CN113021659A - 槽加工头的集尘机构以及槽加工装置 - Google Patents

Abstract

本发明的目的在于提供一种槽加工头的集尘机构以及槽加工装置，将集尘罩的结构设为提高抽吸的空气的流速的结构，能够更有效地在划线加工时产生的粉尘附着于基板的表面之前去除粉尘。其具备：槽加工头(16)，具备工具架(18)，该工具架(18)在左右方向上排列保持多个将刀尖朝向下方的工具(17)；集尘罩(20)，设置在槽加工头(16)的下部，并与空气一起吸引使用工具(17)对基板(W)进行刻划时所产生的粉尘；管道(21)，供来自集尘罩(20)的空气通过；以及集尘机，吸引通过管道(21)的空气并收集粉尘，在槽加工头(16)的下表面设置有安装集尘罩(20)的底板(22)，层叠多个供流通空气的板而构成集尘罩(20)。

Description

槽加工头的集尘机构以及槽加工装置

技术领域

本发明涉及一种槽加工头的集尘机构的技术，特别是涉及集尘罩的技术，该槽加工头的集尘机构用于收集在薄膜太阳电池等的制造过程时等对薄膜的基板进行槽加工时所产生的粉尘。

背景技术

一般而言，利用槽加工头的工具例如刻划加工薄膜的太阳电池基板(脆性材料基板)的图案的刻线时，会产生粉尘。此时，如果粉尘附着在薄膜的太阳能电池基板，则难以去除。假设在要去除粉尘的情况下，有可能损伤基板的表面。

因此，以往，将抽吸刻划加工时所产生的粉尘的集尘机构设置于槽加工头。槽加工头的集尘机构具有：槽加工头，具备保持工具的工具架；集尘罩，设置在槽加工头的下部并抽吸粉尘；以及集尘机，经由管道从集尘罩抽吸空气。

作为关于槽加工头的集尘机构(集尘罩)的技术，例如有专利文献1所公开的技术。

专利文献1的目的在于，能够抽吸使用槽加工头进行槽加工时所产生的粉尘，而不会使粉尘附着在基板。具体而言，在槽加工头的底面板的工具突出的附近设置有具备吸入口的集尘罩。该集尘罩是上表面开口的框体，并具有：开口，使槽加工头的工具突出；以及框状的分隔部，以与工具架之间隔开一定间隔的方式从开口部朝向上方设置，工具的前端以从开口向下方突出的方式安装。在使用槽加工头对基板进行槽加工时，由鼓风机经由管道抽吸集尘罩的空气，能够将通过槽加工所产生的粉尘在附着于基板之前吸入集尘罩的吸入口。

[现有技术文献]

[专利文献]

专利文献1：日本特开2016-006844号公报。

[发明所要解决的问题]

专利文献1的集尘机构能够通过抽吸空气，而将粉尘在附着于基板的表面之前去除。

但是，近年来，要求将粉尘在附着于基板的表面之前更有效地去除。作为其理由，是因为粉尘的抽吸会产生偏差。

例如，靠近管道的位置的空气的吸入速度与远离管道的位置的空气的吸入速度不同。即，在靠近管道的位置处空气的流速高。另一方面，在远离管道的位置处空气的流速低。由此，粉尘的抽吸因空气的抽吸部位而产生偏差，粉尘有可能会残留在基板的表面。

发明内容

即，在集尘机构的集尘罩中，要求提高抽吸的空气的流速而抑制抽吸时的空气的偏差。

因此，本发明鉴于上述问题点，其目的在于提供一种槽加工头的集尘机构以及槽加工装置，能够将集尘罩的结构设为提高进行抽吸的空气的流速的结构，能够更有效地将划线加工时所产生的粉尘在附着于基板的表面之前进行去除。

[用于解决问题的手段]

为了达成上述目的，在本发明中采用了以下的技术手段。

本发明的槽加工头的集尘机构，其特征在于，具备：槽加工头，具备工具架，所述工具架在左右方向上排列保持多个将刀尖朝向下方的工具；集尘罩，设置在所述槽加工头的下部，与空气一起抽吸在使用所述工具对基板进行刻划时所产生的粉尘；管道，供来自所述集尘罩的所述空气通过；以及集尘机，抽吸通过了所述管道的所述空气，并收集所述粉尘，在所述槽加工头的下表面设置有安装所述集尘罩的底板，层叠多个供所述空气流通的板而构成所述集尘罩。

优选地，所述底板是左右方向为长度方向的板材，并具有：输送口，贯通上下方向并与所述管道连通；以及长孔部，贯通上下方向并供所述工具架通过，所述输送口以成为左右一对的方式设置在所述底板的左右两端部，且安装有所述管道。

优选地，构成所述集尘罩的多个板中的至少一个板是第一板，所述第一板设置在所述底板的下表面一侧，并向所述管道输送被抽吸的所述空气，所述第一板是左右方向为长度方向的板材，并具有：第一通气口，贯通上下方向并供被抽吸的所述空气通过；第一通路，与所述第一通气口连通，并将被抽吸的所述空气引导向所述底板的输送口；以及第一长孔部，与所述底板的长孔部连通，并具有供所述工具架通过的大小，所述第一通路与所述左右一对的所述输送口连通，所述第一通气口设置在所述第一板的长度方向中央。

