CN113416934A - 一种镜片双舱真空镀膜工艺 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种镜片双舱真空镀膜工艺，当镜片双舱真空镀膜机的主舱与辅舱真空环境一致且阀门开启连通时，将辅舱内的待镀膜镜片向主舱转运、或将主舱内的已镀膜镜片向辅舱转运；当主舱与辅舱之间的阀门关闭时，在主舱内对镜片真空镀膜、在辅舱内放真空、放入待镀膜镜片或取出已镀膜镜片、并在放入或取出操作后抽真空至辅舱与主舱真空环境一致；重复转运、取放操作进行连续镜片真空镀膜，通过待镀膜与已镀膜镜片在镜片双舱真空镀膜机可启闭的主舱与辅舱之间转换、使主舱始终处于真空环境进行连续镀膜，减小生产周期，真空下插板阀门、主舱平台、辅舱平台、转运机构、旋转抓手驱动结构可靠、显著提高镜片真空自动化镀膜效率、稳定性和镀膜质量。

Description

一种镜片双舱真空镀膜工艺

技术领域

本发明涉及一种镜片双舱真空镀膜工艺，属于镜片真空镀膜技术领域。

背景技术

无机、有机等材料制成的镜片通过真空镀膜处理形成包括耐磨损硬膜、减反射膜、抗污顶膜、防水膜等一层或多层膜，有利于丰富镜片颜色、增加灰尘或砂砾摩擦造成的镜片磨损和表面划痕、减少镜面反射、避免屈光镜片前后表面曲率不提供产生的反射光鬼影虚像、重叠炫光等现象。现有技术中的镜片真空镀膜普遍采用单舱加工工艺，将装有待镀膜镜片的镜片架整体吊装在镀膜室顶部进行抽真空和加热至恒温操作、以去除真空镀膜室内的空气水分，由电子枪发生的电子束打在镀膜材料上离析成高能量分子、原子或离子飞行射向镜片架上、并附着或楔入镜片表面形成镀膜。

由于采用单舱真空镀膜设备和加工工艺，进料和真空镀膜前需要抽真空和加热操作、镀膜后需要进气解除真空环境、再打开舱门取出镀好膜的镜片架、放入和固定待镀膜的镜片架、关上舱门重复抽真空、加热作业，使相邻批次的镜片镀膜处理之间放真空和抽真空作业、镀膜真空室环境回稳时间较长，导致加工效率低下，难以连续镀膜加工，同时现有技术中的转运和驱动机构存在尺寸大、难以在真空环境下稳定运行等缺陷。

发明内容

本发明的目的是针对现有技术的缺陷，提供一种镜片双舱真空镀膜工艺，通过待镀膜与已镀膜镜片在镜片双舱真空镀膜机可启闭的主舱与辅舱之间转换、使主舱始终处于真空环境进行连续镀膜，减小生产周期，真空下驱动结构可靠、显著提高镜片真空自动化镀膜效率、稳定性和镀膜质量。

本发明是通过如下的技术方案予以实现的：

一种镜片双舱真空镀膜工艺，当镜片双舱真空镀膜机的主舱与辅舱真空环境一致且阀门开启连通时，将辅舱内的待镀膜镜片向主舱转运、或将主舱内的已镀膜镜片向辅舱转运；当主舱与辅舱之间的阀门关闭时，在主舱内对镜片真空镀膜、在辅舱内解除真空环境、放入待镀膜镜片或取出已镀膜镜片、并在放入或取出操作后抽真空至辅舱与主舱真空环境一致；重复转运、取放操作进行连续镜片真空镀膜；

镜片双舱真空镀膜机的主舱和辅舱之间通过插板阀门启闭，所述插板阀门上设有启闭、用于通过镜片的物料口，所述插板阀门内设有可以相对物料口升降、前后移动的插板门板，所述插板门板通过两侧同步竖直回转的第一链条实现升降移动、通过两侧前后移动的气缸滑块实现前后移动，第一链条内设有同步旋转的第一链轮，插板门板与物料口内壁之间设有若干千斤顶；

