CN112960371B - 真空搬运装置及搬运方法 - Google Patents

Abstract

本申请提供一种真空搬运装置及搬运方法，搬运装置包括传送机构以及承载机构，承载机构包括第一吸附构件、第二吸附构件以及供电装置，第一吸附构件与第二吸附构件相对设置，供电装置设置在第一吸附构件和第二吸附构件之间，供电装置用于为第一吸附构件和第二吸附构件提供吸附力，且承载机构可相对传送机构进行翻转，通过吸附构件的吸附面对转移的基板进行吸附，从而防止了基板的下垂问题，同时有效的提高了搬运的效率并简化了生产工艺。

Description

真空搬运装置及搬运方法

技术领域

本申请涉及显示面板制造及运输领域，特别是涉及一种真空搬运装置及真空搬运方法。

背景技术

随着显示面板制造技术的不断提高，人们对显示面板的制备工艺以及在制备过程中的搬运方式也提出了更高的要求，以便制备并得到最佳性能的显示面板。

在显示面板的制备工艺过程中，需要对显示面板中的基板进行搬运并制备，当显示面板的尺寸越大，其对应的基板的尺寸也越大。现有技术中，在对大尺寸的基板进行运输以及加工过程时，往往需要通过卡盘将大尺寸的基板的四周卡合，然后在进行传送并进一步加工。但是，由于大尺寸基板的重量以及其对应的表面积均较大，当通过对基板的四周进行卡合时，在基板的中间区域内，由于重力的作用，基板会出现较大程度的下垂，使得基板的表面变成非水平面，当在该非水平面上继续钻孔时，便会出现精度偏差。同时，由于该传送方式是通过卡盘对四周的边缘区域进行卡合，这种搬运方式对设备的要求较高，一旦卡合不牢固，极容易造成基板掉落，从而不利于显示面板的制备。

综上所述，在现有的对显示面板的基板的搬运以及制备过程中，尤其对于大尺寸显示面板而言，往往通过卡合的搬运方式进行搬运及加工，但是通过卡合的方式进行搬运，基板容易卡合不牢固，并且所卡合的基板容易出现下垂量过大等问题，从而不利于基板的搬运以及显示面板的制备。

发明内容

本申请实施例提供一种真空搬运装置及搬运方法，以有效的改善显示面板的基板在搬运的过程中，基板容易出现下垂量过大的问题，进而影响显示面板的制备等问题。

为解决上述技术问题，本申请实施例提供的技术方法如下：

本申请实施例的第一方面，提供了一种真空搬运装置，包括：

传送机构；以及，

承载机构，所述承载机构设置在所述传送机构上，并可随所述传送机构移动；

其中，所述承载机构包括第一吸附构件以及第二吸附构件，所述第一吸附构件与所述第二吸附构件相对设置，且所述第一吸附构件和所述第二吸附构件具有吸附面，所述承载机构可相对所述传送机构进行翻转。

根据本申请一实施例，所述真空搬运装置还包括顶出机构，所述顶出机构设置在所述承载机构内，所述顶出机构可相对所述第一吸附构件和所述第二吸附构件进行伸缩，当进行真空搬运时，所述顶出机构相对所述第一吸附构件或所述第二吸附构件伸出。

根据本申请一实施例，所述第一吸附构件和所述第二吸附构件还设置有顶出孔，所述顶出孔与所述顶出机构对应设置，当所述真空搬运装置工作时，所述顶出机构沿着所述顶出孔伸出。

根据本申请一实施例，所述顶出机构包括顶针，所述顶针的长度小于所述承载机构的厚度，当所述真空搬运装置不工作时，所述顶针收缩在所述顶出孔内。

根据本申请一实施例，所述承载机构还包括供电装置，所述供电装置设置在所述第一吸附构件与所述第二吸附构件之间。

根据本申请一实施例，所述传送机构包括第一工作区域、第二工作区域以及第三工作区域，所述第一工作区域与所述第二工作区域相邻，所述第二工作区域与所述第三工作区域相邻，且所述真空搬运装置在所述第一工作区域、第二工作区域以及第三工作区域内的工作状态均不相同。

