CN113375981A - 用于采集液体样品的*** - Google Patents
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Abstract
描述了***和方法以判断通过传输线路从远程采样***输送的样品是否包含合适的样品,以通过分析***进行分析。***实施例包括但不限于:样品接收管线路,其被配置为接收液体段;第一检测器,其被配置为检测样品接收线路中的第一位置处的液体段;第二检测器,其被配置为检测样品接收管线路中的位于第一位置下游的第二位置处的液体段;以及控制器,其被配置为当控制器记录第一检测器的状态改变之前第一检测器和第二检测器匹配检测状态时,记录样品接收线路中的连续液体段。
Description
本申请是申请号为201680037720.2、申请日为2016年6月24日、发明名称为“用于采集液体样品的***”的中国发明专利申请的分案申请。
背景技术
在许多实验室环境中,经常需要同时分析大量化学或生物样品。为了简化这些过程,已使得对样品的操纵机械化。这种机械化采样可以被称为自动采样,并且可以使用自动采样设备或自动采样器来执行。
电感耦合等离子体(ICP)光谱测定法是一种常用于测定液体样品中微量元素浓度和同位素比率的分析技术。ICP光谱测定法采用电磁产生的部分离子化氩等离子体,其温度达到大约7,000K。当样品被引入到等离子体中时,高温导致样品原子变为被电离或发光。由于每种化学元素都能产生特征质量或发射光谱,因此测量发射质量或光线的光谱允许测定原始样品的元素组成。
样品引入***可以用于将液体样品引入ICP光谱测定仪器(例如,电感耦合等离子体质谱仪(ICP/ICP-MS)、电感耦合等离子体原子发射光谱仪(ICP-AES)等等)或其它样品检测器或分析仪器以进行分析。例如,样品引入***可以从容器中取出液体样品的等分试样,并且随后将等分试样输送到雾化器,该雾化器通过ICP光谱测定仪器将等分试样转换成适于在等离子体中电离的聚分散气溶胶。然后将气溶胶在喷雾室中分类以除去较大的气溶胶颗粒。在离开喷雾室时,通过ICP-MS或ICP-AES仪器的等离子体炬组件将气溶胶引入等离子体中以进行分析。
发明内容
描述了***和方法以判断从远程采样***通过输送线路输送的样品是否包含合适的样品以通过分析***进行分析。***实施例包括但不限于:样品接收线路,其被配置为接收液体段;第一检测器,其被配置为检测样品接收线路中的第一位置处的液体段;第二检测器,其被配置为检测在所述第一位置下游的样品接收线路中的第二位置处的液体段;以及控制器,其被配置为在所述控制器记录所述第一检测器的状态改变之前,当所述第一检测器和所述第二检测器匹配检测状态时,记录所述样品接收线路中的连续的液体段。
提供该发明内容从而以简化的形式引入将在以下具体实施方式中进一步描述的概念的选择。该发明内容并不旨在确定要求保护的主题的关键特征或必要特征,也不旨在用作确定所要求保护的主题的范围的辅助手段。
附图说明
参考附图来描述具体实施方式。包括在附图中的任何尺寸仅作为示例提供,并且并不意味着限制本公开内容。
图1是例示根据本公开内容的示例性实施例的被配置为分析通过长距离输送的样品的***的局部线形图。
图2A是例示根据本公开内容的示例性实施例的在远程采样***中使用的远程采样设备的环境图。
图2B是例示根据本公开内容的示例性实施例的在远程采样***中使用的远程采样设备的环境图。
图3A是例示根据本公开内容的示例性实施例的在分析***中使用的分析设备的环境图。
图3B是例示根据本公开内容的示例性实施例的在分析***中使用的分析设备的环境图。
图4是例示根据本公开内容的示例性实施例的被配置为分析通过长距离输送的样品的***内的分析***的局部线形图。
图5是例示根据本公开内容的示例性实施例的可以在图4中所示的分析***内使用的检测器的局部线形图。
图6是例示根据本公开内容的示例性实施例的具有多个分析设备以分析从远程采样***接收的样品的分析***的环境图。
图7是根据本公开内容的示例性实施例的包括样品接收线路和检测器的***的图解图示,该***被配置为确定样品接收线路何时在检测器之间包含连续液体段。
图8是根据本公开内容的示例性实施例的包含由远程采样***获得的样品的多个段的样品输送线路的部分截面。
图9是例示根据本公开内容的示例性实施例的供应到样品接收线路并由两个检测器记录的多个液体样品段的时间线。
图10是例示根据本公开内容的示例性实施例的用于确定样品接收线路何时在检测器之间包含连续液体段的方法的流程图。
图11是根据本公开内容的示例性实施例的用于基于化学检测限制来监测和控制过程操作的控制***的过程流程图。
图12是根据本公开内容的示例性实施例的并入多个远程采样***的处理设施的示意图。
图13是例示根据本公开内容的示例性实施例的利用表示手动采样的数据点和通过自动***获得的数据点的化学浴随时间的金属污染的图表。
具体实施方式
总体上参照图1至13,描述了被配置为分析通过长距离输送的样品的示例性***。在示例性实施例中,可以通过多个分析***来分析一个或多个样品,其中,这样的分析***可以包括不同的分析技术。***100包括在第一位置的分析***102。***100还可以包括在远离第一位置的第二位置处的一个或多个远程采样***104。例如,一个或多个远程取样***104可以被定位为靠近化学品源,诸如化学储存罐、化学处理罐(例如,化学浴)、化学品运输线路或管道等(例如,第二位置),以由分析***102进行分析,其中,分析***102可以被定位为远离(多个)远程采样***104,诸如用于生产设施的分析中心(例如,第一位置)。***100还可以包括在第三位置、第四位置等处的一个或多个远程采样***104,其中,第三位置和/或第四位置远离第一位置。在实施方式中,远程采样***104的第三位置、第四位置和其它位置可以远离其它远程采样***104的相应的其它位置。例如,一个远程采样***104可以被定位在水线路(例如,去离子水输送线路)处,而一个或多个其它远程取样***104可以被定位在化学储存罐、化学处理罐(例如化学浴)、化学品输送线路或管道等处。在一些实施例中,***100还可以包括在第一位置(例如,靠近分析***102)处的一个或多个远程采样***104。例如,在第一位置处的采样***104可以包括与分析***102耦合的自动采样器。一个或多个采样***104可操作以从第一位置、第二位置、第三位置、第四位置等等接收样品,并且***100可操作以将样品传送到分析***102以进行分析。
