分对应得到的偏转率以及第三偏转率统计结果分别设置相应条件，根据各项是否满足相应条件来判断待测振镜是否失效以及失效情况。可选的，可以是若各种颜色部分对应得到的偏转率以及第三偏转率统计结果中的至少一项不满足相应条件，则判定待测振镜失效。

因此，本实施例的振镜失效检测方法实现了在像素级检测振镜的失效情况，实现了较精确地检测振镜的失效情况。并且向待测振镜投射出光对应图像的像素单元包括不同的颜色部分，根据所得图像像素单元的不同颜色部分分别获得待测振镜的偏转率，来检测待测振镜的失效情况，可以防止仪器对图像不同颜色的敏感度不同，造成某个颜色的振镜偏转率计算不准确，从而可以提高振镜的失效情况检测的准确性。

进一步优选的，可控制所述待测振镜进行至少两次振动过程，根据所述待测振镜每一次振动过程后获得的所述图像，得到所述待测振镜的偏转率，所述待测振镜的偏转率反映了所述待测振镜实际摆动情况相对于目标摆动情况的偏差大小。相应的，获得待测振镜的失效检测结果包括：将所述待测振镜各次振动过程获得的偏转率进行统计分析，根据得到的第四偏转率统计结果，获得所述待测振镜的失效检测结果。

通过控制待测振镜进行至少两次振动过程，针对每一次振动过程，根据获得的图像得到本次振动过程的待测振镜偏转率。通过对待测振镜各次振动过程获得的偏转率进行统计分析，根据得到的偏转率统计结果获得待测振镜的失效检测结果。这样可以避免仅对待测振镜检测一次，得到的振镜偏转率存在误差，从而可以提高检测振镜失效情况的准确性。

本实施例中，对待测振镜各次振动过程获得的偏转率进行统计的具体统计方法不进行限定。可选的，将待测振镜各次振动过程获得的偏转率进行统计分析可以是计算待测振镜前后两次振动过程获得的偏转率的差量，若出现振镜振动异常，表现出来的现象是各次振镜偏转效果差异较大，二次取图检测的结果会存在很大差异，即二次偏转率差值会有较大波动。

可选的，可针对待测振镜各次振动过程获得的偏转率以及第四偏转率统计结果分别设置相应的条件，根据各项是否满足相应条件来判断待测振镜是否失效。可选的，可以是若待测振镜前后两次振动过程获得的偏转率、前后两次振动过程的偏转率差量中的任意一项不满足相应条件，则判定待测振镜失效。

因此，本实施例的振镜失效检测方法实现了在像素级检测振镜的失效情况，实现了较精确地检测振镜的失效情况。并且通过对待测振镜各次振动获得的偏转率进行统计分析，结合各次振动的偏转率统计结果获得待测振镜的失效检测结果，可以避免仅对待测振镜检测一次得到检测结果存在误差，从而提高检测振镜失效情况的准确性。

在一具体实例中，待测振镜振动过程包括沿x轴的两次摆动和沿y轴的两次摆动。请参考图6，图6为一具体实例中所得图像的局部示意图，如图所示包括部分1、2、3的像素单元和包括部分7、8、9的像素单元对应为振镜沿x轴摆动形成的像素单元，包括部分4、5、6的像素单元和包括部分10、11、12的像素单元对应为振镜沿y轴摆动形成的像素单元，每一像素单元包括红色、绿色和蓝色部分。

对振镜一次测试后取图，分别计算各像素单元各颜色部分对应的偏转率，依次表示为Δx1、Δx2、Δx3、Δx7、Δx8、Δx9以及Δy4、Δy5、Δy6、Δy10、Δy11、Δy12。计算平均值表示为：Δ1＝(Δx1+Δx2+Δx3+Δx7+Δx8+Δx9+Δy4+Δy5+Δy6+Δy10+Δy11+Δy12)/12。

按照测试流程进行其它光机功能测试，所有功能测试结束后，重新控制振镜重复上述取图动作。计算二次测试取图的结果表示为Δx1′、Δx2′、Δx3′、Δx7′、Δx8′、Δx9′以及Δy4′、Δy5′、Δy6′、Δy10′、Δy11′、Δy12′。计算平均值表示为：Δ2＝(Δx1′+Δx2′+Δx3′+Δx7′+Δx8′+Δx9′+Δy4′+Δy5′+Δy6′+Δy10′+Δy11′+Δy12′)/12。