优选地，构成所述集尘罩的多个板中的至少一个板是第二板，所述第二板设置在所述底板的下表面一侧，并向所述管道输送被抽吸的所述空气，所述第二板是左右方向为长度方向的板材，并具有：第二通气口，贯通上下方向并供被抽吸的所述空气通过；以及第二长孔部，具有供所述工具架通过的大小，所述第二通气口是左右方向为长度方向的贯通孔，该第二通气口的在左右方向上延伸的面是相对于上下方向的轴心而向外侧倾斜的倾斜面。

优选地，构成所述集尘罩的多个板中的至少一个板是第三板，所述第三板设置在所述底板的下表面一侧，并向所述管道输送被抽吸的所述空气，所述第三板是左右方向为长度方向的板材，并具有：第三通气口，贯通上下方向并供被抽吸的所述空气通过；以及第三孔部，具有供所述工具架能够通过的大小，所述第三孔部在左右方向上并列设置多个，以与在左右方向上排列的多个所述工具对应。

优选地，构成所述集尘罩的多个板中的至少一个板是第四板，所述第四板设置在所述底板的下表面一侧，并向所述管道输送被抽吸的所述空气，贯通上下方向并吸入外部的所述空气；以及第四通路，与所述第四通气口连通并引导被抽吸的所述空气，所述第四通气口为能够供所述工具移动的孔部。

另外，本发明的槽加工头的集尘机构，其特征在于，具备：槽加工头，具备工具架，所述工具架在左右方向上排列保持多个将刀尖朝向下方的工具；集尘罩，设置在所述槽加工头的下部，与空气一起抽吸在使用所述工具对基板进行刻划时所产生的粉尘；管道，供自所述集尘罩的所述空气通过；以及集尘机，抽吸通过了所述管道的所述空气，并收集所述粉尘，在所述槽加工头的下表面设置有安装所述集尘罩的底板，所述底板是左右方向为长度方向的板材，并具有：输送口，贯通上下方向上并与所述管道连通；以及长孔部，贯通上下方向上并供所述工具架通过，所述输送口以成为左右一对的方式设置在所述底板的左右两端部，且安装有所述管道，所述集尘罩具有：第一板，以层叠的方式安装在所述底板的下表面，并向所述管道输送被抽吸的所述空气；第二板，以层叠的方式安装在所述第一板的下表面，并向所述第一板输送被抽吸的所述空气；第三板，以层叠的方式安装在所述第二板的下表面，并向所述第二板输送被抽吸的所述空气；以及第四板，以层叠的方式安装在所述第三板的下表面，并向所述第三板输送被抽吸的所述空气，所述第一板是左右方向为长度方向的板材，并具有：第一通气口，贯通上下方向并供被抽吸的所述空气通过；第一通路，与所述第一通气口连通，并将被抽吸的所述空气引导向所述底板的所述输送口；以及第一长孔部，其与所述底板的所述长孔部连通，具有供所述工具架通过的大小，所述第一通路与左右一对的所述输送口连通，所述第一通气口设置在所述第一板的长度方向中央，所述第二板是左右方向上为长度方向且以层叠的方式安装在所述第一板的下表面一侧的板材，并具有：第二通气口，贯通上下方向并供被抽吸的所述空气通过；以及第二长孔部，与所述第一长孔部连通并具有为所述工具架通过的大小，所述第二通气口是左右方向为长度方向的贯通孔，该第二通气口的左右方向为长度方向的面是相对于上下方向的轴心而向外侧倾斜的倾斜面，所述第三板是在左右方向为长度方向且以层叠的方式安装在所述第二板的下表面一侧的板材，并具有：第三通气口，贯通上下方向并供被抽吸的所述空气通过；以及第三孔部，与所述第二长孔部连通并具有供所述工具能够通过的大小，所述第三通气口与所述第二通气口连通，且具有与该第二通气口相同的大小，所述第三孔部在左右方向上并列设置多个，以与在左右方向上排列的多个所述工具对应，所述第四板是左右方向为长度方向且以层叠的方式安装在所述第三板的下表面一侧的板材，并具有：第四通气口，贯通上下方向并吸入外部的所述空气；以及第四通路，与所述第四通气口连通并引导被抽吸的所述空气，所述第四通气口设置在所述第三通气口的下方，所述第四通路将通过的所述空气引导向所述第三通气口。

本发明的槽加工装置，其特征在于，具备：工作台，载置基板；槽加工头，安装有工具架，所述工具架具有用于槽加工的工具；所述槽加工头的所述集尘机构；以及移动单元，用于使所述工作台与所述槽加工头在水平面内相对移动，所述本发明的槽加工装置使所述槽加工头在基板的上表面平行移动，并在基板上形成槽。

[发明的效果]

