CN113327953A - 显示面板 - Google Patents

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Abstract

本申请提供一种显示面板，将显示面板的指纹识别模块和存储电容设置在薄膜晶体管器件层内，并且指纹识别模块通过电极层与薄膜晶体管的有源层和存储电容电连接，进而优化阵列基板的结构，同时，显示面板能更好接收反射回来的光信号，指纹识别性能好，且制备工艺简单，面板生产成本低。

Description

显示面板
技术领域
本申请涉及显示面板显示技术领域，尤其涉及一种显示面板。
背景技术
随着显示技术的不断提高，显示面板的种类也不断扩大，同时，显示装置的显示质量以及显示效果也得到不断的提高。
发光二极管(light emitting diode，LED)显示面板已被广泛应用于各种显示设备之中。为了提高LED的发光效果及性能，常用的LED包括mini-LED和micro-LED，其中，micro-LED的尺寸相比mini-LED的尺寸更小，因此，micro-LED 更适合应用在穿戴等方面，通过将微型micro-LED矩阵化、微缩化以密集的排列在显示面板内部的各个芯片上，然后在通过巨量转移将LED阵列的转移到显示面板内部的电路板上，并实现LED的发光。但是，现有的技术中，在制备 micro-LED型显示面板过程中还存在较多的技术难题。由于micro-LED的形状尺寸均较小，并且显示面板内部安装的LED数量巨大，因此，在将巨量的micro-LED 转移到显示面板内部进行装配时，如何实现显示面板内的阵列基板与巨量的 micro-LED之间较好的进行相互匹配，并保证LED在显示面板内正常发光的同时，还能保证显示面板在显示发光时具有较高的显示效果和显示质量，以及简化生产工艺，还存在一定的技术难题。
综上所述，现有的显示面板及显示装置，在制备微型micro-LED型显示面板工艺过程中，如何实现巨量的micro-LED与阵列基板之间较好的进行相互匹配，并保证LED的正常发光以及指纹识别功能，同时又提高显示面板的显示质量以及触控性能，等技术问题亟需改善。
发明内容
本申请实施例提供一种显示面板，使微型micro-LED能较好的与显示面板相匹配的同时具有较好的指纹识别功能，同时简化生产工艺流程，降低面板制造成本。
为解决上述技术问题，本申请实施例提供的技术方法如下：
本申请实施例的第一方面，提供了一种显示面板，所述显示面板包括：
薄膜晶体管器件层，所述薄膜晶体管器件层包括薄膜晶体管的源极或漏极、栅极、有源层；
平坦化层，所述平坦化层设置在所述薄膜晶体管器件层上；以及
第一电极层，所述第一电极层设置在所述平坦化层上；以及，
存储电容，所述存储电容设置在所述薄膜晶体管器件层的一侧；
其中，所述显示面板还包括指纹识别模块，所述指纹识别模块包括感应电极层，所述感应电极层与所述有源层位于同一膜层，且所述存储电容通过所述第一电极层与所述指纹识别模块电连接。
根据本申请一实施例，所述显示面板还包括第二电极层和第一过孔，所述第一过孔设置在所述存储电容对应的膜层上，所述第二电极层设置在所述第一过孔内。
根据本申请一实施例，所述第二电极层的一端与所述电极层电连接，所述第二电极层的另一端与所述存储电容的一电极电连接。
根据本申请一实施例，所述存储电容包括第一金属层和第二金属层，所述第一金属层和所述第二金属层设置在不同的所述层间介质层上，且所述第一金属层在所述层间介质层上的投影与所述第二金属层在所述层间介质层上的投影相重叠。
根据本申请一实施例，所述第一金属层与所述薄膜晶体管的栅极由同一蚀刻工艺形成。
根据本申请一实施例，所述显示面板还包括光增强层，所述光增强层围绕所述指纹识别模块一圈设置。
根据本申请一实施例，所述指纹识别模块还包括感光电极层，所述感光电极层的一端与所述第一电极层连接，所述感光电极层的另一端与所述感应电极层连接。
根据本申请一实施例，所述感光电极层包括第一感光电极、第二感光电极以及连接层，所述第一感光电极设置在所述连接层上，所述第二感光电极设置在所述第一感光电极上，所述第一感光电极通过所述连接层与所述感应电极层电连接，且所述第二感光电极与所述第一电极层电连接。