计算两次的差值，表示为：Δ＝Δ1-Δ2。可以是若Δ1、Δ2和Δ中的任意一项不满足相应条件，则判定待测振镜失效，

相应的请参考图7，图7为本实施例提供的一种振镜失效检测装置的示意图，如图所示，所示振镜失效检测装置包括光源装置501和控制装置502，所述光源装置501用于向所述待测振镜500投射出光，所述控制装置502与所述待测振镜500、所述光源装置501分别相连，用于控制所述待测振镜500振动以及根据获得图像得到所述待测振镜500的失效检测结果，其中所述图像为在所述待测振镜500振动过程中向所述待测振镜500投射出光，所述待测振镜500的反射光形成的图像。

与现有技术相比，使用本实施例的振镜失效检测装置来检测振镜的失效情况，避免了由检测人员评判振镜是否失效，受检测人员的主观性影响小，并且能够提高检测效率。

其中，控制装置502根据获得图像得到待测振镜500的失效检测结果的方法，均可参考上面关于振镜失效检测方法实施例中描述的实施方式，在此不再赘述。

优选的，待测振镜500与光源装置501耦合安装以使得所述待测振镜500与所述光源装置501相对位置固定，保证光源装置501发射出的光束能够投射到振镜镜片上，且振镜紧密地耦合固定在光源装置501上，确保振镜振动过程中无干涉无共振现象。

优选的，所述待测振镜500与所述控制装置502通过电接触而实现连接，这种连接方式方便控制装置502与待测振镜500重复接通和断开，使得本装置可适用于产线上使用以及批量检验，提高检测效率。示例性的控制装置502可设置顶针，顶针与待测振镜500相应部位接触即可启动振镜。

优选的，光源装置501可包括光源和数字微镜元件，光源向数字微镜元件发射出光，通过数字微镜元件对光进行数字光学处理，产生图像。本光源装置501可以是实际的投影光机精简后的装置，应用于检测振镜，与使用实际的投影光机相比能够降低成本。

在一具体实例中，控制装置502包括驱动主板，驱动主板的核心是TI的DLP芯片组，此芯片组带有硬件连接检测功能，必须通过硬件连接检测OK后才能加载振镜的驱动波形，输出振镜驱动信号，故此光源装置501需正确安装TI DMD芯片。光源装置501的光源可采用LED，LED通路只要检测LED在回路路径上，且无短路即可，故此LED光源可以被替代。控制装置502采用顶针治具，方便重复点亮通电待测振镜500。采用转接线进行光源装置501与控制装置502驱动主板的信号连接，此转接线可以按照不同光机不同机种进行设计更改，方便项目横向展开，提高驱动主板的可利用覆盖面。

以上对本发明所提供的一种振镜失效检测方法及装置进行了详细介绍。本文中应用了具体个例对本发明的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本发明的方法及其核心思想。应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明原理的前提下，还可以对本发明进行若干改进和修饰，这些改进和修饰也落入本发明权利要求的保护范围内。

Claims (10)

1.一种振镜失效检测方法，其特征在于，包括：

在待测振镜振动过程中向所述待测振镜投射出光，获取所述待测振镜的反射光形成的图像；

根据所述图像获得所述待测振镜的失效检测结果。

2.根据权利要求1所述的振镜失效检测方法，其特征在于，向所述待测振镜投射出光对应图像的像素单元包括第一部分和第二部分；

根据所述图像获得所述待测振镜的失效检测结果包括：根据所述图像的像素单元中第一部分像素与第二部分像素的相对位置，获得所述待测振镜的偏转率，根据所述待测振镜的偏转率获得所述待测振镜的失效检测结果，所述待测振镜的偏转率反映了所述待测振镜实际摆动情况相对于目标摆动情况的偏差大小。

3.根据权利要求2所述的振镜失效检测方法，其特征在于，向所述待测振镜投射出光对应图像的像素单元包括沿着第二轴向排列的第一部分和第二部分，第一部分为单像素，第二部分为双像素，第一轴向与第二轴向相互垂直；