镜片双舱真空镀膜机的辅舱内通过可以升降的辅舱平台取放镜片，主舱内通过可以升降的主舱平台承载镜片；所述主舱平台和辅舱平台分别通过双舱真空镀膜机顶部四角处同步旋转的第二链轮正反旋转、驱动啮合的第二链条吊连主舱平台或辅舱平台、实现升降移动；

所述辅舱平台包括至少两个平台架，所述平台架、主舱平台两侧设有对应旋转的若干第一滚轮、阀门上设有对应第一滚轮的第二滚轮，通过第一滚轮、第二滚轮滚动配合的移动平台实现镜片转运，转运时通过镜片双舱正空镀膜机位于主舱平台或辅舱平台侧的传感器感应定位；

镀膜时通过镜片双舱真空镀膜机主舱顶部的旋转抓手抓夹镜片并驱动镜片旋转，所述旋转抓手包括减速旋转带动镜片旋转的齿轮套、绕齿轮套底部一周间隔且可外扩或内缩抓夹的夹板，所述夹板通过顶部升降移动的夹头外环锥面配合、夹板上活动滑板与主舱顶部的固定滑板滑动配合、夹板与固定滑板之间的拉簧作用实现外扩或内缩；

镀膜时摆动调节包括镜片双舱真空镀膜机主舱平台上两个第一调色板或主舱门板上位于两个第一调色板之间的第二调色板、改变对镀膜射线的遮挡进行镀膜调色。

上述一种镜片双舱真空镀膜工艺，其中，其具体步骤如下：

S1：清洗镜片、待待镀膜的镜片放置在镜片架上；

S2：打开镜片双舱正空镀膜机的辅舱进出料口，将步骤S1的镜片架整体放入辅舱平台的空平台架上、关闭辅舱进出料口，对镜片双舱真空镀膜机的辅舱轴真空、加热作业；

S3：对镜片双舱真空镀膜机的主舱进行轴真空、加热作业至与辅舱压力、温度一致；步骤S2、S3通过抽真空装置对辅舱和主舱分别抽真空时，控制辅舱、主舱真空室内压力为4.5x10e⁵Torr，温度为60～300℃；

S4：打开镜片双舱真空镀膜机辅舱与主舱之间的插板阀门、辅舱平台与主舱平台升降平齐，经转运机构将镜片架整体由辅舱平台、插板阀门的物料口转运至主舱平台上、关闭插板阀门；

S5：主舱平台在镜片双舱真空镀膜机的主舱内上升、经旋转抓手抓夹吊装镜片架，辅舱平台下降脱离镜片架；

S6：由旋转抓手驱动吊装的镜片架旋转、并进行真空镀膜，同时辅舱进气解除真空环境、重复步骤S2至辅舱压力、温度与主舱一致；

S7：镀膜结束后、主舱平台上升，旋转抓手停止旋转并解除对镜片架的抓夹、使镜片架随主舱平台下降移动；

S8：打开插板阀门，辅舱平台上升或下降至主舱平台与辅舱平台的空平台架平齐，经转运机构将载有已镀膜镜片的镜片架由主舱平台、插板阀门的物料口、转运至辅舱平台，辅舱平台上升或下降至主舱平台与辅舱平台载有待镀膜镜片的镜片架的平台架平齐，经转运机构将载有待镀膜镜片的镜片架由辅舱平台、插板阀门的物料口、转运至主舱平台，关闭插板阀门；