远程采样***104可以被配置为接收样品150并且制备样品150以用于传送(例如,传送到分析***102)和/或进行分析。在实施例中,远程采样***104可以设置在离分析***102不同的距离处(例如,1米、5米、10米、30米、50米、100米、300米、1000米等)。在实施方式中,远程采样***104可以包括远程采样设备106和样品制备设备108。样品制备设备108还可以包括阀148,诸如流通阀(flow-through valve)。在实施方式中,远程采样设备106可以包括被配置用于从样品流或源(例如,诸如废水、冲洗水、化学品、工业化学品等的液体,诸如空气样品的气体和/或其中将与液体接触的污染物,等等)收集样品。远程采样设备106可以包括诸如泵、阀、管道、传感器等的部件,其适合于从样品源获得样品并将该样品通过远距离(over the distance)传送到分析***102。样品制备设备108可以包括被配置为使用稀释剂114、内部标准116、载体154等来制备从远程采样设备106收集的样品150的设备,诸如以提供特定的样品浓度、加标样品、校准曲线等,并且可以用冲洗溶液158冲洗。
在一些实施例中,可以使用一种或多种制备技术来制备样品150(例如,制备的样品152)以进行传送和/或分析,所述制备技术包括但不必限于:稀释、预浓缩、添加一个或多个校准标准等等。例如,粘性样品150可以在被传送到分析***102(例如,以防止样品150在传送期间分离)之前,被远程稀释(例如,通过样品制备设备108)。如本文所述,已经从远程采样***104传输的样品可以被称为样品150,其中,样品150也可以指制备的样品152。在一些实施例中,可以动态地调整(例如,自动调整)样品稀释以使(多个)样品150以期望的速率移动通过***。例如,当样品150移动通过***100太慢时(例如,通过从第二位置到第一位置的传输时间测量),添加到特定样品或样品类型的稀释剂114增加。在另一个示例中,在输送到分析***102之前,一升(1L)的海水可以被远程预浓缩。在另外的示例中,在来自空气样品的材料上使用静电浓缩以预浓缩可能的大气污染物。在一些实施例中,***100自动执行在线稀释和/或校准。例如,样品制备设备108可以将一个或多个内部标准添加到传送到分析***102的样品以校准分析***102。
在本公开内容的实施例中,分析***102可以包括样品收集器110和/或样品检测器130,其被配置为从耦合在分析***102与一个或多个远程采样***之间的样品传输线路144收集样品150。样品收集器110和/或样品检测器130可以包括诸如泵、阀、管道、端口、传感器等的部件,以从一个或多个远程采样***104(例如,经由一个或多个样品传输线路)接收样品150。例如,在***100包括多个远程采样***104的情况下,每个远程采样***可以包括专用样品传输线路144以耦合到样品收集器110的单独部分或耦合到分析***102的单独的样品收集器110。另外,分析***102可以包括采样设备160,其被配置为收集分析***102本地的样品150(例如,本地自动采样器)。
分析***102还包括至少一个分析设备112,其被配置为分析样品以确定微量元素浓度、同位素比率等(例如,在液体样品中)。例如,分析设备112可以包括ICP光谱测定仪器,包括但不限于电感耦合等离子体质谱仪(ICP/ICP-MS)、电感耦合等离子体原子发射光谱仪(ICP-AES)等。在实施例中,分析***102包括多个分析设备112(即,多于一个的分析设备)。例如,***100和/或分析***102可以包括多个采样环路,每个采样环路将样品的一部分引入多个分析设备112。作为另一个示例,***100和/或分析***102可以配置有多位阀,使得单个样品可以被快速地并且连续地引入到多个分析设备112中。图6示出了与分析***102流体连通的一个远程采样***104,其中分析***102包括与三个分析设备(显示为ICPMS602、离子色谱(IC)柱604和傅里叶变换红外光谱仪(FTIR)606)耦合的多位阀600,用于分析从远程采样***104接收的样品。虽然图6示出了分析***102包括三个分析设备的实施例,分析***102可以包括更少(例如,少于三个)或更多(例如,多于三个)分析设备112。在实施例中,分析设备112可以包括但不限于ICPMS(例如,用于微量金属测定)、ICPOES(例如,用于微量金属测定)、离子色谱法(例如,用于阴离子和阳离子测定)、液相色谱仪(LC)(例如,用于有机污染物测定)、FTIR红外(例如,用于化学成分和结构信息测定)、颗粒计数器(例如,用于检测未溶解的颗粒)、湿度分析器(例如,用于检测样品中的水)、气相色谱仪(GC)(例如,用于检测挥发性成分)等。在实施例中,多个分析设备112可以位于与远程采样设备104相同的位置处,而***100可以包括位于远离远程采样***104的一个或多个附加的分析设备112,以用于进行附加或不同的样品分析而不是由多个分析设备112执行的那些分析。替代地或附加地,多个分析设备112可以位于与远程采样***104不同的位置。
***100和/或分析***102可以被配置为报告随时间变化的位置处的分析物浓度(下面参照图13进一步示出)。在一些实施例中,分析设备112可以被配置为检测样品150中的一种或多种微量金属。在其它实施例中,分析设备112可以被配置用于离子色谱。例如,可以将离子和/或阳离子收集在样品150中,并将其输送到色谱分析设备112。在另外的实施例中,可以将有机分子、蛋白质等收集在样品中,并将其传送到高分辨率的飞行时间(HR-ToF)质谱仪分析设备112(例如,使用雾化器156)。因此,本文描述的***可以用于各种应用,包括但不限于:药物应用(例如,具有连接到多个药物反应器的中央质谱仪分析设备)、一个或多个废物流的废物监测、半导体制造设施等等。例如,可以针对污染物连续监测废物流,并在检测到污染物时将其传输到罐中。作为另一个示例,可以通过分析由连接到分析***102的一个或多个远程采样***104获得的样品来连续监测一个或多个化学品流,由此可以为每个化学品流设置污染限制。在检测到超过特定流的污染限度的污染物时,***100可以提供警报。
远程采样***104可以被配置为选择性地与至少一个样品传输线路144耦合,使得远程采样***104可操作以与样品传输线路144流体连通,以供应连续的液体样品段150到样品传输线路144。例如,远程采样***104可以被配置为收集样品150并使用例如流通阀148将样品150供应到样品传输线路144,从而将远程采样***104耦合到样品传输线路144。样品150到样品传输线路144的供应可以被称为“投入”。样品传输线路144可以与气体供应146耦合并且可以被配置为将气体从第二位置(以及可能的第三位置、第四位置等等)输送到第一位置。以这种方式,由远程采样***104供应的液体样品段被收集在气流中,并且使用气体压力样品传输输送到分析***102的位置。
