CN113532168A - 一种新型液冷均温板烧结工艺 - Google Patents
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- 238000005245 sintering Methods 0.000 title claims abstract description 44
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 36
- 238000003466 welding Methods 0.000 claims abstract description 29
- 238000005219 brazing Methods 0.000 claims abstract description 26
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims abstract description 23
- 238000003825 pressing Methods 0.000 claims abstract description 21
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims abstract description 18
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 claims abstract description 16
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 claims abstract description 16
- 238000003754 machining Methods 0.000 claims abstract description 16
- 238000007731 hot pressing Methods 0.000 claims abstract description 14
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 claims abstract description 12
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 10
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims abstract description 10
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 claims abstract description 8
- 238000011049 filling Methods 0.000 claims abstract description 8
- 239000010959 steel Substances 0.000 claims abstract description 8
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 14
- 238000001035 drying Methods 0.000 claims description 13
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims description 7
- 230000004907 flux Effects 0.000 claims description 7
- 238000000227 grinding Methods 0.000 claims description 7
- 238000000465 moulding Methods 0.000 claims description 7
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 claims description 7
- 238000007788 roughening Methods 0.000 claims description 7
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims description 7
- 238000002791 soaking Methods 0.000 claims description 7
- 238000005507 spraying Methods 0.000 claims description 7
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 6
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
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-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F28—HEAT EXCHANGE IN GENERAL
- F28D—HEAT-EXCHANGE APPARATUS, NOT PROVIDED FOR IN ANOTHER SUBCLASS, IN WHICH THE HEAT-EXCHANGE MEDIA DO NOT COME INTO DIRECT CONTACT