根据本申请一实施例，所述真空搬运装置还包括钻孔装置，所述钻孔装置对应的设置在所述第三工作区域内。

根据本申请一实施例，所述传送机构包括L型传送装置或T型传送装置。

根据本申请一实施例，所述显示面板还包括挡墙，所述挡墙设置在所述衬底上并设置在所述第一连接端与所述第二连接端之间，且所述挡墙的高度值小于所述发光二极管到所述衬底之间的距离值。

根据本申请实施例的第二方面，还提供一种真空搬运方法，包括如下步骤：

S100：放置多个基板，并将所述基板传送到真空搬运装置的第一工作区域内；

S101：所述真空搬运装置中的供电装置供电，同时承载机构上的第一吸附构件对所述基板进行吸附，吸附完成后，将所述承载机构翻转；

S102：所述承载机构上的第二吸附构件对所述基板进行吸附，所述第二吸附构件吸附完成后，将所述承载机构传送第二工作区域内；

S103：在所述第二工作区域内对所述第一吸附机构上吸附的所述基板进行钻孔，钻孔完成后将所述承载机构翻转，并对所述第二吸附机构上吸附的所述基板钻孔；

S104：将所述承载机构传送至第三工作区域内，并将所述第一吸附机构上的所述基板取出，翻转所述承载机构，并将所述第二吸附机构上的所述基板取出，完成搬运。

根据本申请一实施例，所述显示面板传送至所述承载机构的过程中，所述承载机构内的顶出机构伸出，通过所述顶出机构对所述显示面板进行支撑并移动，移动完成后，所述顶出机构下降。

综上所述，本申请实施例的有益效果为：

本申请实施例提供一种真空搬运装置及搬运方法，通过在搬运装置中设置传送机构以及承载机构，当所需要搬运的基板被传送至承载机构内时，承载机构中的第一吸附构件将基板吸附，第一吸附构件吸附完成后，将承载机构翻转，使承载机构的另一面朝上，并通过第二吸附构件对基板再次进行吸附，从而实现了双面吸附，有效的提高了基板的传送效率，同时，由于本申请中的承载机构通过吸附的方式进行搬运，因此，不会出现基板的表面因为重力下垂的问题，进而有效的提高了基板在搬运以及制备过程中的工况，并最终有效的提高了显示面板的制备工艺。

附图说明

下面结合附图，通过对本申请的具体实施方式详细描述，将使本申请的技术方案及其它有益效果更显而易见。

图1为本申请实施例提供的一种搬运装置的结构示意图；

图2为本申请实施例提供的承载机构的结构示意图；

图3为本申请实施例提供的搬运流程示意图；

图4-图6为第一吸附构件吸附基板的流程示意图；

图7为本申请实施例提供的基板的钻孔示意图。

具体实施方式

下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。

在本申请的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个所述特征。在本申请的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

随着显示面板制备技术的不断发展，人们希望制备并获得到质量及性能最佳的面板。同时，随着显示面板尺寸的逐步增大，其对应的基板的尺寸随之增大。在对较大的基板进行搬运以及制备过程时，基板往往会存在着因重力的作用而出现下垂的问题，进而不利于显示面板的制备。

如图1所示，图1为本申请实施例提供的一种搬运装置的结构示意图。搬运装置包括传送机构102以及承载机构103。为了实现真空搬运装置的完整结构，搬运装置还可包括驱动电机以及投料机构，其中，驱动电机和投料机构并未画出，具体设置位置可根据设备的功能进行调整。但是，驱动电机以及投料机构的设置均是为了实现搬运装置的完整功能。优选的，本申请实施例中，驱动电机可同时与投料机构以及传送机构102相连，通过驱动电机的转动以使投料机构和传送机构102运动，进而完成显示面板等材料的搬运。