根据本发明，将集尘罩的结构设为提高抽吸的空气的流速的结构，能够更有效地在划线加工时产生的粉尘附着在基板的表面之前去除粉尘。

附图说明

图1是示意性地表示本发明的槽加工头的集尘机构以及槽加工装置的概略的图。

图2是将构成本发明的槽加工头的集尘机构的集尘罩在上下方向(z轴方向方向)分解的图。

图3是本发明的集尘罩的右侧视图。

图4是本发明的集尘罩的左剖视图(A-A剖视)。

图5是构成本发明的集尘罩的底面板(底板)的俯视图和B-B剖视图。

图6是构成本发明的集尘罩的第一板的俯视图和C-C剖视图。

图7是构成本发明的集尘罩的第二板的俯视图和D-D剖视图。

图8是构成本发明的集尘罩的第三板的俯视图和E-E剖视图。

图9是构成本发明的集尘罩的第四板的俯视图和F-F剖视图。

附图标记说明

1：槽加工装置；2：工作台；3：框体；4：支承台；5：脚构件；6：载置台；7：台座；8：摄相机；9：引导件；10：监视器；11：桥；12：支承柱；13：导杆；14：引导件；15：电机；16：槽加工头；17：工具；18：工具架；19：集尘机构；20：集尘罩；21：管道；22：底板；23：输送口；23a：输送口(左侧)；23b：输送口(右侧)；24：长孔部；25：第一板；26：第一通气口；26a：第一通气口(前侧)；26b：第一通气口(后侧)；27：第一通路；27a：前侧通路；27b：后侧通路；27c：连结通路；28：第一长孔部；29：侧壁；29a：前侧壁；29b：后侧壁；30：第二板；31：第二通气口；31a：第二通气口(前侧)；31b：第二通气口(后侧)；32：第二长孔部；33：倾斜面；33a：前壁面(前侧的第二通气口)；33b：后壁面(前侧的第二通气口)；33c：前壁面(后侧的第二通气口)；33d：后壁面(后侧的第二通气口)；34：第三板；35：第三通气口；35a：第三通气口(前侧)；35b：第三通气口(后侧)；36：第三孔部(工具孔部)；37：第四板；38：第四通气口(抽吸口)；39：第四通路；W：基板。

具体实施方式

以下，参照附图来说明本发明的槽加工头16的集尘机构19以及槽加工装置1的实施方式。

另外，以下说明的实施方式是将本发明具体化的一个例子，并不以该具体例限定本发明的结构。另外，关于附图，为了容易观察，省略构成部件的一部分，或者使用假想线等进行描绘。

另外，构成本发明的集尘机构19的集尘罩20在x轴方向、y轴方向、z轴方向等如附图所示。不过，有时也将x轴的+(正)方向称为右方向，将x轴的-(负)方向称为左方向。另外，有时也将y轴的+(正)方向称为前方向，将y轴的-(负)方向称为后方向。另外，有时也将z轴的+(正)方向称为上方向，将z轴的-(负)方向称为下方向。

图1示意性地表示本发明的槽加工头16的集尘机构19和槽加工装置1的整体结构。

如图1所示，在槽加工装置1中具备载置有成为加工对象的基板W(例如薄膜的太阳电池基板)的工作台2。工作台2能够在水平面(xy平面)内沿y轴方向移动。另外，工作台2能够在水平面内旋转任意的角度。

从具备工作台2的主体部3立设有支承台4。支承台4具有一对脚构件5和载置台6，该载置台6以架设在这些脚构件5之间的方式设置在x轴方向(左右方向)。在支承台4的载置台6上设置有两个台座7。

在两个台座7分别安装有摄像机8。各台座7能够沿着在x轴方向上延伸的引导件9移动，该引导件9设置在支承台4。两个摄像机8能够在上下方向上移动。由各摄像机8拍摄到的图像显示于对应的监视器10。

从具备工作台2的主体部3立设有桥11。桥11具有：一对支承柱12；导杆13，以架设在这些支承柱12之间的方式设置在x轴方向上；引导件14，形成于导杆13；以及电机15，驱动该引导件14。

桥11保持槽加工头16，该槽加工头16对载置在工作台2上的基板W进行加工。槽加工头16能够沿着引导件14在水平面内沿x轴方向移动。该引导件14和电机15成为使工作台2和槽加工头16沿x轴方向在水平面内相对移动的移动机构。槽加工装置1使槽加工头16在基板W的上表面平行移动，并在基板W上形成槽。

如图2～图4等所示，槽加工头16是使用工具17对基板W进行划线加工的部件。该槽加工头16具有保持工具17的工具架18。工具架18将工具17保持为刀尖朝下，并以一定间隔在左右方向(x轴方向)上并列配置有多个。在该槽加工头16上设置有集尘机构19，在对基板W进行刻划加工时，该集尘机构19通过抽吸空气，将粉尘在附着于基板W的表面之前去除。

图2表示将构成本发明的集尘机构19的集尘罩20在上下方向(z轴方向)分解的图。图3表示本发明的集尘罩20的右侧视图。图4表示本发明的集尘罩20的A-A剖视图。

本发明所涉及的集尘机构19具有：集尘罩20，设置在槽加工头16的下部，与空气一起抽吸使用工具17对基板W进行刻划时所产生的粉尘；管道21，供包含来自集尘罩20的粉尘的空气通过；以及集尘机(未图示)，抽吸通过管道21的空气并收集粉尘。