- F28D15/00—Heat-exchange apparatus with the intermediate heat-transfer medium in closed tubes passing into or through the conduit walls ; Heat-exchange apparatus employing intermediate heat-transfer medium or bodies
- F28D15/02—Heat-exchange apparatus with the intermediate heat-transfer medium in closed tubes passing into or through the conduit walls ; Heat-exchange apparatus employing intermediate heat-transfer medium or bodies in which the medium condenses and evaporates, e.g. heat pipes
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F28—HEAT EXCHANGE IN GENERAL
- F28D—HEAT-EXCHANGE APPARATUS, NOT PROVIDED FOR IN ANOTHER SUBCLASS, IN WHICH THE HEAT-EXCHANGE MEDIA DO NOT COME INTO DIRECT CONTACT
- F28D15/00—Heat-exchange apparatus with the intermediate heat-transfer medium in closed tubes passing into or through the conduit walls ; Heat-exchange apparatus employing intermediate heat-transfer medium or bodies
- F28D15/02—Heat-exchange apparatus with the intermediate heat-transfer medium in closed tubes passing into or through the conduit walls ; Heat-exchange apparatus employing intermediate heat-transfer medium or bodies in which the medium condenses and evaporates, e.g. heat pipes
- F28D15/0283—Means for filling or sealing heat pipes
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- Sustainable Development (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Thermal Sciences (AREA)
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- Pressure Welding/Diffusion-Bonding (AREA)
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Abstract
本发明涉及均温板技术领域,且公开了一种新型液冷均温板烧结工艺,包括以下步骤:S1:将均温板的上下板冲压(机加)成型;S2:在成型后的均温板上装入新型液冷片;S3:对均温板进行整体烧结。所述S3对均温板进行整体烧结中可采用摩擦焊、扩散焊或者钎焊包括,所述S1将均温板的上下板冲压(机加)成型中,采用冷压模将上下板冷压到一起,将经冷压的工件在400~550℃氮氢混合气体保护条件下预热20~40min,采用热压钢模将上述经预热的工件在600~650℃,氮氢混合气体保护条件下热压8~15min。本发明中,可以使用传统的钎焊、扩散焊外,也可使用目前比较成熟的摩擦焊。工序少且简单,该新型液冷均温板取消铜粉、铝粉烧结,直接采用液冷片,工艺简单,良率高。
Description
技术领域
本发明涉及均温板技术领域,尤其涉及一种新型液冷均温板烧结工艺。
背景技术
传统VC均温板烧结工艺为:上下板型冲压成型—下板烧结(铜网、铜柱、铜粉)—下板烧结(铜网、铜柱、铜粉)-整板烧结(扩散焊,钎焊)。
传统VC均温板烧结工艺主要以钎焊、扩散焊为主,工序多且复杂,传统VC均温板目前主要使用材料为铜粉,极少用铝粉,目前铝粉烧结成本高,良率低。为此,我们提出一种新型液冷均温板烧结工艺。
发明内容
本发明主要是解决上述现有技术所存在的技术问题,提供一种新型液冷均温板烧结工艺。
为了实现上述目的,本发明采用了如下技术方案,一种新型液冷均温板烧结工艺,包括以下步骤:
S1:将均温板的上下板冲压(机加)成型;
S2:在成型后的均温板上装入新型液冷片;
S3:对均温板进行整体烧结。
作为优选,所述S3对均温板进行整体烧结中可采用摩擦焊、扩散焊或者钎焊。
作为优选,所述S1将均温板的上下板冲压(机加)成型中,采用冷压模将上下板冷压到一起,将经冷压的工件在400~550℃氮氢混合气体保护条件下预热20~40min,采用热压钢模将上述经预热的工件在600~650℃,氮氢混合气体保护条件下热压8~15min,从而将所述上下板烧结在一起,形成均温板。