根据本申请一实施例，所述连接层的宽度小于所述第一感光电极的宽度，所述第一感光电极的宽度小于或等于所述第二感光电极的宽度。
根据本申请一实施例，所述感应电极层由所述有源层形成。
根据本申请一实施例，所述有源层包括轻掺杂区和与所述轻掺杂区相邻的重掺杂区，且所述重掺杂区对应的所述有源层形成所述感应电极层。
根据本申请一实施例，所述显示面板还包括第三电极层和第二过孔，所述第三电极层通过所述第二过孔与所述薄膜晶体管的漏极电连接。
根据本申请一实施例，所述显示面板还包括发光二极管，所述发光二极管设置在所述平坦化层上且所述发光二极管与所述第三电极层连接。
综上所述，本申请实施例的有益效果为：
本申请实施例提供一种显示面板，通过在显示面板的阵列基板中设置指纹识别模块，并且在指纹识别模块对应的膜层上蚀刻形成过孔结构，本申请实施例中提供的指纹识别模块设置在显示面板的薄膜晶体管器件层内，能较好的与转移的微型发光二极管相匹配，并且指纹识别性能好，制备工艺简单。
附图说明
下面结合附图，通过对本申请的具体实施方式详细描述，将使本申请的技术方案及其它有益效果显而易见。
图1A-1C为本申请实施例提供的一种指纹识别面板的阵列基板的结构示意图；
图2为本申请实施例中提供的显示面板的制备工艺流程示意图；
图3-图13为本申请实施例中提供的显示面板制备工艺过程中对应的膜层结构示意图。
具体实施方式
下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。
在本申请的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个所述特征。在本申请的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。
随着微型micro-LED显示面板生产技术的不断提高，显示面板的结构、性能以及制备方法也有了更好的要求，以不断改善显示面板的各项综合性能。本申请实施例提供一种显示面板及显示面板的制备方法，以不断提高显示面板的显示质量以及指纹识别性能，并简化显示面板的制备工艺，降低生产成本。
如图1A所示，图1A为本申请实施例提供的一种指纹识别面板的阵列基板结构示意图。显示面板包括衬底基板100以及薄膜晶体管器件层10。
具体的，薄膜晶体管器件层10内设置有至少两个薄膜晶体管。本申请实施例中，以第二薄膜晶体管17和第一薄膜晶体管18为例进行说明，第二薄膜晶体管17和第一薄膜晶体管18可相邻设置。
本申请实施例中，薄膜晶体管器件层10还包括薄膜晶体管的有源层112、第一栅极绝缘层101、第一金属层116、第二栅极绝缘层102、第二金属层117、无机绝缘层103以及钝化层104。
其中，有源层112设置在衬底基板100上，在衬底基板100上设置完成有源层 112后，对有源层112图案化蚀刻处理，并最终形成图1A中所示的有源层112的结构。在本申请实施例中，第二薄膜晶体管17对应的有源层112的长度可不大于第一薄膜晶体管18对应的有源层112的长度。
进一步的，第一栅极绝缘层101设置在有源层112上，并且覆盖所述有源层112，第一金属层116设置在第一栅极绝缘层101上，本申请实施例中，第一金属层116可包括薄膜晶体管的金属栅极113，栅极113对应的设置在第二薄膜晶体管 17和第一薄膜晶体管18的有源层112上方对应的区域内。
以及第二金属层117，第二金属层117设置在第二栅极绝缘层102上，本申请实施例中，在第一薄膜晶体管18的一侧设置有一存储电容14，存储电容14的上下电极板由第一金属层116和第二金属层117构成，即第一金属层116还可包括一存储电容14的下电极板。因此，本申请实施例中，第二金属层117设置在第一薄膜晶体管18的一侧，同时，为了保证存储电容14的性能，在设置第一金属层116 和第二金属层117时，第一金属层116设置在第二金属层117在衬底基板100的正投影对应的位置区域内。
第一金属层116与第二金属层117可设置为相同的长度，或者第一金属层116 与第二金属层117至少一个电极板完全设置在另一电极板在垂直方向的正投影区域内，即第一金属层116和第二金属层117在层间介质层上的投影可重叠。从而保证存储电容具有较好的性能，同时，在设置存储电容14时，第一金属层116 和第二金属层117分别设置在两不同的层间介质膜层上。