其中投料机构可为传送带装置，这里不再具体限定。在对显示面板等基板100进行搬运时，将多个基板100平铺在该传送带装置上，相邻的两个基板之间预留一定的距离，以便为后续的制备工艺提供可操控时间。通过驱动电机的转动，带动投料机构，进而再使投料机构上的基板随之运动，以实现真空搬运装置的物料投送，以及自动化的目的。

同时，驱动电机还与传送机构102相连接，当驱动电机转动时，传送机构102中的传送装置也可发生相对运动，当基板100被传送到对应的传送机构102上时，再随该传送机构102一同传送，并在对应的传送机构102上进行不同的制备工艺，并实现基板的搬送。

本申请实施例中，为了提高搬运装置的搬运效率以及性能，并在一定程度上减小搬运装置的占地面积，传送机构102可设置为L型传送物流装置或者T型的传送物流装置。

进一步的，本申请实施例中，传送机构102包括第一工作区域105、第二工作区域106以及第三工作区域107。第一工作区域105与第二工作区域106相邻设置，第二工作区域106与第三工作区域107相邻设置，当搬运装置正常工作时，搬运装置在第一工作区域105、第二工作区域106以及第三工作区域107内实现不同的工作状态。优选的，在第一工作区域105内，承载机构103对基板100进行吸附，在第二工作区域106内，搬运装置对基板100进行钻孔等工艺操作，同时，当基板100被搬运到第三工作区域107内时，在该区域内将基板卸载，从而实现基板的整个搬运工序。

本申请实施例中，通过在传送机构102内设置不同的工作区域，不同的工作区域之间相互独立，进而有效的保证了搬运的效果以及在搬运过程中的操作的独立性，并提高了搬运装置的性能，图1中的装置仅为示意图，相应的连接器件并未完全画出，但对应的连接器件以及各部件之间能相互作用并驱动整个搬运装置正常运转。

优选的，搬运装置还包括钻孔装置108，钻孔装置108对应的设置在传送机构102的容纳腔内，当传送机构102传送至第二工作区域106内时，钻孔装置108可对对应的基板进行钻孔操作。本申请实施例中，钻孔装置108可为激光发生器，通过激光的高能高温，实现对基板的钻孔，从而有效的提高基板的制备工艺以及制备精度。

进一步的，如图2所示，图2为本申请实施例提供的承载机构的结构示意图。本申请实施例中，主要通过承载机构103实现对基板的搬运功能。具体的，多个承载机构103可通过铰链或者传送带进行连接，并可沿着传送机构102的容纳腔进行运动，以便将基板100从第一工作区域105搬送至第三工作区域107内。

其中，承载机构103包括第一吸附构件201、供电装置200以及第二吸附构件202，供电装置200设置在第二吸附构件202上，从而使得第一吸附构件201和第二吸附构件202相对设置。同时，第一吸附构件201设置在供电装置200上，第一吸附构件201和第二吸附构件202可相同或者不同，本申请实施例中，为了保证搬运装置的一致性，第一吸附构件201和第二吸附构件202设置为相同的吸附构件，通过供电装置200对第一吸附构件201和第二吸附构件202提供静电吸附力，最终实现第一吸附构件201和第二吸附构件202对基板或者显示面板等物料的吸附，最终实现双面搬运的功能。

优选的，本申请实施例中的第一吸附构件201和第二吸附构件202均具有一吸附面，该吸附面对应的设置在每一吸附构件的表面，当吸附构件对基板100进行吸附时，吸附面能对基板的表面进行作用，并通过静电等吸附作用力将基板搬运，因此，本申请中的吸附构件在搬运过程中，吸附面积更大，不仅仅对基板的边缘区域进行作用，同时还对基板的非边缘区域均施加吸附力，从而有效的避免了基板在搬运过程中中间区域出现下垂的问题，提高搬运的效果。