在一些实施例中,样品传输线路144中的气体可以包括惰性气体,包括但不一定限于:氮气、氩气等等。在一些实施例中,样品传输线路144可以包括内径为十分之八毫米(0.8mm)的未分段的或最小分段的管。然而,十分之八毫米的内径仅作为示例提供,并不意味着限制本公开内容。在其它实施例中,样品传输线路144可以包括大于十分之八毫米的内径和/或小于十分之八毫米的内径。在一些实施例中,样品传输线路144中的压力可以在从至少大约四(4)巴至十(10)巴的范围内。然而,这个范围仅仅是作为示例提供的,并不意味着限制本公开内容。在其它实施例中,样品传输线路144中的压力可以大于十巴和/或小于四巴。此外,在一些特定的实施例中,样品传输线路144中的压力可以被调节,使得样品150以大致向上的方向(例如垂直)分配。这样的垂直取向可以促进在比分析***102更低的位置(例如,在相对于分析***102位于“楼下”的样品源和远程采样***处)收集的样品的传输。
在一些示例中,样品传输线路144可以与和第一液体浴(或化学浴)流体连通的远程采样***104以及和第二液体浴(或化学浴)流体连通的分析***102耦合。在本公开内容的实施例中,***100可以包括一个或多个泄漏传感器(例如,安装在水槽中)以防止或最小化在第一位置和/或一个或多个远程位置(例如,第二位置、第三位置、第四位置等等)处溢流。诸如注射器泵或真空泵之类的泵可以用于将样品加载到采样设备106中。阀148可以用于在远程采样***104处选择样品150,并且可以将样品150供应到样品传输线路144,样品传输线路144可以将样品150传送到第一位置处的分析***102。另一个泵(例如隔膜泵)可以用于在分析***102上抽取排出物并且从样品传输线路144拉出样品150。
***100可以被实施为封闭采样***,其中,样品传输线路144中的气体和样品不暴露于周围环境。例如,壳体和/或护套可以封闭***100的一个或多个部件。在一些实施例中,远程采样***104的一个或多个样品线路可以在样品传送之间被清洁。此外,样品传输线路144可以在样品150之间被清洁(例如,使用清洁溶液)。
样品传输线路144可被配置为选择性地与第一位置处的样品接收线路162(例如,样品环路164)耦合,使得样品环路164可操作以与样品传输线路144流体连通,从而接收连续的液体样品段。连续液体样品段到样品环路164的传送可称为“采集”。样品环路164也被配置为选择性地与分析设备112耦合,使得样品环路164可操作以与分析设备112流体连通,从而将连续的液体样品段供应给分析设备112(例如,当***100已经确定足够的液体样品段可用于由分析***102进行分析时)。在本公开内容的实施例中,分析***102可以包括一个或多个检测器,其被配置为确定样品环路164包含足够量的连续液体样品段以供分析***102进行分析。在一个示例中,足够量的连续液体样品可以包括足够的液体样品以发送到分析设备112。足够量的连续液体样品的另一个示例可以包括在第一检测器126与第二检测器128之间的样品接收线路162中的连续液体样品(例如,如图7中所示)。在实施方式中,第一检测器126和/或第二检测器128可以包括光分析器132、光学传感器134、电导率传感器136、金属传感器138、导电传感器140和/或压力传感器142。可以设想第一检测器126和/或第二检测器128可以包括其它传感器。例如,第一检测器126可以包括光分析器132,其检测样品150何时进入样品环路164,并且第二检测器128可以包括另一个光分析器132,其检测样品环路164何时被填充。这个示例可以被称为“成功的采集”。应该注意的是,光分析器132仅作为示例提供,并不意味着限制本公开内容。其它示例性检测器包括但不必限于:光学传感器、电导率传感器、金属传感器、导电传感器、压力传感器等。
参照图7,描述了***100,其可以确定连续液体样品段何时包含在样品接收线路162中和/或样品环路164何时包含足够量的连续液体样品段以进行分析(例如,由分析***102)。在示例性实施例中,第一检测器126可以被配置为确定两个或更多个状态,其可以表示样品接收线路162中的第一位置处液体(例如,液体样品段)的存在、样品接收线路162中的第一位置处液体的不存在等等。例如,可以使用第一状态(例如,由第一逻辑电平表示,诸如高状态)来表示样品接收线路162中的第一位置处(例如,靠近第一检测器126)液体样品段的存在,并且可以使用第二状态(例如,由第二逻辑电平表示,诸如低状态)来表示样品接收线路162中的第一位置处液体样品段(例如,样品接收线路162中的空隙或气体)的不存在。
在一些实施例中,包括压力传感器142的第一检测器126可以用于检测样品接收线路162中的第一位置处液体的存在(例如,当液体存在时,通过检测样品接收线路162中靠近第一位置的压力的增加)。第一检测器126也可以用于检测样品接收线路162中第一位置液体的不存在(例如,通过检测样品接收管线路162中靠近第一位置的压力的降低)。然而,压力传感器是通过举例的方式提供的,并不意味着限制本公开内容。在其它实施例中,包括光学传感器134的第一检测器126可以用于检测样品接收线路162中的第一位置处的液体的存在(例如,当液体存在时,通过检测通过样品接收线路162靠近第一位置的光的减少)。第一检测器126也可以用于检测样品接收线路162中第一位置处的液体的不存在(例如,通过检测通过样品接收线路162靠近第一位置的光的增加)。在这些示例中,第一检测器126可以将在第一位置处液体样品的存在报告为高状态,并且将在第一位置处液体样品的不存在报告为低状态。
在一些实施例中,***100还可以包括一个或多个附加的检测器,诸如第二检测器126、第三检测器等等。例如,第二检测器126也可以被配置为确定两个或更多个状态,其可以表示样品接收线路162中的第二位置处液体(例如,液体样品段)的存在、样品接收线路162中的第二位置处液体的不存在等等。例如,可以使用第一状态(例如,由第一逻辑电平表示,诸如高状态)来表示样品接收线路162中的第二位置处(例如,靠近第二检测器126)液体样品段的存在,并且可以使用第二状态(例如,由第二逻辑电平表示,诸如低状态)来表示样品接收线路162中的第二位置处液体样品段的不存在。
在一些实施例中,包括压力传感器142的第二检测器126可以用于检测样品接收线路162中的第二位置处液体的存在(例如,当液体存在时,通过检测样品接收线路162中靠近第二位置的压力的增加)。第二检测器126也可以用于检测样品接收管线路162中第二位置液体的不存在(例如,通过检测样品接收管线路162中靠近第二位置的压力的降低)。然而,压力传感器是通过举例的方式提供的,并不意味着限制本公开内容。在其它实施例中,可以使用包括光学传感器134的第二检测器126来检测样品接收线路162中的第二位置处液体的存在(例如,当液体存在时,通过检测通过样品接收线路162靠近第二位置的光的减少)。第二检测器126也可以用于检测样品接收线路162中第二位置处液体的不存在(例如,通过检测通过样品接收线路162靠近第二位置的光的增加)。在这些示例中,第二检测器126可以将第二位置处的液体样品的存在报告为高状态,并且将第二位置处的液体样品的不存在报告为低状态。