本申请实施例中，在制备第一金属层116与第一薄膜晶体管18或第二薄膜晶体管17的金属栅极113时，可同时设置第一金属层116与金属栅极113，并经同一蚀刻工艺处理，最终得到第一金属层116与金属栅极113。且第一金属层116由所述第一薄膜晶体管18或所述第二薄膜晶体管17的栅极113所形成。优选的，第一金属层116与金属栅极113可为同一材料并且第一金属层116与金属栅极113同层设置。在制备时，第一金属层116可直接由薄膜晶体管的栅极得到，从而简化了生产工艺，并优化了显示面板内的膜层结构。
以及无机绝缘层103，无机绝缘层103设置在第二金属层117上，并覆盖第二金属层117。设置完成无机绝缘层103后，继续在无机绝缘层103上沉积钝化层 104。
本申请实施例中，在薄膜晶体管器件层10内，还设置有指纹识别模块115，在设置指纹识别模块115时，指纹识别模块115设置在薄膜晶体管的有源层112 上，本申请实施例中的指纹识别模块115还包括感应电极层，感应电极层与有源层112可同层同材料设置，即感应电极层与有源层为同一膜层。由于两者设置为同一膜层，图示中只表示出有源层112，而感应电极层未具体标示。同时，将存储电容14设置在指纹识别模块115的一侧位置上。具体的，指纹识别模块115 设置在第一薄膜晶体管18的有源层112上，指纹识别模块115的一端与有源层112 电连接，指纹识别模块115的另一端与第一电极层109相连接，并且指纹识别模块115设置在第三过孔121对应的位置内。
本申请实施例中的指纹识别模块115还包括感光电极层。具体的，感光电极层设置在有源层112上。感光电极层的一端与第一电极层109连接，感光电极层的另一端与有源层连接。由于有源层112与感应电极层为同一膜层，因此，第一电极层109、指纹识别模块115以及感应电极层共同形成一PIN结二极管的结构，而该感应电极层即为该PIN结二极管的N层。由于有源层112与感应电极层为同一膜层，因此，薄膜晶体管的有源层112同时也为该PIN结二极管的N层。进一步的，本申请实施例提供的显示面板还包括第一平坦化层105和第二平坦化层 106，第二平坦化层106设置在第一平坦化层105上。本申请实施例中，第一薄膜晶体管18主要为指纹识别模块提供驱动，并且在第一薄膜晶体管18中，只设置源极或漏极中的一个，而第二薄膜晶体管17主要为驱动薄膜晶体管，通过第二薄膜晶体管17实现发光二极管的点亮。
本申请实施例中，显示面板还设置有第一电极层109，其中，第一电极层109 主要设置在显示面板的指纹识别区域120内，在指纹识别区域120内，对应的钝化层104、第一平坦化层105和第二平坦化层106的膜层上设置有第四过孔122，其中，第一电极层109沿第四过孔122的内壁进行设置，并且第一电极层109的两端边缘区域设置在第四过孔122区域外，同时，部分第一电极层109设置在第三过孔121内，设置在第三过孔121内的第一电极层109与指纹识别模块115电连接。
本申请实施例中，显示面板中还设置有第一过孔15，具体的，第一过孔15 设置在存储电容14对应的膜层结构上，第一过孔15贯穿无机绝缘层103、钝化层 104、第一平坦化层105以及第二平坦化层106。优选的，第一平坦化层105的厚度可大于第二平坦化层106的厚度，从而可将指纹识别模块115设置在第一平坦化层内。同时，在第一过孔15内设置第二电极层151，第二电极层151可从存储电容14上延伸至第一平坦化层105上。
进一步的，第一电极层109通过第一过孔15与第二电极层151电连接，从而使得第二电极层151的一端与存储电容14连接，第二电极层151的另一端与第一电极层109电连接。
本申请实施例中，第一电极层109可为氧化铟锡膜层，第二电极层151可为第一薄膜晶体管18的漏极，因此，第一电极层109的一端与第一薄膜晶体管18 的漏极电连接，第一电极层109还与指纹识别模块115电连接，同时，第一薄膜晶体管的漏极与存储电容14的上电极板相连接。因此，当指纹识别模块115内产生电荷变化时，可通过第一电极层109和第一薄膜晶体管18的漏极传输至存储电容14内，进而实现存储电容14对电荷进行存储。这样设置，无需再另外设置电极层来对指纹识别模块115产生的电荷进行传输，通过第一薄膜晶体管18的漏极即可实现对电荷的转移，从而有效的简化显示面板内的电极结构。
