CN113136542B - 一种金包银键合线的制备方法 - Google Patents
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Abstract
本发明提供一种金包银键合线的制备方法,包括以下步骤:以线径为15μm~30μm的银线坯作为坯料;将纳米金加入稳定溶剂中,超声30min~60min,制成纳米金浸镀液;将银线坯浸在纳米金浸镀液中,采用真空加热浸镀或红外加热浸镀的方式,使金银接触面形成稳定的合金层;采用真空加热烘干或真空红外烘干的方式处理上述浸镀后的银线坯,形成一体化的金包银键合线;对上述所得金包银键合线进行退火处理,即得。本发明制备方法使纳米金和银线进行纳米级别的接触,形成牢固的金银合金过渡层,制备的金包银键合线金层均匀可控、金银界面结合力强,且生产工艺环保,同时焊接性较好,抗氧化性优良,传导性优异,键合线的可靠性总体较优。
Description
技术领域
本发明涉及一种金包银键合线的制备方法,属于电子封装领域。
背景技术
随着集成电路制造业和封装业的发展,作为半导体封装的四大基础材料之一的键合线(芯片和框架之间的内引线)的需求量越来越大。而微电子的蓬勃发展,使芯片向高性能、高密度、小型化不断推进,因此对芯片和框架之间的键合引线提出了更高的要求。传统键合金线,由于电化学性能出色、可靠性高等优点,成为封装业应用最多的键合引线,但是金键合线价格居高不下,为降低成本,寻找性能相当、价格低廉的产品已是迫在眉睫。
银具有良好的导电、导热和力学性能,是键合金线较好的候选替代产品。虽然银线具有较低的成本优势和较好的键合性能,但是其易氧化,氧化后银线的导电性变差,影响键合可靠性,进而限制了其在高端电子封装行业领域的应用。在银线表面镀上惰性金属,形成保护层,可在不降低银线键合性能的前提下,提高引线抗氧化性,在诸多惰性元素中,镀金性能尤佳。
目前银基键合线镀金工艺主要通过化学镀和电镀来完成,而现有工艺均存在一定的缺点,如:工艺污染环境,镀液成分含有酸碱离子,易残留在线体表面,影响键合线稳定性能等。另外通过固相复合技术也存在一些问题,如:金层厚度不易控制,金层不均匀等。
发明内容
针对现有技术的不足,本发明的目的是提供一种金包银键合线的制备方法,得到的金层均匀可控、金银界面结合力强,且生产工艺环保。
为了实现上述目的,本发明所采用的技术方案是:
一种金包银键合线的制备方法,包括以下步骤:
(1)银线坯:以线径为15μm~30μm的银线坯作为坯料;
(2)配制纳米金浸镀液:将纳米金加入稳定溶剂中,超声30min~60min,制成纳米金浸镀液;
(3)银线坯浸镀纳米金:将银线坯浸在纳米金浸镀液中,采用真空加热浸镀或红外加热浸镀的方式,使金银接触面形成稳定的合金层;
(4)真空处理:采用真空加热烘干或真空红外烘干的方式处理上述浸镀后的银线坯,形成一体化的金包银键合线;
(5)热稳定性处理:对上述所得金包银键合线进行退火处理,即得。
纳米金的粒径≤80nm,纳米金在纳米金浸镀液的质量浓度为0.4%~15%。
稳定溶剂包括如下质量浓度的组分:稳定剂0.02%~2%,助剂0.5%~12%,表面活性剂0.05%~1%,余量为水。
稳定剂为四氢呋喃、二甲基亚砜、N-甲基吡咯烷酮、甲酰胺、甲基胍胺中任一种或两种及以上的混合。
助剂为甲醛、甲醇、乙醇、丙酮中任一种或两种及以上的混合。
表面活性剂为非离子表面活性剂或/和嵌段共聚类表面活性剂;非离子表面活性剂为:烯丙醇聚氧烷基醚F-6或/和聚乙二醇1000;嵌段共聚类表面活性剂为:聚环氧乙烷-聚环氧丙烷-聚环氧乙烷三嵌段共聚物P123、丙二醇嵌段聚醚L-64、丙二醇嵌段聚醚F68中任一种或两种及以上的混合。
步骤(3)真空加热浸镀或红外加热浸镀的温度为500℃~600℃,时间为5min~15min。
步骤(4)真空加热烘干或真空红外烘干的温度为80℃~120℃,时间为30s~5min。
步骤(5)退火温度为500℃~680℃,时间为5min~15min。
在步骤(4)真空处理前还包括,重复步骤(3)使浸镀后的银线坯再次浸在纳米金浸镀液中,完成再一次的浸镀,浸镀次数≥1次。
本发明有益效果:
本发明采用稳定剂、助剂及表面活性剂组成稳定溶剂,使纳米金颗粒稳定悬浮在溶液,其中纳米金颗粒尺寸越大,需要的建合作用越大,对于表面活性剂的要求越高,纳米金颗粒尺寸越大,一般单次浸镀后,金镀层厚度越大。本发明表面活性剂选用聚醚、聚醇及多聚烷烃类物质,其分子上的活性基团能够和纳米材料间形成化学键合作用,使纳米金颗粒能够稳定存在于溶液中。同时添加稳定剂辅助表面活性剂,使助剂、表面活性剂、纳米金颗粒之间的兼容性更好,使溶液稳定性更好,稳定的金溶液,经过浸镀工艺,银线柸外面的金层均匀性好。真空处理和热稳定处理工艺,是为了金层和银柸结合更牢固,提高金包银键合线的综合性能。
本发明制备方法使纳米金和银线进行纳米级别的接触,通过金银接触面处理,金银元素间相互扩散,形成牢固的金银合金过渡层,使镀金层和银线坯形成一体。采用一次或多次浸镀相结合,包金层厚度可控,包覆致密,且生产设备简单,生产工艺绿色环保。制备的金包银键合线***格大幅降低,键合工艺兼容性强;同时焊接性较好,抗氧化性优良,传导性优异,键合线的可靠性总体较优。
具体实施方式
以下结合实施例对本发明的具体实施方式作进一步详细说明。
实施例1纳米金浸镀液的配制
1#:将0.5mg N-甲基吡咯烷酮、12.5mg丙酮、1.25mg聚环氧乙烷-聚环氧丙烷-聚环氧乙烷三嵌段共聚物P123,溶入水中,制成总重2.5g的稳定溶剂。选取10~30nm的纳米金10mg,加入上述稳定溶剂中,超声30min,制成纳米金浸镀液1#。
2#:将0.5mg N-甲基吡咯烷酮、0.3mg甲基胍胺、100mg丙酮、1mg聚环氧乙烷-聚环氧丙烷-聚环氧乙烷三嵌段共聚物P123和5mg丙二醇嵌段聚醚F68,溶入水中,制成总重2.5g的稳定溶剂。选取10~30nm的纳米金25mg,加入上述稳定溶剂中,超声30min,制成纳米金浸镀液2#。
3#:将0.3mgN-甲基吡咯烷酮、0.3mg二甲基亚砜、0.4mg四氢呋喃、50mg丙酮、50mg甲醛、4mg丙二醇嵌段聚醚L-64、3mg聚乙二醇1000,溶入水中,制成总重2.5g的稳定溶剂。选取30~50nm的纳米金50mg,加入上述稳定溶剂中,超声60min,制成纳米金浸镀液3#。
4#:将0.5mg N-甲基吡咯烷酮、0.5mg二甲基亚砜、0.5mg甲酰胺、50mg丙酮、20mg甲醛、8mg聚环氧乙烷-聚环氧丙烷-聚环氧乙烷三嵌段共聚物P123、6mg丙二醇嵌段聚醚L-64和6mg丙二醇嵌段聚醚F68,溶入水中,制成总重2.5g的稳定溶剂。选取30~50nm的纳米金100mg,加入上述稳定溶剂中,超声45min,制成纳米金浸镀液4#。
5#:将0.5mg N-甲基吡咯烷酮、1mg四氢呋喃、1mg甲基胍胺、100mg甲醇、200mg乙醇、10mg烯丙醇聚氧烷基醚F-6和10mg聚乙二醇1000,溶入水中,制成总重2.5g的稳定溶剂。选取30~80nm的纳米金300mg,加入上述稳定溶剂中,超声60min,制成纳米金浸镀液5#。
实施例2金包银键合线的制备
一种纳米金层包覆银坯的金包银键合线的制备方法,包括以下步骤:
(1)新鲜银线坯:将线径为15μm的新鲜超细银线坯作为坯料;
(2)配制纳米金浸镀液1#:采用实施例1方法配制纳米金浸镀液1#;
(3)银线坯浸镀纳米金:将新鲜银线坯浸在纳米金浸镀液1#中,500℃真空加热浸镀15min,使金银接触面形成稳定的合金层;
(4)真空处理:100℃真空红外加热烘干30s,使镀金层和银线坯接触更紧密,形成一体化的金包银键合线;
(5)热稳定性处理:对上述所得金包银键合线进行退火处理,退火温度为500℃,时间为5min,所得金层厚度为50nm~80nm。
实施例3金包银键合线的制备
一种纳米金层包覆银坯的金包银键合线的制备方法,包括以下步骤:
(1)新鲜银线坯:将线径为15μm的新鲜超细银线坯作为坯料;
(2)配制纳米金浸镀液2#:采用实施例1方法配制纳米金浸镀液2#;
(3)银线坯浸镀纳米金:将新鲜银线坯浸在纳米金浸镀液2#中,550℃真空加热浸镀15min,使金银接触面形成稳定的合金层;
(4)真空处理:80℃真空加热烘干3min,使镀金层和银线坯接触更紧密,形成一体化的金包银键合线;
(5)热稳定性处理:对上述所得金包银键合线进行退火处理,退火温度为550℃,时间为5min,所得金层厚度为150nm~200nm。
实施例4金包银键合线的制备
一种纳米金层包覆银坯的金包银键合线的制备方法,包括以下步骤:
(1)新鲜银线坯:将线径为30μm的新鲜超细银线坯作为坯料;
(2)配制纳米金浸镀液:采用实施例1配制纳米金浸镀液1#和3#;