作为优选,在所述冷压之前,采用60~200目的砂带对上下板的相应表面进行打磨粗化处理的步骤,以便增大上下板之间的接触面积。
作为优选,将所述均温板本体进行铝钎焊剂喷淋或浸泡处理,后取出在烘道内烘干,在450~650℃、氮气保护条件下在钎焊炉内将所述上下板进行一次性密封焊接,并在气体保护条件下冷却到40℃以下。
作为优选,所述S3对均温板进行整体烧结中,利用工艺管对空腔抽真空,使得空腔内压强为5.0×10-3Pa~1.3×10-2Pa。
有益效果
本发明提供了一种新型液冷均温板烧结工艺。具备以下有益效果:
该新型液冷均温板烧结工艺,可以使用传统的钎焊、扩散焊外,也可使用目前比较成熟的摩擦焊。工序少且简单,该新型液冷均温板取消铜粉、铝粉烧结,直接采用液冷片,工艺简单,良率高。
附图说明
为了更清楚地说明本发明的实施方式或现有技术中的技术方案,下面将对实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍。显而易见地,下面描述中的附图仅仅是示例性的,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据提供的附图引伸获得其它的实施附图。
本说明书所绘示的结构、比例、大小等,均仅用以配合说明书所揭示的内容,以供熟悉此技术的人士了解与阅读,并非用以限定本发明可实施的限定条件,故不具技术上的实质意义,任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整,在不影响本发明所能产生的功效及所能达成的目的下,均应仍落在本发明所揭示的技术内容得能涵盖的范围内。
图1为本发明均温板的具体示意图;
图2为本发明均温板的结构示意图;
图3为本发明均温板的背面示意图;
图4为本发明均温板的内部示意图;
图5为本发明均温板的整体示意图。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图,对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本发明保护的范围。
如图1-5所示:
实施例1:一种新型液冷均温板烧结工艺,包括以下步骤:
S1:将均温板的上下板冲压(机加)成型;
S2:在成型后的均温板上装入新型液冷片;
S3:对均温板进行整体烧结。
所述S3对均温板进行整体烧结中可采用摩擦焊、扩散焊或者钎焊。
所述S1将均温板的上下板冲压(机加)成型中,采用冷压模将上下板冷压到一起,将经冷压的工件在400℃氮氢混合气体保护条件下预热20min,采用热压钢模将上述经预热的工件在600℃,氮氢混合气体保护条件下热压8min,从而将所述上下板烧结在一起,形成均温板。
在所述冷压之前,采用60目的砂带对上下板的相应表面进行打磨粗化处理的步骤,以便增大上下板之间的接触面积。
将所述均温板本体进行铝钎焊剂喷淋或浸泡处理,后取出在烘道内烘干,在450℃、氮气保护条件下在钎焊炉内将所述上下板进行一次性密封焊接,并在气体保护条件下冷却到40℃以下。
所述S3对均温板进行整体烧结中,利用工艺管对空腔抽真空,使得空腔内压强为5.0×10-3Pa。
实施例2:一种新型液冷均温板烧结工艺,包括以下步骤:
S1:将均温板的上下板冲压(机加)成型;
S2:在成型后的均温板上装入新型液冷片;
S3:对均温板进行整体烧结。
所述S3对均温板进行整体烧结中可采用摩擦焊、扩散焊或者钎焊。
所述S1将均温板的上下板冲压(机加)成型中,采用冷压模将上下板冷压到一起,将经冷压的工件在450℃氮氢混合气体保护条件下预热25min,采用热压钢模将上述经预热的工件在650℃,氮氢混合气体保护条件下热压9min,从而将所述上下板烧结在一起,形成均温板。
在所述冷压之前,采用70目的砂带对上下板的相应表面进行打磨粗化处理的步骤,以便增大上下板之间的接触面积。
将所述均温板本体进行铝钎焊剂喷淋或浸泡处理,后取出在烘道内烘干,在500℃、氮气保护条件下在钎焊炉内将所述上下板进行一次性密封焊接,并在气体保护条件下冷却到40℃以下。
所述S3对均温板进行整体烧结中,利用工艺管对空腔抽真空,使得空腔内压强为5.0×10-3Pa~1.3×10-2Pa
实施例3:一种新型液冷均温板烧结工艺,包括以下步骤:
S1:将均温板的上下板冲压(机加)成型;
S2:在成型后的均温板上装入新型液冷片;
S3:对均温板进行整体烧结。
所述S3对均温板进行整体烧结中可采用摩擦焊、扩散焊或者钎焊。
所述S1将均温板的上下板冲压(机加)成型中,采用冷压模将上下板冷压到一起,将经冷压的工件在500℃氮氢混合气体保护条件下预热30min,采用热压钢模将上述经预热的工件在650℃,氮氢混合气体保护条件下热压10min,从而将所述上下板烧结在一起,形成均温板。
在所述冷压之前,采用80目的砂带对上下板的相应表面进行打磨粗化处理的步骤,以便增大上下板之间的接触面积。
将所述均温板本体进行铝钎焊剂喷淋或浸泡处理,后取出在烘道内烘干,在550℃、氮气保护条件下在钎焊炉内将所述上下板进行一次性密封焊接,并在气体保护条件下冷却到40℃以下。
所述S3对均温板进行整体烧结中,利用工艺管对空腔抽真空,使得空腔内压强为5.0×10-3Pa~1.3×10-2Pa
实施例4:一种新型液冷均温板烧结工艺,包括以下步骤:
S1:将均温板的上下板冲压(机加)成型;
S2:在成型后的均温板上装入新型液冷片;
S3:对均温板进行整体烧结。
所述S3对均温板进行整体烧结中可采用摩擦焊、扩散焊或者钎焊。