图5表示安装本发明的集尘罩20的底板22的俯视图及B-B剖视图。

如图2～图5等所示，槽加工头16的下表面通过连结件等而安装有底板22(底面板)。该底板22的下表面安装有集尘罩20。

底板22由左右方向(x轴方向)长于前后方向(y轴方向)的平板材料形成。底板22是具有规定厚度及宽度的平板材料。该底板22例如由钢材、铝等硬质材料形成。底板22具有：输送口23，贯通上下方向并与管道21连通；以及长孔部24，贯通上下方向并供工具架18通过。

输送口23在底板22的左右两端部隔开一定间隔设置有左右一对。即，输送口23在底板22的长孔部24的左右外侧设置有一对。这两个输送口23在俯视时为圆形的贯通孔，内径与管道21的内径大致相同。左侧的输送口23a倾斜地安装有左侧的管道21。在右侧的输送口23b倾斜地安装有右侧的管道21。即，输送口23和管道21处于连通状态，能够供被抽吸的空气通过。

虽然未图示，但该管道21连结有集尘机的鼓风机。集尘机通过管道21来抽吸空气。另外，可以使用集尘机，也可以单独使用鼓风机。

长孔部24在底板22的中央(左右一对的输送口23的内侧)形成为贯通上下方向且沿着长度方向长的孔。即，长孔部24在左右方向上长且俯视时为矩形状的贯通孔。该长孔部24充分地宽于在左右方向上多个并列配置的工具架18。由此，工具架18能够在长孔部24中向上下方向移动。

本发明的特征在于，在附着在基板W的表面之前去除粉尘的“集尘罩20”。集尘罩20构成为层叠多个供空气流通的板。

即，本发明的集尘罩20是层叠有四张板25、30、34、37的结构，其特征在于各个板25、30、34、37所形成的抽吸空气通路的结构。能够通过该集尘罩20内所形成的抽吸空气通路，而在附着在基板W的表面之前更有效地去除粉尘。

图6表示构成本发明的集尘罩20的第一板25的俯视图及C-C剖视图。

如图2～图4、图6等所示，构成集尘罩20的多个板中的至少一个是第一板25，该第一板25设置在底板22的下表面，并经由底板22的输送口23向管道21输送被抽吸的空气。

第一板25是以层叠的方式安装在底板22的下表面的板材。第一板25经由底板22的输送口23向管道21输送被抽吸的空气。

第一板25由左右方向(x轴方向)长于前后方向(y轴方向)的平板材料形成。另外，第一板25是具有规定的厚度以及宽度的平板材料。第一板25例如由钢材、铝等硬质材料形成。

第一板25具有：第一通气口26，贯通上下方向并供被抽吸的空气通过；第一通路27，与第一通气口26连通，向底板22的输送口23引导被抽吸的空气；以及第一长孔部28，与底板22的长孔部24连通，且具有供工具架18通过的大小。

第一通气口26在俯视时在第一长孔部28的外侧且设置在第一板25的长度方向中央。即，第一通气口26设置在左右方向长的第一通路27的中央。

在本实施方式中，第一通气口26以一定间隔设置有四个。详细而言，第一通气口26在比包围第一长孔部28的前侧壁29a更靠前侧，沿左右方向以一定间隔设置有两个。另外，第一通气口26在比包围第一长孔部28的后侧壁29b更靠后侧，沿左右方向以一定间隔设置有两个。

即，前侧的第一通气口26a和后侧的第一通气口26b隔着第一长孔部28前后(y轴方向)设置。该前侧的第一通气口26a和后侧的第一通气口26b在左右方向以相同间隔设置。这四个第一通气口26a、26b在俯视时为圆形状的贯通孔，且大小大致相同。

通过将第一通气口26设置在第一板25的长度方向中央，从而抑制第一板25内的风速的偏差。

第一通路27与左右一对的输送口23a、23b连通。第一通路27刻入第一板25，是向上方(在z轴的+方向)开口的槽。该第一通路27设置成与第一通气口26连通的状态(参照图6的C-C剖视图)。第一通路27是从左侧的输送口23a的下侧沿左右方向(x轴方向)延伸至右侧的输送口23b的下侧的长槽。

在本实施方式中，第一通路27是环绕侧壁29所包围的第一长孔部28的外周的通路。另外，第一通路27通过围绕第一长孔部28的侧壁29而与第一长孔部28隔离。

第一通路27具有：前侧通路27a，与前侧的第一通气口26a连通；后侧通路27b，与后侧的第一通气口26b连通；以及连结通路27c，用于连接前侧通路27a和后侧通路27b并向输送口23传送空气。

前侧通路27a是左右方向长的通路。前侧通路27a的前后方向的长度与第一通气口26a的直径相同。前侧通路27a和第一通气口26a以相互连通的状态设置。

后侧通路27b是左右方向长的通路。后侧通路27b的前后方向的长度与第一通气口26b的直径相同。后侧通路27b和第一通气口26b以相互连通的状态设置。

连结通路27c设置在前侧通路27a和后侧通路27b的左右两端侧。左侧的连结通路27c成为将前侧通路27a的左端和后侧通路27b的左端连接而相互连通的状态。左侧的连接通路27c的左端部以与左侧的输送口23a相互连通的状态设置。