S9：重复步骤S5、S6，并在辅舱打开辅舱进出料口时、在对应平台架上放入载有待镀膜镜片的镜片架，取出已镀膜镜片的镜片架；

S10：重复步骤S1至S9进行连续镀膜加工。

本发明的有益效果为：

(1)本发明采用双舱结构、利用与主舱可启闭的辅舱在主舱镀膜同时放真空以便镜片进出料、抽真空以便待镀膜与已镀膜的镜片转换，避免传统采用单舱真空镀膜机和镀膜工艺时、在相邻批次镜片镀膜抽放真空准备时间，保证真空镀膜条件控制稳定，使主舱始终处于真空环境以便进行连续镀膜，减小生产周期；

(2)采用结构紧凑、可在真空环境下自动稳定运行的驱动结构控制插板阀门、主舱平台、辅舱平台、转运机构、旋转抓手；插板阀门通过插板门板与物料口启闭实现主舱与辅舱启闭、以便镜片转换；主舱平台、辅舱平台升降用于对应镜片转换、进出料或镀膜转移；转运机构用于以移动平台带动载有待镀膜镜片的镜片架向主舱平台转运、载有已镀膜镜片的镜片架向辅舱平台转运；旋转抓手抓夹吊装并驱动镜片架在镀膜时旋转保证均匀镀膜；

综上，以镜片双舱真空镀膜工艺显著提高镜片真空自动化镀膜效率、稳定性和镀膜质量。

附图说明

图1为本发明中镜片双舱正空镀膜机的前视立体图。

图2为本发明中镜片双舱真空镀膜机的后视立体图。

图3为本发明省却部分门板的镜片双舱真空镀膜机前视立体图。

图4为图3的正视结构图。

图5为图3的侧视结构图。

图6为本发明中插板阀门的内部结构图。

图7为本发明辅舱平台立体图。

图8为本发明主舱平台立体图。

图9为本发明旋转抓手结构图。

图10为本发明旋转抓手仰视立体图。

图中标记：主舱1，辅舱2，插板阀门3，物料口4，插板门板5，第一链条6，第一链轮7，千斤顶8，辅舱平台9，主舱平台10，第二链轮11，第二链条12，平台架13，第一滚轮14，第二滚轮15，传感器16，旋转抓手17，齿轮套18、夹板19，夹头外环20，锥面21，活动滑板22，固定滑板23，拉簧24，第一调色板25，第二调色板26、进出料口27，抽真空装置28，镜片架29，第一伺服电机30，第一传动轴31，传动齿轮32，第一气缸33，气缸立柱34、立柱滑块35、第二伺服电机36，第一驱动轴37、第二传动轴38，第三链轮39，第二气缸40，第三伺服电机41，伞齿42，第二驱动轴43，小齿轮44和大齿轮45，滑孔46，电子枪47，移动平台48，减速机49，气缸滑块50，第三传动轴传动51、第四伺服电机52。

具体实施方式

下面结合附图对本发明的具体实施方式作进一步说明。

一种镜片双舱真空镀膜工艺，当镜片双舱真空镀膜机的主舱1与辅舱2真空环境一致且阀门开启连通时，将辅舱2内的待镀膜镜片向主舱1转运、或将主舱1内的已镀膜镜片向辅舱2转运；当主舱1与辅舱2之间的阀门关闭时，在主舱1内对镜片真空镀膜、在辅舱2内解除真空环境、放入待镀膜镜片或取出已镀膜镜片、并在放入或取出操作后抽真空至辅舱2与主舱1真空环境一致；重复转运、取放操作进行连续镜片真空镀膜；

镜片双舱真空镀膜机的主舱1和辅舱2之间通过插板阀门3启闭，所述插板阀门3上设有启闭、用于通过镜片的物料口4，所述插板阀门3内设有可以相对物料口4升降、前后移动的插板门板5，所述插板门板5通过两侧同步竖直回转的第一链条6实现升降移动、通过两侧前后移动的气缸滑块50实现前后移动，第一链条6内设有同步旋转的第一链轮7，插板门板5与物料口4内壁之间设有若干千斤顶8；