控制器118可以与一个或多个检测器126通信地耦合,并被配置为记录(register)在样品接收线路162中的第一位置处、样品接收线路162中的第二位置处、样品中接收线路162的另一位置处等的液体。例如,控制器118使用第一检测器126启动检测操作,并且样品接收线路162中的第一位置处的液体可以由控制器118记录(例如,当控制器118记录由第一检测器126确定的状态从低到高的变化时)。然后,可以监测第一检测器126(例如,连续地,至少基本连续地),并且控制器118可以随后记录样品接收线路162中的第一位置处的液体的不存在(例如,当控制器118记录由第一检测器126确定的状态从高变到低的变化)。
类似地,控制器118也可以使用第二检测器126启动检测操作,并且样品接收线路162中的第二位置处的液体可以由控制器118记录(例如,当控制器118记录由第二检测器126确定的状态从低到高的变化)。然后,可以监测第二检测器126(例如,连续地,至少基本上连续地),并且控制器118可以随后记录样品接收线路162中的第二位置处的液体的不存在(例如,当控制器118记录由第二检测器126确定的状态从高到低的变化)。
控制器118和/或一个或多个检测器126可以包括或影响定时器的操作以为***100提供某些事件的定时(例如,在特定时间在样品接收线路162中的多个位置的液体的存在或不存在)。作为示例,控制器118可以监测由各种(多个)检测器记录的状态变化的时间,以便确定关于是否允许将液体样品引导至分析***102(例如,与将液体引导至废物或保持环路相反)。作为另一个示例,控制器118可以基于由控制器118经由(多个)检测器126记录的状态的改变来监测液体在样品接收线路162和/或样品环路164中花费的时间。
液体样品段中断和合适液体段的测定
通常,当靠近相关联的分析设备(例如,紧挨着分析设备的自动采样器)获得样品时,样品可以跨越样品源与分析设备之间的整个距离,而不需要大量的样品量。然而,对于样品的长距离传输,填充远程采样***104与分析***102之间的整个传输线路144(例如,高达数百米的样品长度)可能是禁止或不期望的,例如由于处理未使用的样品部分时的环境问题、样品的粘度等。因此,在实施例中,远程采样***104不是用样品来填充整个传输线路144,而是表示总传输线路144体积的一部分的液体样品段通过传输线路144发送以供分析***102进行分析。例如,尽管传输线路144可以长达几百米,但在输送到分析***102期间的任何给定时间,样品可能占据传输线路144的大约一米或更少。虽然发送液体样品段通过该线路可以减少从远程样品***104发送的样品的量,但是样品可能在输送到分析***102期间在样品输送线路144中引起气泡或间隙/空隙。这样的气泡或间隙/空隙可能由于样品的长距离传输相关的情况(例如传送期间管道之间的孔口的变化)、由于与用于清洁样品之间的线路的残余清洁流体的相互作用、由于与线路中的残余流体的反应、由于沿着传输线路跨度的压力差等而形成。例如,如图8中所示,液体样品800可以通过输送线路144从远程采样***104发送到分析***102所在的第一位置。由远程采样***104获得的总样品的体积由图3中的VTOT表示。如图所示,在从远程采样***104传输的过程中,在传输线路144中可以形成间隙或空隙802。间隙或空隙802分隔多个样品段804,这些样品段不包含足够量或体积的样品以供分析***102进行分析。这样的样品段804可以在具有足以供分析***102进行分析的体积(示为VSAMPLE)的较大样品段806之前和/或之后。在实施例中,可以调整远程取样***104收集的样品量(例如,VTOT)以提供足够量的样品150供分析设备112进行分析。例如,样品150“投入”的量与样品150“采集”的量的体积比(例如,VTOT/VSAMPLE)是至少约为一又四分之一(1.25)。然而,这个比例仅作为示例提供,并不意味着限制本公开内容。在一些实施例中,该比例大于一又四分之一,而在其它实施例中,该比例小于一又四分之一。在一个示例中,投入2.5毫升(2.5mL)的样品150(例如,浓硫酸或硝酸),并采集1毫升(1mL)的样品150。在另一个示例中,投入1.5毫升(1.5mL)的样品150,并采集1毫升(1mL)的样品150。在本公开内容的实施例中,调整样品150“投入”的量以说明第一位置与第二位置之间的距离、第一位置与第二位置之间的样品传输线路的量、样品传输线路144中的压力等等。通常,VTOT/VSAMPLE的比例可以大于1,以说明在传输期间样品传输线路144中的间隙/空隙802和样品段804的形成。
***100可以选择多个远程采样***104中的哪一个应该将其相应的样品发送到分析***102(例如,“投入”),由此检测器126便于确定是否存在足够的样品(例如,样品环路164中的VSAMPLE)发送到分析***102(例如,“采集”),或者线路中是否存在空隙或间隙(例如,在检测器126之间),使得在该特定时间样品不应该被发送到分析***102。如果存在气泡或间隙(例如,在样品环路164中),那么它们的存在会损害样品分析的准确性,特别是如果样品在引入到分析设备112之前在分析***102处被稀释或进一步稀释,因为分析设备112可以分析“空白”溶液。
在一些实施例中,***100可以被配置为确定在样品接收线路162和/或样品环路164中何时包含连续液体样品段(例如,样品段806),使得***100可以避免将间隙或空隙802或较小的样品段804传输到分析设备112。例如,***100可以包括沿着样品接收线路162的第一位置处的第一检测器126和沿着样品接收线路162的第二位置处(例如,第一位置下游的)的第二检测器126。***100还可以包括在第一检测器126与第二检测器126之间的采样环路164。在实施例中,诸如在至少两个流动路径配置(例如,图3A中示出的阀148的第一流动路径配置;图3B中示出的阀148的第二流动路径配置等)之间的多端口阀的阀可以定位在第一检测器126和样品环路164之间以及第二检测器126与样品环路164之间。在本公开内容的实施例中,***100可以通过同时记录第一位置处的液体和第二位置处的液体来确定样品接收线路162和/或样品环路164中包含连续的液体样品段,而不经由第一位置处的第一检测器126记录状态从高到低的变化。换而言之,液体样品已经从第一检测器126连续地传输到第二检测器126,而第一检测器126检测到的状态没有变化,直到第二检测器126识别出液体样品的存在。