本申请实施例中，第一电极层109和第二电极层151的材料可相同，第一电极层109的材料可为氧化铟锡膜层，为了保证指纹识别的准确性以及识别效率，优选的，氧化铟锡膜层设置为透明的氧化铟锡膜层，从而使更多的光信号能够进入指纹识别模块115内，以提高指纹识别模块的识别性能，又保证了显示面板的显示质量。
当进行指纹识别时，被识别的指纹可在指纹识别区域120内操作，被指纹反射回来的光信号会被指纹识别模块115接收，当指纹识别模块115接收到光信号后，会使得指纹识别模块115内的电荷发生变化，由于指纹识别模块115通过第一电极层109与存储电容14电连接，从而使得存储电容14内的电荷随之发生改变，存储电容14可存储指纹识别模块115内产生的电荷，同时，指纹识别模块115 还将该光信号在有源层112内转化为电信号，并将该电信号传输，并最终实现指纹识别的目的。
本申请实施例中，指纹识别模块115可包括光线指纹识别器、超声波指纹识别器等具有光线感应或声音、震动等感应装置的识别器。
进一步的，显示面板还包括第二过孔16，具体的，第二过孔16设置在第二薄膜晶体管17对应的膜层结构上，其中，第二过孔16贯穿第一平坦化层105、第二平坦化层106以及第二钝化层107，第二过孔16使得第二薄膜晶体管17的漏极 114暴露出，同时在第二过孔16内设置第三电极层110，第三电极层110可整体的设置在第二过孔16内，本申请实施例中，第三电极层110还可分段的设置在第二过孔16内，以实现更加平缓的过渡，保证连接质量，以及保证器件内的各项性能。其中，第三电极层110的下端与漏极114电连接，第三电极层110的上端设置在第二钝化层107上。
本申请实施例中，在将外界的巨量LED转移到阵列基板上时，可在第三电极层110对应的位置上进行蚀刻开孔，以使第三电极层110暴露出，并对应的与转移的LED器件电连接，从而实现LED器件的安装，当将巨量的LED转移完成后，LED通过第三电极层110与薄膜晶体管的源极或者漏极相连接，从而实现薄膜晶体管对相应的LED进行驱动，以对LED的发光进行控制。同时，本申请实施例中设置的指纹识别模块可对指纹等进行识别，以实现显示面板的识别功能。因此，本申请实施例中提供的显示面板不仅能对LED的发光进行驱动，还能够实现显示面板的指纹识别。显示面板的结构更简单并且性能更好。
由于在指纹识别区域120区域内设置有第四过孔122，因此，光线在膜层内的损失也更小，到达指纹识别模块115上的光线也更多，此时，指纹识别模块的抗干扰能力更强，从而保证了显示面板具有较好的指纹识别性能。
本申请实施例中，第二电极层151与第三电极层110的电极材料可设置为相同的材料。
进一步的，如图1B所示，图1B为本申请实施例中提供的又一显示面板的结构示意图。为了提高显示面板的指纹识别性能，显示面板还包括光增强层1155。其中，光增强层1155设置在指纹识别模块115的四周，即光增强层1155围绕指纹识别模块115的***设置，具体可设置一圈光增强层1155。
光增强层1155同时与指纹识别模块115以及对应的膜层的侧面紧密贴合，光增强层1155的高度可大于指纹识别模块115的高度，从而有效的将指纹识别模块 115包裹。
优选的，光增强层1155可为聚甲基丙烯酸甲酯材料，或其他热塑性聚合物材料。当光线透过膜层达到指纹识别模块115时，指纹识别模块115可接收更多的光线，进而提高指纹识别模块115的识别性能。
本申请实施例中的光增强层1155还可设置在指纹识别模块115之上，这里不再详细描述，通过在不同位置上设置光增强层1155，以增强光线的透过率，从而有效的提高指纹的识别效率。
优选的，如图1C所示，图1C为本申请实施例提供的另一显示面板的结构示意图。同时结合图1A中的结构示意图，本申请实施例中的指纹识别模块115还包括多个功能电极层。具体的，包括第一感光电极1151、第二感光电极1152、连接层1150以及感应电极层。由于感应电极层与有源层112为同一膜层，因此，第一感光电极1151、第二感光电极1152、连接层1150以及第一薄膜晶体管18的有源层112形成该指纹识别模块115。