另外，右侧的连结通路27c成为将前侧通路27a的右端和后侧通路27b的右端连接而相互连通的状态。右侧的连接通路27c的右端部以与右侧的输送口23b相互连通的状态设置。

即，从第一通气口26流入的空气通过第一通路27，从上方的输送口23向管道21流出。

第一长孔部28设置在第一板25的中央，为贯通上下方向且沿长度方向长的孔。即，第一长孔部28在俯视时为左右方向长的矩形形状的贯通孔。第一长孔部28的开口的大小与底板22的长孔部24的开口为相同大小。

即，第一长孔部28充分宽于在左右方向上多个并列配置的工具架18。该第一长孔部28与长孔部24对接配备，成为相互连通的状态。由此，工具架18能够在第一长孔部28中沿上下方向移动。

另外，第一长孔部28的周围由向上方(z轴的+方向)立设的侧壁29包围。即，第一长孔部28的侧壁29的内表面与长孔部24的内壁面成为共面的状态。即，第一长孔部28与长孔部24对接配备，并与该长孔部24连通。

即，通过在第一板25上将第一通气口26设置在第一通路27的长度方向中央(在本实施方式中，在第一通路27的长度方向中央前后各设置两个而合计设置四个圆形的第一通气口26)，从而将来自管道21(软管)的负压传递到第一通路27的长度方向中央，能够抑制因底板22距输送口23的距离的差异而引起的在各工具17的附近的风速(出口的风速)的偏差。

详细地说，能够抑制在靠近管道21的位置(工具架18的左右端部)的工具17附近的空气流速变高，而在远离管道21的位置(工具架18的中央部)的工具17附近的流速变低的不良情况。

即，通过将第一通气口26设置在第一通路27(第一板25)的长度方向中央，并经由设置在与各工具17的距离差异较小的位置的第一通气口26来抽吸空气，由此能够抑制抽吸空气时的各工具17附近的风速的偏差。

图7表示构成本发明的集尘罩20的第二板30的俯视图以及D-D剖视图。

如图2～图4、图7等所示，由于构成集尘罩20的多个板的至少一个是第二板30，该第二板30设置在底板22的下表面一侧，并向第一板25输送被抽吸的空气。

第二板30是以层叠的方式安装在第一板25的下表面的板材。第二板30具有：第二通气口31，贯通上下方向并供被抽吸的空气通过；以及第二长孔部32，与第一长孔部28连通并具有供工具架18通过的大小。

第二通气口31设置在第二板30的长度方向中央。该第二通气口31贯通沿上下方向且是沿长度方向长的孔。即，第二通气口31在俯视时是左右方向长的矩形的贯通孔。第二通气口31分别设置在左右方向长的第二长孔部32的前侧和后侧。即，在俯视时，第二通气口31隔着第二长孔部32而在前后(y轴方向)设置有一对。

第二通气口31的前后方向的长度与第一通气口26的直径相同。第二通气口31与第一通气口26对接配备，成为相互连通的状态。即，前侧的第二通气口31a与前侧的第一通气口26a对接配备，成为相互连通的状态。另外，后侧的第二通气口31b与后侧的第一通气口26b对接配备，成为相互连通的状态。

另外，第二通气口31不是笔直地朝上方向(z轴的+方向)贯通的孔，而是朝向斜上方向贯通的孔。

详细而言，前侧的第二通气口31a中，左右方向长且彼此相对的一对前壁面33a和后壁面33b形成为相对于上下方向的轴心向前方外侧倾斜的倾斜面。另外，后侧的第二通气口31b中，左右方向长且彼此相对的一对前壁面33c和后壁面33d形成为相对于上下方向的轴心向后方外侧倾斜的倾斜面33。该倾斜面33可以是相对于上下方向的轴心向外侧倾斜45°的面。

例如，如图7的D-D剖视图所示，设置在第二板30的前侧的第二通气口31a的前壁面33a随着从下端朝向上端而向前方(y轴的+方向)倾斜设置。另外，第二通气口31a的后壁面33b以与前壁面相同的角度随着从下端朝向上端而向前方倾斜设置。即，第二通气口31a的前壁面33a和后壁面33b以相同的角度向前方倾斜并排设置。

另一方面，设置于第二板30的后侧的第二通气口31b的前壁面33c随着从下端朝向上端而向后方(y轴的-方向)倾斜设置。另外，第二通气口31b的后壁面33d以与前壁面相同的角度随着从下端朝向上端朝向后方倾斜设置。即，第二通气口31b的前壁面33c和后壁面33d以相同的角度向后方倾斜并排设置。

在侧方剖视时，这些前侧的第二通气口31a和后侧的第二通气口31b设置成随着朝向上方扩展。第二通气口31的上端设置在与第一通气口26对应的位置。另一方面，第二通气口31的下端设置在与后述的第三通气口35对应的位置。

第二长孔部32设置在第二板30的中央。第二长孔部32具有贯通上下方向且长度方向长的孔。即，第二长孔部32在俯视时是左右方向长的矩形形状的贯通孔。第二长孔部32与第一长孔部28对接而配备，并与该第一长孔部28连通。