在其中使用两个或更多个检测器来确定样品接收线路何时在检测器之间包含连续液体段的示例性实施方式中,液体段在样品接收线路中被接收。例如,参照图7,样品接收线路162接收液体样品段。然后,通过使用第一检测器启动检测操作,在样品接收线路中的第一位置处记录液体段,该第一检测器被配置为检测样品接收线路中的第一位置处的液体段的存在和/或不存在。例如,参照图7,第一检测器126检测样品接收线路162中的第一位置处的液体样品段,作为状态从低到高的变化。参照图9,可以在时间t1和t5在第一位置处检测液体样品段。然后,在记录第一位置处的液体段之后,监测第一检测器。例如,参照图7,第一检测器126由控制器118监测,并且第一检测器126检测样品接收线路162中的第一位置处的液体样品段的不存在,作为状态从高低的变化。参照图9,从时间t1和t5开始监测第一位置(例如,连续地、至少基本上连续地),并且可以在时间t3和t6在第一位置处检测到液体样品段的不存在。
类似地,通过使用第二检测器启动检测操作来在样品接收线路中的第二位置处记录液体段,该第二检测器被配置为检测样品接收中的第二位置处的液体段的存在和/或不存在。例如,参照图7,第二检测器126检测样品接收线路162中的第二位置处的液体样品段,作为状态从低到高的变化。参照图9,可以在时间t2和t7在第二位置处检测液体样品段。然后,在第二位置处记录液体段之后,监测第二检测器。例如,参照图7,第二检测器126由控制器118监测,并且第二检测器126检测样品接收线路162中的第二位置处的液体样品段的不存在,作为状态从高到低的变化。参照图9,从时间t1和t7开始监测第二位置(例如,连续地、至少基本上连续地),并且可以在时间t4和t8在第二位置处检测到液体样品段的不存在。
当液体同时在第一位置和第二位置处被记录时,在第一检测器和第二检测器之间的样品接收线路路中记录连续的液体段。例如,参照图7,当高状态表示在第一检测器126和第二检测器126中的每一个处液体样品段存在时,控制器118记录样品接收线路162中的连续的液体样品段(例如,存在于第一检测器126与第二检测器126之间)。参照图9,当在第二位置处检测到液体样品段时,在时间t2处可以记录连续的液体样品段。
在一些实施例中,可以使用逻辑“与”运算来确定连续液体段何时被记录在样品接收线路中,并启动将连续液体段从样品接收线路传输到分析设备。例如,参照图7,控制器118可以在第一检测器126和第二检测器126中的每一个上使用高状态的逻辑“与”操作,并使用阀148启动样品环路164与分析设备112的选择性耦合,使得样品环路164可操作以与分析设备112流体连通,从而将连续的液体样品段供应到分析设备112。在一些实施例中,控制器118可以仅确定当在第一检测器126或第二检测器126处记录从低到高的状态改变时,是否切换阀148以将连续的液体样品段供应到分析设备112。在一些实施例中,***100要求在启动样品环路164与分析设备的选择性耦合之前,第二检测器126处的高状态维持一段时间(例如,图9中所示的t△)。例如,控制器118和/或处理器120的定时器或定时功能可以验证第二检测器126已经维持高状态的时间段,由此一旦第二检测器126已经维持时间t△(例如,阈值时间)的高状态,并且在第一检测器处于高状态的情况下,控制器118可以确定已经采集了足够的液体样品段(例如,图8中的段806),并且可以切换阀148以将连续的液体样品段供应到分析设备112。持续时间t△可对应于第二检测器不太可能测量空隙或气泡的时间段,其可能根据样品的流动速率或其它传输条件。
在一些实施例中,控制器118可以监测处于高状态和/或低状态的第一检测器126的定时。例如,在从远程采样***104传输的样品的流动特性已知的实施例中,可以监测第一检测器126以确定在高状态下所花费的时间长度以粗略估计在样品接收线路162和/或样品环路164中是否存在足够的液体样品,使得控制器118在第二检测器126处确认或不确认高的状态的情况下将样品发送到分析设备112。例如,对于给定的样品的流动速率,通过监测第一检测器126已经处于高状态的时间长度,可以粗略估计样品的体积。然而,由于泵功能、传输的样品的类型、样品的粘度、传输的持续时间、传输的距离、环境温度条件、传输线路144的温度条件等的波动,样品的流动速率可能不是显而易见的,所以第二检测器126的功能可能是信息量大的。
在本公开内容的实施例中,本文描述的***和技术可以用于确定在第一检测器126与第二检测器126之间的样品接收线路(例如,样品环路)的一部分被填充而不存在气泡。例如,如参照图9所描述的,在时间t3与t5之间在第一位置处液体样品的不存在可以对应于样品接收线路162中气泡的存在。当***100已经达到样品接收线路162中不存在气泡的情况时,控制器118切换阀148以允许样品环路164中的流体传递到分析设备112(用于进行分析或在分析之前进行样品调节)。
示例性方法
图10描绘了示例性实施方式中的过程810,其中使用两个检测器来确定样品接收线路何时在连续液体样品段中包含足够量的样品以供分析***进行分析,而在连续的液体样品段中没有间隙或空隙。如图所示,在样品接收线路中接收液体段(框812)。例如,样品接收线路162可以接收由远程采样***104获得并通过传输线路144传输的样品。过程810还包括用第一检测器记录样品接收线路中的第一位置处的液体段,第一检测器被配置为在液体段行进经过第一位置时检测液体段的存在和/或不存在(框814)。例如,第一检测器126可以测量样品接收线路162中的第一位置处的液体样品片段的存在。参照图9,在时间t1和t5在第一位置处检测到液体样品段。
接下来,记录第一位置处的液体段之后,监测第一检测器(框816)。例如,第一检测器126可以由控制器118监测以确定在样品接收线路162中的第一位置是否存在液体段(例如,第一检测器126是否已经从高状态(指示检测到样品流体)转变到低状态(其中没有检测到样品流体))。参照图9,从时间t1和t5开始监测第一位置(例如,连续地、至少基本连续地)。然后,在通过使用第二检测器执行检测操作来记录第一位置下游的样品接收线路中的第二位置处的液体段之前,当在样品接收线路中的第一位置处不存在液体段未被记录时,在样品接收线路中记录连续的液体段,第二检测器被配置为检测第二位置处的液体段的存在和/或不存在(框818)。例如,参照图9,第一检测器126在时间t1和t5检测样品流体的存在,而第二检测器126在时间t2和t7检测样品流体的存在。在第一检测器处在时间t1和t3之间的液体样品段仅在第二检测器检测到该样品段之前的中间时间内第一检测器没有检测到不存在的情况下由第二检测器(从时间t2开始)记录。此时,控制器118可以引导阀148切换以将包含在样品环路164中的样品发送到分析设备112。第一检测器126在t5记录液体样品的存在,而在第二检测器126随后在t7检测液体样品的存在之前,第一检测器也在t6检测处液体样品的不存在。这样,***100将识别出样品环路164中存在间隙或空隙(例如,间隙/空隙802),并且不会切换阀148以进行分析,而是允许不适当的样品段(例如,液体段804)传递给废物。如本文所述,在第一检测器126已经在中间时间维持高状态之后,一旦第二检测器126已经维持高状态一定时间段(例如,t△),就可以使用定时器(例如,由控制器118实施的)来使阀148切换。