镜片双舱真空镀膜机的辅舱2内通过可以升降的辅舱平台9取放镜片，主舱1内通过可以升降的主舱平台10承载镜片；所述主舱平台10和辅舱平台9分别通过双舱真空镀膜机顶部四角处同步旋转的第二链轮11正反旋转、驱动啮合的第二链条12吊连主舱平台10或辅舱平台9、实现升降移动；

所述辅舱平台9包括至少两个平台架13，所述平台架13、主舱平台10两侧设有对应旋转的若干第一滚轮14、阀门上设有对应第一滚轮14的第二滚轮15，通过第一滚轮14、第二滚轮15滚动配合的移动平台48实现镜片转运，转运时通过镜片双舱正空镀膜机位于主舱平台10或辅舱平台9侧的传感器16感应定位；

镀膜时通过镜片双舱真空镀膜机主舱1顶部的旋转抓手17抓夹镜片并驱动镜片旋转，所述旋转抓手17包括减速旋转带动镜片旋转的齿轮套18、绕齿轮套18底部一周间隔且可外扩或内缩抓夹的夹板19，所述夹板19通过顶部升降移动的夹头外环20锥面21配合、夹板19上活动滑板22与主舱1顶部的固定滑板23滑动配合、夹板19与固定滑板23之间的拉簧24作用实现外扩或内缩；

镀膜时摆动调节包括镜片双舱真空镀膜机主舱平台10上两个第一调色板25或主舱1门板上位于两个第一调色板25之间的第二调色板26、改变对镀膜射线的遮挡进行镀膜调色。

上述一种镜片双舱真空镀膜工艺，其中，其具体步骤如下：

S1：清洗镜片、待待镀膜的镜片放置在镜片架29上；

S2：打开镜片双舱正空镀膜机的辅舱2进出料口27，将步骤S1的镜片架29整体放入辅舱平台9的空平台架13上、关闭辅舱2进出料口27，对镜片双舱真空镀膜机的辅舱2轴真空、加热作业；

S3：对镜片双舱真空镀膜机的主舱1进行轴真空、加热作业至与辅舱2压力、温度一致；步骤S2、S3通过抽真空装置28对辅舱2和主舱1分别抽真空时，控制辅舱2、主舱1真空室内压力为4.5x10e5次方Torr，温度为60～300℃；

S4：打开镜片双舱真空镀膜机辅舱2与主舱1之间的插板阀门3、辅舱平台9与主舱平台10升降平齐，经转运机构将镜片架29整体由辅舱平台9、插板阀门3的物料口4转运至主舱平台10上、关闭插板阀门3；

S5：主舱平台10在镜片双舱真空镀膜机的主舱1内上升、经旋转抓手17抓夹吊装镜片架29，辅舱平台9下降脱离镜片架29；

S6：由旋转抓手17驱动吊装的镜片架29旋转、并进行真空镀膜，同时辅舱2进气解除真空环境、重复步骤S2至辅舱2压力、温度与主舱1一致；

S7：镀膜结束后、主舱平台10上升，旋转抓手17停止旋转并解除对镜片架29的抓夹、使镜片架29随主舱平台10下降移动；

S8：打开插板阀门3，辅舱平台9上升或下降至主舱平台10与辅舱平台9的空平台架13平齐，经转运机构将载有已镀膜镜片的镜片架29由主舱平台10、插板阀门3的物料口4、转运至辅舱平台9，辅舱平台9上升或下降至主舱平台10与辅舱平台9载有待镀膜镜片的镜片架29的平台架13平齐，经转运机构将载有待镀膜镜片的镜片架29由辅舱平台9、插板阀门3的物料口4、转运至主舱平台10，关闭插板阀门3；