详细而言，在第二长孔部32的左右方向(x轴方向)上，上端开口和下端开口成为相同的长度。另外，第二长孔部32的上侧开口形成为与第一长孔部28的下侧开口相同的大小。即，第二长孔部32的上端开口充分地宽于在左右方向上并列多个配置的工具架18。

另一方面，在第二长孔部32的前后方向(y轴方向)上，下端开口比上端开口窄。即，第二长孔部32的上端开口和下端开口为不同的大小。该第二长孔部32的下端开口为仅能够供安装在工具架18的前端(下端)的工具17移动的大小。

即，第二长孔部32的前壁面随着从下端朝向上端而向前方(y轴的+方向)倾斜设置。另一方面，第二长孔部32的后壁面随着从下端朝向上端而向后方(y轴的-方向)倾斜设置。在侧方剖视时，该第二长孔部32的前壁面和后壁面设置成随着朝向上方而进行扩展。

第二长孔部32的形状随着朝向下方而逐渐缩小，由此工具架18移动至第二长孔部32为止。其另一方面，工具17能够在第二长孔部32中向上下方向移动。

即，在第二板30设置前后一对供所抽吸的空气通过的第二通气口31，在前侧的第二通气口31a形成有向前侧(y轴的+方向)倾斜的倾斜面33a、33b，在后侧的第二通气口31b上形成有向后侧倾斜的倾斜面33c、33d，使该倾斜面33a～33d倾斜为规定的角度(优选为45°)，而将空气的流通路径在侧方剖视时设置为锥形，由此，能够扩宽直到第二通气口31的出口附近为止的空气的流通路径，因此，能够引导空气提高整流效果，并抑制所抽吸的空气的失速。即，能够提高整体被抽吸的空气的流速(提高整体的抽吸力)。

图8表示构成本发明的集尘罩20的第三板34的俯视图及E-E剖视图。

如图2～图4、图8等所示，构成集尘罩20的多个板中的至少一个是第三板34，该第三板34安装在底板22的下表面一侧，并向第二板30输送被抽吸的空气。

第三板34是左右方向长且以层叠在第二板30的下表面的方式安装的板材。第三板34具有：第三通气口35，贯通上下方向并供被抽吸的空气通过；第三孔部36，与第二长孔部32连通，且具有仅能够供工具17移动的大小。

第三通气口35与第二通气口31连通，且具有与该第二通气口31的下端开口相同大小。

第三通气口35设置在第三板34的长度方向中央。该第三通气口35是贯通上下方向且长度方向长的孔。即，第三通气口35在俯视时是左右方向长的矩形的贯通孔。第三通气口35分别设置在沿左右方向设置多个的第三孔部36的前侧和后侧。即，第三通气口35隔着多个第三孔部36而在前后(y轴方向)设置有一对。

第三通气口35的开口大小与第二通气口31的开口大小相同。即，第三通气口35是与设置在第二板30上的倾斜状的第二通气口31对应的长孔。

第三通气口35与第二通气口31对接配备，成为相互连通的状态。即，前侧的第三通气口35a与前侧的第二通气口31a对接配备，成为相互连通的状态。另外，后侧的第三通气口35b与后侧的第二通气口31b对接配备，成为相互连通的状态。

第三孔部36在左右方向上排列设置多个，以与在左右方向上排列多个的工具17对应。具体而言，第三孔部36是仅能够供工具17移动的小内径的工具孔。工具孔部36在俯视时为圆形的贯通孔，其直径可以比工具17的直径稍大。该工具孔部36的孔的直径为小直径，以防止抽吸工具17周边的空气。按工具17的个数而在长度方向上设置有多个该工具孔部36。

即，通过在第三板34设置仅能够供工具17移动的小直径的工具孔部36以及与第二通气口31相互连通的第三通气口35，从而能够抑制来自收纳工具架18和工具17主体侧的长孔部24、第一长孔部28和第二长孔部32的空气流量，且将空气引导向第三通气口35侧，而能够提高工具17前端附近的空气流速。另外，收纳工具架18和工具17主体侧的长孔部24、第一长孔部28和第二长孔部32向大气开放或保持为正压，空气经由工具17的主体与工具孔部36之间的间隙流入后述的第四通路39内，因此能够防止包含来自工具17的前端侧的粉尘的空气流入工具架18侧。

图9表示构成本发明的集尘罩20的第四板37的俯视图及F-F剖视图。

如图2～图4、图9等所示，构成集尘罩20的多个板的至少一个是第四板37，该第四板37安装在底板22的下表面，并向第三板34输送被抽吸的空气。

第四板37是左右方向上长且以层叠的方式安装在第三板34的下表面一侧的板材。第四板37具有：第四通气口38(抽吸口)，贯通上下方向上，并吸入被划线加工的基板W的周边的空气；以及第四通路39，与第四通气口38连通并引导所抽吸的空气。

抽吸口38设置在第四板37的中央。抽吸口38形成为贯通上下方向且沿着长度方向长的孔。即，抽吸口38在俯视时是左右方向长的矩形状的贯通孔。抽吸口38设置在第三通气口35的下方。