控制***
包括其一些或全部部件的***100可以在计算机控制下运行。例如,处理器120可以包括在***100中或者包含在***100中,以使用软件、固件、硬件(例如,固定逻辑电路)、手动处理或其组合来控制本文描述的***的部件和功能。本文使用的术语“控制器”、“功能”、“服务”和“逻辑”一般表示软件、固件、硬件或者与控制***结合的软件、固件或硬件的组合。在软件实施方式的情况下,模块、功能或逻辑表示当在处理器(例如,一个或多个中央处理单元(CPU))上执行时执行指定任务的程序代码。程序代码可以存储在一个或多个计算机可读存储器设备(例如,内部存储器和/或一个或多个有形介质)中等等。本文描述的结构、功能、方法和技术可以在具有各种处理器的各种商业计算平台上实施。
例如,***的一个或多个部件,例如分析***102、远程采样***104、阀148、泵和/或检测器(例如,第一检测器126、第二检测器126、样品检测器130)可以与控制器耦合以用于控制样品150的收集、传送和/或分析。例如,控制器118可以被配置为切换阀148,阀148将样品环路164耦合到分析***102并且当第一检测器126和第二检测器126指示成功的“采集”时(例如,当两个传感器检测到液体时),将样品150从样品环路164引导至分析***102。此外,控制器118可以实施功能以确定“不成功的采集”(例如,当样品环路164没有被足够的样品150填充以供分析***102进行完整分析时)。在一些实施例中,基于例如从诸如第一检测器126或第二检测器126的传感器接收的信号的信号强度的变化来确定“不成功的采集”。在其它实施例中,当第一检测器126已经指示了样品150在样品接收线路162中并且已经经过了预定的时间量(其中第二检测器126没有指示样品150在样品接收线路162中时)确定“不成功的采集”。
在一些实施例中,当在第一位置处接收到不足的样品150时,控制器118在远程位置(诸如第二位置)处与指示器通信地耦合,并在第二位置处提供指示(例如,警报)。该指示可以用于启动(例如自动)附加的样品收集和传送。在一些实施例中,指示器向操作员提供警报(例如,经由一个或多个指示灯,经由显示器读数,其组合等)。此外,可以基于一个或多个预定条件(例如,仅在错过了多个样品时)定时和/或启动指示。在一些实施例中,还可以基于在远程采样点处测量的条件来激活指示器。例如,可以使用第二位置处的检测器130来确定样品150何时被提供给远程采样***104,并且当样品150未被收集时可以激活指示器。
在一些实施例中,控制器118可操作以为来自不同的远程位置的样品的收集和/或为不同类型的样品150提供不同的定时。例如,当远程采样***104准备好将样品150传送到样品传输线路144并且可以启动将样品150传输到样品传输线路144中时,可以警告控制器118。控制器118还可以与一个或多个远程采样***102通信地耦合以接收(和可能记录/记载)与样品150相关联的识别信息,和/或控制样品150在***100内被传送的顺序。例如,控制器118可以远程地排序多个样品150并且协调其传送,通过一个或多个样品传输线路144。以这种方式,样品150的传送可以沿着多个同时的流动路径(例如,通过多个样品传送线路144)进行协调,在采取一个或多个附加样品150时,可以传输一个或多个样品150,等等。例如,图11示出了***100的示例性控制流程图,其中分析***102被示为经由两个远程采样***104a和104b以及相关的输送线路144a和144b与两个远程采样位置(显示为样品位置900和样品位置902)流体连通。在所示实施例中,分析***102分别向远程采样***104a和远程采样***104b中的每一个发送命令,如904a和904b所示。远程采样***104a和远程采样***104b均将分别经由输送线路144a和输送线路144b将在相应的采样位置(用于远程采样***104a的采样位置900,用于远程采样***104b的采样位置902)处获得的样品传输到分析***102。分析***102然后处理样品以确定其中的各种化学物种容器的量。分析***102然后确定任何化学物种的量是否超过元素特定限制(例如,样品中特定污染物的限制)。在实施例中,***100可以独立地为每个采样位置和独立地为每个采样位置处的特定化学物种设置污染限制。例如,特定金属污染物的耐受性可能在加工过程中降低,因此下游化学样品对特定化学物种的限制可能低于对上游化学样品的限制。如图11中所示,分析***102确定没有化学物种超过对由远程采样***104a在采样位置900处获得的样品的任何元素特定限制。分析***102然后向CIM主机906发送如908a所示的指示,以允许由于在元素特定限制之下的过程应用的操作而继续在采样位置900处的过程应用。分析***102已经确定,由远程采样***104b在采样位置902处获得的样品中存在的至少一个化学物种超过了元素特定的限制(例如,样品中的污染物的限制)。分析***102随后向CIM主机906发送如908b所示的指示,以发送针对在采样位置902处的过程应用的由于在特定于元素的限制之上的过程应用的操作而产生的警报。然后CIM主机906经由停止过程命令910引导采样位置902处的过程,以基于在采样位置902处由远程采样***104b获得的样品的分析来停止操作。在实施例中,可以通过SECS/GEM协议来促进CIM主机906与***100的部件之间的通信。在实施例中,当确定元素高于特定样品位置的样品中的元素特定限制时,***100可以包括特定于上下文的动作,其中这样的特定上下文动作可以包括但不限于忽略警报并继续过程操作,停止过程操作,运行***校准,并且然后重新运行超限样品等。例如,在第一警报时,分析***102可以执行校准(或另一校准),然后重新运行样品,而随后的警报(例如,第二警报)将使CIM主机906命令过程在违规采样地点中止操作。