S9：重复步骤S5、S6，并在辅舱2打开辅舱2进出料口27时、在对应平台架13上放入载有待镀膜镜片的镜片架29，取出已镀膜镜片的镜片架29；

S10：重复步骤S1至S9进行连续镀膜加工。

本发明的原理如下：

参见附图,步骤S1：清洗镜片避免油脂、污渍等影响镀膜和成像质量，镜片架29呈伞状结构、可存放多个清洗干净的镜片以便一次同步镀膜，提高加工效率；

步骤S2：辅舱2进出料口27可通过打开整体辅舱2舱门或辅舱2舱门上可以与进出料口27前后、竖直升降移动的进出料门板，实现辅舱2进出料口27的启闭；将载有待镀膜镜片的镜片架29整体放置在辅舱平台9的空平台架13的移动平台48上，以便转运，且真空压力和温度控制适宜；

步骤S3：对主舱1抽真空、加热作业至与辅舱2的压力、温度一致使真空环境一致，以便主舱1与辅舱2之间打开连通并转运镜片后，镀膜时主舱1真空镀膜环境稳定，以便连续镀膜；

步骤S4：镜片双舱真空镀膜机的主舱1和辅舱2之间的阀门采用插板阀门3，插板阀门3关闭时，插板门板5处于物料口4处并以千斤顶8抵紧，保证抽放真空时主舱1与辅舱2之间的密封封闭性能；

插板阀门3内设有第一伺服电机30，与两条第一链条6的对应第一链轮7同轴相连的第一传动轴31，第一传动轴31通过支架支撑在插装阀门内部，任一第一传动轴31与第一伺服电机30的电机轴之间设有传动齿轮32；由第一伺服电机30在传动齿轮32传动下驱动传动轴旋转带动第一链轮7同步旋转，实现第一链条6的竖直正向或反向旋转，实现与第一链条6连接的插板门板5的升降移动；插板阀门3四角处设有第一气缸33，第一气缸33的气缸滑块50与插板阀门3以气缸立柱34、气缸立柱34上的立柱滑块35连接，使插板阀门3升降时以立柱滑块35与气缸立柱34滑动配合导向，气缸滑块50受第一气缸33驱动前后移动时，带动插板阀门3前后移动；

插板阀门3开启时，千斤顶8脱离插板门板5，插板门板5向后、向上移动脱离插板阀门3内壁、并与物料口4让位实现物料口4开启，并将主舱1与辅舱2的内腔连通；同理若插板门板5向前、向下移动实现物料口4关闭；

镜片双舱真空镀膜机的主舱1和辅舱2顶部均设有第二伺服电机36驱动的第一驱动轴37、第一驱动轴37通过减速机49减速传动至两侧垂直的第二传动轴38，两侧第二传动轴38分别带动同轴的第二链轮11、位于四角处同步旋转，第二链轮11正反旋转时驱动啮合的第二链条12收放卷、使第二链条12端部吊连的主舱平台10或辅舱平台9升降，当辅舱平台9与主舱平台10升降平齐时，方便转运；

转运机构为设置在平台架13、主舱平台10两侧对应旋转的若干第一滚轮14，平台架13或主舱平台10一侧设有第四伺服电机52，第四伺服电机52的电机轴、第一滚轮14分别同轴设有第三链轮39，第四伺服电机52的第三链轮39、相邻第一滚轮14的第三链轮39之间设有第三链条，两侧任一对应第二滚轮15之间设有第三传动轴，通过第二伺服电机36的电机轴正反转传动、在第三链轮39、第三链条和第三传动轴传动51、实现平台架13或主舱平台10的若干第一滚轮14同步正向或反向旋转；

使辅舱平台9的平台架13的移动平台48上栽有待镀膜镜片的镜片架29、在移动平台48与底部第一滚轮14的滚动配合下、向插板阀门3的物料口4前进，第二滚轮15与移动平台48底部滚动配合支撑，前进至主舱平台10的第一滚轮14上并继续前进，直至转运至主舱平台10上，转运时通过镜片双舱正空镀膜机位于主舱平台10或辅舱平台9侧的传感器16感应定位，传感器16可采用激光传感器16测距传感镜片架29的位置，控制转运机构的运行；