所述S1将均温板的上下板冲压(机加)成型中,采用冷压模将上下板冷压到一起,将经冷压的工件在550℃氮氢混合气体保护条件下预热35min,采用热压钢模将上述经预热的工件在650℃,氮氢混合气体保护条件下热压11min,从而将所述上下板烧结在一起,形成均温板。
在所述冷压之前,采用100目的砂带对上下板的相应表面进行打磨粗化处理的步骤,以便增大上下板之间的接触面积。
将所述均温板本体进行铝钎焊剂喷淋或浸泡处理,后取出在烘道内烘干,在650℃、氮气保护条件下在钎焊炉内将所述上下板进行一次性密封焊接,并在气体保护条件下冷却到40℃以下。
所述S3对均温板进行整体烧结中,利用工艺管对空腔抽真空,使得空腔内压强为5.0×10-3Pa~1.3×10-2Pa
实施例5:一种新型液冷均温板烧结工艺,包括以下步骤:
S1:将均温板的上下板冲压(机加)成型;
S2:在成型后的均温板上装入新型液冷片;
S3:对均温板进行整体烧结。
所述S3对均温板进行整体烧结中可采用摩擦焊、扩散焊或者钎焊。
所述S1将均温板的上下板冲压(机加)成型中,采用冷压模将上下板冷压到一起,将经冷压的工件在400℃氮氢混合气体保护条件下预热20min,采用热压钢模将上述经预热的工件在650℃,氮氢混合气体保护条件下热压15min,从而将所述上下板烧结在一起,形成均温板。
在所述冷压之前,采用120目的砂带对上下板的相应表面进行打磨粗化处理的步骤,以便增大上下板之间的接触面积。
将所述均温板本体进行铝钎焊剂喷淋或浸泡处理,后取出在烘道内烘干,在650℃、氮气保护条件下在钎焊炉内将所述上下板进行一次性密封焊接,并在气体保护条件下冷却到40℃以下。
所述S3对均温板进行整体烧结中,利用工艺管对空腔抽真空,使得空腔内压强为5.0×10-3Pa~1.3×10-2Pa。
以上显示和描述了本发明的基本原理和主要特征和本发明的优点。本行业的技术人员应该了解,本发明不受上述实施例的限制,上述实施例和说明书中描述的只是说明本发明的原理,在不脱离本发明精神和范围的前提下,本发明还会有各种变化和改进,这些变化和改进都落入要求保护的本发明范围内。本发明要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。
Claims (6)
1.一种新型液冷均温板烧结工艺,其特征在于:包括以下步骤:
S1:将均温板的上下板冲压(机加)成型;
S2:在成型后的均温板上装入新型液冷片;
S3:对均温板进行整体烧结。
2.根据权利要求1所述的一种新型液冷均温板烧结工艺,其特征在于:所述S3对均温板进行整体烧结中可采用摩擦焊、扩散焊或者钎焊。
3.根据权利要求1所述的一种新型液冷均温板烧结工艺,其特征在于:所述S1将均温板的上下板冲压(机加)成型中,采用冷压模将上下板冷压到一起,将经冷压的工件在400~550℃氮氢混合气体保护条件下预热20~40min,采用热压钢模将上述经预热的工件在600~650℃,氮氢混合气体保护条件下热压8~15min,从而将所述上下板烧结在一起,形成均温板。
4.根据权利要求3所述的一种新型液冷均温板烧结工艺,其特征在于:在所述冷压之前,采用60~200目的砂带对上下板的相应表面进行打磨粗化处理的步骤,以便增大上下板之间的接触面积。
5.根据权利要求1所述的一种新型液冷均温板烧结工艺,其特征在于:将所述均温板本体进行铝钎焊剂喷淋或浸泡处理,后取出在烘道内烘干,在450~650℃、氮气保护条件下在钎焊炉内将所述上下板进行一次性密封焊接,并在气体保护条件下冷却到40℃以下。
6.根据权利要求1所述的一种新型液冷均温板烧结工艺,其特征在于:所述S3对均温板进行整体烧结中,利用工艺管对空腔抽真空,使得空腔内压强为5.0×10-3Pa~1.3×10-2Pa。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202110827944.6A CN113532168A (zh) | 2021-07-22 | 2021-07-22 | 一种新型液冷均温板烧结工艺 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202110827944.6A CN113532168A (zh) | 2021-07-22 | 2021-07-22 | 一种新型液冷均温板烧结工艺 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN113532168A true CN113532168A (zh) | 2021-10-22 |
Family
ID=78120371
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN202110827944.6A Pending CN113532168A (zh) | 2021-07-22 | 2021-07-22 | 一种新型液冷均温板烧结工艺 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN113532168A (zh) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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- 2021-07-22 CN CN202110827944.6A patent/CN113532168A/zh active Pending
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