其中，连接层1150设置在有源层112上，第一感光电极1151设置在连接层 1150上，第二感光电极1152设置在第一感光电极1151上，第一感光电极1151通过连接层1150与有源层112电连接。
本申请实施例中，第二感光电极1152以及第一感光电极1151可为该识别模块的光接收层，通过第二感光电极1152和第一感光电极1151来提高到达指纹识别模块115上的光量，并通过连接层1150将光信号传输至有源层112上，以进一步提高指纹识别模块115的识别性能。同时，有源层112接收第一感光电极1151 和第二感光电极1152的光信号，并将光信号转换为控制信号。
指纹识别模块115的感应电极层与有源层112为同一膜层，此时，有源层112 即为指纹识别模块115的感应电极层。当光线依次透过第一感光电极1151和第二感光电极1152，并到达感应电极层时，即有源层112时，有源层112将光信号转换为控制信号，并实现识别功能。从而有效的简化了器件的结构以及制备工艺。
本申请实施例中的有源层112还包括掺杂区，如形成的N离子掺杂区、P离子掺杂区。进一步的，掺杂区包括轻掺杂区和与轻掺杂区相邻的重掺杂区。其中，重掺杂区靠近有源层112的边缘设置，在有源层112的中间区域还设置有沟道区，通过沟道区将两侧的轻掺杂区和重掺杂区隔开。在形成该感应电极层时，感应电极层可直接由重掺杂区对应的有源层形成。
在设置各功能电极层时，优选的，连接层1150的宽度小于第一感光电极1151 的宽度，第一感光电极1151的宽度小于或等于第二感光电极1152的宽度。为了进一步的提高指纹识别模块115的识别性能，在设置第二感光电极1152和第一感光电极1151时，可使第二感光电极1152和第一感光电极1151的宽度相同，从而保证尽可能多的光线能到达第二感光电极1152上，进而提高识别性能。
由于本申请实施例中的连接层1150的宽度较小且设置在有源层112上，从而有效的减少了第二薄膜晶体管17的有源层112的宽度，使得显示面板的宽度进一步减小，从而有利于实现面板的窄边框并减低了产品的生产成本。
优选的，在设置第一平坦化层105和第二平坦化层106时，使第一平坦化层 105的膜层厚度大于第二平坦化层106的厚度，并将指纹识别模块115设置在第一平坦化层105和第二平坦化层106对应的开孔内。在设置指纹识别模块115时，将指纹识别模块115的功能层直接设置在漏极114上，通过漏极114将光信号直接传输至有源层112上。这样，有效的缩短指纹识别模块115与第一电极层109之间的距离。进而提高到达指纹识别模块的光线量，从而有效的提高指纹识别模块115 的识别性能。
进一步的，本申请实施例中，还提供一种显示面板的制备方法，具体的，如图2所示，图2为本申请实施例中提供的显示面板的制备工艺流程示意图。工艺流程包括如下步骤：
S10：提供衬底基板。
S11：在所述衬底基板上制备薄膜晶体管器件层，其中，在制备所述薄膜晶体管器件层时，沉积薄膜晶体管的有源层，对所述有源层进行离子掺杂，并依次在所述有源层上沉积第一栅极绝缘层、第一金属层、第二栅极绝缘层、第二金属层、无机绝缘层以及存储电容。
本申请实施例中提供的显示面板的指纹识别性能更好，在制备本申请实施例中的显示面板时，在玻璃基板上沉积一衬底基板，具体的，衬底基板可包括缓冲层，如聚酰亚胺膜层，具体厚度可根据实际需要进行设置。
具体的，如图3-图13所示，图3-图13为本申请实施例中提供的显示面板制备工艺过程中对应的膜层结构示意图。
显示面板在制备过程中，首先制备显示面板的薄膜晶体管器件层，具体的，如图3所示，在衬底基板100上沉积薄膜晶体管的有源层112，沉积完成后对该膜层图案化处理，形成图中所示的结构，同时对该膜层进行离子掺杂，在掺杂时，可在两有源层内分别掺杂入N+、P+离子，掺杂完成后，可形成轻掺杂区和与轻掺杂区相邻的重掺杂区。其中，重掺杂区靠近有源层112的边缘设置，在有源层 112的中间区域还设置有沟道区，通过沟道区将两侧的轻掺杂区和重掺杂区隔开。