步骤S5：主舱平台10的上升驱动结构与辅舱平台9一致，当主舱平台10带动其上移动平台48的镜片架29整体上升时，靠近旋转抓手17；

镜片双舱真空镀膜机主舱1顶部设有第二气缸40，第二气缸40的气缸杆穿过主舱1并与夹头外环20连接驱动夹头外环20升降移动，当夹头外环20下降时以锥面21外顶若干夹板19，使夹板19在活动滑板22与固定滑板23的滑动配合限位导向下、拉伸拉簧24并绕齿轮套18的中心外扩，大于镜片架29端部外径，当主舱平台10带动镜片机继续上升后，夹头外环20上升，在拉簧24回复力作用、夹板19与夹头外环20锥面21配合作用、活动滑板22与固定滑板23导向作用下，若干夹板19同步内缩而抓夹镜片架29；

步骤S6：镜片双舱真空镀膜机主舱1顶部设有第三伺服电机41，第三伺服电机41的电机轴、齿轮套18一侧的竖直第二驱动轴43上设有啮合的伞齿42，第二驱动轴43和齿轮套18上分别设有啮合的小齿轮44和大齿轮45，通过三伺服电机在伞齿42传动下带动第二驱动轴43旋转，在小齿轮44和大齿轮45啮合下驱动伞齿42套减速旋转，伞齿42套底部设有滑孔46，当镜片架29底部的拨杆***滑孔46内，伞齿42套旋转时通过滑孔46带动拨杆旋转，驱动以夹板19抓夹吊装的镜片架29整体旋转；

镜片双舱真空镀膜机的主舱1底部设有电子枪47，电子枪47的电子束将镀膜材料在真空环境下离析出、并向上飞射经过主舱平台10中心、在主舱平台10的第一调色板25、辅舱平台9的第二调色板26摆动改变对镀膜射线的遮挡调色下，对顶部旋转镜片架29的镜片镀膜；

同时，辅舱2内进气解除真空环境、重复步骤2在辅舱平台9内放入待镀膜镜片再次抽真空至与主舱1的真空环境一致，以便后续转运；

步骤S7：旋转抓手17的齿轮套18停止旋转，主舱平台10上升、旋转抓手17的若干夹板19同步外扩解除对镜片架29的抓夹，使主舱平台10下降时镜片架29随主舱平台10下降而脱离旋转抓手17；

步骤S8：插板阀门3的插板门板5开启物料口4，若指定步骤2放在辅舱平台9的镜片架29位于上层平台架13上，则驱动辅舱平台9上升，至主舱平台10的第一滚轮14、插板阀门3上的第二滚轮15、辅舱平台9下层空平台架13上的第一滚轮14平齐，由移动平台48与反转第一滚轮14、第二滚轮15配合，将移动平台48与载有已镀膜镜片的镜片架29从主舱平台10、经插板阀门3的物料口4送入辅舱平台9的空平台架13上；

随后辅舱平台9下降、至主舱平台10与辅舱平台9载有待镀膜镜片的镜片架29的平台架13平齐，由移动平台48与正转第一滚轮14、第二滚轮15配合，将移动平台48与载有待镀膜镜片的镜片架29转运至主舱平台10，形成镜片物料转换，并关闭插板阀门3；

步骤S9：重复步骤S5、S6的镀膜加工、并在插板阀门3关闭后，使主舱1和辅舱2形成独立空间，以便辅舱2放真空后，经过辅舱平台9的升降与进出料口27平齐、进行进出料，通过仅开启进出料口27可在靠近环境压力时开启、减小温度和压力损失以节约能耗；