抽吸口38的前后方向(y轴方向)的长度略大于工具孔部36(工具17)的直径。抽吸口38的左右方向(x轴方向)的长度大于在左右方向上多个排列的工具孔部36。

即，抽吸口38在来自工具孔部36的工具17移动的同时，吸入工具17进行划线加工的基板W的周边的空气。另外，可以适当变更抽吸口38的大小。

第四通路39刻入第四板37，并且为向上方(在z轴的正方向上)开口的槽。该第四通路39与抽吸口38连通地设置(参照图9的F-F剖视图)。

第四通路39为延伸为与前侧的第三通气口35a和后侧的第三通气口35b相对应的宽度的槽。即，第四通路39与前侧的第三通气口35a和后侧的第三通气口35b相互连通。另外，在俯视观察时，第四通路39为包围抽吸口38的外周的通路。

第四通路39处于与前侧的第三通气口35a和后侧的第三通气口35b相互连通的状态。第四通路39将从抽吸口38抽吸的空气引导至前后一对的第三通气口35a、35b。

另外，可以准备多个抽吸口38的大小不同的第四板37。仅通过更换该第四板37就能够改变空气的抽吸力。

在此，对通过集尘罩20的第一板25～第四板37内的空气流进行说明。

如图2、图4所示，集尘罩20是安装在底板22的下表面，并在第四板37上层叠第三板34、在第三板34上层叠第二板30、在第二板30上层叠第一板25的结构。

图2、图4所示的粗线的箭头表示从工具17进行划线加工的基板W的周边被抽吸并通过集尘罩20的第一板25～第四板37内的空气的流动。

首先，当含有粉尘的空气从第四板37的抽吸口38被抽吸到内部时，流向第四通路39。含有粉尘的空气通过第四通路39，流向上侧的第三板34。该空气流向前后一对的第三通气口35a、35b中的任一个。此外，长孔部24、第一长孔部28以及第二长孔部32的空气也从工具17的主体与工具孔部36的间隙被抽吸到第四通路39内。

流向前侧的第三通气口35a的空气流向设置在上侧的第二板30的前倾的前侧的第二通气口31a。另一方面，流向后侧的第三通气口35b的空气流向设置在上侧的第二板30的后倾的后侧的第二通气口31b。

流向前侧的第二通气口31a的空气流向设置在上侧的第一板25上的前侧的第一通气口26a。另一方面，流向后侧的第二通气口31b的空气流向设置在上侧的第一板25上的后侧的第一通气口26b。

通过前侧的第一通气口26a后的空气流过前侧通路27a而流向连结通路27c。另一方面，通过后侧的第一通气口26b后的空气流过后侧通路27b而流向连结通路27c。即，通过了第一通气口26的空气流向第一通路27。

通过第一通路27的空气流向设置于底板22的左右一对的输送口23a、23b中的任一个。通过输送口23a、23b的空气通过管道21，与粉尘一起被收纳在集尘机。

这样，通过构成为在对基板W进行划线加工时使含有粉尘的空气通过上面详细说明的第一板25～第四板37内，从而在抽吸空气时的工具17的前端附近的风速上升(抽吸力提高)，在粉尘附着于基板W的表面之前，能够更有效地去除粉尘。

以上，根据本发明的槽加工头16的集尘机构19以及槽加工装置1，将集尘罩20的结构设为提高抽吸的空气的流速的结构，划线加工时所产生的粉尘在附着于基板W的表面之前，能够更有效地去除粉尘。

另外，本次公开的实施方式在所有方面都是示例，而不应认为是限制本发明的内容。

特别是，在本次公开的实施方式中，例如工作条件、操作条件、构成物的尺寸、重量等未明示的事项不脱离本领域技术人员通常实施的范围，并且采用只要是通常的本领域技术人员就能够容易地想到的事项。

Claims (8)

1.一种槽加工头的集尘机构，具备：

槽加工头，具备工具架，所述工具架在左右方向上排列保持多个将刀尖朝向下方的工具；

集尘罩，设置在所述槽加工头的下部，在抽吸空气的同时抽吸在使用所述工具对基板进行刻划时所产生的粉尘；

管道，供来自所述集尘罩的所述空气通过；以及

集尘机，抽吸通过了所述管道的所述空气，并收集所述粉尘，

其特征在于，

在所述槽加工头的下表面设置有安装所述集尘罩的底板，

所述集尘罩由层叠多个供所述空气流通的板构成。

2.根据权利要求1所述的槽加工头的集尘机构，其特征在于，

所述底板是左右方向为长度方向的板材，并具有：输送口，贯通上下方向并与所述管道连通；以及长孔部，贯通上下方向并供所述工具架通过，

所述输送口以成为左右一对的方式设置在所述底板的左右两端部，且安装有所述管道。

3.根据权利要求2所述的槽加工头的集尘机构，其特征在于，

构成所述集尘罩的多个板中的至少一个板是第一板，所述第一板设置在所述底板的下表面一侧，并向所述管道输送被抽吸的所述空气，

所述第一板是左右方向为长度方向的板材，并具有：第一通气口，贯通上下方向并供被抽吸的所述空气通过；第一通路，与所述第一通气口连通，并将被抽吸的所述空气引导向所述底板的所述输送口；以及第一长孔部，与所述底板的所述长孔部连通，并具有供所述工具架通过的大小，