根据所述图像获得所述待测振镜的失效检测结果具体包括：

根据所述图像的像素单元中单像素沿第一轴向的两个边缘位置以及双像素沿第一轴向的中点位置，获得所述待测振镜沿第一轴向的偏转率，所述待测振镜沿第一轴向的偏转率反映了所述待测振镜沿第一轴向的实际摆动情况相对于沿第一轴向的目标摆动情况的偏差大小。

4.根据权利要求1所述的振镜失效检测方法，其特征在于，所述待测振镜振动过程包括所述待测振镜分别沿第一轴向摆动和沿第二轴向摆动；

根据所述图像获得所述待测振镜的失效检测结果包括：

根据所述图像中对应所述待测振镜沿第一轴向摆动形成的像素单元，获得所述待测振镜沿第一轴向的偏转率，以及根据所述图像中对应所述待测振镜沿第二轴向摆动形成的像素单元，获得所述待测振镜沿第二轴向的偏转率，所述待测振镜沿第一轴向的偏转率反映了所述待测振镜沿第一轴向的实际摆动情况相对于沿第一轴向的目标摆动情况的偏差大小，所述待测振镜沿第二轴向的偏转率反映了所述待测振镜沿第二轴向的实际摆动情况相对于沿第二轴向的目标摆动情况的偏差大小；

将得到的所述待测振镜沿第一轴向的偏转率以及沿第二轴向的偏转率进行统计，得到第一偏转率统计结果；

根据得到的所述待测振镜沿第一轴向的偏转率、沿第二轴向的偏转率以及所述第一偏转率统计结果，获得所述待测振镜的失效检测结果。

5.根据权利要求1所述的振镜失效检测方法，其特征在于，所述待测振镜振动过程包括进行至少两次摆动；

根据所述图像获得所述待测振镜的失效检测结果包括：

根据所述图像中对应所述待测振镜各次摆动形成的像素单元，分别获得所述待测振镜各次摆动对应的偏转率，所述待测振镜的偏转率反映了所述待测振镜实际摆动情况相对于目标摆动情况的偏差大小；

将得到的所述待测振镜各次摆动对应的偏转率进行统计分析，获得第二偏转率统计结果；

根据得到的所述待测振镜各次摆动对应的偏转率以及所述第二偏转率统计结果，获得所述待测振镜的失效检测结果。

6.根据权利要求1所述的振镜失效检测方法，其特征在于，向所述待测振镜投射出光对应图像的像素单元包括至少三种颜色部分；

根据所述图像获得所述待测振镜的失效检测结果包括：

根据所述图像的像素单元中每一种颜色部分获得所述待测振镜的偏转率，所述待测振镜的偏转率反映了所述待测振镜实际摆动情况相对于目标摆动情况的偏差大小；

将所述图像的像素单元中各种颜色部分对应得到的偏转率进行统计，得到第三偏转率统计结果；

根据所述图像的像素单元中各种颜色部分对应得到的偏转率以及所述第三偏转率统计结果，获得所述待测振镜的失效检测结果。

7.根据权利要求1-6任一项所述的振镜失效检测方法，其特征在于，所述待测振镜进行至少两次振动过程，根据所述待测振镜每一次振动过程后获得的所述图像，得到所述待测振镜的偏转率，所述待测振镜的偏转率反映了所述待测振镜实际摆动情况相对于目标摆动情况的偏差大小；

获得所述待测振镜的失效检测结果包括：将所述待测振镜各次振动过程对应获得的偏转率进行统计分析，根据得到的第四偏转率统计结果，获得所述待测振镜的失效检测结果。

8.根据权利要求7所述的振镜失效检测方法，其特征在于，将所述待测振镜各次振动过程对应获得的偏转率进行统计分析包括：计算所述待测振镜前后两次振动过程获得的偏转率的差量。

9.一种振镜失效检测装置，其特征在于，包括光源装置和控制装置，所述光源装置用于向所述待测振镜投射出光，所述控制装置与所述待测振镜、所述光源装置分别相连，用于控制所述待测振镜振动以及根据获得图像得到所述待测振镜的失效检测结果，其中所述图像为在所述待测振镜振动过程中向所述待测振镜投射出光，所述待测振镜的反射光形成的图像。

10.根据权利要求9所述的振镜失效检测装置，其特征在于，所述待测振镜与所述光源装置耦合安装以使得所述待测振镜与所述光源装置相对位置固定。

Images