步骤S10：通过重复步骤S1至S9，当镜片双舱真空镀膜机的主舱1与辅舱2真空环境一致且阀门开启连通时，将辅舱2内的待镀膜镜片向主舱1转运、或将主舱1内的已镀膜镜片向辅舱2转运；当主舱1与辅舱2之间的阀门关闭时，在主舱1内对镜片真空镀膜、在辅舱2内解除真空环境、放入待镀膜镜片或取出已镀膜镜片、并在放入或取出操作后抽真空至辅舱2与主舱1真空环境一致；

使主舱1始终处于真空环境以便进行连续镀膜，利用与主舱1可启闭的辅舱2在主舱1镀膜同时放真空以便镜片进出料、抽真空以便待镀膜与已镀膜的镜片转换，避免传统采用单舱真空镀膜机和镀膜工艺时、在相邻批次镜片镀膜抽放真空准备时间，可连续镀膜减小生产周期，保证真空镀膜条件控制稳定、并采用可在真空室自动稳定驱动的主舱平台10、辅舱平台9、转运机构、插板阀门3、旋转抓手17，显著提高镜片真空自动化镀膜效率和稳定性。

在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本发明的描述中，除非另有说明，“若干”的含义是两个或两个以上。

在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

以上所述，仅为本发明较佳的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应涵盖在本发明的保护范围内。因此，本发明的保护范围应该以权利要求书的保护范围为准。

Claims (10)

1.一种镜片双舱真空镀膜工艺，其特征在于，当镜片双舱真空镀膜机的主舱(1)与辅舱(2)真空环境一致且阀门开启连通时，将辅舱(2)内的待镀膜镜片向主舱(1)转运、或将主舱(1)内的已镀膜镜片向辅舱(2)转运；当主舱(1)与辅舱(2)之间的阀门关闭时，在主舱(1)内对镜片真空镀膜、在辅舱(2)内解除真空环境、放入待镀膜镜片或取出已镀膜镜片、并在放入或取出操作后抽真空至辅舱(2)与主舱(1)真空环境一致；重复转运、取放操作进行连续镜片真空镀膜。

2.根据权利要求1所述的一种镜片双舱真空镀膜工艺，其特征在于，镜片双舱真空镀膜机的主舱(1)和辅舱(2)之间通过插板阀门(3)启闭，所述插板阀门(3)上设有启闭、用于通过镜片的物料口(4)。

3.根据权利要求2所述的一种镜片双舱真空镀膜工艺，其特征在于，所述插板阀门(3)内设有可以相对物料口(4)升降、前后移动的插板门板(5)，所述插板门板(5)通过两侧同步竖直回转的第一链条(6)实现升降移动、通过两侧前后移动的气缸滑块(50)实现前后移动，第一链条(6)内设有同步旋转的第一链轮(7)，插板门板(5)与物料口(4)内壁之间设有若干千斤顶(8)。

4.根据权利要求1所述的一种镜片双舱真空镀膜工艺，其特征在于，镜片双舱真空镀膜机的辅舱(2)内通过可以升降的辅舱平台(9)取放镜片，主舱(1)内通过可以升降的主舱平台(10)承载镜片。

5.根据权利要求4所述的一种镜片双舱真空镀膜工艺，其特征在于，所述主舱平台(10)和辅舱平台(9)分别通过双舱真空镀膜机顶部四角处同步旋转的第二链轮(11)正反旋转、驱动啮合的第二链条(12)吊连主舱平台(10)或辅舱平台(9)、实现升降移动。

6.根据权利要求4所述的一种镜片双舱真空镀膜工艺，其特征在于，所述辅舱平台(9)包括至少两个平台架(13)，所述平台架(13)、主舱平台(10)两侧设有对应旋转的若干第一滚轮(14)、阀门上设有对应第一滚轮(14)的第二滚轮(15)，通过第一滚轮(14)、第二滚轮(15)滚动配合的移动平台(48)实现镜片转运，转运时通过镜片双舱正空镀膜机位于主舱平台(10)或辅舱平台(9)侧的传感器(16)感应定位。