掺杂处理完成后，如图4所示，在有源层112上继续沉积其他膜层，具体的，在有源层112上沉积第一栅极绝缘层101，并在第一栅极绝缘层101上沉积第一金属层116。第一金属层116沉积完成后，对第一金属层116图案化处理，最终形成如图4中所示的膜层结构，本申请实施例中，第一金属层116还包括薄膜晶体管的栅极层。
S12：在所述薄膜晶体管的有源层对应的位置上蚀刻形成第三过孔；
S13：在所述第三过孔内设置指纹识别模块；
S14：在所述薄膜晶体管器件层上制备第一钝化层，并在所述薄膜晶体管器件层上蚀刻形成多个过孔结构，并在所述过孔内沉积所述薄膜晶体管的源极和漏极；
如图5所示，在第一金属层116上继续进行膜层沉积，在第一金属层116上沉积第二栅极绝缘层102，第二栅极绝缘层102覆盖第一金属层116，同时，在第二栅极绝缘层102上设置第二金属层117，并对第二金属层117图案化处理，最终形成图4中所示的膜层结构。
本申请实施例中，第二金属层117设置在显示面板的一侧，并与对应的第一金属层116相对，进而，第一金属层116与第二金属层117形成一存储电容的结构，第一金属层116为该存储电容的下电极，第二金属层117为该存储电容的上电极。
如图6所示，在第二金属层117上继续沉积并形成一无机绝缘层103，无机绝缘层103覆盖该第二金属层117。无机绝缘层103制备完成后，在显示面板的指纹识别区域120内蚀刻处理，蚀刻完成后，形成第三过孔121。
具体的，第三过孔121贯穿第一栅极绝缘层、第二栅极绝缘层以及无机绝缘层，并使部分有源层暴露。第三过孔121的半径大小可根据实际需要进行设置。
如图7所示，第三过孔121蚀刻完成后，在第三过孔121内设置指纹识别模块 115，本申请实施例中，指纹识别模块115与对应的有源层电连接，并且，指纹识别模块115的高度可超出无机绝缘膜层的高度，当指纹识别模块115较高时，可接收更多的反射光线，进而保证指纹识别的准确度，提高识别效率。由于指纹识别模块115的高度较高，因此，指纹识别模块115与无机绝缘层之间形成一台阶结构。
如图8所示，继续沉积其他膜层，具体的，在无机绝缘层上沉积钝化层104，钝化层104沉积完成后，进行蚀刻处理，分别在薄膜晶体管的有源层以及第二金属层对应的位置上蚀刻，并形成多个过孔结构，优选的，如第一过孔15、第二过孔16，第一过孔15设置在第二金属层对应的膜层上，同时，在指纹识别模块对应的位置上进行蚀刻，形成相应的过孔结构。
如图9所示，在对应的过孔位置上沉积相应的电极层，沉积完成后，形成薄膜晶体管的各功能层13。具体的，分别形成薄膜晶体管的源极111、漏极114，源极111和漏极114通过相应的过孔结构与薄膜晶体管的有源层电连接。
S15：在所述第一钝化层上制备平坦化层，并在所述平坦化层上蚀刻形成第一过孔、第二过孔以及第三过孔，并沉积形成第二电极层和第三电极层；
S16：在所述平坦化层上沉积第一电极层，所述第一电极层通过所述第一过孔与所述存储电容，且所述第一电极层与所述指纹识别模块电连接；
S17：在所述第一电极层上制备钝化层，并在所述第二过孔对应位置处对所述钝化层蚀刻处理。
如图10所示，在钝化层上沉积第一平坦化层105，第一平坦化层105制备完成后，进行蚀刻处理，进一步形成第一过孔15以及第四过孔122和第二过孔16。同时，在第一过孔15内设置第二电极层151，在第二过孔16内设置第三电极层 110。
如图11所示，继续制备第二平坦化层106以及第一电极层109，其中，第二平坦化层106设置在第一平坦化层上，第一电极层109设置在显示面板的指纹识别区域120内，第一电极层109沿第四过孔122进行设置，且第一电极层109的一部分与第三过孔内的指纹识别模块电连接，第一电极层109的两端部超出该第四过孔122，并延伸至第四过孔122外部。同时，第一电极层109通过第一过孔15 与第二电极层电连接。从而实现了指纹识别模块与存储电容之间的导通。
如图12所示，在第二平坦化层上沉积第二钝化层107，并对第二钝化层107 图案化处理，形成第二过孔16。
如图13所示，第二钝化层107处理完成后，在第二过孔16内设置第三电极层 110，并在第二钝化层107上沉积第三钝化层108，其中，第三钝化层108覆盖第三电极层110，第三电极层110通过第二过孔16与薄膜晶体管的漏极电连接。