(3)银线坯浸镀纳米金:将新鲜银线坯先浸在纳米金浸镀液3#中,600℃真空加热浸镀15min,然后在纳米金浸镀液1#中600℃真空加热浸镀15min,使金银接触面形成稳定的合金层;
(4)真空处理:100℃真空红外烘干1min,使镀金层和银线坯接触更紧密,形成一体化的金包银键合线;
(5)热稳定性处理:对上述所得金包银键合线进行退火处理,退火温度为580℃,时间为5min,所得金层厚度为400nm~500nm。
实施例5金包银键合线的制备
一种纳米金层包覆银坯的金包银键合线的制备方法,包括以下步骤:
(1)新鲜银线坯:将线径为20μm的新鲜超细银线坯作为坯料;
(2)配制纳米金浸镀液4#:采用实施例1方法配制纳米金浸镀液4#;
(3)银线坯浸镀纳米金:将新鲜银线坯浸在纳米金浸镀液4#中,550℃真空加热浸镀15min,使金银接触面形成稳定的合金层;
(4)真空处理:120℃真空加热烘干5min,使镀金层和银线坯接触更紧密,形成一体化的金包银键合线;
(5)热稳定性处理:对上述所得金包银键合线进行退火处理,退火温度为600℃,时间为10min,所得金层厚度为350nm~450nm。
实施例6金包银键合线的制备
一种纳米金层包覆银坯的金包银键合线的制备方法,包括以下步骤:
(1)新鲜银线坯:将线径为30μm的新鲜超细银线坯作为坯料;
(2)配制纳米金浸镀液5#:采用实施例1方法配制纳米金浸镀液5#;
(3)银线坯浸镀纳米金:将新鲜银线坯浸在纳米金浸镀液5#中,500℃真空加热浸镀5min,使金银接触面形成稳定的合金层;
(4)真空处理:100℃真空加热烘干5min,使镀金层和银线坯接触更紧密,形成一体化的金包银键合线;
(5)热稳定性处理:对上述所得金包银键合线进行退火处理,退火温度为680℃,时间为10min,所得金层厚度为100nm~300nm。
Claims (4)
1.一种金包银键合线的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:
(1)银线坯:以线径为15μm~30μm的银线坯作为坯料;
(2)配制纳米金浸镀液:将纳米金加入稳定溶剂中,超声30 min ~ 60 min,制成纳米金浸镀液;
所述纳米金的粒径≤80nm,纳米金在纳米金浸镀液的质量浓度为0.4%~15%;
稳定溶剂包括如下质量浓度的组分:稳定剂0.02%~2%,助剂0.5%~12%,表面活性剂0.05%~1%,余量为水;
稳定剂为四氢呋喃、二甲基亚砜、N-甲基吡咯烷酮、甲酰胺、甲基胍胺中任一种或两种及以上的混合;助剂为甲醛、甲醇、乙醇、丙酮中任一种或两种及以上的混合;
表面活性剂为非离子表面活性剂或/和嵌段共聚类表面活性剂;非离子表面活性剂为:烯丙醇聚氧烷基醚F-6或/和聚乙二醇1000;嵌段共聚类表面活性剂为:聚环氧乙烷-聚环氧丙烷-聚环氧乙烷三嵌段共聚物P123、丙二醇嵌段聚醚L-64、丙二醇嵌段聚醚F68中任一种或两种及以上的混合;
(3)银线坯浸镀纳米金:将银线坯浸在纳米金浸镀液中,采用真空加热浸镀或红外加热浸镀的方式,使金银接触面形成稳定的合金层;
所述真空加热浸镀或红外加热浸镀的温度为500℃~600℃,时间为5min~15min;
(4)真空处理:采用真空加热烘干或真空红外烘干的方式处理上述浸镀后的银线坯,形成一体化的金包银键合线;
(5)热稳定性处理:对上述所得金包银键合线进行退火处理,即得。
2.如权利要求1所述的制备方法,其特征在于,步骤(4)真空加热烘干或真空红外烘干的温度为80℃~120℃,时间为30 s~5 min。
3.如权利要求1所述的制备方法,其特征在于,步骤(5)退火温度为500℃~680℃,时间为5 min~15 min。
4.如权利要求1-3任一项所述的制备方法,其特征在于,在步骤(4)真空处理前还包括,重复步骤(3)使浸镀后的银线坯再次浸在纳米金浸镀液中,完成再一次的浸镀,浸镀次数≥1次。
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SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
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GR01 | Patent grant | ||
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