具体的，本申请实施例中，第一吸附构件201和第二吸附构件202的表面为一搬运平面，当基板被传送到对应的吸附构件上时，吸附构件直接将基板吸附，因此，在搬运的过程中，基板的表面与吸附构件的表面相贴合，进而减小了基板因重力作用而下垂的问题，从而提高了基板的搬运效果。

具体的，承载机构还包括顶出机构203，顶出机构203设置在承载机构上，在设置顶出机构203时，通过在承载机构上设置多个顶出孔204，然后将顶出机构203对应的设置在每个顶出孔204内。同时，供电装置200可同时为第一吸附构件201、第二吸附构件202以及顶出机构203提供电源，从而保证为不同的部件提供不同的驱动力，并实现相应的运动。

当基板被传送到对应的承载机构上时，供电装置200为顶出机构203提供驱动力，并使得顶出机构203从顶出孔中伸出，通过多个顶出机构203实现对基板的支撑，当基板完全落在承载机构上时，此时，缓慢的卸载顶出机构203的驱动力，使顶出机构203缓慢的收缩到顶出孔204内，并使得基板与第一吸附构件201相接触。

本申请实施例中，顶出机构203可包括顶针或其他顶出杆，为了保证顶出及收纳效果，顶针的长度要小于承载机构的厚度，且当真空搬运装置不工作时，顶针收缩在对应的顶出孔中。

当第一吸附构件201与基板相贴合时，供电装置200相第一吸附构件201提供驱动电压，从而使得第一吸附构件201产生静电吸附力，并将基板吸附。

因此，本申请实施例中，在基板的吸附以及搬运过程中，为面与面之间的接触，因此，搬运装置在搬运的过程，基板不会出现下垂的问题，基板的吸附以及搬运效果更好。

当第一吸附构件201吸附完成后，承载机构在传送机构的容纳腔内翻转，翻转完成后，第一吸附构件201的朝下，第二吸附构件202朝上，此时，继续将基板传送到对应的承载机构上。由于第二吸附构件202在上，因此，供电装置200向第二吸附构件202提供驱动力，使第二吸附构件202对基板进行吸附。

本申请实施例中，第一吸附构件201和第二吸附构件202可为静电吸盘，优选的，第一吸附构件201和第二吸附构件202还包括静电吸附膜，所述静电吸附膜贴附在第一吸附构件201和第二吸附构件202上，当供电装置200向第一吸附构件201和第二吸附构件202提供电压时，静电吸附膜随之产生吸附力，从而有效的将基板或显示面板吸附，并实现搬运的目的。因此，本申请实施例中的搬运装置在搬运时更易操作。

其中，本申请实施例中的静电吸附膜可包括PVC板以及固定在该PVC板上的柔性FPC层，这样，有效的保证了吸附构件的吸附力，提供搬运性能。

完全吸附后，第一吸附构件201和第二吸附构件202上均吸附有基板，从而有效的提高了搬运装置的搬运效率。承载机构继续在传送，并被传输至第二工作区域内。

在本申请实施例中，搬运装置内还设置有钻孔装置，钻孔装置对应的设置在第二工作区域内，当基板随承载机构传送至第二工作区域内后，钻孔装置首先对第一吸附构件201上吸附的基板进行钻孔，当第一吸附构件201上的基板钻孔完成后，供电装置200向承载机构供电，并使承载机构在容纳腔内翻转。

翻转完成后，使得第二吸附构件202上吸附的基板朝向钻孔装置，此时，驱动钻孔装置，并对第二吸附构件202上的基板进行钻孔。从而，本申请实施例中的搬运装置在第二工作区域内，实现了对基板钻孔等操作，有效的简化了基板或显示面板在制备过程中的生产工艺。

本申请实施例中，在对承载机构内的顶出机构203控制时，为了更容易以及便捷的对该顶出机构203进行控制，顶出机构203可设置为遥控机构，该遥控机构可由外界的wifi信号等其他无线信号所控制，以实现远程调控顶出机构203的升降，并保证在对基板进行支撑时的调节精度，保证支撑效果。