最终，形成本申请实施例中提供的显示面板，当将外界巨量的LED转移到该显示面板上时，可先在第三钝化层108上沉积相应的光刻胶膜层，再将转移的LED设置在对应的光刻胶膜层上进行固定，转移工序简单。
本申请实施例中提供的阵列基板的结构更加合理，并且在该显示面板内的阵列基板中将指纹识别模块设置在薄膜晶体管器件层内，不仅能实现对LED的驱动控制，同时还能实现指纹识别的目的，指纹识别精度高，反应迅速，并且功能更加多样性。同时，在制备上述阵列基板以及显示面板时，制备工艺更简单，生产成本低。
进一步的，本申请实施例还提供一种显示装置，显示装置包括本申请实施例中提供的阵列基板以及显示面板，显示装置不仅具有较好的显示质量，同时还能对控制LED的发光并且还具有较高的指纹识别性能，显示装置的结构更简单，综合性能更好。
以上对本申请实施例所提供的一种显示面板及显示面板的制备方法进行了详细介绍，本文中应用了具体个例对本申请的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本申请的技术方案及其核心思想；本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本申请各实施例的技术方案的范围。

Claims (13)

1.一种显示面板，其特征在于，包括：
薄膜晶体管器件层，所述薄膜晶体管器件层包括薄膜晶体管的源极或漏极、栅极、有源层；
平坦化层，所述平坦化层设置在所述薄膜晶体管器件层上；
第一电极层，所述第一电极层设置在所述平坦化层上；以及，
存储电容，所述存储电容设置在所述薄膜晶体管器件层的一侧；
其中，所述显示面板还包括指纹识别模块，所述指纹识别模块包括感应电极层，所述感应电极层与所述有源层位于同一膜层，且所述存储电容通过所述第一电极层与所述指纹识别模块电连接。
2.根据权利要求1所述的显示面板，其特征在于，所述显示面板还包括第二电极层和第一过孔，所述第一过孔设置在所述存储电容对应的膜层上，所述第二电极层设置在所述第一过孔内。
3.根据权利要求2所述的显示面板，其特征在于，所述第二电极层的一端与所述第一电极层电连接，所述第二电极层的另一端与所述存储电容的一电极电连接。
4.根据权利要求1所述的显示面板，其特征在于，所述存储电容包括第一金属层和第二金属层，所述第一金属层和所述第二金属层设置在不同膜层上，且所述第一金属层的投影与所述第二金属层的投影相重叠。
5.根据权利要求4所述的显示面板，其特征在于，所述第一金属层与所述薄膜晶体管的栅极由同一蚀刻工艺形成。
6.根据权利要求1所述的显示面板，其特征在于，所述显示面板还包括光增强层，所述光增强层围绕所述指纹识别模块一圈设置。
7.根据权利要求1所述的显示面板，其特征在于，所述指纹识别模块还包括感光电极层，所述感光电极层的一端与所述第一电极层连接，所述感光电极层的另一端与所述感应电极层连接。
8.根据权利要求7所述的显示面板，其特征在于，所述感光电极层包括第一感光电极、第二感光电极以及连接层，所述第一感光电极设置在所述连接层上，所述第二感光电极设置在所述第一感光电极上，所述第一感光电极通过所述连接层与所述感应电极层电连接，且所述第二感光电极与所述第一电极层电连接。
9.根据权利要求8所述的显示面板，其特征在于，所述连接层的宽度小于所述第一感光电极的宽度，所述第一感光电极的宽度小于或等于所述第二感光电极的宽度。
10.根据权利要求1所述的显示面板，其特征在于，所述感应电极层由所述有源层形成。
11.根据权利要求10所述的显示面板，其特征在于，所述有源层包括轻掺杂区和与所述轻掺杂区相邻的重掺杂区，且所述重掺杂区对应的所述有源层形成所述感应电极层。
12.根据权利要求1所述的显示面板，其特征在于，所述显示面板还包括第三电极层和第二过孔，所述第三电极层通过所述第二过孔与所述薄膜晶体管的漏极电连接。
13.根据权利要求12所述的显示面板，其特征在于，所述显示面板还包括发光二极管，所述发光二极管设置在所述平坦化层上且所述发光二极管与所述第三电极层连接。
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