7.根据权利要求1所述的一种镜片双舱真空镀膜工艺，其特征在于，镀膜时通过镜片双舱真空镀膜机主舱(1)顶部的旋转抓手(17)抓夹镜片并驱动镜片旋转，所述旋转抓手(17)包括减速旋转带动镜片旋转的齿轮套(18)、绕齿轮套(18)底部一周间隔且可外扩或内缩抓夹的夹板(19)，所述夹板(19)通过顶部升降移动的夹头外环(20)锥面(21)配合、夹板(19)上活动滑板(22)与主舱(1)顶部的固定滑板(23)滑动配合、夹板(19)与固定滑板(23)之间的拉簧(24)作用实现外扩或内缩。

8.根据权利要求1所述的一种镜片双舱真空镀膜工艺，其特征在于，镀膜时摆动调节包括镜片双舱真空镀膜机主舱平台(10)上两个第一调色板(25)或主舱(1)门板上位于两个第一调色板(25)之间的第二调色板(26)、改变对镀膜射线的遮挡进行镀膜调色。

9.根据权利要求1～8任意一项所述的一种镜片双舱真空镀膜工艺，其特征在于，其具体步骤如下：

S1：清洗镜片、待待镀膜的镜片放置在镜片架(29)上；

S2：打开镜片双舱正空镀膜机的辅舱(2)进出料口(27)，将步骤S1的镜片架(29)整体放入辅舱平台(9)的空平台架(13)上、关闭辅舱(2)进出料口(27)，对镜片双舱真空镀膜机的辅舱(2)轴真空、加热作业；

S3：对镜片双舱真空镀膜机的主舱(1)进行轴真空、加热作业至与辅舱(2)压力、温度一致；

S4：打开镜片双舱真空镀膜机辅舱(2)与主舱(1)之间的插板阀门(3)、辅舱平台(9)与主舱平台(10)升降平齐，经转运机构将镜片架(29)整体由辅舱平台(9)、插板阀门(3)的物料口(4)转运至主舱平台(10)上、关闭插板阀门(3)；

S5：主舱平台(10)在镜片双舱真空镀膜机的主舱(1)内上升、经旋转抓手(17)抓夹吊装镜片架(29)，辅舱平台(9)下降脱离镜片架(29)；

S6：由旋转抓手(17)驱动吊装的镜片架(29)旋转、并进行真空镀膜，同时辅舱(2)进气解除真空环境、重复步骤S2至辅舱(2)压力、温度与主舱(1)一致；

S7：镀膜结束后、主舱平台(10)上升，旋转抓手(17)停止旋转并解除对镜片架(29)的抓夹、使镜片架(29)随主舱平台(10)下降移动；

S8：打开插板阀门(3)，辅舱平台(9)上升或下降至主舱平台(10)与辅舱平台(9)的空平台架(13)平齐，经转运机构将载有已镀膜镜片的镜片架(29)由主舱平台(10)、插板阀门(3)的物料口(4)、转运至辅舱平台(9)，辅舱平台(9)上升或下降至主舱平台(10)与辅舱平台(9)载有待镀膜镜片的镜片架(29)的平台架(13)平齐，经转运机构将载有待镀膜镜片的镜片架(29)由辅舱平台(9)、插板阀门(3)的物料口(4)、转运至主舱平台(10)，关闭插板阀门(3)；

S9：重复步骤S5、S6，并在辅舱(2)打开辅舱(2)进出料口(27)时、在对应平台架(13)上放入载有待镀膜镜片的镜片架(29)，取出已镀膜镜片的镜片架(29)；

S10：重复步骤S1至S9进行连续镀膜加工。

10.根据权利要求9所述的一种镜片双舱真空镀膜工艺，其特征在于，步骤S2、S3通过抽真空装置(28)对辅舱(2)和主舱(1)分别抽真空时，控制辅舱(2)、主舱(1)真空室内压力为4.5x10e⁵Torr，温度为60～300℃。

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