对应的，本申请实施例中提供的供电装置200可为可拆卸式电源装置，该电源装置可定期取出进行充电，或者该供电装置200可设计为无线充电的电源装置，从而保证供电装置的正常供电，以提高搬运装置的搬运效果。

进一步的，当搬运装置的承载机构被传送至第三工作区域内时，该第三工作区域主要为卸载区，在该区域内，吸附在承载机构上的基板或面板被取下。具体的，首先将位于承载机构正上方吸附的基板取出，取出后在将承载机构翻转，使下方的基板翻转上来，并将其取出。在取出过程中，分别断掉供电装置的供电的电源。最终，完成整个基板的搬运、制备等操作。因此，本申请实施例中提供的搬运装置的搬运效果更好，并且有效的简化了面板的生产工艺。

如图3所示，图3为本申请实施例提供的搬运流程示意图。搬运方法流程包括如下步骤：

S100：放置多个基板，并将所述基板传送到真空搬运装置的第一工作区域内；

S101：所述真空搬运装置中的供电装置向承载机构供电，同时所述承载机构上的第一吸附构件对所述基板进行吸附，吸附完成后，将所述承载机构翻转；

如图4-图6所示，图4-图6为第一吸附构件吸附基板的流程示意图。放置在搬运装置上的基板会依次被传送到承载机构上，当第一基板400被传送至承载机构上时，由于在基板自身重力的作用下，基板的下表面会出现一定的下垂，如图4中第一基板400的下表面的轮廓线所示，当基板逐渐被放置到承载机构上时，承载机构内的顶针203在供电装置200的驱动下伸出，从而使得顶针203将该第一基板400支撑，并将第一基板400精确的移动到承载机构上。

当第一基板400移动到预定的位置上时，顶针203缓慢收缩回承载机构内，同时，供电装置200向第一吸附构件201供电，使第一吸附构件201将第一基板400吸附并固定。

待第一基板400吸附完成后，该承载机构翻转，使第二吸附构件202从下翻转到上方，并按照第一吸附构件201吸附第一基板400的操作动作，也使第二吸附构件202吸附另一基板，并对该基板进行固定，最终转移完成后，承载机构的两面均吸附有第一基板400。

S102：所述承载机构上的第二吸附构件对所述基板进行吸附，所述第二吸附构件吸附完成后，将所述承载机构传送第二工作区域内；

S103：在所述第二工作区域内对所述第一吸附机构上吸附的所述基板进行钻孔，钻孔完成后将所述承载机构翻转，并对所述第二吸附机构上吸附的所述基板钻孔；

当在第一工作区域内搬运装置对基板吸附完成后，驱动传送机构传送，此时，承载机构从第一工作区域传送至第二工作区域。如图7所示，图7为本申请实施例提供的基板的钻孔示意图。在第二工作区域内，主要实现在搬运装置内对第一基板400进行钻孔等操作。具体的，首先对朝向钻孔装置108一侧的基板进行钻孔，该侧的基板钻孔完成后，将承载机构翻转，并对并一侧吸附的基板进行钻孔，从而有效的提高了基板的钻孔效率。

S104：将所述承载机构传送至第三工作区域内，并将所述第一吸附机构上的所述基板取出，翻转所述承载机构，并将所述第二吸附机构上的所述基板取出，完成搬运。

基板钻孔完成后，继续传送承载机构，将承载机构传送至第三工作区域内，由于本申请实施例中提供的真空搬运装置通过静电吸附力的作用对基板进行吸附，因此，在第三工作区域内，首先停止向一侧的吸附机构供电，电源一旦停止供应，该侧的吸附构件的吸附力随之消失，继而在通过吸盘等搬运装置将该侧的基板取下，当一侧的基板取下后，将承载机构翻转，并按照同样的操作工艺，将另一侧的基板取下。从而完成了基板的搬运。因此，本申请实施例中的搬运方法更加快捷，并且能在搬运的过程中对基板对应区域进行钻孔等工艺，有效的简化了面板的制备工艺。