控制器118可以包括处理器120、存储器122和通信接口124。处理器120为控制器118提供处理功能,并且可以包括任何数量的处理器、微控制器或其它处理***,以及用于存储由控制器118访问或生成的数据和其它信息的常驻或外部存储器。处理器120可以执行实施本文描述的技术的一个或多个软件程序。处理器120不受形成其的材料或其中使用的处理机构的限制,并且因此可以经由半导体和/或晶体管(例如,使用电子集成电路(IC)部件)来实施,等等。
存储器122是有形计算机可读储存介质的示例,该有形计算机可读储存介质提供储存功能,以储存与控制器118的操作相关联的各种数据(诸如软件程序和/或代码段)或指示处理器120以及控制器118的可能的其它部件来执行本文描述的功能的其它数据。因此,存储器122可以储存数据,例如用于操作***100(包括其部件)的指令程序等等。应该注意的是,尽管描述了单个存储器,但是可以采用各种各样的存储器类型和组合(例如,有形的、非暂时性的存储器)。存储器122可以与处理器120集成在一起,可以包括独立存储器,或者可以是两者的组合。
存储器122可以包括但不一定限于:可移除和不可移除存储器部件,诸如随机存取存储器(RAM)、只读存储器(ROM)、闪速存储器(例如,安全数字(SD)存储卡、迷你SD存储卡和/或微型SD存储卡)、磁存储器、光存储器、通用串行总线路(USB)存储器设备、硬盘存储器、外部存储器等等。在实施方式中,***100和/或存储器122可以包括可移除集成电路卡(ICC)存储器,诸如由用户识别模块(SIM)卡、通用用户识别模块(USIM)卡、通用集成电路卡(UICC)等提供的存储器122。
通信接口124***作地配置为与***的部件进行通信。例如,通信接口124可以被配置为传送存储在***100中的数据,从***100中的储存器获取数据等等。通信接口124还与处理器120通信地耦合,以促进***100的部件与处理器120之间的数据传输(例如,用于向处理器120传送从与控制器118通信地耦合的设备接收到的输入)。应该注意,虽然通信接口124被描述为控制器118的部件,但是通信接口124的一个或多个部件可以被实施为经由有线路和/或无线路连接通信地耦合到***100的外部部件。***100还可以包括和/或连接到一个或多个输入/输出(I/O)设备(例如,经由通信接口124),其包括但不必限于:显示器、鼠标、触摸板、键盘等等。
通信接口124和/或处理器120可以被配置为与各种不同的网络进行通信,包括但不限于:广域蜂窝电话网络,诸如3G蜂窝网络、4G蜂窝网络或全球移动通信***(GSM)网络;无线计算机通信网络,诸如Wi-Fi网络(例如,使用IEEE 802.11网络标准操作的无线路局域网(WLAN));互联网;因特网;广域网(WAN);局域网(LAN);个域网(PAN)(例如,使用IEEE802.15网络标准操作的无线路个域网(WPAN));公用电话网络;外联网;内联网等等。然而,该列表仅作为示例提供,并不意味着限制本公开内容。此外,通信接口124可以被配置为跨越不同的接入点与单个网络或多个网络进行通信。
示例1-示例性监测***
通常,本文描述的***100可以并入任何数量的远程采样***104以从任何数量的采样位置采集样品。在图12中所示的实施方式中,***100包括位于利用化学浴、散装化学品、环境排放物(effluent)和其它液体样品的处理设施的五个不同位置的五个远程采样***104(示为104A、104B、104C、104D、104E)。远程采样***104在不同的位置获取样品以传输到远离五个远程采样***104中的每一个定位的分析***102。第一远程采样***104A靠近去离子水管道1000定位并且与分析***102隔开大约四十米(40米)的距离(示为d5)。第二远程采样***104B靠近配阀点1002定位并与分析***102隔开大约八十米(80米)的距离(示为d4)。第三远程采样***104C靠近化学供应罐1004定位并与分析***102隔开大约八十米(80米)的距离(示为d3)。化学品供应罐1004远离化学品储存罐1008定位,并且从化学品储存罐1008供应化学品。第四远程采样***104D靠近化学品供应罐1006定位并与分析***102隔开大约八十米(80米)的距离(示为d2)。化学品供应罐1006远离化学品储存罐1008定位,并且从化学品储罐1008供应化学品。第五远程采样***104E靠近化学品储罐1004定位并与分析***102隔开大约三百米(300米)的距离(示为d1)。尽管示出了五个远程采样***104,但是***100可以利用多于五个的远程采样***104来监测整个处理设施中的超痕量(ultra-trace)杂质,诸如在其它过程流、化学浴、散装化学品储存、环境排放物和其它液体样品。在实施方式中,以大约每秒1.2米(1.2m/s)的速率提供从远程采样***104到分析***的样品的传输,在整个处理设施中提供对超痕量杂质的近似实时分析(例如,ICPMS分析)。
示例2-重现性
在实施方式中,分析***102被定位在距离远程采样***104一百米(100米)处。远程采样***104获得了二十个离散样品并将其输送到分析***102以确定该二十个离散样品中的每一个中的每种化学物种的信号强度。每个离散样品包括以下化学物种:锂(Li)、铍(Be)、硼(B)、钠(Na)、镁(Mg)、铝(Al)、钙(Ca)、锰(Mn)、铁(Fe)、钴(Co)、镍(Ni)、铜(Cu)、锌(Zn)、锗(Ge)、锶(Sr)、银(Ag)、银(Ag)、镉(Cd)、铟(In)、锡(Sn)、锑(Sb)、钡(Ba)、铈(Ce)、铪(Hf)、钨(W)和铅(Pb)。经由分析***102进行分析后,确定跨所有化学物种的所有二十个离散样品相对标准偏差(RSD)小于百分之三(<3%)。相应地,分析***102与远程采样***104之间的一百米处的示例性***100提供了从获得样品,将样品传输一百米到分析***102(例如经由传输线路144)以及用分析***102分析样品的可靠重现性。
示例3-与手动采样的比较-半导体过程示例
参照图13,提供了显示用于半导体制造过程的化学浴(SC-1浴)随时间的金属污染的图表。图表包括显示从三个时间点采集的手动样品测量的金属污染物的数据点的部分1100。该图表还包括部分1102,其示出了从部分1100的手动样品测量的金属污染物的数据点的部分1102,该数据点叠加在以超过手动采样方法的采样频率(例如,频率至少高出十六到十七倍)从***100(例如,从远程采样***104)采集的样品测量的金属污染物的数据点上。如部分1102中所示,在半导体制造过程中随时间发生污染物的逐渐增加。确定何时交换特定半导体过程中的化学品(例如,来自部分1100的手动采样技术)的使用寿命或寿命计数方法经常不能解释金属污染随时间的特性。因此,化学品通常在不知道浴中金属污染物的情况下进行交换。这会导致过度交换,其中化学浴实际上可以提供附加的晶片处理,但无论如何都会被更换(例如,导致过程正常运行时间的损失),其中化学浴实际上具有不可接受的金属污染物但是直到稍后才被更换(例如,可能会危害由该过程产生的晶片)。如部分1102中可以看到的,金属污染物可以用***100自动以更高的频率跟踪。污染限制1104被设置为在达到化学浴的污染物限度时向CIM主机906发出警报。因此,***100可以在达到污染限制1104时(例如,避免不***换)自动地引起过程操作的停止,同时允许过程在未达到污染限制1104时继续,由此在可行时提供过程正常运行时间例如,避免过度交换)。