所述第一通路与左右一对的所述输送口连通，

所述第一通气口设置在所述第一板的长度方向中央。

4.根据权利要求1或2所述的槽加工头的集尘机构，其特征在于，

构成所述集尘罩的多个板中的至少一个板是第二板，所述第二板设置在所述底板的下表面一侧，并向所述管道输送被抽吸的所述空气，

所述第二板是左右方向为长度方向的板材，并具有：第二通气口，贯通上下方向并供被抽吸的所述空气通过；以及第二长孔部，具有供所述工具架通过的大小，

所述第二通气口是左右方向为长度方向的贯通孔，该第二通气口的在左右方向上延伸的面是相对于上下方向的轴心而向外侧倾斜的倾斜面。

5.根据权利要求1或2所述的槽加工头的集尘机构，其特征在于，

构成所述集尘罩的多个板中的至少一个板是第三板，所述第三板设置在所述底板的下表面一侧，并向所述管道输送被抽吸的所述空气，

所述第三板是左右方向为长度方向的板材，并具有：第三通气口，贯通上下方向并供被抽吸的所述空气通过；以及第三孔部，具有供所述工具架能够通过的大小，

所述第三孔部在左右方向上并列设置多个，以与在左右方向上排列的多个所述工具对应。

6.根据权利要求1或2所述的槽加工头的集尘机构，其特征在于，

构成所述集尘罩的多个板中的至少一个板是第四板，所述第四板设置在所述底板的下表面一侧，并向所述管道输送被抽吸的所述空气，

所述第四板是左右方向为长度方向的板材，并具有：第四通气口，贯通上下方向并吸入外部的所述空气；以及第四通路，与所述第四通气口连通并引导被抽吸的所述空气，

所述第四通气口为能够供所述工具移动的孔部。

7.一种槽加工头的集尘机构，其特征在于，具备：

槽加工头，具备工具架，所述工具架在左右方向上排列保持多个将刀尖朝向下方的工具；

集尘罩，设置在所述槽加工头的下部，在抽吸空气的同时抽吸在使用所述工具对基板进行刻划时所产生的粉尘；

管道，供来自所述集尘罩的所述空气通过；以及

集尘机，抽吸通过了所述管道的所述空气，并收集所述粉尘，

在所述槽加工头的下表面设置有安装所述集尘罩的底板，

所述底板是左右方向为长度方向的板材，并具有：输送口，贯通上下方向并与所述管道连通；以及长孔部，贯通上下方向并供所述工具架通过，

所述输送口以成为左右一对的方式设置在所述底板的左右两端部，且安装有所述管道，

所述集尘罩具有：

第一板，以层叠的方式安装在所述底板的下表面，并向所述管道输送被抽吸的所述空气；

第二板，以层叠的方式安装在所述第一板的下表面，并向所述第一板输送被抽吸的所述空气；

第三板，以层叠的方式安装在所述第二板的下表面，并向所述第二板输送被抽吸的所述空气；以及

第四板，以层叠的方式安装在所述第三板的下表面，并向所述第三板输送被抽吸的所述空气，

所述第一板是左右方向为长度方向的板材，并具有：第一通气口，贯通上下方向并供被抽吸的所述空气通过；第一通路，与所述第一通气口连通，并将被抽吸的所述空气引导向所述底板的所述输送口；以及第一长孔部，与所述底板的所述长孔部连通，并具有供所述工具架通过的大小，

所述第一通路与左右一对的所述输送口连通，

所述第一通气口设置在所述第一板的长度方向中央，

所述第二板是左右方向为长度方向且以层叠的方式安装在所述第一板的下表面一侧的板材，并具有：第二通气口，贯通上下方向并供被抽吸的所述空气通过；以及第二长孔部，与所述第一长孔部连通并具有供所述工具架通过的大小，

所述第二通气口是左右方向为长度方向的贯通孔，该第二通气口的在左右方向上延伸的面是相对于上下方向的轴心而向外侧倾斜的倾斜面，

所述第三板是左右方向为长度方向且以层叠的方式安装在所述第二板的下表面一侧的板材，并具有：第三通气口，贯通上下方向并供被抽吸的所述空气通过；以及第三孔部，与所述第二长孔部连通并具有供所述工具能够通过的大小，

所述第三通气口与所述第二通气口连通，且具有与该第二通气口相同的大小，

所述第三孔部在左右方向上并列设置多个，以与在左右方向上排列的多个所述工具对应，

所述第四板是左右方向为长度方向且以层叠的方式安装在所述第三板的下表面一侧的板材，并具有：第四通气口，贯通上下方向并吸入外部的所述空气；以及第四通路，与所述第四通气口连通并引导被抽吸的所述空气，

所述第四通气口设置在所述第三通气口的下方，

所述第四通路将通过的所述空气引导向所述第三通气口。

8.一种槽加工装置，其特征在于，具备：

工作台，载置基板；

槽加工头，安装有工具架，所述工具架具有用于槽加工的工具；

权利要求1至7中任一项所述的槽加工头的集尘机构；以及

移动单元，用于使所述工作台与所述槽加工头在水平面内相对移动，

所述槽加工装置使所述槽加工头在基板的上表面平行移动，并在基板上形成槽。

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