以上对本申请实施例所提供的一种真空搬运装置及搬运方法进行了详细介绍，本文中应用了具体个例对本申请的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本申请的技术方案及其核心思想；本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本申请各实施例的技术方案的范围。

Claims (8)

1.一种真空搬运装置，其特征在于，包括：

传送机构；以及，

承载机构，所述承载机构设置在所述传送机构上，并可随所述传送机构移动，所述承载机构包括第一吸附构件以及第二吸附构件，所述第一吸附构件与所述第二吸附构件相对设置，且所述第一吸附构件和所述第二吸附构件还设置有顶出孔；

顶出机构，所述顶出机构设置在所述承载机构内，所述顶出机构可相对所述第一吸附构件和所述第二吸附构件进行伸缩，所述顶出机构包括顶针，且所述顶针的长度小于所述承载机构的厚度，当所述真空搬运装置不工作时，所述顶针收缩在所述顶出孔内；

供电装置，所述供电装置设置在所述第一吸附构件与所述第二吸附构件之间；

其中，所述第一吸附构件和所述第二吸附构件具有吸附面，当所述第一吸附构件吸附完成后，所述承载机构在所述传送机构的容纳腔内翻转，以使所述第一吸附构件朝下，所述第二吸附构件朝上，并使所述第二吸附构件对基板进行吸附。

2.根据权利要求1所述的真空搬运装置，其特征在于，当进行真空搬运时，所述顶出机构相对所述第一吸附构件或所述第二吸附构件伸出。

3.根据权利要求1所述的真空搬运装置，其特征在于，所述顶出孔与所述顶出机构对应设置，当所述真空搬运装置工作时，所述顶出机构沿着所述顶出孔伸出。

4.根据权利要求1所述的真空搬运装置，其特征在于，所述传送机构包括第一工作区域、第二工作区域以及第三工作区域，所述第一工作区域与所述第二工作区域相邻，所述第二工作区域与所述第三工作区域相邻，且所述真空搬运装置在所述第一工作区域、第二工作区域以及第三工作区域内的工作状态均不相同。

5.根据权利要求4所述的真空搬运装置，其特征在于，所述真空搬运装置还包括钻孔装置，所述钻孔装置对应的设置在所述第三工作区域内。

6.根据权利要求1所述的真空搬运装置，其特征在于，所述传送机构包括L型传送装置或T型传送装置。

7.一种真空搬运方法，其特征在于，包括如下步骤：

S100：放置多个基板，并将所述基板传送到真空搬运装置的第一工作区域内；

S101：所述真空搬运装置中的供电装置向承载机构供电，所述承载机构包括第一吸附构件以及第二吸附构件，供电后所述承载机构上的第一吸附构件对所述基板进行吸附，吸附完成后，将所述承载机构在传送机构的容纳腔内翻转，以使所述第一吸附构件朝下，所述第二吸附构件朝上，并使所述第二吸附构件对基板进行吸附；

S102：所述承载机构上的第二吸附构件对所述基板进行吸附，所述第二吸附构件吸附完成后，将所述承载机构传送第二工作区域内；

S103：在所述第二工作区域内对所述第一吸附构件上吸附的所述基板进行钻孔，钻孔完成后将所述承载机构翻转，并对所述第二吸附构件上吸附的所述基板钻孔；

S104：将所述承载机构传送至第三工作区域内，并将所述第一吸附构件上的所述基板取出，翻转所述承载机构，并将所述第二吸附构件上的所述基板取出，完成搬运。

8.根据权利要求7所述的真空搬运方法，其特征在于，所述基板传送至所述承载机构的过程中，所述承载机构内的顶出机构伸出，通过所述顶出机构对所述基板进行支撑并移动，移动完成后，所述顶出机构下降收回。

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