结论
在实施方式中,各种分析设备可以利用本文描述的结构、技术、方法等。因此,尽管本文描述了***,但是各种分析仪器可以利用所描述的技术、方法、结构等等。这些设备可以配置有有限的功能(例如,精简设备)或配备有鲁棒的功能(例如,精密设备)。因此,设备的功能可能涉及设备的软件或硬件资源,例如处理能力、存储器(例如,数据储存能力)、分析能力等等。
通常,可以使用硬件(例如,诸如集成电路的固定逻辑电路)、软件、固件、手动处理或其组合来实施本文中所描述的任何功能。因此,以上公开内容中讨论的框通常表示硬件(例如,诸如集成电路的固定逻辑电路)、软件、固件或其组合。在硬件配置的情况下,以上公开内容中讨论的各种框可以与其它功能一起被实施为集成电路。这样的集成电路可以包括给定框、***或电路的所有功能、或者框、***或电路的部分功能。此外,框、***或电路的元件可以跨多个集成电路来实施。这样的集成电路可以包括各种集成电路,其包括但不一定限于:单片集成电路、倒装芯片集成电路、多芯片模块集成电路和/或混合信号集成电路。在软件实施方式的实例中,上述公开内容中讨论的各种框表示当在处理器上执行时执行指定任务的可执行指令(例如,程序代码)。这些可执行指令可以储存在一个或多个有形的计算机可读介质中。在一些这样的情况下,整个***、框或电路可以使用其等同的软件或固件来实施。在其它实例中,给定***、框或电路的一部分可以用软件或固件来实施,而其它部分则用硬件来实施。
尽管已经用结构特征和/或过程操作专用的语言描述了主题,但是应该理解的是,所附权利要求中限定的主题不一定限于上面描述的具体特征或动作。相反,上述的具体特征和动作被公开为实施权利要求的示例性形式。
Claims (18)
1.一种***,包括:
样品接收线路,所述样品接收线路被配置为接收液体段;
包括至少一个检测器的检测***,所述至少一个检测器被配置为检测所述液体段在所述样品接收线路中的位置处的存在或不存在中的至少一种,所述至少一个检测器被配置为:将所述液体段在所述样品接收线路中的所述位置处的不存在记录为第一状态,并且将所述液体段在所述样品接收线路中的所述位置处的存在记录为第二状态;以及
控制器,所述控制器与包括所述至少一个检测器的所述检测***通信地耦合,所述控制器被配置为:基于在所述控制器记录所述至少一个检测器的状态从所述第二状态改变到所述第一状态之前所述至少一个检测器处于所述第二状态的持续时间,记录所述样品接收线路中的连续液体段。
2.根据权利要求1所述的***,进一步包括:
与所述样品接收线路流体连通的阀,所述阀能够在至少两个流动路径配置之间切换。
3.根据权利要求2所述的***,其中,所述控制器被配置为:响应于记录所述样品接收线路中的所述连续液体段而在所述至少两个流动路径配置之间切换所述阀。
4.根据权利要求1所述的***,其中,所述样品接收线路包括样品环路。
5.根据权利要求1所述的***,进一步包括:
在第一位置处的分析***;
在远离所述第一位置的第二位置处的远程采样***,所述远程采样***被配置为接收所述液体段以进行分析;
样品传输线路,所述样品传输线路被配置为将所述液体段从所述第二位置输送到所述第一位置,所述样品传输线路与所述远程采样***耦合,使得所述远程采样***能够操作以与所述样品传输线路流体连通,从而驱动所述液体段到所述第一位置。
6.根据权利要求5所述的***,其中,所述分析***包括所述样品接收线路,并且所述样品接收线路被配置为选择性地与所述样品传输线路和所述分析***耦合,使得所述样品接收线路能够操作以与所述样品传输线路流体连通以接收所述液体段,并且与所述分析***流体连通以将所述连续液体段供应到所述分析***。
7.根据权利要求6所述的***,其中,所述液体段与所述连续液体段的体积比大于1。
8.根据权利要求5所述的***,其中,所述分析***包括多个分析设备。
9.根据权利要求8所述的***,其中,所述多个分析设备包括质谱仪、光谱仪、离子色谱仪、液相色谱仪、傅里叶变换红外光谱仪、颗粒计数器、湿度分析器以及气相色谱仪中的至少两种。
10.根据权利要求5所述的***,其中,所述样品传输线路的长度至少为五米。
11.根据权利要求5所述的***,其中,所述样品传输线路的长度至少为十米。
12.根据权利要求5所述的***,其中,所述样品传输线路的长度至少为三十米。
13.一种方法,包括:
接收样品接收线路中的液体段;
响应于利用检测***的至少一个检测器对所述液体段在所述样品接收线路中的位置处的检测而利用所述至少一个检测器记录第一状态,所述至少一个检测器的所述第一状态对应于所述液体段在所述第一位置处的存在;
在所述至少一个检测器记录第二状态之前监测所述至少一个检测器是否记录所述第一状态,所述第二状态对应于所述液体段在所述位置处的不存在;
基于在记录所述至少一个检测器的状态从所述第二状态改变到所述第一状态之前所述至少一个检测器处于所述第二状态的持续时间,记录所述样品接收线路中的连续液体段。
14.根据权利要求13所述的方法,进一步包括:
响应于记录所述样品接收线路中的所述连续液体段而将所述连续液体段从所述样品接收线路传输到分析***。
15.根据权利要求14所述的方法,其中,响应于记录所述样品接收线路中的所述连续液体段而将所述连续液体段从所述样品接收线路传输到分析***包括:
响应于记录所述样品接收线路中的所述连续液体段,自动地将阀从第一流动路径配置切换到第二流动路径配置以将所述连续液体段从所述样品接收线路传输到所述分析***。
16.根据权利要求13所述的方法,其中,进一步包括:
判断所述连续液体段是否包括超过元素特定污染限制的化学成分。
17.根据权利要求16所述的方法,进一步包括:
当所述连续液体段被确定为包括超过所述元素特定污染限制的所述化学成分时,自动地发送警报。
18.根据权利要求13所述的方法,进一步包括:
响应于记录所述样品接收线路中的所述连续液体段,将所述连续液体段从所述样品接收线路传输到多个分析设备。
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